JPS62150153A - 気体濃度測定方法 - Google Patents

気体濃度測定方法

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JPS62150153A
JPS62150153A JP60291571A JP29157185A JPS62150153A JP S62150153 A JPS62150153 A JP S62150153A JP 60291571 A JP60291571 A JP 60291571A JP 29157185 A JP29157185 A JP 29157185A JP S62150153 A JPS62150153 A JP S62150153A
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俊雄 臼井
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浅田 昭良
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、被測定気体中に含まれる異種の気体濃度を同
時に1UII定する方法に関するものである。
〈従来の技術〉 被測定気体、例えば大気の場合、酸素(0□)を初めと
して、窒素(NZ ) 、その他の含酸素物質、例えば
水分(H2o) 、炭酸ガス(Co□)、亜硫酸ガス(
S02)、−酸化炭素(co)、窒素酸化物(Not 
、No、N20)、更には希ガス(He、Ar、Ne等
)等種々の気体が含まれている。
これら含を物質の気体濃度は従来より種々の方法で測定
されているが、近年、測定が簡単で且つ迅速に行え、し
かも検出情報の制御、取扱性が良いこと等から、電子部
品としてのセンサーがよく使用されている。
現在、酸素濃度については、固体電解質の酸素イオン導
電板を用いた限界電流方式のセンサー、所謂、酸素セン
サーが使用されている。
ここで、限界電流方式の酸素センサーとは、酸素イオン
導電性を有する固体電解質に対して、酸素分子(イオン
)供給を制限する(或いは拡散を律速する)手段を設け
たセンサーを総称するものであって、両面に電極が形成
された固体電解質に、外気の間の微小な気体流通口が開
けられた中空力プセルを被冠し、該気体流通口の気体拡
散抵抗によって生ずる限界電流特性を利用するもの、或
いは拡散抵抗を生じる気体流通口の代わりに多孔質物質
(微細な貫通孔を多数有する物質、例えばセラミック)
を上記カプセルの一部に設けたもの、固体電解質の一面
或いは両面、又は該固体電解質全体を包囲するように多
孔質体を形成したもの、固体電解質面の電極上に拡散制
御層を設は更にその上に拡散を阻止する層を形成したも
の、僅かな間隙を持たせた少なくともどちらか一方が両
面に電極が形成された固体電解質の板を並べその間隙に
よる気体の拡散抵抗作用を利用したもの、一端部が閉塞
された筒状の固体電解質の内外面に電極が設けられ、そ
の一方の電極側に前述の如き拡散制御体を設けたタイプ
等、固体電解質の酸素イオン移送現象を制限(律速)す
ることによって濃度を測定する方式のセンサーを総て含
むものとする。
本発明者等も、か\る酸素センサーの開発を継続的に行
っており、現在までに種々のものを提案している。
特に、最近、上記と同種の酸素センサーにおいて、印加
電圧を上げていくと、例えば大気にあって、酸素と同時
に水分が含まれている場合、第5図に示す如く、2段階
の平坦領域2,3を有する電圧−電流特性曲線1が得ら
れることに着目し、研究を進めてきている。
この電圧−電流特性曲線1の2段階平坦領域の発現現象
は、本発明者等の研究過程で明らかになったもので、最
初の平坦領域2 (第1平坦部)は大気中の酸素に起因
して形成され、次の平坦領域3(第2平坦部)は大気中
の酸素と同時に水分の分解による酸素原子(酸素イオン
)の存在が付加されることに起因して形成されるものと
、推定される。
一方、従来の炭酸ガス(CO2)の測定方法としては、
例えば、CO2のカルボニル1(C=0)の赤外線吸収
スペクトル(IR吸収スペクトル)により定量する方法
が一般に行われている。
〈発明が解決しようとする問題点〉 この赤外線吸収スペクトルによる炭酸ガス測定方法では
、ランベルト−ベールの法則(L a m bert−
Beer’  s  l、ow)、に基づく吸光度とサ
ンプル濃度の関係式により定量するわけで:あるが、一
般にppmオーダーの倶濃度測定では、ある程度良好な
精度が得られるものの、バーセン斗オーダーのような高
濃度(濃い濃度、例えば微生物、の醗酵槽中の炭酸ガス
濃度)では測定精度ががなり悪くなる。又、−酸化炭素
(、、CO)、アルデヒド1 (R−CHO) 、カル
ボン酸類(R−C00H)、ケト7V4(R−Go−R
’)のようにカルボニル基を有する化合物が混在すると
、それらの化合物が炭酸ガス(COz)と同じ波長領域
の赤外線を吸収してしまうので、測定誤差として現れ、
やはり良好な測定精度が得られない。つまり、炭酸ガス
(CO2)とこれらの化合物とを測定上区別することは
原理的に困難であ、る。
そこで、本発明者等は、前述の電圧−電流特性曲線1の
2段階平坦領域の発現現象を更に押し進め、先ず、脱水
した後の乾燥大気について、同様の試験をしたところ、
炭酸ガスの分解により供給される酸素原子(酸素イオン
)が水分の場合と同様の関わりを持つことを見出した。
本発明は、この電圧−電流特性曲線の2段階平坦領域の
発現現象を利用してなされたものである。
く問題点を解決するための手段及びその作用〉本発明の
特徴とする点は、少なくとも炭酸ガスの含有された被測
定気体中の酸素濃度及び炭酸ガスを測定するにおいて、
前記被測定気体中の水分を脱水した後、固体電解質を用
いた限界電流方式の酸素センサーに電圧を印加して第1
平坦部の限界電流値と第2平坦部の限界電流値を求め、
前記第1平坦部の限界電流値から酸素濃度を得、且つ第
2平坦部の限界電流値と前記第1平坦部の限界電流値と
の差から被測定気体中の炭酸ガス濃度を得る気体濃度測
定方法にある。
以下、か\る本発明方法を図面により更に詳しく説明す
る。
第1図は固体電解質を用いた限界電流方式の酸素センサ
ーによる電圧−電流特性曲線を示したものである。尚、
ここで用いたセンサーは両面に電極が形成された固体電
解質に、外気の間の微小な気体流通口が開けられた中空
カプセルを被冠し、該気体流通口の気体拡散抵抗によっ
て生ずる限界電流特性を利用した構造のものである。
この第1図において、電圧−電流特性曲線11は脱水さ
れた混合ガス(0□、N2、C02を主成分とする混合
ガス)の場合で、センサーの印加電圧を上昇させていく
と、先ず、酸素の存在による第1平坦部12が現れ、次
に炭酸ガスの存在が付加されたことによる第2平坦部1
3が現れ、この後一旦下降して谷部14を作った後、上
昇する。
ここで、第2平坦部13が現れるのは、Co2−一→C
O+1/20□ の反応がカソード電極で起こり、酸素02が供給される
からと、推定される。尚、大気の場合、−酸化炭素(C
O)やその他のカルボニル基含有物質が含まれている恐
れがあるが、−酸化炭素の場合、熱力学的に安定性が高
く一般にセンサー駆動温度程度では分解することがなく
、その他のカルボニル基含有物質の場合は、微量のため
、測定上、無視しても何等差支えないものである。又、
脱水するのは水分の分解により供給される酸素原子(酸
素イオン)の存在による測定誤差をなくすためで、その
脱水方法としては、特に限定されないが、例えばシリカ
ゲルや五酸化リン等の乾燥剤を通したり、或いは電子冷
却等により除湿を行えばよい。
従って、低い電圧V1を印加すれば酸素による限界電流
値ILIが得られ、高い電圧v2を印加すれば炭酸ガス
の存在が付加された限界電流値IL2が得られる。
以上の限界電流値ILZと限界電流値ILLとの差(I
L2 1LI)から差電流値Δ■、が求められる。
本発明者等が、この差電流値ΔILと上記脱水混合ガス
中の炭酸ガスとの相関関係を求めたところ、第2図に示
したように両者の間には比例関係があることが分かった
このことから、予め差電流値Δ■、に対応する炭酸ガス
濃度を求めておけば、当該差電流値Δ11から直ちに炭
酸ガス濃度を求めることができる。
又、酸素濃度は、第3図に示す如く酸素の限界電流値I
LIに比例することが既に知られているため、やはり当
該限界電流値ILLから直ちに求めることができる。
〈実施例〉 拡散孔を有するカプセル型の酸素センサーを用いて、測
定温度(気体温度)25℃で、脱水された種々の炭酸ガ
ス濃度(予め既知の炭酸ガスを入れて設定した設定濃度
)の空気(乾燥空気)ついて、実測したところ、第1表
の如くであった。
上記第1表により求められた値をプロンhL、グラフ化
すると第4図の如くであった。
このグラフから、ΔILと実測値とがよく対応している
ことが分かる。
尚、本発明を実施するに当たっては、特願昭60−20
2169号に示される如く複数の内部電極に異なる電圧
を印加してもよいし、或いは又2個のセンサーを並列に
して用いてもよいし、更には印加電圧を掃引することに
よって2段階の平坦領域を実現して測定してもよい。
〈発明の効果〉 以上の説明から明らかなように本発明の気体濃度測定方
法によれば、被測定気体中の酸素濃度と炭酸ガス濃度を
簡単且つ迅速に測定することができる。特に、パーセン
トオーダーの比較的高濃度の炭酸ガスを高精度で測定す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明方法を説明するための限界電流方式の酸
素センサーにおける電圧−電流特性曲線を示したグラフ
、第2図は限界電流値間の差電流値Δ■、と炭酸ガス濃
度との関係を示したグラフ、第3図は限界電流値と酸素
濃度との関係を示したグラフ、第4図は限界電流値間の
差電流値Δ■、と実測値を示したグラフ、第5図は限界
電流方式の酸素センサーにおける一般的な電圧−電流特
性曲線を示したグラフである。 図中、 11・・・炭酸ガス含有脱水気体の電圧−電流特性曲線
、 12・・・第1平坦部、 13・・・第2平坦部、 14・・・谷部、 特許出願人     蒔倉電線株式会社第2図 斗 第3図 幀t;Iバ@10) 第4図 戻酸■又1戊 (”/、)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 少なくとも炭酸ガスの含有された被測定気体中の酸素濃
    度及び炭酸ガスを測定するにおいて、前記被測定気体中
    の水分を脱水した後、固体電解質を用いた限界電流方式
    の酸素センサーに電圧を印加して第1平坦部の限界電流
    値と第2平坦部の限界電流値を求め、前記第1平坦部の
    限界電流値から酸素濃度を得、且つ第2平坦部の限界電
    流値と前記第1平坦部の限界電流値との差から被測定気
    体中の炭酸ガス濃度を得ることを特徴とする気体濃度測
    定方法。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JP2021124474A (ja) * 2020-02-10 2021-08-30 ローム株式会社 ガス濃度測定システム及びガス濃度測定方法

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