JPS62159480A - 圧電アクチユエ−タ - Google Patents
圧電アクチユエ−タInfo
- Publication number
- JPS62159480A JPS62159480A JP61000988A JP98886A JPS62159480A JP S62159480 A JPS62159480 A JP S62159480A JP 61000988 A JP61000988 A JP 61000988A JP 98886 A JP98886 A JP 98886A JP S62159480 A JPS62159480 A JP S62159480A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- divided
- piezoelectric member
- phenomenon
- present
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 9
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims abstract description 6
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 241001494479 Pecora Species 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は圧電アクチュエータに閃する。
本発明は圧電アクチュエータにおいて、圧電体を非圧電
体で分割することにより隣接する圧電体の圧電現象の影
響を受けず分割された圧電体のみの圧電現象を容易に取
り出すものである。
体で分割することにより隣接する圧電体の圧電現象の影
響を受けず分割された圧電体のみの圧電現象を容易に取
り出すものである。
停剣r try n−ぺIPマカ菰−〒−Jl叶 査A
ヴσ)! ”) cmリング状圧電素子に複数個の電極
を配置し厚み方向へポーリングをしたものだった。
ヴσ)! ”) cmリング状圧電素子に複数個の電極
を配置し厚み方向へポーリングをしたものだった。
また第7図のように分極方向の異なる圧電素子を複数個
貼り合せたものであった。
貼り合せたものであった。
しかし前述の従来技術では、隣接する圧電体に印加電界
が漏れ他極の圧電現象に複雑な影響を与えていた。また
複数個貼り合わせた物は貼り合わせ精度および隙間の管
理が難かしく組立工数及びコストが高くまた量産性が悪
いという問題点を有する。そこで本発明はこのような問
題点を解決するもので、その目的とするところは、隣接
する圧電体のEE電現象を妨たけることなくかつ量産性
を提供するところである。
が漏れ他極の圧電現象に複雑な影響を与えていた。また
複数個貼り合わせた物は貼り合わせ精度および隙間の管
理が難かしく組立工数及びコストが高くまた量産性が悪
いという問題点を有する。そこで本発明はこのような問
題点を解決するもので、その目的とするところは、隣接
する圧電体のEE電現象を妨たけることなくかつ量産性
を提供するところである。
本発明の圧電アクチュエータは、電界を印加すると圧電
現象を示す圧電体を非圧電体で分割したことを特徴とす
る。
現象を示す圧電体を非圧電体で分割したことを特徴とす
る。
第1図は本発明の平面図、第2図は本発明の側面図、第
6図は本発明の製造工程図、第4.5図は他の実施例の
平・側面図を示す。なお同一番号は同一部品を示す。
6図は本発明の製造工程図、第4.5図は他の実施例の
平・側面図を示す。なお同一番号は同一部品を示す。
第1.2図より電界を印加すると圧電現象を示す。例え
ばチタン酸バリウム等で出来ているリングの圧電体1は
、圧電体1の法線方向へ複数の伺えばガラス等で出来て
いる。非圧電体2を配置している。これより複数個に分
割され、また圧電体1の両端面には導通処理3を施こし
である。
ばチタン酸バリウム等で出来ているリングの圧電体1は
、圧電体1の法線方向へ複数の伺えばガラス等で出来て
いる。非圧電体2を配置している。これより複数個に分
割され、また圧電体1の両端面には導通処理3を施こし
である。
第3図より本発明による1つの圧電アクチュエータの製
造工程を説明する。円柱状に仮成形された圧電体1に融
点の等しい非圧電体2を練り込み又は差し入れ本成形を
する。次に例えば電気炉で焼成し、円柱状の圧電体1を
円筒状に切シ抜き、薄い円板状に切断する。次に複数個
に分割された圧電体1の両面に導通処理5を施こし、高
電圧を厚み方向に印加しポーリングを行なう。なお矢印
はポーリング方向を示す。以上の工程にて圧電アクチュ
エータは完成するが、導通処理部3は焼成して施こして
も良く、非圧電体2は薄板状の物でも粉末状の物でも良
い。
造工程を説明する。円柱状に仮成形された圧電体1に融
点の等しい非圧電体2を練り込み又は差し入れ本成形を
する。次に例えば電気炉で焼成し、円柱状の圧電体1を
円筒状に切シ抜き、薄い円板状に切断する。次に複数個
に分割された圧電体1の両面に導通処理5を施こし、高
電圧を厚み方向に印加しポーリングを行なう。なお矢印
はポーリング方向を示す。以上の工程にて圧電アクチュ
エータは完成するが、導通処理部3は焼成して施こして
も良く、非圧電体2は薄板状の物でも粉末状の物でも良
い。
第4・5図より他の実施例を示す。本実施例は前記圧電
アクチュエータのポーリング方向と導通処理部3が異な
る物である。本実施例は隣接する圧電体1のポーリング
方向が厚み方向に対し相反するように配置されている。
アクチュエータのポーリング方向と導通処理部3が異な
る物である。本実施例は隣接する圧電体1のポーリング
方向が厚み方向に対し相反するように配置されている。
また導通処理部5は表側は各分割部分ごとに施こされ、
裏側は一つの極に成るように導通が施こされている。
裏側は一つの極に成るように導通が施こされている。
導通処理部3である電極の表裏に電界を印加することに
より分割された圧電体1のみが圧電現象を示す。
より分割された圧電体1のみが圧電現象を示す。
なおボー″リング方向と導通処理部は前記実施例と異な
っても良い。またリング状だけでなく異形状の物でもか
まわない。
っても良い。またリング状だけでなく異形状の物でもか
まわない。
以上述べたように本発明によれば、圧電体を非圧電体で
分割することにより、riA接する圧電体1の圧電現象
の影響を受けずに分割された圧電体1のみの圧電現象を
容易に取り出すことができる。
分割することにより、riA接する圧電体1の圧電現象
の影響を受けずに分割された圧電体1のみの圧電現象を
容易に取り出すことができる。
またポーリング方向を分割された部分のみに行なうこと
が出来るため、隣接する圧電体のポーリング方向の相反
する圧電アクチュエータも一部品で構成することが出来
、量産性が大幅に向上する。
が出来るため、隣接する圧電体のポーリング方向の相反
する圧電アクチュエータも一部品で構成することが出来
、量産性が大幅に向上する。
以上のことより本発明は今後圧電アクチュエータにおい
て必要不可欠な構造となる。
て必要不可欠な構造となる。
第1図は、本発明の実施例の平面図
第2図は、本発明の実施例の側面図
第5図は、本発明の実施例の製造工程図第4図は、本発
明の他の実施例の平面図第5図は、本発明の他の実施例
の側面図第6図(α)、(b)は、従来例の平面図と側
面図 第7図(α)、(b)は、他の従来例の平面図と側面図 1・・・・・・圧電体 2・・・・・・非圧電体 5・・・・・・電極 348I! す〉アガJa電8Sの手命1m 第1図 ゛)〉つ゛、I入1(1さの服識1り 第2図 某立工週1図 τ二3図 リシつネに三重1東5の羊面回 第4図 +1〉フ゛釈圧1聾?11G11様(1長0第5図 健/)1)ンつλに丁L(1ゴ15t>−’rd目1力
第6図(α) 泉水ハ+) 〉’)#ゼ;“紅シタn、)fl )貨h
iltハ第6図(ビ)
明の他の実施例の平面図第5図は、本発明の他の実施例
の側面図第6図(α)、(b)は、従来例の平面図と側
面図 第7図(α)、(b)は、他の従来例の平面図と側面図 1・・・・・・圧電体 2・・・・・・非圧電体 5・・・・・・電極 348I! す〉アガJa電8Sの手命1m 第1図 ゛)〉つ゛、I入1(1さの服識1り 第2図 某立工週1図 τ二3図 リシつネに三重1東5の羊面回 第4図 +1〉フ゛釈圧1聾?11G11様(1長0第5図 健/)1)ンつλに丁L(1ゴ15t>−’rd目1力
第6図(α) 泉水ハ+) 〉’)#ゼ;“紅シタn、)fl )貨h
iltハ第6図(ビ)
Claims (1)
- 電界を印加すると圧電現象を示す圧電体を非圧電体で
分割したことを特徴とした圧電アクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61000988A JPS62159480A (ja) | 1986-01-07 | 1986-01-07 | 圧電アクチユエ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61000988A JPS62159480A (ja) | 1986-01-07 | 1986-01-07 | 圧電アクチユエ−タ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62159480A true JPS62159480A (ja) | 1987-07-15 |
Family
ID=11488977
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61000988A Pending JPS62159480A (ja) | 1986-01-07 | 1986-01-07 | 圧電アクチユエ−タ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62159480A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4882078A (en) * | 1987-12-04 | 1989-11-21 | Mitsubishi Kasei Corporation | Piezoelectric ceramic composition for actuators |
-
1986
- 1986-01-07 JP JP61000988A patent/JPS62159480A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4882078A (en) * | 1987-12-04 | 1989-11-21 | Mitsubishi Kasei Corporation | Piezoelectric ceramic composition for actuators |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4649313A (en) | Piezoelectric displacement element | |
US4978881A (en) | Piezoelectric actuator of lamination type | |
JPH04159785A (ja) | 電歪効果素子 | |
US10784434B2 (en) | Piezoelectric element | |
JPH11195820A (ja) | 圧電アクチエータ | |
CN110098317A (zh) | 层叠压电陶瓷部件和压电器件 | |
JPH0730165A (ja) | 積層型圧電体素子 | |
JPS62159480A (ja) | 圧電アクチユエ−タ | |
US20230329118A1 (en) | Piezoelectric driving element | |
JP2645832B2 (ja) | たて効果型モノモルフ素子及びその駆動方法 | |
JPH0394487A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JPH0677550A (ja) | 積層圧電素子及びその製造方法並びに分極処理方法、及び超音波モータ | |
JPH03183371A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
JP2665950B2 (ja) | 円環状圧電振動子の製造方法 | |
KR20050032116A (ko) | 압전 액추에이터 | |
JPH0334383A (ja) | 積層セラミックス圧電アクチュエータ | |
JP2844729B2 (ja) | 圧電性傾斜機能素子及びその製造法 | |
CN111463343B (zh) | 一种适用于压电单晶材料的极化方法 | |
JPH03112376A (ja) | ねじり圧電素子およびその分極方法 | |
JPH09148638A (ja) | 積層圧電アクチュエータおよびその製造方法 | |
JPS6316685A (ja) | 電歪効果素子 | |
JPH04145674A (ja) | 電歪効果素子及びその製造方法 | |
JPH114025A (ja) | 圧電セラミックス素子 | |
JPH03274778A (ja) | クワドロモルフアレー素子およびその製造方法 | |
JP2910095B2 (ja) | 圧電素子及び圧電素子の製造方法 |