JPS62180931U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62180931U JPS62180931U JP2557487U JP2557487U JPS62180931U JP S62180931 U JPS62180931 U JP S62180931U JP 2557487 U JP2557487 U JP 2557487U JP 2557487 U JP2557487 U JP 2557487U JP S62180931 U JPS62180931 U JP S62180931U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- compound film
- humidity sensor
- moisture
- metal compound
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 4
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims 2
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical group [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000007666 vacuum forming Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Description
第１図は本考案に係る容量式湿度センサの平面
図、第２図は本考案に係る容量式湿度センサの第
１図における―線断面図、第３図は本考案に
係るセンサを製造する装置の概略構成図、第４図
は本考案に係る容量式湿度センサの相対湿度対容
量の関係を示す特性線図である。 １０……基板、１２……下部電極、１４……金
属化合物膜、１６……上部電極、１８……真空形
成室、２０……電極、２２……コイル、２４……
ヒータ、２６……高周波電源、２８……外部電源
、３０……真空ポンプ、３６……管体、３８……
弁体。
図、第２図は本考案に係る容量式湿度センサの第
１図における―線断面図、第３図は本考案に
係るセンサを製造する装置の概略構成図、第４図
は本考案に係る容量式湿度センサの相対湿度対容
量の関係を示す特性線図である。 １０……基板、１２……下部電極、１４……金
属化合物膜、１６……上部電極、１８……真空形
成室、２０……電極、２２……コイル、２４……
ヒータ、２６……高周波電源、２８……外部電源
、３０……真空ポンプ、３６……管体、３８……
弁体。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 非導電性基板上に一対の下部電極を対向配
置し、前記電極上に湿気に活性な金属化合物膜を
独立して形成し、前記金属化合物膜上に湿気透過
性の金属皮膜からなる上部電極を形成してなる容
量式湿度センサにおいて、ガラス板からなる非導
電性基板の表面に蒸着等の手段により電極を形成
し、さらにこの基板上に金属酸化物または金属窒
化物の皮膜を蒸着により形成して金属化合物膜を
構成することを特徴とする容量式湿度センサ。 (2) 実用新案登録請求の範囲第１項記載の容量
式湿度センサにおいて、金属酸化物または金属窒
化物の金属はアルミニウムもしくはマグネシウム
である容量式湿度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2557487U JPS62180931U (ja) | 1987-02-25 | 1987-02-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2557487U JPS62180931U (ja) | 1987-02-25 | 1987-02-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62180931U true JPS62180931U (ja) | 1987-11-17 |
Family
ID=30825854
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2557487U Pending JPS62180931U (ja) | 1987-02-25 | 1987-02-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62180931U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5014893B1 (ja) * | 1970-02-05 | 1975-05-31 |
-
1987
- 1987-02-25 JP JP2557487U patent/JPS62180931U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5014893B1 (ja) * | 1970-02-05 | 1975-05-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2082021A1 (en) | Method of stabilizing the surface properties of objects to be thermally treated in a vacuum | |
| JPS62189057U (ja) | ||
| CA2006672A1 (en) | Capacitive pressure sensor with encircling third plate | |
| JPS62180931U (ja) | ||
| JPS6413119U (ja) | ||
| JPH01120328U (ja) | ||
| JPS61137242U (ja) | ||
| JPS63172048U (ja) | ||
| JPS62147335U (ja) | ||
| JPS645431U (ja) | ||
| JPS6437036U (ja) | ||
| JPS63200363U (ja) | ||
| JPS6255531U (ja) | ||
| JPH0420244U (ja) | ||
| JPH0367029U (ja) | ||
| JPH0167738U (ja) | ||
| JPS6188236U (ja) | ||
| JPS648732U (ja) | ||
| JPS642071U (ja) | ||
| JPH01164757U (ja) | ||
| JPS62191862U (ja) | ||
| JPS6280329U (ja) | ||
| JPH0227541U (ja) | ||
| JPH047651U (ja) | ||
| JPH0456332U (ja) |