JPS6217033A - フツ化物ガラスフアイバ用母材の製造方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の技術分野） 本発明は低損失、長尺でかつ機械強度の大きいフッ化物
ガラス光ファイバを紡糸するための母材の製造法に関す
るものである。

（従来技術とその問題点） フッ化物ガラスは２〜４μｍ帯の光フアイバ用素材とし
て注目されており、理論的には０．０Ｏ１ｄＢ／Ｋｍ程
度の超低損失が予想されている。しかしながら、現状で
はファイバ損失は最も少ないものでも６ｄＢ／Ｋｍと大
きく、また製造できるファイバ長も１００ｍ程度で短く
、ファイバ強度も１０ｋｐｓ　ｉ程度で理論値より１桁
以上も小さく、これらの原因の多くは母材製造技術の不
完全さに起因している。

従来の母材製造法には、ビルドインキヤスティング法と
ローテーショナルキャスティング法と呼ばれる方法とが
ある。

第１図はビルドインキヤスティング法を説明するための
図である。図中、１はタララドガラス融液、２は金属製
鋳型、３はクラッドガラス管、４はコアガラス融液を示
す。この方法では、まず、第１図（イ）に示すようにル
ツボ中で加熱溶融したタララドガラス融液１をガラス転
移点付近の温度に保持されている金属製鋳型２に注ぐ。

次いで、（ロ）に示すように、ガラス全体が冷却しない
うちに金属製鋳型２を傾斜させて内部のガラス融液１を
注ぎ出す。この結果、金属製鋳型２の壁面に冷却同化し
たクラッドガラス管３ができる。次いで、（ハ）に示す
ように、クラッドガラス管３の中にコアガラス融液４を
流しこみ冷却固化して、（ニ）に示すようなコアークラ
ッド構造をもつファイバ用母材とする。

第２図はローテーショナルキャスティング法を説明する
ための図である。図中Ｌ　　２．３．４は第１図の同じ
番号と同様な対象物であり、５は鋳型の蓋である。この
方法では、第２図（イ）に示すように、まず、タララド
ガラス融液１をガラス転移点付近の温度に保持されてい
る金属製鋳型２に所望の量だけ流し込む。次いで、（ロ
）に示すように即座に金属製鋳型２に蓋５をして高速で
回転させる。タララドガラス融液１は金属製鋳型２の内
壁に遠心力で拡がり、回転しながら冷却固化して、クラ
ッドガラス管３ができる。クラッドガラス管３の肉厚は
注ぎ込むタララドガラス融液１の量で制御する。次いで
、（ハ）に示すように、クラッドガラス管３の中にコア
ガラス融液４を注ぎ込み冷却固化して、（ニ）に示すよ
うなコアークラッド構造を持つファイバ用母材とする。

上記従来の方法で製造した母材から紡糸したファイバの
損失は理論値よりも２桁以上大きく、紡糸可能なファイ
バ長は１００＋程度で短く、また、ファイバの機械強度
も弱いのが現状である。これらの原因としてはガラスを
製造する原料自体の純度が十分でないことも一因である
が、母材の製造方法にも多くの問題がある。

まず、ファイバ損失が大きい理由について説明する。従
来の製造法では、いずれも一旦クラッド用ガラス管を製
造し、その中にコア用のガラス融液を注ぎ込む。ガラス
融液の温度はガラスの融点以上にする必要があり、通常
５００〜６００℃である。

フッ化物ガラスの結晶化温度は融点より低く、通常は３
５０〜４００℃である。そのため、コアガラス融液の注
入によりクラッドガラス管の内壁の温度は結晶化温度以
上に上昇し結晶化が生じる。即ち、コアークラッド界面
の平滑さが結晶の析出により乱され散乱損失が生じるこ
とになる。また、従来の製法はかなり複雑な作業を必要
とするため、人的作業に頼らざるを得なかった。そのた
め、一連の工程の作業雰囲気の制御としてはせいぜいグ
ローブボックス中に不活性ガスを流す程度しかできなか
った。そのため、雰囲気からガラス中へ水分が混入する
のを完全に防ぐことは難しく、また、仮に雰囲気からの
水分の混入を完全に防いだとしても金属製鋳型の表面に
予め付着している水分を取り除く手段は全くなかった。

また、ハロゲン系のガスは金属製鋳型を腐食するため、
このような活性ガスを使って積極的に水分を取り除くこ
ともできなかった。これらの理由により、従来の製法で
は水分を完全に除去することができず吸収損失の原因と
なっていた。

次に、従来の製法では長尺ファイバを紡糸するための大
型の母材の製造が困難な理由について説明する。従来の
製法で作られる母材の大きさは、通常、直径１０ｍφ、
長さ１００ｆｌ程度であるが、気泡等の混入があるため
実質的に使用できる長さは更に短く、紡糸できるファイ
バ長はせいぜい１０００１程度である。大型母材を製造
しにくい最大の理由は、クラッド用ガラス管にコアガラ
ス融液を注ぐ時に気泡が混入するためである。即ち、第
１図と第２図の（ハ）に示したように、クラッドガラス
管３にコアガラス融液４を注入する際に、クラフトガラ
ス管３内のガスの抜は口がないため、ガラス中に気泡と
して残留してしまう。このような気泡の残留は、クラッ
ドガラス管が長い程、また、コア径が小さい程、注入し
たコアガラス自体がガスの抜は道を塞ぐため発生し易く
なる。そのため、長尺の母材が作りにくく、また、コア
径の小さい母材程その傾向は顕著になる。

次に、従来の方法で製造した母材から紡糸したファイバ
の強度が小さい理由を説明する。ファイバの強度は、表
面に存在する傷の大きさと数に依存することは良く知ら
れているが、これらの傷の大半は母材の表面に既に存在
していた傷が原因となっている。鋳型を使う従来の製法
では、母材表面に凹凸ができるのを防げないため、通常
は表面研磨を行わなければならない。そのため、母材表
面に多数の研摩傷が発生し、紡糸したファイバの強度も
必然的に小さくなる。

次に、従来の製法ではコアークラツド径の制御が難しい
理由を説明する。第１図に示したようなビルドインキャ
スティンギ法では、ガラス転移点近傍の温度に保持した
金属製鋳型２にタララドガラス融液１を流し込み、全体
が冷却固化しないうちに中心部の融液を注ぎ出してクラ
ッドガラス管３を作る。従って、クラッドガラス管３の
肉厚は、ガラス融液１を注入してから注ぎ出すまでの時
間、ガラス融液ｌの注入時の温度、金属製鋳型２の保持
温度に依存し、これらをすべて一定に制御することは極
めて難しい。従って、このような方法ではクラッドガラ
ス管３の肉厚、内径を制御することが難しく、また、シ
ングルモードファイバ用の内径の小さいクラッドガラス
管３を製造することも困難である。このようにクラッド
ガラス管３の内径の制御が十分行えないため、当然、母
材のコアークラツド径の制御も困難である。

第２図に示したようなローテーショナルキャスティング
法ではクラッドガラス管３の肉厚は鋳型２に注入するガ
ラス融液１の量のみで制御できるため、コアークラツド
径の制御は前述のビルドインキヤスティング法程難しく
はない。しかしながら、ガラス融液１の注入を人的作業
に頼っている現状では、正確な融液量を注入することは
実際上かなり難しい問題である。また、この方法によっ
ても、シングルモードファイバ用の内径が小さく肉厚の
大きいクラッドガラス管３を製造することは難しい。即
ち、このようなクラッドガラス管３を製造するためには
鋳型２を非常な高速で回転させる必要があるが、そのよ
うな高速回転装置を実用に使うのは困難である。

以上説明したように、従来の母材製造法ではファイバ損
失の原因となるコアークラッド界面の結晶化、母材中へ
の水の混入を防ぐことができず、大型母材の製造、コア
ークラツド径の制御、シングルモードファイバ用母材の
製造が困難であり、かつ、ファイバ強度を低下させる母
材表面の傷の発生を避けることが難しく、さらに、母材
の製造工程を人的作業に軌らざるを得ないため歩留りが
悪く、工業的生産性にも乏しかった。

（発明の目的と特徴） 本発明は、上記従来の製造法の欠点を除去し、ファイバ
損失の原因となるコアークラッド界面の結晶化、母材中
への水の混入がなく、大型母材。

シングルモードファイバ用母材の製造が可能で、コアー
クラツド径の制御性も良く、更に、脱水。

脱化合物イオン、遷移金属による吸収損失の低減等のガ
ラスの精製工程と母材製造工程が一連の工程となってお
り、しかも、人的作業に頼らず機械化及び自動化が可能
なため製造の歩留りが良く、工業的生産性も良好なフッ
化物ガラスファイバ母材の製造方法及び装置を提供する
ものである。

この目的達成のために、本発明は次のように構成されて
いる。

（１）同心円状に配置され下端のノズルに移動棒の上端
を適合させた内外２個のノズル付ルツボにコア用とクラ
ッド用のガラスを各々装填した状態で該内外２個のノズ
ル付ルツボをフッ素系ガスの導入手段と排出手段とを備
えた密閉容器内に配置し、まず前記導入手段から導入さ
れ前記排出手段から排出されるフッ素系ガスの雰囲気中
でガラス成分の蒸発が著しくない範囲の高温で前記ガラ
スを溶融することにより前記フッ素系ガスと前記ガラス
に含有される酸化物、化合物イオン等の不純物を反応さ
せてこれら不純物を除去し、次いで前記ガラスが結晶化
を生じない程度の低温に該ガラスの融液を保持すること
により該ガラスに含有されるＦｅ、　Ｃｒ等の遷移金属
イオンの価数を高次の価数に変えて遷移金属による吸収
損失を低減せしめ、さらに該ガラスの粘性が該ガラスを
引き出し可能な粘度になる温度まで該ガラスの融液を冷
却し、しかる後に前記移動棒を下方に移動させることに
より前記ノズルから前記コア用ガラスと前記クラッド用
ガラスを冷却固化しながら一体化して引き出すことを特
徴とするフッ化物ガラスファイバ用母材の製造方法。

（２）コア用ガラスとクラフト用ガラスをそれぞれ装填
するための同心円状に配置され下端にノズルが配置され
た２個のノズル付ルツボと、該２個のノズル付ルツボを
加熱する手段と、前記ノズルからのガラス融液の流出防
止及び前記ノズルからのガラスの引き出しを行うように
上端が工夫され該２個のノズル付ルツボの真下に配置さ
れた上下移動棒と、フッ素系ガスの導入手段及び排出手
段とを収容した密閉容器と、前記導入手段から導入され
前記排出手段から排出されるフッ素系ガスの雰囲気中で
ガラス成分の蒸発が著しくない範囲の高温で前記ガラス
を溶融し次に、前記ガラスが結晶化しない程度の低温に
該ガラスの融液を保持した後に該ガラスの粘性が該ガラ
スを引き出し可能な粘度になる温度まで該ガラスの融液
を冷却するように前記加熱手段を制御する温度制御手段
と、その冷却した状態で前記上下移動棒を下方に移動し
て前記ノズルからフッ化物ガラスファイバ用母材を引き
出すように前記上下移動棒を駆動する駆動手段とを備え
たフッ化物ガラスファイバ用母材の製造装置。

（発明の構成） 本発明の方法とこれを実施するための装置を第３図に基
づいて説明する。図中１１はノズル付外ルツボ、１２は
クラッド用ガラス、１３はノズル行内ルツボ、１４はコ
ア用ガラス、１５は上下移動棒、１６はガラス融液流出
防止兼ガラス引き出し用治具、１７はガス導入口、１８
は密閉容器、１９は高周波コイル、２０は熱電対、２１
は制御系、２２は高周波電源、２３は上下移動棒１５の
駆動装置、２４はガス排出口である。

なお、密閉容器１８には、図示してないが正面に開閉可
能な扉があり、ルツボ１１．１３内にガラス材料を装填
する場合等に開き、動作中は密閉される。

これを動作させるには、まず、ノズル付外ルツボ１１に
クラフト用ガラス１２を、またノズル行内ルツボ１３に
コア用ガラス１４を、それぞれ装填する。ノズルの先端
は、上下移動棒１５の上端に取り付けられたガラス融液
流出防止兼ガラス引き出し用治具１６を接触させて塞い
でおく。次いで、ガス導入口１７からフッ素系ガスを導
入して密閉容器１８の内部をフッ素系ガスの雰囲気とし
、高周波コイル１９によってルツボ１１．１３を加熱し
ガラス１２．１４を一定時間溶融する。この時の溶融温
度は、ガラス成分が著しく蒸発しない範囲で、できるだ
け高温とする。次いで、ガラス融液１２．１４からの結
晶相の析出がない範囲で出来るだけ低温までガラス融液
１２゜１４の温度を下げ、一定時間保持した後ガラスの
粘性が引き出し可能な粘度になる温度までガラスを冷却
し、しかる後に上下移動棒１５を下方に移動させてノズ
ルの先端からコアガラス１２とタララドガラス１４を同
時に引き出し、冷却固化させて、フッ化物ガラスファイ
バ用母材を得る。なお、この工程における温度制御はガ
ラス１４の温度を熱電対２０によって直接検出し、制御
系２１によって高周波電源２２の出力を調節することに
より行い、ガラス１２゜１４の引き出し速度の制御は、
制御系２１により上下移動棒１５の駆動装置２３を電気
的に制御して行う。

密閉容器内を満たすフッ素系ガスは、ガラス中に不純物
として含有されるＺｒＯ，、ＢａＯなどの酸化物のフッ
化、あるいはＯＨ，ＮＨａ　、　ＮＱｓ　、　ＣＯｓ　
、　Ｓ０４などの化合物イオンの分解除去を行うために
導入するもので、例えばＮＦ３ガスを有効に使用できる
。

また、ガラスを一旦ガラス成分の蒸発が著しくない範囲
のできるだけ高温で溶融するのは、ガラス原料の溶融を
完全にするためと、ガラス原料に含有されている上記酸
化物及び化合物イオンとフッ素系ガスの反応を速やかに
行わせるためで、例えば、ＮＦ３ガスを使用した場合の
通常の溶融温度は７５０〜９５０℃、溶融時間は１時間
程度である。

次いで、ガラス融液から結晶相が析出しない範囲内で出
来るだけ低温までガラス融液の温度を低下させる理由は
、ガラス中に不純物として含有さるＦｅ、　Ｃｒ等の遷
移金属の価数を高次の価数に変え、遷移金属による吸収
損失を低減させるためである。

例えば、フッ化物ガラスファイバで最も問題となる遷移
金属イオンはＦｅ２＋イオンであるが、Ｆｅ”イオンを
Ｆｅ３＋イオンに変えれば、吸収損失は激減する。この
変化は、Ｆｅ”Ｆｔ＋　Ｆ　＝Ｆｅ”Ｆ、の反応により
、フッ素分圧が高い程、また、温度が低い程反応は右側
に進む。従って、ガラス融液の温度を低くする程Ｆｅ”
はＦｅ”に変わり易（なる。例えば、１０％ＮＦ、／Ａ
ｒガスの雰囲気下で、ガラス融液の温度を４８０〜５０
０℃に１時間程度保てば、ガラス中に含有されるＦｅは
殆どＦｅ３＋となり、その吸収損失は無視できる程度と
なる。上記のような２段階の温度工程によりガラスに含
有される不純物による吸収損失は著しく低減される。

次いで、ガラスをルツボから引き出すのに必要な粘度に
するため融液をできるだけ速やかに冷却する。ガラスの
引き出しに適した粘度は通常１０４〜１０ｂボイズ程度
であり、この粘度を示すガラス温度は３１０〜３５０℃
程度である。元来、フッ化物ガラスは結晶化を生じ易く
、結晶化を起こさせないためには６０℃／分以上の速い
冷却速度が必要とされていた。前述したビルドインキヤ
スティング法。

ローテーショナルキャスティング法などの従来の母材製
法は、この冷却速度を達成するために、金属製鋳型の使
用を余儀無くされていた。しかしながら、本発明の製法
のようにガラス中に含有される酸化物、化合物イオン等
を除去し、しかも、水分等の混入の恐れが全くないフッ
素系ガス雰囲気中で冷却した場合には、比較的安定性の
高い組成のガラスさえ使用すれば、１０℃／分程度の遅
い冷却速度でも結晶化は全く起こらないことが確認でき
た。また、この程度の冷却速度は第３図に示したような
装置で容易に達成できることも確認できた。ガラス粘度
が引き出しに適した値に達した後、上下移動棒を下方に
移動させてガラスの引き出しを行う。この時点までノズ
ルの先端はガラス融液流出防止兼ガラス引き出し用治具
１６によってガラス融液が流出しないよう塞がれている
。

第４図はガラス融液流出防止兼ガラス引き出し用治具１
６の構造例を示している。図中１１〜１６は第３図にお
ける同じ番号と同様の対象物を表わし、２５はガラス引
き出し用止溝である。フッ化物ガラス融液の粘度は高温
では水のように小さいため、僅かの空隙からでも流出し
易いが、ノズルとガラス融液流出防止兼ガラス引き出し
用治具１６の材料をともにカーボンとした場合には、ガ
ラス融液とカーボンの濡れ性が負であるため、第４図に
示したように単に平面接触させておくだけでもガラス融
液が洩れることは全くない。しかも、ガラス１２゜１４
を引き出す時には、止めａ２５の内部に入っているガラ
ス１２が引っかかるため、ガラス１２とガラス融液流出
防止兼ガラス引き出し用治具１６は離れることなく引き
出せる。上下移動棒１５を下方に移動させていくと、ガ
ラス１２．１４は自重によりノズルから押し出されてく
る。従って、ガラスが押し出される量に従って上下移動
棒１５を下方に移動させてゆけば、一定の径の母材を得
ることができる。

ガラスが押し出される量は、ガラスの粘度とノズル端か
らガラス面までの高さに反比例する。従って、ガラス温
度を一定に保つことによりガラスの粘度を一定とし、予
め計算しておいたガラス面の高さの時間変化に従い上下
移動棒１５の移動速度を制御すれば、母材の径の制御は
容易である。また、外ルツボ１１と内ルツボ１３のノズ
ル径の比を変えることにより、コアークラツド径の制御
を容易に行うことができ、シングルモードファイバ用母
材のようにコア径の小さい母材の製造も問題がない。

大型母材を製造する場合には、単に大型のルツボを用い
てガラス量を増やせば良い。また、本発明の方法ではコ
アガラス１４とタララドガラス１２は常に同じ温度に保
たれているため、これらの界面で特に結晶化が生じる恐
れはない。また、本発明の方法では、鋳型を使ってガラ
スを冷却するのではなく、ノズル端からガラスを引き出
し自由空間で冷却固化する。そのため、ファイバ強度を
低下させる母材表面の傷が少なく、高強度のファイバを
紡糸することができる。更に、本発明の方法は、基本的
にルツボの温度制御と上下移動棒の移動速　　、度の制
御の２つにより母材を製造するもので、複雑な人的作業
を必要とせず、また、上記２つの制御は容易に自動化が
行える種類のものである。従って、工業的生産性が良好
であり、製造の歩留りも良い。

（実施例） コアガラスとして、５３ＺｒＦａ−２０８ａＦｚ　　２
ＯＮａＦ−４ＬａＦｔ　　３Ａ　ｊ２　Ｐ３．　タララ
ドガラスとして３３ＺｒＦ４−２０ＨｆＦ４１７ＢａＦ
ｚ　　２３ＮａＦ　　４ＬａＦｚ　　３Ａ　ｊｉ！　Ｆ
、、の組成のガラスを用い、第３図に示した装置を用い
て母材の製造を行った。カーボン製のノズル付２重ルツ
ボに上記組成のコア及びクラッドガラス用原料を約２５
０ｇ装填し、１０％ＮＦｓ／Ａｒガスを約５Ｊ／分の流
量で流しながら、まず、８００℃で１時間ガラスを溶融
した。次いで、融液温度を５００℃に冷却して１時間保
持した後、約り５℃／分の冷却速度で３１５°Ｃまで冷
却し、約１０鶴分の速度でノズルから引き出した。その
結果、クラツド径１５ｎφ、コア径３龍φ、長さ１５０
ｆｌのステップ型のファイバ母材を製造できた。母材中
には気泡などの混入が全くなく、また、顕微鏡観察にお
ていも結晶相の析出。

母材表面の傷はみられなかった。

（発明の効果） 以上説明したように、本発明のフッ化物ガラスファイバ
用母材の製造方法及び装置はファイバ損失の原因となる
コアークラッド界面の結晶化、母材中への水の混入がな
く、コアークラツド径の制御性が良く、シングルモード
ファイバ用母材、大型母材の製造が可能で、ファイバ強
度を低下させる母材表面の傷が少なく、また、脱水、脱
化合物イオン、遷移金属による吸収損失の低減等のガラ
スの精製工程と母材製造工程が一連の工程となっており
、さらに、人的作業に頼らず機械化及び自動化が容易な
ため製造の歩留り、工業的生産性が良い。従って、光通
信等に使用される伝送損失が少なく、長尺、高強度、低
コストのフッ化物ガラス光ファイバの製造ができる効果
がある。

【図面の簡単な説明】

第１図（イ）（ロ）（ハ）（ニ）は従来のフッ化物ガラ
スファイバ用母材の製造法の１つであるビルドインキヤ
スティング法を説明するための断面略図、第２図（イ）
（ロ）（ハ）（ニ）は従来の製造法の他の一例であるロ
ーテーショナルキャスティング法を説明するための断面
略図、第３図は本発明の製造方法と実施のための装置を
説明するための配置系統図、第４図は本発明の製造方法
と実施のための装置においてルツボからのガラス融液の
流出防止とガラスの引き出しを行うために用いられる治
具の構造を説明するための断面図である。 １・・・タララドガラス融液、２・・・金属製鋳型、３
・・・クラッドガラス管、４・・・コアガラス融液、５
・・・鋳型の蓋、１１・・・ノズル付外ルツボ、１２・
・・クラッド用ガラス、１３・・・ノズル行内ルツボ、
１４・・・コア用ガラス、１５・・・上下移動棒、１６
・・・ガラス融液流出防止兼ガラス引き出し用治具、１
７・・・ガス導入口、１８・・・密閉容器、１９・・・
高周波コイル、２０・・・熱電対、２１・・・制御系、
２２・・・高周波電源、２３・・・上下移動棒１５の駆
動装置、２４・・・ガス排出口、２５・・・ガラス引き
出し用止溝。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）同心円状に配置され下端のノズルに移動棒の上端
   を適合させた内外２個のノズル付ルツボにコア用とクラ
   ッド用のガラスを各々装填した状態で該内外２個のノズ
   ル付ルツボをフッ素系ガスの導入手段と排出手段とを備
   えた密閉容器内に配置し、まず前記導入手段から導入さ
   れ前記排出手段から排出されるフッ素系ガスの雰囲気中
   でガラス成分の蒸発が著しくない範囲の高温で前記ガラ
   スを溶融することにより前記フッ素系ガスと前記ガラス
   に含有される酸化物、化合物イオン等の不純物を反応さ
   せてこれら不純物を除去し、次いで前記ガラスが結晶化
   を生じない程度の低温に該ガラスの融液を保持すること
   により該ガラスに含有されるＦｅ、Ｃｒ等の遷移金属イ
   オンの価数を高次の価数に変えて遷移金属による吸収損
   失を低減せしめ、さらに該ガラスの粘性が該ガラスを引
   き出し可能な粘度になる温度まで該ガラスの融液を冷却
   し、しかる後に前記移動棒を下方に移動させることによ
   り前記ノズルから前記コア用ガラスと前記クラッド用ガ
   ラスを冷却固化しながら一体化して引き出すことを特徴
   とするフッ化物ガラスファイバ用母材の製造方法。
2. （２）コア用ガラスとクラッド用ガラスをそれぞれ装填
   するための同心円状に配置され下端にノズルが配置され
   た２個のノズル付ルツボと、該２個のノズル付ルツボを
   加熱する手段と、前記ノズルからのガラス融液の流出防
   止及び前記ノズルからのガラスの引き出しを行うように
   上端が工夫され該２個のノズル付ルツボの真下に配置さ
   れた上下移動棒と、フッ素系ガスの導入手段及び排出手
   段とを収容した密閉容器と、前記導入手段から導入され
   前記排出手段から排出されるフッ素系ガスの雰囲気中で
   ガラス成分の蒸発が著しくない範囲の高温で前記ガラス
   を溶融し次に、前記ガラスが結晶化しない程度の低温に
   該ガラスの融液を保持した後に該ガラスの粘性が該ガラ
   スを引き出し可能な粘度になる温度まで該ガラスの融液
   を冷却するように前記加熱手段を制御する温度制御手段
   と、その冷却した状態で前記上下移動棒を下方に移動し
   て前記ノズルからフッ化物ガラスファイバ用母材を引き
   出すように前記上下移動棒を駆動する駆動手段とを備え
   たフッ化物ガラスファイバ用母材の製造装置。