JPS62149841U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62149841U JPS62149841U JP3759586U JP3759586U JPS62149841U JP S62149841 U JPS62149841 U JP S62149841U JP 3759586 U JP3759586 U JP 3759586U JP 3759586 U JP3759586 U JP 3759586U JP S62149841 U JPS62149841 U JP S62149841U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- trap
- semiconductor manufacturing
- top surface
- passing
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 claims 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
Description
第１図はこの考案の半導体製造装置の一実施例
に使用されるトラツプの第１の例の一部切欠斜視
図、第２図は第１図トラツプの側面図、第３図は
上記一実施例に使用されるトラツプの第２の例を
示す断面図、第４図は上記一実施例に使用される
トラツプの第３の例を示す側面図、第５図はＩｎ
Ｐの減圧ＭＯＣＶＤ装置の配管構造図、第６図は
従来のトラツプを示す断面図である。 ２１……密閉筒状容器、２２……筒体、２３…
…ガイド、２４……通路、２５……第１の管、２
６……第２の管。
に使用されるトラツプの第１の例の一部切欠斜視
図、第２図は第１図トラツプの側面図、第３図は
上記一実施例に使用されるトラツプの第２の例を
示す断面図、第４図は上記一実施例に使用される
トラツプの第３の例を示す側面図、第５図はＩｎ
Ｐの減圧ＭＯＣＶＤ装置の配管構造図、第６図は
従来のトラツプを示す断面図である。 ２１……密閉筒状容器、２２……筒体、２３…
…ガイド、２４……通路、２５……第１の管、２
６……第２の管。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 反応管の下流側に、蒸発物や反応出成物である
固形物を除去するトラツプを有する半導体製造装
置において、 (a) 密閉筒状容器と、 (b) この密閉筒状容器内に同軸的に収容された
筒体と、 (c) この筒体の外壁に螺旋状に設けられ、該筒
体の外壁と前記容器の内壁間に、下端にて前記筒
体内に連通する螺旋状の通路を形成するガイドと
、 (d) 前記容器の上面を貫通して、容器の上端に
て前記通路に連通する第１の管と、 (e) 前記容器の上面を貫通して、容器の上端に
て前記筒体内に連通する第２の管とにより前記ト
ラツプを構成したことを特徴とする半導体製造装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3759586U JPS62149841U (ja) | 1986-03-17 | 1986-03-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3759586U JPS62149841U (ja) | 1986-03-17 | 1986-03-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62149841U true JPS62149841U (ja) | 1987-09-22 |
Family
ID=30849065
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3759586U Pending JPS62149841U (ja) | 1986-03-17 | 1986-03-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62149841U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01302816A (ja) * | 1988-05-31 | 1989-12-06 | Tel Sagami Ltd | 縦型熱処理装置 |
| JPH04176118A (ja) * | 1990-11-08 | 1992-06-23 | Nec Kyushu Ltd | 減圧ｃｖｄ装置 |
-
1986
- 1986-03-17 JP JP3759586U patent/JPS62149841U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01302816A (ja) * | 1988-05-31 | 1989-12-06 | Tel Sagami Ltd | 縦型熱処理装置 |
| JPH04176118A (ja) * | 1990-11-08 | 1992-06-23 | Nec Kyushu Ltd | 減圧ｃｖｄ装置 |