JPS62153918A - 投影光学系 - Google Patents
投影光学系Info
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- JPS62153918A JPS62153918A JP60296321A JP29632185A JPS62153918A JP S62153918 A JPS62153918 A JP S62153918A JP 60296321 A JP60296321 A JP 60296321A JP 29632185 A JP29632185 A JP 29632185A JP S62153918 A JPS62153918 A JP S62153918A
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- optical
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は電子写真複写機、ファクシミリ等の光学機器に
おいて原画である物体面を像面上に投影する際に好適な
投影光学系に関し、特に集光性光伝送体若しくはマイク
ロレンズ等から成るレンズ素子を複数個、列状に配置し
た所謂複眼系を用い物体面を像面上に縮少若しくは拡大
等各種の倍率で投影させる際に好適な投影光学系に関す
るものである。
おいて原画である物体面を像面上に投影する際に好適な
投影光学系に関し、特に集光性光伝送体若しくはマイク
ロレンズ等から成るレンズ素子を複数個、列状に配置し
た所謂複眼系を用い物体面を像面上に縮少若しくは拡大
等各種の倍率で投影させる際に好適な投影光学系に関す
るものである。
(従来の技術)
従来より電−r写真複写機やファクシミリ等の光パ?機
器においては複眼系を利用して物体面を所定の倍率で像
面1に投影している。第2図は例えは特開昭55− a
3001 +:公報で1に案されている+l舎等イ8
における複眼系の概略図である。同図において20は複
眼系であり集光1−1[光伝送体ネ−しくはマイクtル
ンス等から成る複数の111″)実像系21より成って
いる。そして個々の+l 1”を実像糸21により物体
面1の所定範囲を像面21、にIll”ノ等倍像として
投影し、IIiね合わせることにより体像なF成してい
る。これにより午独の11合実像系ではカバー出来ない
大きな物体面を像面1−に投影している。第2図に小す
複眼系は投影イ8率か等倍である為各々の+l)’を実
像系21の光軸か平行となるように構成され、かつ光軸
1−の芥光線か物体面1及び像面2と垂直に交わうよう
に構成されている。これにより芥々の正)プ実像糸21
による像面1の投影像、所謂′!4重像を像面l−で1
1いに重ね合わせて 体像を形成するのを用能としてい
る。
器においては複眼系を利用して物体面を所定の倍率で像
面1に投影している。第2図は例えは特開昭55− a
3001 +:公報で1に案されている+l舎等イ8
における複眼系の概略図である。同図において20は複
眼系であり集光1−1[光伝送体ネ−しくはマイクtル
ンス等から成る複数の111″)実像系21より成って
いる。そして個々の+l 1”を実像糸21により物体
面1の所定範囲を像面21、にIll”ノ等倍像として
投影し、IIiね合わせることにより体像なF成してい
る。これにより午独の11合実像系ではカバー出来ない
大きな物体面を像面1−に投影している。第2図に小す
複眼系は投影イ8率か等倍である為各々の+l)’を実
像系21の光軸か平行となるように構成され、かつ光軸
1−の芥光線か物体面1及び像面2と垂直に交わうよう
に構成されている。これにより芥々の正)プ実像糸21
による像面1の投影像、所謂′!4重像を像面l−で1
1いに重ね合わせて 体像を形成するのを用能としてい
る。
しかしながら第2図において投影光学系を縮少系名しく
は拡大系とする為に物体距離を変化させると各々の+E
:t−実像系による多重像か像面1て巾ならす、すれ
てしまい所謂r像すれ」を起してくる。このときの像す
れ現象は投影像の光学性能を署しく低1・させる原因と
なっている。
は拡大系とする為に物体距離を変化させると各々の+E
:t−実像系による多重像か像面1て巾ならす、すれ
てしまい所謂r像すれ」を起してくる。このときの像す
れ現象は投影像の光学性能を署しく低1・させる原因と
なっている。
これに対し複眼系を用い縮少投影に L <は拡大投影
したときの多重像の像すれを補1[する力iJ、か例え
ば特開昭57−16415号公報で提案されている。同
公報では第3図に小すように複眼系30を構成する複数
のIT;i、実像系3jをその先軸か中央の止\″L実
像系310の光軸311に対して序々に傾くように配置
し、これによって多重像のずれを補l−シている。しか
しなからこの複眼系では正存実像系毎にその光学性能や
光軸長(物体面から像面までの光軸の光学的な長さ)か
具っており、又この複眼系では物体面周辺の投影を行う
11)′I−実像実像光軸l−の光線か物体面と像面に
交わう際、垂直から大きく外れてくる。この為第4図に
小すようにその傾きか大きくなっているl11”!実像
系41ては、投影倍率か等しくなる物体面か11規の物
体面1より傾いて物体面42の如くになってくる。
したときの多重像の像すれを補1[する力iJ、か例え
ば特開昭57−16415号公報で提案されている。同
公報では第3図に小すように複眼系30を構成する複数
のIT;i、実像系3jをその先軸か中央の止\″L実
像系310の光軸311に対して序々に傾くように配置
し、これによって多重像のずれを補l−シている。しか
しなからこの複眼系では正存実像系毎にその光学性能や
光軸長(物体面から像面までの光軸の光学的な長さ)か
具っており、又この複眼系では物体面周辺の投影を行う
11)′I−実像実像光軸l−の光線か物体面と像面に
交わう際、垂直から大きく外れてくる。この為第4図に
小すようにその傾きか大きくなっているl11”!実像
系41ては、投影倍率か等しくなる物体面か11規の物
体面1より傾いて物体面42の如くになってくる。
力、投影倍率の等しくなる像面も同様に1−[現の像面
2に対して傾いて像面43の如くになってくる。この結
果、物体面周辺では第4図に示す光路J4141と14
2の長さの差に相当する量たけ同一視野範囲内において
部分的に結像倍率か異−)てくる所謂1倍率すれ1か生
じてくる。
2に対して傾いて像面43の如くになってくる。この結
果、物体面周辺では第4図に示す光路J4141と14
2の長さの差に相当する量たけ同一視野範囲内において
部分的に結像倍率か異−)てくる所謂1倍率すれ1か生
じてくる。
このように従来の複眼系を用いた投影光学系では多重像
のずれを補11−シても倍率すれか生じており、等倍以
外の投影では高い光学性能を有した投影像を得るのか難
しくなっている。
のずれを補11−シても倍率すれか生じており、等倍以
外の投影では高い光学性能を有した投影像を得るのか難
しくなっている。
又、同公報では必斐に応じて各+F−i実像系の入射端
面若しくは射出端面を偏芯させたり、屈折力をイ・1加
させたりして、倍率ずれを軒数しようとしているか、こ
れでは投影光学系全体か複雑になってくる。そして原理
的にも、各正1′L実像系の光軸は物体面、像面に垂直
になり得ないので、こういう補J1−には限度があり、
こうした手段では倍率すれを大幅に除去することか困難
である。
面若しくは射出端面を偏芯させたり、屈折力をイ・1加
させたりして、倍率ずれを軒数しようとしているか、こ
れでは投影光学系全体か複雑になってくる。そして原理
的にも、各正1′L実像系の光軸は物体面、像面に垂直
になり得ないので、こういう補J1−には限度があり、
こうした手段では倍率すれを大幅に除去することか困難
である。
この他、複数の止)r実像系より成る複眼系を用い縮少
投影名しくは拡大投影を行った際の多重像の像すれを補
IF したものが、例えば特開昭59−45420月公
報、特開昭59−216115号公報等で提案されてい
る。
投影名しくは拡大投影を行った際の多重像の像すれを補
IF したものが、例えば特開昭59−45420月公
報、特開昭59−216115号公報等で提案されてい
る。
特開昭59−45420号公報では第5図に小すように
複数の正立実像系51より成る複眼系50の物体面1側
若しくは像面2側の少なくとも一方に各々の止立実像系
毎に偏向角の異なるフレネルレンズ等から成る光束偏向
部材52.53を配置することによって多重像の像すれ
を補圧した投影光学系を提案している。
複数の正立実像系51より成る複眼系50の物体面1側
若しくは像面2側の少なくとも一方に各々の止立実像系
毎に偏向角の異なるフレネルレンズ等から成る光束偏向
部材52.53を配置することによって多重像の像すれ
を補圧した投影光学系を提案している。
又、特開昭59−216115号公報では第6図に承す
ように複数の正立実像系61より成る複眼系60の物体
面1側若しくは像面2側の少なくとも一方に複数の球面
レンズ62.63を配置して多重像の像すれを補正した
投影光学系を提案している。
ように複数の正立実像系61より成る複眼系60の物体
面1側若しくは像面2側の少なくとも一方に複数の球面
レンズ62.63を配置して多重像の像すれを補正した
投影光学系を提案している。
しかしなから前記2つの公報で提案されている投影光学
系はいずれも各々の正\γ実像系の光軸長が異っており
、しかも物体面周辺を投影するノ1−立′jコ像系の光
軸か物体面と像面に対して大きく傾いている。どの為、
前述の如<%En像の像ずれを補11することはできる
か倍率すれか牛し、投影像の光学+’+能を大きく低ト
させる原因となっている。
系はいずれも各々の正\γ実像系の光軸長が異っており
、しかも物体面周辺を投影するノ1−立′jコ像系の光
軸か物体面と像面に対して大きく傾いている。どの為、
前述の如<%En像の像ずれを補11することはできる
か倍率すれか牛し、投影像の光学+’+能を大きく低ト
させる原因となっている。
(発明か解決しようとする問題点)
本発明は複数の+11’を実像系より成る複眼系な用い
て物体面を縮少ハしくけ拡大等の等倍以4のイ8率を含
んで投影する際、多重像の像すれを補正するとj(に倍
率すれを同時に減少あるいは除去させることにより投影
像の光学+′F能の向1−を図った投影光学系の提供を
II的とする。
て物体面を縮少ハしくけ拡大等の等倍以4のイ8率を含
んで投影する際、多重像の像すれを補正するとj(に倍
率すれを同時に減少あるいは除去させることにより投影
像の光学+′F能の向1−を図った投影光学系の提供を
II的とする。
(問題点を解決するための手段)
複数の11)′/実像系を4j−する複眼系により物体
面を所定倍率で像面1−に投影し市ね合わせる際、光重
を偏向させる複数の光学部Hな有する偏向手段により、
前記複数の11−)”!実像系の光軸上の各光線か首記
物体面若しくは像面の少なくとも=方の面と略重直とな
るように構成したことである。
面を所定倍率で像面1−に投影し市ね合わせる際、光重
を偏向させる複数の光学部Hな有する偏向手段により、
前記複数の11−)”!実像系の光軸上の各光線か首記
物体面若しくは像面の少なくとも=方の面と略重直とな
るように構成したことである。
特に本発明では複数の光学部材を芥々反射面より構成す
ることにより、谷々の正マL実像系に対する配置トの自
由度を増し、光軸と物体面及び像面とのなす角度や丼々
の正η実像系の光軸長、そして光軸間隔や像間隔等を目
的に応しく1意に設定している。
ることにより、谷々の正マL実像系に対する配置トの自
由度を増し、光軸と物体面及び像面とのなす角度や丼々
の正η実像系の光軸長、そして光軸間隔や像間隔等を目
的に応しく1意に設定している。
この他、本発明の特徴は実施例において記載されている
。
。
(実施例)
第1図は本発明の投影光学系を縮少系で構成したときの
一=実施例の光学系の概略図である。同図において1は
物体面、2は像面、lOは複眼系であり、複数の正立実
像系11,12,13.・・・・より成っている。
一=実施例の光学系の概略図である。同図において1は
物体面、2は像面、lOは複眼系であり、複数の正立実
像系11,12,13.・・・・より成っている。
点A2.B2.C2,・・・・と点A3.B3゜C3,
・・・・は各々正Nγ実像系を通過した光束を各々所定
方向に偏向させる為の光学部材を列状に配置している1
!7置である。特に本実施例では光学部材を反射鏡より
構成し所定の傾きを有して配置している。
・・・・は各々正Nγ実像系を通過した光束を各々所定
方向に偏向させる為の光学部材を列状に配置している1
!7置である。特に本実施例では光学部材を反射鏡より
構成し所定の傾きを有して配置している。
尚、本実施例では反射鏡は簡単の為省略し、反射鏡で反
射したときの丼正立実像系の光軸1−の光線の光路のみ
を小している。
射したときの丼正立実像系の光軸1−の光線の光路のみ
を小している。
本実施例では点A2.B2.C2,・・・・と点A3.
B3.C3,・・・・に沿って列状に配置した複数の光
学部材より各々1つの偏向手段を構成している。
B3.C3,・・・・に沿って列状に配置した複数の光
学部材より各々1つの偏向手段を構成している。
物体面1」二における点AI、Bl、CI、・・・・及
び像面2F、における点A4.B4.C4,・・・・は
正立実像系11,12,13.・・・・の光軸上の光線
Ll、L2.L3.・・・・か各々交わう位置である。
び像面2F、における点A4.B4.C4,・・・・は
正立実像系11,12,13.・・・・の光軸上の光線
Ll、L2.L3.・・・・か各々交わう位置である。
本実施例では物体面1の所定範囲を、例えば点C1近傍
の物体面を位置C2に所定の傾きをもって配置した反射
鏡を介し、正立実像系13により点C3に配置している
反射鏡で反射させた後、像面2Lの点C4近傍に縮少投
影させている。このとき本実施例では点CI、C2,C
3,C4が同−it’面十に位置するように構成してい
る。これによってiE rl実像系の光軸の軌跡が同一
平面トに存在するようにして各市)″L実像系のlsk
を像が相対的に回転して1回転ぶれ」を起さないよう
にしている。これらのことは他の正立実像系についても
全く同様であり、各々物体面1の所定範囲を像面]−に
縮少投影させている。
の物体面を位置C2に所定の傾きをもって配置した反射
鏡を介し、正立実像系13により点C3に配置している
反射鏡で反射させた後、像面2Lの点C4近傍に縮少投
影させている。このとき本実施例では点CI、C2,C
3,C4が同−it’面十に位置するように構成してい
る。これによってiE rl実像系の光軸の軌跡が同一
平面トに存在するようにして各市)″L実像系のlsk
を像が相対的に回転して1回転ぶれ」を起さないよう
にしている。これらのことは他の正立実像系についても
全く同様であり、各々物体面1の所定範囲を像面]−に
縮少投影させている。
尚、投影倍率をmとしたとき物体面11−の点A1と点
B1との間隔AI、Blと像面21−の点A4と点B4
との間隔A4.B4との比かm倍となるようにしている
。他の各点における間隔についても同様である。
B1との間隔AI、Blと像面21−の点A4と点B4
との間隔A4.B4との比かm倍となるようにしている
。他の各点における間隔についても同様である。
第1図に示す座標系において、例えば点Bl。
B2.B3.B4の座標を表わすと
B 1 = (x、1/2.h/2)
B2= (x、I /2.−h+)
B3−(mx、−1/2.h2)
B4= (mx、−1/2.−h/2)となる。
このとき、点B2.B3のZ軸方向の座標点hl、h2
はLを1つの正立実像系の光軸長とすると h、+h 2 = となるように構成されている。尚、ここで光軸長りは投
影倍率mの関数として表わされ、投影倍率mNより柚々
変化する値である。
はLを1つの正立実像系の光軸長とすると h、+h 2 = となるように構成されている。尚、ここで光軸長りは投
影倍率mの関数として表わされ、投影倍率mNより柚々
変化する値である。
本実施例では各々の正り実像系によって形成された像面
l−の投影像、所謂多重像を物体面1及び像面2側に設
けた複数の反射鏡の形状、傾きを各々変えることにより
tiいに重なり合わせて全体として一体像を形成し、像
すれを防止している。
l−の投影像、所謂多重像を物体面1及び像面2側に設
けた複数の反射鏡の形状、傾きを各々変えることにより
tiいに重なり合わせて全体として一体像を形成し、像
すれを防止している。
又、本実施例では各々の正立実像系の光軸上の光線L1
〜L5が物体面l及び像面2と略垂直に交わうように各
正9実像系と各反射鏡の傾きを設定している。即ち各正
立実像系の光軸上の光線Ll−L5が反射鏡で反射した
後、互いに平行となり物体面1及び像面2に垂直に交わ
うように構成している。
〜L5が物体面l及び像面2と略垂直に交わうように各
正9実像系と各反射鏡の傾きを設定している。即ち各正
立実像系の光軸上の光線Ll−L5が反射鏡で反射した
後、互いに平行となり物体面1及び像面2に垂直に交わ
うように構成している。
これにより第4図で説明した11立実像系の光軸1の光
線が物体面若しくは像面と傾いて交ったときに生ずるr
倍率すれJの発ノ1.を防止している。
線が物体面若しくは像面と傾いて交ったときに生ずるr
倍率すれJの発ノ1.を防止している。
第7図はこのときの第1図の上面図、第8図は第1図の
物体面1Fの点C1と11−存実像面13を含む側面図
である。
物体面1Fの点C1と11−存実像面13を含む側面図
である。
第7.第8図において各符番は第1図で小したものと全
く同様である。
く同様である。
第7図において物体面1Fの各点AI、Bl。
CI、・・・・を結ふ直線Dllと像面21−の各点A
4.B4.C4,・・・・を結ふ直線D41は平行にな
っている。そして複数の止、7−実像系11゜12.1
3.・・・・の光軸を各々延長させたときに空間内にお
いて一点Oで立体交差若しくは単に交差する各要素か設
定されている。
4.B4.C4,・・・・を結ふ直線D41は平行にな
っている。そして複数の止、7−実像系11゜12.1
3.・・・・の光軸を各々延長させたときに空間内にお
いて一点Oで立体交差若しくは単に交差する各要素か設
定されている。
尚、このときの投影光学系の投影倍4Amを第7図に示
す各要素間の距離D71.D72を用いて表わすと m=D72/D71 となっている。
す各要素間の距離D71.D72を用いて表わすと m=D72/D71 となっている。
本実施例では複数の正立実像系を各々同 のレンズ素子
より構成している。この為、谷々の正立実像系を各々異
った)ド面十に3次元的に配置させて各々の光軸長か同
しになるようにしている。これにより全てのII存実像
系を同一条件で投影させて芥iI 1′7実像系におけ
る光学緒特性の均一化を図っている。
より構成している。この為、谷々の正立実像系を各々異
った)ド面十に3次元的に配置させて各々の光軸長か同
しになるようにしている。これにより全てのII存実像
系を同一条件で投影させて芥iI 1′7実像系におけ
る光学緒特性の均一化を図っている。
芥々の反射鏡の位置A2.B2.C2,・・・・と位置
A3.B3、C3・・・・は(1)式を満たす範囲で任
意に設定することか出来るが、一度一方の反射面の各位
置を決定すれば、あとは正立実像系の特性により順次法
めることができる。
A3.B3、C3・・・・は(1)式を満たす範囲で任
意に設定することか出来るが、一度一方の反射面の各位
置を決定すれば、あとは正立実像系の特性により順次法
めることができる。
本実施例では光学部材として反射鏡を用いた場合を示し
たが、例えば第11図に示すようにプリズム材tto、
1iiを用いて正立実像系13の光軸1−の光線L3が
物体面1と像面2に各々垂直に交わうように構成しても
、同様に像すれや倍率すれの発生を防止することができ
る。
たが、例えば第11図に示すようにプリズム材tto、
1iiを用いて正立実像系13の光軸1−の光線L3が
物体面1と像面2に各々垂直に交わうように構成しても
、同様に像すれや倍率すれの発生を防止することができ
る。
第1図に示す実施例においては正立実像系の光軸上の光
線が物体面及び像面といずれも垂直に交わうようにして
倍率すれを完全に補正した場合について説明したが、多
少の倍率すれが許容されるならば光軸上の光線が物体面
若しくは像面の少なくとも一方と垂直若しくは略垂直に
交わうようにしても良い。又、双方の面と多少の傾きを
イー1して交わうように構成しても良い。
線が物体面及び像面といずれも垂直に交わうようにして
倍率すれを完全に補正した場合について説明したが、多
少の倍率すれが許容されるならば光軸上の光線が物体面
若しくは像面の少なくとも一方と垂直若しくは略垂直に
交わうようにしても良い。又、双方の面と多少の傾きを
イー1して交わうように構成しても良い。
第9図、第10図はこのときの第7図、第8図と同様な
上面図と側面図である。第10図においては正立実像系
13の光軸)=の光線L3が物体面1と角度Φlで交わ
り、像面2と角度Φ2で交わう場合を示している。
上面図と側面図である。第10図においては正立実像系
13の光軸)=の光線L3が物体面1と角度Φlで交わ
り、像面2と角度Φ2で交わう場合を示している。
尚、第9.第10図で小す実施例においては複数の反射
鏡より成る2つの偏向手段のうち物体面1側若しくは像
面2側の一方の偏向手段を省略しても良い。
鏡より成る2つの偏向手段のうち物体面1側若しくは像
面2側の一方の偏向手段を省略しても良い。
以上の実施例において各正η実像系に対する反射面か別
個になっている最初の反射鏡から1[二番実像系を通り
、反射面が別個になっている最後の反射鏡までは各正立
実像系のクロストークを防ぐ為に遮光部材を配置するの
が良い。
個になっている最初の反射鏡から1[二番実像系を通り
、反射面が別個になっている最後の反射鏡までは各正立
実像系のクロストークを防ぐ為に遮光部材を配置するの
が良い。
又、以上の実施例では投影光学系を縮少系に適用した場
合について説明したか、拡大系に適用する場aには縮少
系全体を逆にした構成とすれば全く同様に本発明を通用
することかできる。
合について説明したか、拡大系に適用する場aには縮少
系全体を逆にした構成とすれば全く同様に本発明を通用
することかできる。
尚、本実施例において物体面と偏向1段との間若しくは
像面と偏向1段との間の少なくとも 方に、中に光束を
偏向させる為の共通反射面を設けて投影光学系全体の構
成[−の配置を任意に設定しても良い。
像面と偏向1段との間の少なくとも 方に、中に光束を
偏向させる為の共通反射面を設けて投影光学系全体の構
成[−の配置を任意に設定しても良い。
こうした設定は物体面と像面の相対関係を所定(+)(
☆置関係にもってくる場合や像の表裏関係の補1「に有
効である。
☆置関係にもってくる場合や像の表裏関係の補1「に有
効である。
本実施例において多少の像すれや倍率すれか許容されれ
ば1つの反射鏡で複数の11−1”!−実像系からの光
束を偏向させるように構成しても良い。
ば1つの反射鏡で複数の11−1”!−実像系からの光
束を偏向させるように構成しても良い。
本実施例では複眼系を5つの止)′I実像系より成る場
合について/K L/だが、11−9実像系を2つ以」
一般けれは本発明の目的を達成することかできる。
合について/K L/だが、11−9実像系を2つ以」
一般けれは本発明の目的を達成することかできる。
本実施例では2つの偏向手段を用い、1つの偏向1段と
して1枚の反射鏡を用いた場合を示したか前述の如くr
回転ふれ1、r像すれ」、V倍率すれ」等を補正する構
成と物体面、像面部分て各々独9に等個構成にすれば複
数枚の反射鏡又は屈折部材を用いて構成しても良い。例
えば第12図(A)に示すように物体面1からの光線を
平面内に限らす 度他の平面内に導光し、p■ひ几の
平面内に戻すように構成しても良い。又、第12図(1
3)のように偏向手段を構成する反射鏡の数を増加させ
て、物体面1(7)一方向の線分121か芥々の正立実
像系により像面2Lに投影させる際、名物体面の線分1
21の像か像面21−で−力の線分122にならばせ、
所謂1j71転すれかないようにすれば物体面と像面の
相対的位置関係に応じた1F: 、Mの構成をとること
かできる。
して1枚の反射鏡を用いた場合を示したか前述の如くr
回転ふれ1、r像すれ」、V倍率すれ」等を補正する構
成と物体面、像面部分て各々独9に等個構成にすれば複
数枚の反射鏡又は屈折部材を用いて構成しても良い。例
えば第12図(A)に示すように物体面1からの光線を
平面内に限らす 度他の平面内に導光し、p■ひ几の
平面内に戻すように構成しても良い。又、第12図(1
3)のように偏向手段を構成する反射鏡の数を増加させ
て、物体面1(7)一方向の線分121か芥々の正立実
像系により像面2Lに投影させる際、名物体面の線分1
21の像か像面21−で−力の線分122にならばせ、
所謂1j71転すれかないようにすれば物体面と像面の
相対的位置関係に応じた1F: 、Mの構成をとること
かできる。
これによれば配置−にの自由度を増し、物体面と像面の
相対位置関係に応じた任意の構成をとることかできるの
で好ましい。
相対位置関係に応じた任意の構成をとることかできるの
で好ましい。
又、第13図(A) 、 (B)に示すように複数の正
立実像系より成る複眼系131を投影倍率及び物像間距
離に応しては物体面1と偏向手段との間若しくは像面2
と偏向手段との間のいずれか一方向に設けるようにして
も良い。
立実像系より成る複眼系131を投影倍率及び物像間距
離に応しては物体面1と偏向手段との間若しくは像面2
と偏向手段との間のいずれか一方向に設けるようにして
も良い。
これによれば全てのdE立実像系の光軸をそろえること
が出来、構成1−簡素化されるので好ましい。
が出来、構成1−簡素化されるので好ましい。
本実施例において11−η実像系かマイクロレンズ等の
ように光学系中に空間を有する場合には第14図(A)
、 (B) 、 (C)に示すように、その空間装
置に偏向手段を設けても良い。尚、同図において141
はマイクロレンズである。
ように光学系中に空間を有する場合には第14図(A)
、 (B) 、 (C)に示すように、その空間装
置に偏向手段を設けても良い。尚、同図において141
はマイクロレンズである。
(発明の効果)
本発明によれば複数の正立実像系より成る複眼系を用い
て物体面を縮少投影若しくは拡大投影する際、光束を偏
向させる複数の光学部材より成る偏向手段を用いること
により像面上における多重像の像すれ及び倍率すれの双
方を良好に補正した投影光学系を達成することができる
。
て物体面を縮少投影若しくは拡大投影する際、光束を偏
向させる複数の光学部材より成る偏向手段を用いること
により像面上における多重像の像すれ及び倍率すれの双
方を良好に補正した投影光学系を達成することができる
。
第1図は本発明の一実施例の光学系の概略図、第7図は
第1図の上面図、第8図は第1図の一部側面図、第9.
第10図は各々本発明の他の実施例の上面図と一部側面
図、第11図、第12図(Δ) 、 (Ii) 、第1
3図(^) 、 <11) 、第14図(A) 、 (
B) 、 (C)は各々本発明の他の実施例の部側面図
、第2.第3.第5.第6図は各々従来の投影光学系の
一部分の説明図、第4図は第3図の一部分の投影像の説
明図である。 図中1は物体面、2は像面、10,20゜30.50.
60は各々複眼系、11,12゜13.14,15,2
1,31,51.61は各々正立実像系、A2.B2.
C2,D2.E2゜A3.B3.C3,D3.E3.は
各々光学部材の配置されている位置、L1〜L 5は各
々正、′l実像系の光軸上の光線である。 特許出願人 キャノン株式会社 弔2日 l 乍S因 メロ四 第9図 7A2 孕)3圀
第1図の上面図、第8図は第1図の一部側面図、第9.
第10図は各々本発明の他の実施例の上面図と一部側面
図、第11図、第12図(Δ) 、 (Ii) 、第1
3図(^) 、 <11) 、第14図(A) 、 (
B) 、 (C)は各々本発明の他の実施例の部側面図
、第2.第3.第5.第6図は各々従来の投影光学系の
一部分の説明図、第4図は第3図の一部分の投影像の説
明図である。 図中1は物体面、2は像面、10,20゜30.50.
60は各々複眼系、11,12゜13.14,15,2
1,31,51.61は各々正立実像系、A2.B2.
C2,D2.E2゜A3.B3.C3,D3.E3.は
各々光学部材の配置されている位置、L1〜L 5は各
々正、′l実像系の光軸上の光線である。 特許出願人 キャノン株式会社 弔2日 l 乍S因 メロ四 第9図 7A2 孕)3圀
Claims (4)
- (1)複数の正立実像系を有する複眼系により物体面を
所定倍率で像面上に投影し重ね合 わせる際、光束を偏向させる複数の光学部 材を有する偏向手段により、前記複数の正 立実像系の光軸上の各光線が前記物体面若 しくは像面の少なくとも一方の面と略垂直 となるように構成したことを特徴とする投 影光学系。 - (2)前記複数の光学部材を各々前記複数の正立実像系
毎に対向させた複数の反射鏡より 構成し、該複数の反射鏡の角度を各々前記 正立実像系毎に変化させて配置したことを 特徴とする特許請求の範囲第1項記載の投 影光学系。 - (3)前記偏向手段を前記物体面と前記複眼系との間若
しくは前記像面と前記複眼系との 間の少なくとも一方に設けたことを特徴と する特許請求の範囲第2項記載の投影光学 系。 - (4)前記光学部材を反射鏡より構成し、該1つの反射
鏡により前記複数の正立実像系の うちの少なくとも2つを通過する光束を偏 向させるようにしたことを特徴とする特許 請求の範囲第1項記載の投影光学系。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60296321A JPH0614141B2 (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 投影光学系 |
DE19863644354 DE3644354A1 (de) | 1985-12-27 | 1986-12-24 | Optisches projektionssystem |
US06/946,967 US4750022A (en) | 1985-12-27 | 1986-12-29 | Optical projection system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60296321A JPH0614141B2 (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 投影光学系 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62153918A true JPS62153918A (ja) | 1987-07-08 |
JPH0614141B2 JPH0614141B2 (ja) | 1994-02-23 |
Family
ID=17832028
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60296321A Expired - Lifetime JPH0614141B2 (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 投影光学系 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0614141B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002531846A (ja) * | 1998-12-07 | 2002-09-24 | レア メディツィンテクニック ゲーエムベーハー | 深さ方向を分解する光学的分光法および分光測定法用の検出プローブ |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08207912A (ja) * | 1994-11-10 | 1996-08-13 | Sachiyo Nishimura | 硬貨の包装を解く装置 |
-
1985
- 1985-12-27 JP JP60296321A patent/JPH0614141B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002531846A (ja) * | 1998-12-07 | 2002-09-24 | レア メディツィンテクニック ゲーエムベーハー | 深さ方向を分解する光学的分光法および分光測定法用の検出プローブ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0614141B2 (ja) | 1994-02-23 |
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