JPS62172316A - 光路変更装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔目　次〕 概要 産業上の利用分野 従来の技術 発明が解決しようとする問題点 問題点を解決するための手段（第１図）作用 実施例 （α）一実施例の構成の説明（第２図）（ｂ）一実施例
の動作の説明（第３図、第４図）（Ｃ）他の実施例の説
明 発明の効果 〔概要〕 光源からの光路を反射鏡の反射によって変更する光路変
更装置において、一対の平行に向き合わせた反射鏡と、
一方の反射鏡のあおれ角！Ｉｌ整機溝機構一対の反射鏡
の水平及び垂直方向の角度可変機構とを設けることによ
って、光路の平行移動及び角度変更を簡単に調整できる
ようにしたものである。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、レーザ光源等の光源の光路を反射鏡の反射に
よって変更する光路変更装置に関し、特に一対の反射鏡
を用いて光路変更を行なう光路変更装置に関する。

反射鏡に光源からの光を当てて、光路を変更する光路変
更装置が広く利用されている。

このような光路の変更は反射鏡の角度を変えて行なうも
のであり、種々の方向、角度の光路変更が要求されてい
る。

〔従来の技術〕

例えば、第５図（ト）に示すレーザ光源ＬＢからの光を
受光器ＰＴに入射せしめ、受光器ＦＴをセンサとする光
パワーメータの検査を行なう場合には、レーザ光源ＬＢ
と受光器ＰＴとの間に光路変更装置ＬＵを設け、レーザ
光源ＬＢからの光の光路を変更して受光器ＦＴの所望の
位置にレーザ光源ＬＢの光を入射するようにしている。

この光路変更装置ＬＵとして、従来第５図◎に示す様に
支持プレート１１上に反射鏡１０を可動可能に支持し、
支持プレート１１の対称位置に設けた一対のあおり機構
１２．１３によって支持プレート１１に対する反射鏡１
０の角度を図の矢印方向にあおれるように構成していた
。

このようなあおり機構１２．１３によって、第５図０の
如く受光器ＰＴに対する２次元方向の光路位置の変更が
行なわれ、受光器ＰＴの所望の位置に光を入射させるこ
とができる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

この従来の光路変更装置１においては、あおり機構１２
．１３によって２次元方向の角度をあおることから、第
５図急に示す如く、受光器ＰＴに対する入射角は位置に
よって異なり、入射位置は変更できるものの、その位置
における入射角を任意のものに調整することができない
という問題があった。

例えば、受光器ＰＴに入射角依存特性がある時には、所
望の位置において入射角を所望のものに設定する必要が
あるが、従来の光路変更装置では入射位置の変更によっ
て入射角もこれに応じて変化してしまうという問題が生
じていた。

本発明は、入射角及び入射位置を独立に調整することの
できる光路変更装置を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

第１図は本発明の原理説明図である。

図中、第５図で示したものと同一のものは同一の記号で
示してあり、２は他方の反射鏡であり、あおり機構１２
．１３の設けられた一方の反射鏡ｌと平行に且つ反射面
が向き合わせて設けられるもの、３．４は角度可変機構
であり、各々他方の反射鏡２及び一方の反射鏡１を水平
方向及び垂直方向に回転させ、角度を可変にするもので
ある。

従って、本発明では、一対の平行反射鏡１．２の水平方
向、垂直方向の角度を可変にする角度可変機構３．４と
、一方の反射鏡１のあおり角を調整するあおり角調整機
構とが設けられている。

〔作用〕

本発明では、一対の平行反射鏡１．２が設けられ、これ
らが角度可変機構３．４によって水平及び垂直方向の角
度を可変にしているので、入射位置の２次元方向の位置
を可変とすることができる。

又、あおり角調整機構１２．１３によって一方の反射鏡
１のあおり角を調整できるので、独立に入射角を調整す
ることができる。

従って、光路を任意の位置に、任意の入射角で調整する
ことが可能となる。

〔実施例〕

（α）一実施例の構成の説明 第２図は本発明の一実施例構成図である。

図中、第１図及び第５図で示したものと同一のものは同
一の記号で示してあり、２０は他方の反射鏡であり、一
方の反射鏡１０と平行に且つ反射面が向きあって設けら
れるもの、３０はコの字形の支持プレートであり、対向
する平行な一対の面３０α、３０ｈの内側に各々一対の
反射鏡ｌＯ１２０が設けられ、他方の反射鏡２０は他方
の面３０Ａに固定され、一方の反射鏡１０は一方の面３
０αにあおり機構１２．１３によってあおり角可変に支
持される。３１はＬ字形状のガイドプレートであり、垂
直方向に直立するガイドプレート３１αは、支持プレー
ト３０の垂直方向の回動をガイドし、ガイドプレート３
１ｂは、ガイドプレート３１の後述するベースに対する
水平方向の回動をガイドするためのもの、３２は垂直角
調整つまみであり、軸３３がガイドプレート３１αを貫
通し、支持プレート３０の側面に連結され、支持プレー
ト３０を反射鏡２０の位置を支点として垂直方向に回動
せしめるためのもの、４０はベースであり、４１は水平
角調整つまみであり、軸４２がベース４０を貫通して、
ガイドプレート３１ｂに連結され、ガイドプレート３１
を水平方向に回動せしめるためのものである。

従って、ガイドプレート３１はベース４０に対し、水平
角調整つまみ４１によって水平方向に回動可能であり、
−力支持プレート３０はガイドプレート３１に対し、垂
直角調整つまみ３２によって垂直方向に回動可能である
。

支持プレート３０は、平行な対向面３０ＬＯＬ。

３０ｂに各々反射鏡１０．２０が設けられているから、
反射鏡１０．２０は水平、垂直方向の角度がつまみ３２
．４１の回転によって任意に設定される。

一方、対向面３０αには、反射鏡１０があおり機構１２
　、’１３によってあおり角可変に支持されているから
、反射鏡１０のあおり角を任意に設定できる。

（ｂ）一実施例の動作の説明 第３図及び第４図は第２図構成の動作説明図であり、第
３図は垂直方向の動作説明図、第４図は水平方向の動作
説明図である。

平行状態においては、第３図（Ａ）及び第４図（５）に
示す如く、レーザ光源ＬＢ（第５図参照）からの光は、
反射鏡２０によって反射され、更に反射鏡１０によって
反射され、平行状態で設定された角度と垂直方向の移動
ｉｔで出射する。

一方、あおり機構１２を調整すると、反射鏡１０のあお
り角が変化し、従って第３図◎、第４図◎に示す如く、
出射角がα、βとなって出射する。

反対方向の角度は、あおり機構１３の調整によって同様
に行なうことができる。

又、第３図０に示す如く、垂直角調整つまみ３２を回動
して、支持プレート３０を支点を中心に回動せしめると
、一対の反射鏡１０．２０の角度が変化し、これによっ
て垂直方向の移動量ｔＩとして変化することができ、こ
の時、入射角を変更しないで垂直方向の位置を変化でき
る。

更に、第４図０に示す如く、水平角調整っまみ４１を回
動して、ガイドプレート３１を支点を中心に回動せしめ
ると、一対の反射鏡１０．２０の水平方向の角度が変化
し、これによって水平方向の平行移動を行なうことがで
きる。

このようにして、光路の垂直、水平方向の平行移動と、
光路の角度変更とを独立に行なうことが可能となる。

（Ｃ）他の実施例の説明 上述の実施例においては、つまみ３２．４１の回動によ
って光路の平行移動を行っているが、他の周知の回動手
段を用いてもよく、又あおり機構１２．１３を反射鏡２
０に適用してもよい。

以上本発明を実施例により説明したが、本発明は本発明
の主旨に従い種々の変形が可能であり、本発明からこれ
らを排除するものではない。

〔発明の効果〕

以上説明した様に、本発明によれば、光路の平行移動と
角度設定を独立に行なうことができるという効果を奏し
、これによって所望の入射位置に所望の入射角で光路を
調整できる。又、各々独立に調整できるから、その調整
が容易であるという効果も奏し、光路変更の手間を大幅
に簡単化することも可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の詳細説明 第２図は本発明の一実施例構成図、 第３図は第２図構成の垂直方向動作説明図、第４図は第
２図構成の水平方向動作説明図、第５図は従来技術の説
明図である。 図中、１０．２０・・・反射鏡、 １２．１３・・・あおり機構、 ３．４・・・角度可変機構。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 光源からの光路を反射鏡によつて変更する光路変更装置
   において、 一対の平行に向き合わせた反射鏡（１０、２０）と、 一方の反射鏡（１０、２０）のあおれ角を調整するあお
   り機構（１２、１３）と、 該一対の反射鏡（１０、２０）の水平及び垂直方向の角
   度を可変にするための角度可変機構（３、４）とを設け
   たことを特徴とする光路変更装置。