JPS62168558U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62168558U JPS62168558U JP5625286U JP5625286U JPS62168558U JP S62168558 U JPS62168558 U JP S62168558U JP 5625286 U JP5625286 U JP 5625286U JP 5625286 U JP5625286 U JP 5625286U JP S62168558 U JPS62168558 U JP S62168558U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resonant cavity
- microwave
- air
- microwave resonant
- lamp
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 3
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Description
第１図はこの効果の一実施例を示す断面図、第
２図は従来のマイクロ波放電光源装置を示す断面
図である。 図において、１はマグネトロン、３は導波管、
５はマイクロ波共振空胴、６は空胴壁面、８は給
電口（第１の送風口）、９はランプ、１６はカツ
トオフパイプ（第２の送風口）である。なお、各
図中同一符号は同一または相当部分を示す。
２図は従来のマイクロ波放電光源装置を示す断面
図である。 図において、１はマグネトロン、３は導波管、
５はマイクロ波共振空胴、６は空胴壁面、８は給
電口（第１の送風口）、９はランプ、１６はカツ
トオフパイプ（第２の送風口）である。なお、各
図中同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 導波管から給電口を通してマイクロ波が給電さ
れ、少なくとも壁面の一部に光透過性部材を有す
るマイクロ波共振空胴、このマイクロ波共振空胴
内に配設された球形のランプ、このランプを空冷
により冷却するものにおいて、上記給電口を、上
記ランプの下部に向けて冷却風を送風する第１の
送風口とし、かつ上記第１の送風口よりの送風圧
より高圧の冷却風を上記ランプの側部から上部に
わたる方向に向け送風する複数の第２の送風口を
上記マイクロ波共振空胴の壁面に設けたことを特
徴とするマイクロ波放電光源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5625286U JPS62168558U (ja) | 1986-04-15 | 1986-04-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5625286U JPS62168558U (ja) | 1986-04-15 | 1986-04-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62168558U true JPS62168558U (ja) | 1987-10-26 |
Family
ID=30884900
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5625286U Pending JPS62168558U (ja) | 1986-04-15 | 1986-04-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62168558U (ja) |
-
1986
- 1986-04-15 JP JP5625286U patent/JPS62168558U/ja active Pending
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