JPS62176582A - ガラス基板洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はガラス基板の表面を清浄にする洗浄装置に係り
、特に半導体や液晶の表示素子の製造分野に用いられる
ガラス基板の洗浄装置に関するものである。

［従来の技術］ 電卓、カメラ等□の表示手段としての各種の液晶表示素
子が、ファクシミリやデジタルコピー等の画像読取部を
構成する光電変換手段としてのフォトセンサが、更にビ
デオカメラ等の固体撮像素子としてカラーフィルターが
用いられている事は一般に良く知られている。これらに
用いられるガラス基板は、電気特性、光学特性、ガラス
基板上に作成された薄膜の安定性の観点からガラス表面
をできるだけ清浄に管理する事が必要とされる。懸濁物
の主成分たる微粒子が付着していると薄膜の形成に支障
をきたし、ガラス基板の微視的な欠陥となり素子形ａ後
に特性のバラツキを発生する不具体が生ずる。従ってか
かる弊害を除去するために、素子形成に先立ちガラス表
面の洗浄が行われる。洗浄は洗剤を用いて洗浄後、更に
純水ですすぎが行われるが、洗浄液が汚れてくると、十
分な洗浄が行われない。従って洗浄液が汚れた場合には
洗浄液の交換が必要とされる。従来の洗浄槽を有するガ
ラス基板洗浄装置は、洗浄液をガラスの投入枚数や使用
日数で管理していた。しかしこの方法では、ガラス基板
の汚れの程度が異なると予想されるよりも洗浄液の汚れ
が激しくなり、懸濁物のガラスへの付着が原因とみなさ
れる製品の性能の低下や不良品が続出すると共に洗浄後
の工程である現像、エツチングなどが円滑に行われない
欠点が生ずる。

［発明が解決しようとする問題点］ 本発明は前記欠点等を解決するもので、洗浄液の懸濁度
を測定し、洗浄液の洗浄度を確認し洗浄作業の反応を決
めるか又はこれを所定値以下に管理するかして常に清浄
で安定した特性を有するガラス基板を洗浄供給し得るガ
ラス基板洗浄装置を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 本発明はこのために、洗浄槽の洗浄液内に被洗浄物たる
ガラス基板を浸漬すると共に、この洗浄液中の懸濁物質
を測定する測定手段を設けてなるガラス基板洗浄装置を
構成するものである。

［作　用］ 被洗浄物たるガラス基板を洗浄した洗浄液の流通経路内
に濁度計、分光光度計等の懸濁度の測定手段を設けて測
定することによりガラス基板を常に清浄に洗浄し得るよ
うにする。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づき説明する。

第１図に示す如く、洗浄槽１内には洗浄液２が蓄溜され
、被洗浄物たるガラス基板３が浸漬されて洗浄される。

従って洗浄液２にはガラス基板に付着する懸濁物が混入
する。セル４は弁５を介し洗浄槽ｌに隣接して設けられ
る。従って弁５を開放することによりセル４内には懸濁
物を含有する洗浄液が浸入する。

前記懸濁物量の測定手段６は図に明示していないがセル
４を囲んで配設され、セル４中の洗浄液中の懸濁物量を
測定可能に形成されるもので、濁度計、分光光度計等と
から構成される。測定手段６の測定結果は測定値の記憶
表示を行う記憶表示部７に入力される。

また、制御部８は弁５．記憶表示部７、警報表示部９等
に連結され、弁５の開閉制御および各部の全体制御を行
う。記憶表示部７には測定データを表示する表示部７ａ
およびこれを記憶する記憶部７ｂ等が設けられる。また
制御部８には操作部８ａ、８ｂ、表示部８８等が設けら
れている。警報表示部９は記憶表示部７による懸濁物量
が許容値（所定値）をこえた場合にこれを警報する警報
部９ａ、光およびランプ点滅等で表示する表示部９ｂ、
９ｃ等とから形成される。

なお制御部８は単に警報表示部９による警示をするのみ
ならず、洗浄槽ｌ内の洗浄液２を清浄するための管理制
御を行うべく図示しない洗浄液管理工程に出力する機能
も保有する。

以上の如く、制御部８により弁５を開放し、セル４内の
洗浄液２内の懸濁物量を測定手段６により測定し、これ
を所定値と比較して警報表示すると共に、洗浄液管理工
程にフィードバックしてこれを清浄管理することにより
、ガラス基板３は常に清浄な洗浄液で洗浄され、安定品
質に保持される。前記は測定値を基にして洗浄液２を管
理制御する場合を説明したが、測定結果によりガラス基
板３の洗浄の可否、を決めるようにしてもよい。

第２図は第１図と異なる洗浄槽１ａを示すもので、洗浄
槽ｌａ内の洗浄液２はポンプｌＯにより吸引され、吸引
された洗浄液２はポンプ１０から洗浄槽ｌａ内のジャワ
１１に送られジャワ１１から洗浄槽ｌａ内に噴出される
。ガラス基板（図示せず）はジャワ１１から噴出する洗
浄液２により洗浄され洗浄槽ｌａ内に浸漬する。洗浄１
４１　ａ内に蓄溜した洗浄液２を第１図に示す如きセル
４内に導入するか、洗浄液循環経路から抽出して前記と
同様にして懸濁物量を測定しこれを制御することができ
る。本実施例の場合は前記の如く、洗浄液２が循環する
ので洗浄液２の抽出およびその管理が比較的容易となる
。

以上の実施例で洗浄槽１　、ｌａを説明したが、洗浄槽
はこれ等に限るものでない、また懸濁物量の測定手段６
は第１図に示す如きセル４に抽出して行うものに勿論限
定されない。また記憶表示部７、制御部８、警報表示部
９は図示のものに勿論限定するものでない。

［発明の効果］ 以上の説明によって明らかな如く、本発明によればガラ
ス基板は常に清浄状態に保持され、安定した特性のガラ
ス基板を供給することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明一実施例の構成図、第２図は洗浄槽の他
の実施例を示す斜視図である。 １．１ａ・・・洗浄槽、２・・・洗浄液、３・・・ガラ
ス基板、４・・・セル、５・・・弁、６・・・測定手段
、７・・・記憶表示部、８・・・制御部、９・・・警報
表示部、１０・・・ポンプ、１１・・・ジャワ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）洗浄液で洗浄槽内のガラス基板を洗浄する洗浄装
   置において、前記洗浄液中の懸濁物量を測定する測定手
   段を設けることを特徴とするガラス基板の洗浄装置。
2. （２）前記測定手段が温度計、分光光度計を用いたもの
   であることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
   ガラス基板の洗浄装置。