JPS6215843A - 低温冷媒用液送管 - Google Patents

低温冷媒用液送管

Info

Publication number
JPS6215843A
JPS6215843A JP60154822A JP15482285A JPS6215843A JP S6215843 A JPS6215843 A JP S6215843A JP 60154822 A JP60154822 A JP 60154822A JP 15482285 A JP15482285 A JP 15482285A JP S6215843 A JPS6215843 A JP S6215843A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pipe
tube
low
temperature refrigerant
piping
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60154822A
Other languages
English (en)
Inventor
Koichiro Kotani
小谷 紘一郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP60154822A priority Critical patent/JPS6215843A/ja
Publication of JPS6215843A publication Critical patent/JPS6215843A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16LPIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L59/00Thermal insulation in general
    • F16L59/14Arrangements for the insulation of pipes or pipe systems
    • F16L59/16Arrangements specially adapted to local requirements at flanges, junctions, valves or the like

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Thermal Insulation (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 低温冷媒を流送する第1の管と、該第1の管を内包し真
空排気される第2の管と、該第2の管と第1の管との間
のスペーサになる第3の管とによって構成することによ
ってその切断端部の機械加工性を高め、簡単な工具によ
りその切断端部における第1の管若しくは第1の管及び
第2の管の端部にそれぞれの気密接続手段を形成して、
小面積内での配管の自由度を向上する。
〔産業上の利用分野〕
本発明は低温冷媒循環用の液送管に係り、特に高電子移
動度トランジスタ(High Electron Mo
bility Transistor −HEMT)を
用いて構成されるHEMTIC等のコンピュータ内蔵を
前提とした低温冷媒用液送管に関する。
シリコンの100倍以上の高電子移動度が得られ超高速
動作が可能な高電子移動度トランジスタ(HEMT)が
開発され、これを用いたH E M T−ICがコンピ
ュータの超高速化を実現する手段として、注目されてい
る。
しかしHEMT−I Cは、上記超高速性能を発揮せし
めるために絶対温度で77〜80°に程度の低温に冷却
する必要がある低温冷却型素子であり、該素子のコンピ
ュータ実装を可能にするためには熱損失が少な(冷媒が
供給でき、且つガス配管のように狭い場所で自在に配管
できる配管材料即ち低温冷媒液送管が要望される。
〔従来の技術〕
第9図は従来の低温冷媒用液送管の模式縦断面図で、図
中、21は冷媒を流送するフテンレス・パイプ、22は
軟質プラスチック製外皮、23はプラスチック製外皮を
張るコイル状金属梁、24はプラスチック製外皮に包ま
れる領域25を排気する真空バルブを示す。
かかる従来の低温冷媒用液送管を用いて低温冷媒の配管
を行う際には、個々の直線部毎に同図のような単位液送
管26を形成し、第10図に示す配管模式図のように、
該単位液送管26を任意の形状に接続する方法が用いら
れていた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
然し上記従来方法においては、 i)単位液送管26を形成するのに非常に手間がかかる
、 ii)接続部27は溶接になるため例えば低温冷却型素
子冷却用のパッケージ28等を配管の途中に挿入した際
その取り外しが困難である、 iii )接続部27が溶接になるためその上には真空
保温部25が存在し得す、その部分に着霜し配管が形成
される装置の内部を濡らしてしまう、iv)小型化が困
難であり、配管スペースが大きくなる、 等の問題があり、上記従来の低温冷媒用液送管を用いて
HEMT−I C等の低温冷却型素子をコンピュータに
実装することは困難であった。
〔問題点を解決するための手段〕
第1図は本発明の一実施例を示す縦断面図(al及び横
断面図(b)で、第2図は本発明の異なる実施例を示す
縦断面図である。
上記問題点はこれらの図に示すように、内部を低温冷媒
が流送される第1の管1.101と、該第1の管1.1
01に該第1の管1.101の軸に沿って被せられた第
2の管2.102と、該第1の管1,101と第2の管
2,1σ2の間に嵌入され、該第1の管1,101が該
第2の管2,102の内面に直に接しないように保持す
る複数の第3の管3とを有し、該第3の管3の内部を含
む該第1の管1,101と第2の管2,102との間隙
部4が真空に排気される本発明による低温冷媒用液送管
、及び上記低温冷媒用液送管の切断端部5における第1
の管1.101の切断端部及び第2の管2.102の切
断端部の一方若しくは両方に、それぞれの気密接続手段
7,107. 6の何れかが形成されてなる本発明によ
る低温冷媒用液送管によ−って解決される。
〔作 用〕
本発明の低温冷媒用液送管は、低温冷媒を流送する第1
の管と、該第1の管を内包し真空排気される第2の管と
、該第2の管と第1の管との間のスペーサとなり且つ第
2の管の機械的強度を増す第3の管とによって構成する
ことによって切断部の機械加工性を高め、その切断部に
第1の管と第2の管のそれぞれの気密接続機構を、切断
の都度、端部の簡単な機械加工によって形成するもので
ある。かくて低温冷媒用液送管の単位長さの短縮が図れ
、且つ配管の自由度が大幅に向上して高密度配管が可能
になり、更には配管の部分的取り外しが極めて容易にな
る。
〔実施例〕
一以下本発明を、第1図に示す本発明の第1の実施例の
縦断面図(a)及び横断面図(b)、第2図乃至第4図
に示す第2乃至第4の実施例の縦断面図、第5図に示す
接続状態の模式縦断面図、第6図乃至第8図に示す本発
明の変形例の横断面図(al及び縦断面図(blを用い
具体的に説明する。
全回を通じ同一対象物は同一符合で示す。
第1図(al及び(b)は本発明の低温冷媒液送管及び
その切断端末部の一構造例を示す縦断面図及びA−A矢
視横断面図である。
本発明の低温冷媒液送管は例えば同図に示すように、熱
抵抗の低い電気銅よりなる低温冷媒流送用の第1の管1
と、該第1の管1に所定の間隙部4を持って被せられた
ステンレス等よりなる第2の管2と、上記第1の管lが
第2の管2の内壁に接近しないように該第1の管1と第
2の管との間に嵌入されたステンレス等からなり所定の
長さを有する複数本(3本以上が望ましい)の第3の管
3とによって構成され、配管が完成した状態で第3の管
3の内部を含む第2の管2と第1の管1の間隙部4は真
空に排気されてなっている。
そして配管形成の際に切断した切断端部における第1の
管lの端部には、例えばダイス等により     1雄
テーパ状の気密接続手段7が形成され、第2の管の端部
は例えば切断した侭のストレート状接続端部106とす
る。
なお接続の際上記接続端部と対向する他の低温冷媒流送
管における、第1の管の接続端部には雌テーパ状の気密
接手段が形成され、第2の管の端部には、ねじ状の気密
接続手段が形成される。
以下に実施例として示すジヨイント類はその例である。
第2図は第1の管101及び第2の管102が一方向に
延在し、第1の管101のそれぞれの端部に雌テーパ状
気密接続手段107が形成され、第2の管102のそれ
ぞれの端部に雄ねじ状気密接続手段6が形成されたスト
レート・ジヨイントである。このジヨイントは配管回路
の形成、配管の延長等に用いられる。
また第3図に示したのは、第1の管101及び第2の管
102が共に丁字形に形成され、第1の管101のα、
β、γの3方向の端部に雌テーパ状気密接続手段107
がそれぞれ形成され、第2の管102のα、β、γの3
方向の端部に雄ねじ状気密接続手段6がそれぞれ形成さ
れた丁字形ジヨイントの例である。このジヨイントは主
として配管回路を形成する際に用いられる。
そしてまた第4図に示したのは、第2の管102が丁字
形に形成され、第1の管101が第2の管の内部にα方
向の開口部からβ方向の開口部に向かって一方向にのみ
延在し、第1の管101の両端部にそれぞれ雌テーパ状
気密接続手段107が形成され、第2の管102の3方
向の端部にそれぞれ雄ねじ状気密接続手段6が形成され
た変形丁字形ジヨイントの例である。このジヨイントは
、主として配管システムを真空装置に接続する際に用い
られる。
第5図は本発明の液送管のフィッティングの状態即ち接
続方法を示す、ストレート・ジヨイントの例である。
即ち液送管11側の第1の管1の雄テーベ面7及びスト
レート・ジヨイント12側の第1の管101の雌テーパ
面107にインジウム等の低融点軟質半田13を被着し
、液送管11の第2の管2上に袋ナツト14を被せ、該
袋ナツト14内に楔状金属リング15をはめ、該液送管
11の該端部と該ストレート・ジヨイント12の該端部
を150〜200°C程度の温度に加熱し圧接しながら
、ストレート・ジヨイント12の雄ねじ状気密接続手段
6に前記袋ナツト14を締めつける。
ここでジヨイント12における第2の管102の内径は
、液送管11の第2の管2の外径より僅かに大きく形成
され、第2の管2が第2の管102内に押し込まれた状
態になっているので、上記袋ナツト14の締めつけによ
って、前記楔状金属リング15は圧されて液送管11側
の第2の管2とストレート・ジヨイント12側の第2の
管102との間に食い込んでこれら第2の管同士を気密
に接続する。
また液送管11側の第1の管1の雄テーパ面7とストレ
ート・ジヨイント12側の第1の管101の雌テーパ面
107とはインジウム等の低融点軟質半田コ 14によって気密に半田ずけされる。
なお取り外しの際は、前記温度に加熱した状態で袋ナツ
トを弛めればよい。
以上の実施例において、 第2の管2或いは102に、従来からガス配管に用いら
れている外形3/8 in或いは1/2in等の標準寸
法のステンレス管を用いれば配管が廉価で形成できる利
点を生ずる。なお場合によってはプラスチック・パイプ
も用いられる。
また、低温冷媒を流送する第1の管1あるいは101に
は、1/4in程度の電気鋼管が通常用いられる。
また第3の管3は第2の管2 (102)と第1の管1
 (101)の間隙部に固く嵌入しスペーサとしての効
果を果たす適切な外形に選ばれる。
第6図乃至第8図の横断面図(a)と縦断面図(blに
示したのは、硬質ビニール等のプラスチック・パイプを
保温管に用いる際の本発明の異なる変形例である。
これらの図において、31はプラスチック・パイプ、3
2はガイド・パイプ、33は補強パイプ、34は補強梁
、35は摺動板、36は特に銅材等熱抵抗の低い金属材
料よりなる冷媒管支持管、37は溶接若しくはろう付は
部、38は真空排気される部分を示している。
そして上記構造において、補強パイプ33若しくは補強
梁34と冷媒管支持管36とは図示のように溶接若しく
はろう付けされているが、補強パイプ33若しくは補強
梁34とガイド・パイプ32との接触面は固着されない
ので、上記冷媒管支持管36を含む補強部はガイド・パ
イプ32内の所望の位置に摺動配設し得る。
以上実施例に示したように本発明に係わる低温冷媒液送
管は、通常用いられる高圧ガス配管用の管を用い、高圧
ガス配管の接続機構と同様な機構によって、第1の管即
ち低温冷媒流送用配管、及びその周囲の第2の管即ち保
温用真空配管をそれぞれ気密に接続することができる。
従って低温冷媒配管の回路を高密度に形成することがで
き、且つ配管の接続作業も極めて容易になるので低温冷
却用素子等を搭載しこれを冷却する素子搭載パッケージ
の着脱が短時間で容易に行えるようになる。
更にまたジヨイント部も総て第2の管即ち保温用真空配
管で覆われるので着霜がなく、装置内の水滴による汚染
が防止される。
〔発明の効果〕
以上説明のように本発明の低温冷媒用液送管によれば、
配管が極めて高密度に形成でき、該配管回路内に接続さ
れる冷却素子搭載用パンケージの着脱も短時間で容易に
行なえ、且つ配管のジヨイント部に着霜して装置内を汚
染することがなくなるので、HEMT等超高速動作速度
を有する低温冷却型素子のコンピュータへの実装が可能
になり、コンピュータの超高速化に効果を生ずる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の低温冷媒液送管の第1の実施例を示す
縦断面図(a)及び横断面図(b)、第2図乃至第4図
は同第2乃至第4の実施例を示す縦断面図、 第一5図は同接続状態を示すの模式縦断面図、第6図乃
至第8図は本発明の異なる変形例を示第10図は従来構
造による冷媒配管の模式図である。 図において 1.101は第1の管(冷媒流送用)、2.102は第
2の管(真空保温用)、3は第3の管(スペーサ用)、 4は第1の管と第2の管の間隙部、 5は冷媒液送管の切断端部、 6はねじ状気密接続手段、 7は雄テーパ状気密接続手段、 Cmテーパ面)、 107は雌テーパ状気密接続手段、 (雌テーバ面)、 11は液送管、 12はストレート・ジヨイント、 13は低融点半田、 14は袋ナツト、 15は樹状金属リング を示す。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、内部を低温冷媒が流送される第1の管(1)(10
    1)と、 該第1の管(1)(101)に該第1の管(1)(10
    1)の軸に沿って被せられた第2の管(2)(102)
    と、該第1の管(1)(101)と第2の管(2)(1
    02)の間に嵌入され、該第1の管(1)(101)が
    該第2の管(2)(102)の内面に直に接しないよう
    に保持する複数の第3の管(3)とを有し、 該第3の管(3)の内部を含む該第1の管(1)(10
    1)と第2の管(2)(102)との間隙部(4)が真
    空に排気されることを特徴とする低温冷媒用液送管。 2、上記低温冷媒用液送管の切断端部(5)における第
    1の管(1)(101)の切断端部及び第2の管(2)
    (102)の切断端部の一方若しくは両方に、それぞれ
    の気密接続手段(7)(107)若しくは(6)が形成
    されてなることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
    の低温冷媒用液送管。 3、上記第1の管(101)及び第2の管(102)が
    共にT字形に形成され、 該第1の管(101)及び第2の管(102)の各々の
    端部にそれぞれの気密接続手段(107)若しくは(6
    )が形成されてなることを特徴とする特許請求の範囲第
    2項記載の低温冷媒用液送管。 4、上記第2の管(102)がT字形に形成され、上記
    第1の管(101)が該第2の管(102)の内部を第
    1の開口部から第2の開口部に向かう一方向にのみ延在
    してなり、 第1の管(101)及び第2の管(102)の各々の端
    部にそれぞれの気密接続手段(107)若しくは(6)
    が形成されてなることを特徴とする特許請求の範囲第2
    項記載の低温冷媒用液送管。 5、上記第1の管(1)(101)が銅を主成分として
    構成されてなることを特徴とする特許請求の範囲第1項
    記載の低温冷媒用液送管。
JP60154822A 1985-07-12 1985-07-12 低温冷媒用液送管 Pending JPS6215843A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60154822A JPS6215843A (ja) 1985-07-12 1985-07-12 低温冷媒用液送管

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60154822A JPS6215843A (ja) 1985-07-12 1985-07-12 低温冷媒用液送管

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6215843A true JPS6215843A (ja) 1987-01-24

Family

ID=15592632

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60154822A Pending JPS6215843A (ja) 1985-07-12 1985-07-12 低温冷媒用液送管

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6215843A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000022341A1 (de) * 1998-10-09 2000-04-20 Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh Stützsystem für superisolation
JP2013533946A (ja) * 2010-06-18 2013-08-29 スピラックス‐サルコ リミテッド 断熱流体ダクト
JP2015232387A (ja) * 2014-05-27 2015-12-24 ザ・ボーイング・カンパニーTheBoeing Company 流体分配システム組立品を製造する方法
WO2016171144A1 (ja) * 2015-04-24 2016-10-27 古河電気工業株式会社 二重管
JP2022539482A (ja) * 2020-07-09 2022-09-09 寧波市哈雷換熱設備有限公司 耐圧能力が強いチップ用冷却器

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000022341A1 (de) * 1998-10-09 2000-04-20 Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh Stützsystem für superisolation
US6343624B2 (en) 1998-10-09 2002-02-05 Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh Superinsulation support system
JP2013533946A (ja) * 2010-06-18 2013-08-29 スピラックス‐サルコ リミテッド 断熱流体ダクト
JP2015232387A (ja) * 2014-05-27 2015-12-24 ザ・ボーイング・カンパニーTheBoeing Company 流体分配システム組立品を製造する方法
WO2016171144A1 (ja) * 2015-04-24 2016-10-27 古河電気工業株式会社 二重管
JPWO2016171144A1 (ja) * 2015-04-24 2017-06-22 古河電気工業株式会社 二重管
CN107407455A (zh) * 2015-04-24 2017-11-28 古河电气工业株式会社 双层管
US10458592B2 (en) 2015-04-24 2019-10-29 Furukawa Electric Co., Ltd. Double tube
JP2022539482A (ja) * 2020-07-09 2022-09-09 寧波市哈雷換熱設備有限公司 耐圧能力が強いチップ用冷却器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4930318A (en) Cryocooler cold head interface receptacle
US4011732A (en) Heat-stationed bayonet connector for cryogenic fluid lines
US4876413A (en) Efficient thermal joints for connecting current leads to a cryocooler
CN100576371C (zh) 多相超导电缆连接结构和多相超导电缆线
US5247800A (en) Thermal connector with an embossed contact for a cryogenic apparatus
JP2010187520A (ja) 超伝導ケーブルの低温保持装置
EP0533522B1 (fr) Ligne de transfert de fluide cryogénique
KR20200040915A (ko) 이방성 열 도관
US6343624B2 (en) Superinsulation support system
JPS6215843A (ja) 低温冷媒用液送管
EP0395877B1 (en) Cryogenic precooler for superconductive magnets
US5072591A (en) Flexible transfer line exhaust gas shield
KR101718904B1 (ko) 극저온 액체 전송관
EP0350266B1 (en) Coupling a cryogenic cooler to a body to be cooled
JPH09126389A (ja) 極低温断熱管
JPS63101594A (ja) 極低温配管用バイオネツト継手
JPH0548115Y2 (ja)
JP2005312283A (ja) 超電導ケーブル用プーリングアイ及びプーリングアイを用いた超電導ケーブルの布設方法
JPH07320564A (ja) 超電導ケーブル
JPS6111959Y2 (ja)
JPS6357712B2 (ja)
JP2971176B2 (ja) 超伝導コイルの接続方法
JPH0228314Y2 (ja)
JPH0352766A (ja) 極低温用シユラウド
JPS6288378A (ja) 極低温容器