JPS62175048U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62175048U JPS62175048U JP6139986U JP6139986U JPS62175048U JP S62175048 U JPS62175048 U JP S62175048U JP 6139986 U JP6139986 U JP 6139986U JP 6139986 U JP6139986 U JP 6139986U JP S62175048 U JPS62175048 U JP S62175048U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- rectangular waveguide
- microwave transmission
- mode
- microwaves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
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Landscapes
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
第１図は本考案のＴＥ０１１モードにおける実
施例を示す平面図、第２図は第１図図示実施例の
正面断面図、第３図はＴＥ０１１モードの電界分
布を示す図、第４図、第５図はマイクロ波の変換
部を説明するための図、第６図は境界面における
電磁界の境界条件を説明するための図、第７図は
可変短絡板を使用した例を示す図、第８図Ａ，Ｂ
は本考案のＴＥ１１１モードにおける実施例を示
す図、第９図は従来のプラズマ装置の導波管との
結合を示す平面図、第１０図は第９図の断面正面
図である。 １，１０１……導波管、２，１０２……石英板
、３，１０３……共振器、８……ガス注入管、９
……パイプ、１３……共振器冷却用パイプ、１５
……反応室、２０，１２０……磁気的結合孔、２
１，１２１……固定板、２２，１２２……ビス、
２３，１２３……短絡板、２５，２６……スペー
サ。
施例を示す平面図、第２図は第１図図示実施例の
正面断面図、第３図はＴＥ０１１モードの電界分
布を示す図、第４図、第５図はマイクロ波の変換
部を説明するための図、第６図は境界面における
電磁界の境界条件を説明するための図、第７図は
可変短絡板を使用した例を示す図、第８図Ａ，Ｂ
は本考案のＴＥ１１１モードにおける実施例を示
す図、第９図は従来のプラズマ装置の導波管との
結合を示す平面図、第１０図は第９図の断面正面
図である。 １，１０１……導波管、２，１０２……石英板
、３，１０３……共振器、８……ガス注入管、９
……パイプ、１３……共振器冷却用パイプ、１５
……反応室、２０，１２０……磁気的結合孔、２
１，１２１……固定板、２２，１２２……ビス、
２３，１２３……短絡板、２５，２６……スペー
サ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) マイクロ波を用いてプラズマを発生させる
ものにおいて、プラズマ発生部を円筒共振器で形
成すると共にマイクロ波伝送路を矩形導波管で形
成し、前記プラズマ発生部とマイクロ波伝送部と
の結合を行う前記矩形導波管の壁面に磁気的エネ
ルギーを利用した磁気的結合孔を設け、該磁気的
結合孔にマイクロ波に対して低損失材料で形成さ
れシールを設け、前記矩形導波管の一端に該矩形
導波管を短絡するための短絡板を設け、前記円筒
共振器ＴＥ０１ｎモード、ＴＥ１１ｎモード、Ｔ
Ｍ０１ｎモードのいずれかを励振させてプラズマ
を発生するようにしたことを特徴とするプラズマ
装置。 (2) 実用新案登録請求の範囲第１項記載のもの
において、上記短絡板を可動構造としたことを特
徴とするプラズマ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986061399U JPH079359Y2 (ja) | 1986-04-23 | 1986-04-23 | プラズマ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986061399U JPH079359Y2 (ja) | 1986-04-23 | 1986-04-23 | プラズマ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62175048U true JPS62175048U (ja) | 1987-11-06 |
| JPH079359Y2 JPH079359Y2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=30894700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986061399U Expired - Lifetime JPH079359Y2 (ja) | 1986-04-23 | 1986-04-23 | プラズマ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH079359Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61131454A (ja) * | 1984-11-30 | 1986-06-19 | Fujitsu Ltd | マイクロ波プラズマ処理方法と装置 |
-
1986
- 1986-04-23 JP JP1986061399U patent/JPH079359Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61131454A (ja) * | 1984-11-30 | 1986-06-19 | Fujitsu Ltd | マイクロ波プラズマ処理方法と装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH079359Y2 (ja) | 1995-03-06 |
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