JPS6215740A - Ｘ線発生装置 - Google Patents
Ｘ線発生装置Info
- Publication number
- JPS6215740A JPS6215740A JP15225685A JP15225685A JPS6215740A JP S6215740 A JPS6215740 A JP S6215740A JP 15225685 A JP15225685 A JP 15225685A JP 15225685 A JP15225685 A JP 15225685A JP S6215740 A JPS6215740 A JP S6215740A
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- JP
- Japan
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- ray
- electrodes
- generating substance
- discharge
- ray generating
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
【発明の利用分野〕
本発明はＸ線発生装置、特に大規模集積回路製造に用い
るＸ線リソグラフィ用Ｘ線発生装置に関する。
るＸ線リソグラフィ用Ｘ線発生装置に関する。
高電圧で充電したコンデンサを電源とし、高速大電流放
電により軟Ｘ線を発生するプラズマＸ線源のうち、放電
管内を真空に保ち、電極物質を電離物質に用いて真空中
でスパークさせる真空スパーク式、他のプラズマＸ線源
（プラズマフォーカス式、ガスパフ式）に比べ電極間距
離が短かくＺピンチ発生位置精度がよいと言う特長があ
る。しかし、Ｚピンチを発生させるには大電流放電によ
って電極物質から多量の蒸気を発生させる必要がある。
電により軟Ｘ線を発生するプラズマＸ線源のうち、放電
管内を真空に保ち、電極物質を電離物質に用いて真空中
でスパークさせる真空スパーク式、他のプラズマＸ線源
（プラズマフォーカス式、ガスパフ式）に比べ電極間距
離が短かくＺピンチ発生位置精度がよいと言う特長があ
る。しかし、Ｚピンチを発生させるには大電流放電によ
って電極物質から多量の蒸気を発生させる必要がある。
即ち融点の低い物質が望ましいと言える。
この場合、あまり融点が低いと電極消耗が激しく、電極
物質の消耗対策並びに電離物質の供給方法が重要になる
にの電離分質を供給する方法として特開昭５７−１９１
９４８号がある。この方法は融点の低い金属を加熱して
液状にし、電極中央にあけた細孔より電極表面に連続的
に供給するものである。
物質の消耗対策並びに電離物質の供給方法が重要になる
にの電離分質を供給する方法として特開昭５７−１９１
９４８号がある。この方法は融点の低い金属を加熱して
液状にし、電極中央にあけた細孔より電極表面に連続的
に供給するものである。
この方法は、放電電流が小さい場合に適するが、数百ｋ
Ａに達するパルス状大電流放電時は、電極自体の加熱に
より細孔内も含めた供給液体が沸騰し、Ｚピンチ発生に
必要とされる蒸発量に対し、その蒸発量は著しく多量な
ものとなる。また、この時の発生蒸気により容器内の真
空度が大巾に低下し、電極間の絶縁が低下する恐れもあ
る。さらにコンデンサの充電電荷を放電させるための制
御スイッチ（例えば、真空スイッチあるいはトリガ用第
３電極）が必要であるなどの欠点があった。
Ａに達するパルス状大電流放電時は、電極自体の加熱に
より細孔内も含めた供給液体が沸騰し、Ｚピンチ発生に
必要とされる蒸発量に対し、その蒸発量は著しく多量な
ものとなる。また、この時の発生蒸気により容器内の真
空度が大巾に低下し、電極間の絶縁が低下する恐れもあ
る。さらにコンデンサの充電電荷を放電させるための制
御スイッチ（例えば、真空スイッチあるいはトリガ用第
３電極）が必要であるなどの欠点があった。
特に、融点が１００℃以下の常温にて容易に液体になり
得る金属は、簡単に液化してしまうのでこの傾向が強か
った。
得る金属は、簡単に液化してしまうのでこの傾向が強か
った。
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を除去し、再
現性のよいＸ線源と経済的なＸ線発生装置を提供するこ
とにある。
現性のよいＸ線源と経済的なＸ線発生装置を提供するこ
とにある。
本発明は、上述した目的達成のため、対向する電極の少
なくとも一方の電極から、１回の露光に必要な量のＸ線
発生物質を融点が１００℃以上の物質として粉状、つぶ
状あるいは棒状に規制し、一定量ずつ供給できるように
した。また、Ｘ線発生物質を電極間で部分電離又は帯電
させて静電的に加速し対向電極に衝突時運動エネルギー
を熱エネルギーに変えて大量の蒸気を放出させ対向電極
間で放電を引き起こさせるトリガー作用をもたせるよう
にしたものである。
なくとも一方の電極から、１回の露光に必要な量のＸ線
発生物質を融点が１００℃以上の物質として粉状、つぶ
状あるいは棒状に規制し、一定量ずつ供給できるように
した。また、Ｘ線発生物質を電極間で部分電離又は帯電
させて静電的に加速し対向電極に衝突時運動エネルギー
を熱エネルギーに変えて大量の蒸気を放出させ対向電極
間で放電を引き起こさせるトリガー作用をもたせるよう
にしたものである。
第１図は本発明の一実施例である。以下第１図の構成を
説明する。電源１より整流器２．充電抵抗３を通してコ
ンデンサ４を充電する。コンデンサ４の両端には電極５
と電極６が対向して設置されている。外周は絶縁物７で
覆われ内部は真空に保持されている。電極５の中心部に
は融点の高い材質（例えばＳＵＳなど）で作られた中空
状のパルプ８が設けである。パイプ８の図示上部には操
作捧９，１０並びにガイド１１と球状のＸ線発生物質１
２（例えば、ＡＱ、Ｃｕなどの金属や、この金属類とＳ
などの絶縁物との合金あるいは混合物）を収納する容器
１３から成るＸ線発生物質定量送り機構２０が設けられ
、外部は真空容器１４で覆われている。操作棒９，１ｏ
は、レバー１５で連結され、他に固定された支点１６を
介して互いに反対方向に移動する。操作捧９は容器１４
に設けた気密バッキング１７（例えばＯリング）を介し
て外部に引出され、操作器１８と接続されている。
説明する。電源１より整流器２．充電抵抗３を通してコ
ンデンサ４を充電する。コンデンサ４の両端には電極５
と電極６が対向して設置されている。外周は絶縁物７で
覆われ内部は真空に保持されている。電極５の中心部に
は融点の高い材質（例えばＳＵＳなど）で作られた中空
状のパルプ８が設けである。パイプ８の図示上部には操
作捧９，１０並びにガイド１１と球状のＸ線発生物質１
２（例えば、ＡＱ、Ｃｕなどの金属や、この金属類とＳ
などの絶縁物との合金あるいは混合物）を収納する容器
１３から成るＸ線発生物質定量送り機構２０が設けられ
、外部は真空容器１４で覆われている。操作棒９，１ｏ
は、レバー１５で連結され、他に固定された支点１６を
介して互いに反対方向に移動する。操作捧９は容器１４
に設けた気密バッキング１７（例えばＯリング）を介し
て外部に引出され、操作器１８と接続されている。
電極５，６間で放電させる場合は、操作器１８を操作し
て操作棒９を図示右方向に移動させる。
て操作棒９を図示右方向に移動させる。
これによりＸ線発生物質１２は１個のみ図示下方向に落
下する。電極５，６間はコンデンサ４の電圧が印加され
ており、導電性のＸ線発生物質が電極５，６間に到達し
たとき、静電的な加速を受は相手側の電極に衝突した時
、運動エネルギーが熱１エネルギーに代って高温となり
大量の蒸気を発生し放電を開始することになる。この時
の放電々流は数１００ｋＨｚ、数１００ｋＡの大電流放
電のため該電極間の蒸気は大部分が電離されてプラズマ
状態となり、これは放電流自身による磁気閉じ込めによ
りＺピンチを引きおこし、Ｘ線を発生させることになる
。このＸ線により、電極の円周方向あるいは下方向に設
けた図示しない露光室のマスクやウェーハに照射され露
光される。
下する。電極５，６間はコンデンサ４の電圧が印加され
ており、導電性のＸ線発生物質が電極５，６間に到達し
たとき、静電的な加速を受は相手側の電極に衝突した時
、運動エネルギーが熱１エネルギーに代って高温となり
大量の蒸気を発生し放電を開始することになる。この時
の放電々流は数１００ｋＨｚ、数１００ｋＡの大電流放
電のため該電極間の蒸気は大部分が電離されてプラズマ
状態となり、これは放電流自身による磁気閉じ込めによ
りＺピンチを引きおこし、Ｘ線を発生させることになる
。このＸ線により、電極の円周方向あるいは下方向に設
けた図示しない露光室のマスクやウェーハに照射され露
光される。
Ｘ線発生物質１２は、操作棒９，１ｏの連結レバー１５
により１回の露光に１個ずつ供給される。
により１回の露光に１個ずつ供給される。
また、その大きさを１回の露光に必要な量に設定してお
けば１回の放電で１回の露光ができ、必要以上の蒸気発
生による室内のよごれや、真空劣化などの弊害を阻止で
きることから再現性のよい２ピンチが発生できる。
けば１回の放電で１回の露光ができ、必要以上の蒸気発
生による室内のよごれや、真空劣化などの弊害を阻止で
きることから再現性のよい２ピンチが発生できる。
Ｘ線発生物質の形状は球状で説明したが、供給装置の構
成を変えて、つぶ状、針状、棒状にしても同様の効果が
得られる。すなわち、第２図は本発明になる他の実施例
であり、この場合にはＸ線発生物質１２は粉末体として
使用される。第１図全く同様の効果を奏することができ
る。
成を変えて、つぶ状、針状、棒状にしても同様の効果が
得られる。すなわち、第２図は本発明になる他の実施例
であり、この場合にはＸ線発生物質１２は粉末体として
使用される。第１図全く同様の効果を奏することができ
る。
又、Ｘ線発生物質１２は融点が１００℃以上であるので
、常温にて液化することが無く、取り扱いが容易である
という利点がある。
、常温にて液化することが無く、取り扱いが容易である
という利点がある。
本発明□によれば、Ｚピンチ発生に必要なＸ線発生物質
を必要最小量に設定できると共にこれを１個ずつ供給で
きる。また、ｘｍ発生物質を電極間放電のトリガーとし
て使用できる。などから、再現性のよいＸ線源が得られ
ると共に経済的なＸ線発生装置を提供できる効果がある
。
を必要最小量に設定できると共にこれを１個ずつ供給で
きる。また、ｘｍ発生物質を電極間放電のトリガーとし
て使用できる。などから、再現性のよいＸ線源が得られ
ると共に経済的なＸ線発生装置を提供できる効果がある
。
第１図は本発明の一実施例の縦断面図、第２図は本発明
の他の実施例の縦断面図である。
の他の実施例の縦断面図である。
Claims (1)
- １、真空容器と該真空容器内に設けられた一対の電極、
並びに前記両電極間に接続されたパルス大電流源を備え
てなる真空式Ｘ線発生装置において、前記一対の電極の
少なくとも一方の電極から、少なくとも１００℃以上の
融点を有するＸ線発生物を他方の電極に分離して移動さ
せ、該Ｘ線発生物質をトリガーとして、前記両電極間の
放電を発生させることを特徴とするＸ線発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15225685A JPS6215740A (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | Ｘ線発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15225685A JPS6215740A (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | Ｘ線発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6215740A true JPS6215740A (ja) | 1987-01-24 |
Family
ID=15536504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15225685A Pending JPS6215740A (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | Ｘ線発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6215740A (ja) |
-
1985
- 1985-07-12 JP JP15225685A patent/JPS6215740A/ja active Pending
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