JPS62168636U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62168636U JPS62168636U JP5690186U JP5690186U JPS62168636U JP S62168636 U JPS62168636 U JP S62168636U JP 5690186 U JP5690186 U JP 5690186U JP 5690186 U JP5690186 U JP 5690186U JP S62168636 U JPS62168636 U JP S62168636U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- gas inlet
- way valves
- pipe connected
- outlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第1図は本考案の実施例を示す断面図、第2図
は従来例を示す断面図である。 1…反応管、2…ガス導入管、3…ガス排出管
、10…フイルタ、11…バイパス路。
は従来例を示す断面図である。 1…反応管、2…ガス導入管、3…ガス排出管
、10…フイルタ、11…バイパス路。
Claims (1)
- ガス導入口及びガス排出口を有する反応管、上
記ガス導入口に接続されたガス導入管、上記ガス
排出口に接続されたガス排出管、上記ガス導入口
近傍のガス導入管に離間して挿入された第1、第
2の三方バルブ、該三方バルブ間に上記ガス導入
管と並列に接続され、中間にフイルタを有するバ
イパア路を備えたことを特徴とする気相成長装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5690186U JPS62168636U (ja) | 1986-04-16 | 1986-04-16 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5690186U JPS62168636U (ja) | 1986-04-16 | 1986-04-16 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62168636U true JPS62168636U (ja) | 1987-10-26 |
Family
ID=30886121
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5690186U Pending JPS62168636U (ja) | 1986-04-16 | 1986-04-16 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62168636U (ja) |
-
1986
- 1986-04-16 JP JP5690186U patent/JPS62168636U/ja active Pending