JPS62176767A - 研磨機 - Google Patents
研磨機Info
- Publication number
- JPS62176767A JPS62176767A JP1868086A JP1868086A JPS62176767A JP S62176767 A JPS62176767 A JP S62176767A JP 1868086 A JP1868086 A JP 1868086A JP 1868086 A JP1868086 A JP 1868086A JP S62176767 A JPS62176767 A JP S62176767A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- polishing liquid
- temperature
- speed
- liquid
- Prior art date
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- Pending
Links
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、研磨機に関する。
本発明は、研磨機において、研磨液の流路に温度コント
ロール付きのヒーターを設けたことにより、研磨剤と温
度設定した水（以降湯と称す）とがＬ〈なじみ、研磨ス
ピードが速くなり、しかも品質向上させる研磨機全提供
するものである０〔従来の技術〕 従来の研磨機は、タンクに研磨剤と水道水をまぜ合わせ
た研磨成金ポンプですい上げ送り出し研磨するような構
造で６つ九〇 〔発明が解決しようとする問題点〕 しかし、従来の研磨機では、研磨液に研磨剤と水道水ｔ
−１ぜ合わせ使用してい友為、水が低温であり研磨剤と
のなじみが悪く、また研磨スピードが遅く、かつ水温、
室温に工って研磨スピードが変わり、研磨量のコントロ
ールがむずかしいそのうえ品質においても、カケ、キズ
が多く発生していたという問題上πしていた。
ロール付きのヒーターを設けたことにより、研磨剤と温
度設定した水（以降湯と称す）とがＬ〈なじみ、研磨ス
ピードが速くなり、しかも品質向上させる研磨機全提供
するものである０〔従来の技術〕 従来の研磨機は、タンクに研磨剤と水道水をまぜ合わせ
た研磨成金ポンプですい上げ送り出し研磨するような構
造で６つ九〇 〔発明が解決しようとする問題点〕 しかし、従来の研磨機では、研磨液に研磨剤と水道水ｔ
−１ぜ合わせ使用してい友為、水が低温であり研磨剤と
のなじみが悪く、また研磨スピードが遅く、かつ水温、
室温に工って研磨スピードが変わり、研磨量のコントロ
ールがむずかしいそのうえ品質においても、カケ、キズ
が多く発生していたという問題上πしていた。
研磨スピードが変わり研磨量のコントロールがむずかし
い例として、矩形状ＡＴ水晶発振片を例に説明すると、
１６ＭＨ２の発振片を一定時間研磨した後の各々の振動
周波数のバラツキが１５０００ＰＰＭ以上もあり、後で
固々に周波数分ａｔ−し。
い例として、矩形状ＡＴ水晶発振片を例に説明すると、
１６ＭＨ２の発振片を一定時間研磨した後の各々の振動
周波数のバラツキが１５０００ＰＰＭ以上もあり、後で
固々に周波数分ａｔ−し。
修正する必要があった。
そこで１本発明は、従来のこの工うな問題点を解決する
もので、その目的とするところは、研磨剤と湯がよ、（
なじみ、研寄スピードが速くなり。
もので、その目的とするところは、研磨剤と湯がよ、（
なじみ、研寄スピードが速くなり。
かつ、そめスピードが安定し、研磨量のコントロールが
〃）んたんになり、しかもカケ、キズを無くし１品質向
上させる研磨機に堤供するものである０〔問題を解決す
るための手段〕 本発明の研磨機は、研磨液の流路に温度コントロール付
きのヒーターを設けたことを特徴とする０〔作用〕 本発明の研磨機によれば研磨液の流路に温度コントロー
ル付きのヒーターを設は友ことにエリ研磨液の温度が一
定の為研磨剤とよくなじむことに＝す、研磨スピードが
速くなり、カケ、キズが無くなり品質向上になったもの
である０ 〔実薙倒〕 不発明の研磨；喫の実桶例？ｌ−４１図に示す０１は本
体であり、モーター等２にエリ回転する下定盤５、別の
モーター等４により回転する上定盤５が固足されている
。下定盤６．上定盤５の間に、被研磨品６を入れて、ノ
ズル７から研磨剤とｌＪｈを混ぜ合わせ７？［層液８を
タンク９からポンプ１０に工り、吹きかけて研磨する。
〃）んたんになり、しかもカケ、キズを無くし１品質向
上させる研磨機に堤供するものである０〔問題を解決す
るための手段〕 本発明の研磨機は、研磨液の流路に温度コントロール付
きのヒーターを設けたことを特徴とする０〔作用〕 本発明の研磨機によれば研磨液の流路に温度コントロー
ル付きのヒーターを設は友ことにエリ研磨液の温度が一
定の為研磨剤とよくなじむことに＝す、研磨スピードが
速くなり、カケ、キズが無くなり品質向上になったもの
である０ 〔実薙倒〕 不発明の研磨；喫の実桶例？ｌ−４１図に示す０１は本
体であり、モーター等２にエリ回転する下定盤５、別の
モーター等４により回転する上定盤５が固足されている
。下定盤６．上定盤５の間に、被研磨品６を入れて、ノ
ズル７から研磨剤とｌＪｈを混ぜ合わせ７？［層液８を
タンク９からポンプ１０に工り、吹きかけて研磨する。
タンク９には、その内部もしくは、外部に研磨剤が一定
の温度で供給さ２する機器としてヒーター１１がもうけ
られており一タンク９にもうけられｔｃ、温度センサー
１２にエリ研磨液８が一定の温度に、温度コントロール
さｎる。その結果研磨液の温度は、いつも一定である。
の温度で供給さ２する機器としてヒーター１１がもうけ
られており一タンク９にもうけられｔｃ、温度センサー
１２にエリ研磨液８が一定の温度に、温度コントロール
さｎる。その結果研磨液の温度は、いつも一定である。
本実薙倒の効果として、矩形状ＡＴ水晶発振片を例に示
した場合、１６ＭＨｚの発振片七一定時間研磨し友後の
各々振動周波数のバラツキが３０００ ＰＰＭ以下とな
つ九。従って１−正加工の必要がなくなつ７ｔ。
した場合、１６ＭＨｚの発振片七一定時間研磨し友後の
各々振動周波数のバラツキが３０００ ＰＰＭ以下とな
つ九。従って１−正加工の必要がなくなつ７ｔ。
尚、研磨液の温度は３０゛Ｃ〜１００″Ｇであり。
望ましくは一４０’Ｕ〜６０゛Ｃである。
さらに、央捲例ではヒーターをタンクの内部もしくは、
外部に設はン【が、研磨液の姫路であればどこでも良い
。
外部に設はン【が、研磨液の姫路であればどこでも良い
。
さらに、研磨作業は、研磨液が、設定温度になってから
開始するのが望ましい。
開始するのが望ましい。
以上述べた工うに本発明の研磨機によれば、研磨液の流
路に温度コントロール付きのヒーターを設けたことによ
り、研磨剤と湯がよくなじみ、研磨スピードが速くなり
、かつそのスピードが安定し、研１１のコントロールが
、かんたんになりしかも−カケ・キズをなくし１品質向
上させたものである。
路に温度コントロール付きのヒーターを設けたことによ
り、研磨剤と湯がよくなじみ、研磨スピードが速くなり
、かつそのスピードが安定し、研１１のコントロールが
、かんたんになりしかも−カケ・キズをなくし１品質向
上させたものである。
第１図は１本発明の研磨機の構造を示す図３・・・下定
盤 ５・・・上定盤 ７・・・ノズル ８・・・研磨液 矢印は研磨液の流れを示す ９・・・タンク １０・・・ポンプ １１・・・ヒーター 以上
盤 ５・・・上定盤 ７・・・ノズル ８・・・研磨液 矢印は研磨液の流れを示す ９・・・タンク １０・・・ポンプ １１・・・ヒーター 以上
Claims (1)
- 研磨液の流路に温度コントロール付きのヒーターを設け
たことを特徴とする研磨機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1868086A JPS62176767A (ja) | 1986-01-30 | 1986-01-30 | 研磨機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1868086A JPS62176767A (ja) | 1986-01-30 | 1986-01-30 | 研磨機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62176767A true JPS62176767A (ja) | 1987-08-03 |
Family
ID=11978319
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1868086A Pending JPS62176767A (ja) | 1986-01-30 | 1986-01-30 | 研磨機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62176767A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02218557A (ja) * | 1989-02-15 | 1990-08-31 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体ウェーハの研削装置 |
| JPH10110183A (ja) * | 1996-10-04 | 1998-04-28 | Kyoeisha Chem Co Ltd | 研削剤 |
| JP2011005636A (ja) * | 2010-10-12 | 2011-01-13 | Ｓｕｍｃｏ Ｔｅｃｈｘｉｖ株式会社 | ラップ盤 |
| CN107900833A (zh) * | 2017-11-22 | 2018-04-13 | 韩元元 | 一种圆形金属板材边缘的打磨装置 |
-
1986
- 1986-01-30 JP JP1868086A patent/JPS62176767A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02218557A (ja) * | 1989-02-15 | 1990-08-31 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体ウェーハの研削装置 |
| JPH10110183A (ja) * | 1996-10-04 | 1998-04-28 | Kyoeisha Chem Co Ltd | 研削剤 |
| JP2011005636A (ja) * | 2010-10-12 | 2011-01-13 | Ｓｕｍｃｏ Ｔｅｃｈｘｉｖ株式会社 | ラップ盤 |
| CN107900833A (zh) * | 2017-11-22 | 2018-04-13 | 韩元元 | 一种圆形金属板材边缘的打磨装置 |
| CN107900833B (zh) * | 2017-11-22 | 2019-05-24 | 南京同旺铝业有限公司 | 一种圆形金属板材边缘的打磨装置 |
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