JPS62146431A - Magnetic recording medium - Google Patents

Magnetic recording medium

Info

Publication number
JPS62146431A
JPS62146431A JP28901185A JP28901185A JPS62146431A JP S62146431 A JPS62146431 A JP S62146431A JP 28901185 A JP28901185 A JP 28901185A JP 28901185 A JP28901185 A JP 28901185A JP S62146431 A JPS62146431 A JP S62146431A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
magnetic
recording medium
protective film
magnetic recording
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP28901185A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Fumio Maruta
丸田 文生
Hiroshi Kawahara
博 河原
Osamu Shinoura
治 篠浦
Yoshiaki Saito
斎藤 善明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP28901185A priority Critical patent/JPS62146431A/en
Publication of JPS62146431A publication Critical patent/JPS62146431A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Paints Or Removers (AREA)
  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To realize a recording medium which has excellent durability, wear resistance, etc., and obviates an attraction by successively laminating a carbon protective film, and a top coat layer consisting of a prescribed material as a lubricating agent on a magnetic metallic layer on a substrate. CONSTITUTION:An underlying layer 3 and an intermediate layer 4 consisting of a nonmagnetic metal is provided on the nonmagnetic substrate 2 consisting of aluminum, etc., and the thin magnetic metallic film layer 5 and a protective film 6 consisting of a nonmagnetic metal are formed thereon. The carbon protective film 7 and the top coat layer 8 contg. perfluoropolyether as the lubricating agent are successively laminated thereon. The top coating is executed by spin coating, etc., to 50-150Angstrom thickness. Since the carbon protective film 7 and the top coat layer 8 are provided in the above-mentioned manner, the recording medium which has the excellent durability, wear resistance, weatherability and corrosion resistance and obviates the generation of the head attraction is realized.

Description

【発明の詳細な説明】 ■ 発明の背景 技術分野 本発明は、磁気記録媒体に関し、さらに詳しくは、いわ
ゆるハードタイプの磁気ディスク、磁気ドラム等が有す
る磁性層の保護膜の改良に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION 1. Background Technical Field of the Invention The present invention relates to magnetic recording media, and more particularly to improvements in protective films for magnetic layers of so-called hard-type magnetic disks, magnetic drums, and the like.

先行技術とその問題点 磁気ディスク装置に用いられる磁気記録媒体は、一般に
磁気ディスク、またはディスク媒体と呼ばれ、その基本
構造はドーナツ状の基板と通常その両面に設層された磁
性層を有している。
Prior art and its problems Magnetic recording media used in magnetic disk devices are generally called magnetic disks or disk media, and their basic structure includes a donut-shaped substrate and magnetic layers usually placed on both sides of the substrate. ing.

このような記録媒体の基板材質は、例えばアルミ合金等
のハード材と、磁気テープ媒体と同じマイラーなどのプ
ラスチック材の二種類があり、一般に前者をハードタイ
プの磁気ディスク、後者をフレキシブルディスクと呼ん
でいる。
There are two types of substrate materials for such recording media: hard materials such as aluminum alloy, and plastic materials such as Mylar, which are the same as magnetic tape media.The former is generally called a hard type magnetic disk, and the latter is called a flexible disk. I'm here.

ところで、磁気ディスク装置、磁気ドラム装置における
磁気記録媒体、特にハートタイプの磁気ディスクでは、
磁気ヘットとの機械的接触に対する耐久性、耐摩耗性等
の点で問題があり、そのため通常これらの磁気記録媒体
には保、¥fi膜が施される。 このような媒体の保護
膜として、従来無機保護膜あるいは固体潤滑剤等の潤滑
膜を設けることか知られている。
By the way, magnetic recording media in magnetic disk devices and magnetic drum devices, especially heart-type magnetic disks,
There are problems in terms of durability against mechanical contact with a magnetic head, wear resistance, etc. Therefore, these magnetic recording media are usually coated with a protective film. As a protective film for such a medium, it is conventionally known to provide an inorganic protective film or a lubricating film such as a solid lubricant.

無機保護II!2としては、Rh、Cr(特公昭52−
18001号公報)Ni−P(特公昭54−33726
号公報)、そのほか、Re、Os、Ru、Ag、Au、
Cu、Pt、Pd(特公昭57−6177号公報)、N
1−Cr(特公昭57−17292号公報)等が用いら
れ、他方、固体潤滑剤としては、無機ないし有機の潤滑
剤、例えば、珪素化合物、例えば5i02 、Sin、
Si3 N4等(特公昭54−33726号公報)、ポ
リ珪酸もしくはシランカップリング剤、例えばテトラヒ
ドロキシシラン、ポリアミノシラン等(特公昭59−3
9809号公報)およびカーボン等が使用されている。
Inorganic protection II! As for 2, Rh, Cr (Special Public Interest Publication No. 52-
18001) Ni-P (Special Publication No. 18001)
(No. Publication), as well as Re, Os, Ru, Ag, Au,
Cu, Pt, Pd (Special Publication No. 57-6177), N
1-Cr (Japanese Patent Publication No. 57-17292) etc. are used, and on the other hand, as solid lubricants, inorganic or organic lubricants such as silicon compounds such as 5i02, Sin,
Si3 N4 etc. (Japanese Patent Publication No. 54-33726), polysilicic acid or silane coupling agents such as tetrahydroxysilane, polyaminosilane etc. (Japanese Patent Publication No. 59-3
9809) and carbon.

しかしながら、磁性層上に設けられるこれらの従来の保
護膜の材質および構造では、媒体の耐久性、耐摩耗性、
耐候性、耐食性等が十分高く、しかもヘッドが媒体表面
にはりついてしまういわゆる吸着と呼ばれる現象も発生
しないものは実現していない。
However, the materials and structures of these conventional protective films provided on the magnetic layer do not improve the durability, abrasion resistance, or
No material has been developed that has sufficiently high weather resistance, corrosion resistance, etc., and does not cause the so-called adhesion phenomenon in which the head sticks to the surface of the medium.

■ 発明の目的 本発明の目的は、媒体の耐久性、耐摩耗性、耐候性、耐
食性等に優れ、ヘッド吸着もなく、実用に際してきわめ
て高い信頼性を存する磁気記録媒体を提供することにあ
る。
(2) Purpose of the Invention The purpose of the present invention is to provide a magnetic recording medium which has excellent durability, abrasion resistance, weather resistance, corrosion resistance, etc., has no head attraction, and has extremely high reliability in practical use.

■ 発明の開示 このような目的は、下記の本発明によって達成される。■Disclosure of invention Such objects are achieved by the invention described below.

すなわち本発明は、非磁性基体上に、金属薄膜磁性層を
存し、さらにこの磁性層上にカーボン保護膜を存し、こ
の保護膜層上に潤滑剤としてパーフルオロポリエーテル
を含むトップコート層を有することを特徴とする磁気記
録媒体である。
That is, the present invention includes a metal thin film magnetic layer on a nonmagnetic substrate, a carbon protective film on this magnetic layer, and a top coat layer containing perfluoropolyether as a lubricant on this protective film layer. A magnetic recording medium characterized by having:

■ 発明の具体的構成 以下、本発明の具体的構成について詳細に説明する。 
第1図には本発明の磁気記録媒体の一実施例が示される
■Specific structure of the invention The specific structure of the present invention will be explained in detail below.
FIG. 1 shows an embodiment of the magnetic recording medium of the present invention.

本発明の磁気記録媒体1は、非磁性基体2上に一般に下
地層3を存し、この下地層3の上には通常、非磁性金属
中間層4を有し、この上に金属薄膜磁性層5を存し、磁
性層5の上に一般に非磁性金属保護膜6を有し、さらに
カーボン保護膜7およびトップコート層8が順次積層さ
れて構成される。
The magnetic recording medium 1 of the present invention generally has a base layer 3 on a non-magnetic substrate 2, a non-magnetic metal intermediate layer 4 on the base layer 3, and a metal thin film magnetic layer on this base layer 3. Generally, a non-magnetic metal protective film 6 is provided on the magnetic layer 5, and a carbon protective film 7 and a top coat layer 8 are sequentially laminated.

本発明において、媒体表面に設けられるトップコート層
8は潤滑剤としてパーフルオロポリエーテルを含有する
In the present invention, the top coat layer 8 provided on the surface of the medium contains perfluoropolyether as a lubricant.

このような化合物としては下記式(I)で示されるこの
が挙けられる。
Examples of such compounds include those represented by the following formula (I).

式(I) Rf(−Rf’ 0−)−Rf” 上記式(I)において、Rfはフッ素原子またはパーフ
ルオロアルキル基を表わす。
Formula (I) Rf(-Rf'0-)-Rf'' In the above formula (I), Rf represents a fluorine atom or a perfluoroalkyl group.

Rf’ はパーフルオロアルキレン基を表わす。Rf' represents a perfluoroalkylene group.

Rf″はパーフルオロアルキル基を表わす。Rf'' represents a perfluoroalkyl group.

Rfがパーフルオロアルキル基を表わす場合、RfとR
f″とは同一でも異なっていてもよい。 nは正の整数
を表わし、nが2以上の場合、Rf’ はそれぞれ同一
でも異なっていてもよい。
When Rf represents a perfluoroalkyl group, Rf and R
They may be the same or different from f''. n represents a positive integer, and when n is 2 or more, Rf' may be the same or different.

Rfで表わされるパーフルオロアルキル基としては一〇
F3、−C2F5等が挙げられる。
Examples of the perfluoroalkyl group represented by Rf include 10F3 and -C2F5.

Rfの好ましいものとしては、−F、 −CF3である。Preferred examples of Rf include -F, -CF3.

Rf”の好ましいものとしては、−CF2−等が挙げら
れる。
Preferred examples of Rf'' include -CF2- and the like.

Rf”としては、−CF3、−C2F5等が挙げられる
Examples of "Rf" include -CF3 and -C2F5.

nは10〜100であり、特に10〜50か好ましい。n is 10 to 100, particularly preferably 10 to 50.

式(I)で表わされる化合物のなかでも、下記式(I−
1)、(I−2)で表わされるものが好ましい。
Among the compounds represented by formula (I), the following formula (I-
1) and (I-2) are preferred.

式(I−1) (:F3−[(−0−CF2−CF 2 )N−(0−
CFz )、]−0(:F 3式(I−2) 上記式(I−1)、(I−2)において、NとMの和は
10〜100程度である。
Formula (I-1) (:F3-[(-0-CF2-CF2)N-(0-
CFz ),]-0(:F 3 Formula (I-2) In the above formulas (I-1) and (I-2), the sum of N and M is about 10 to 100.

Nとしては5〜50であり、好ましくは5〜30である
。 またMとしては5〜50であり、好ましくは5〜3
0である。
N is 5 to 50, preferably 5 to 30. Further, M is 5 to 50, preferably 5 to 3.
It is 0.

また、下記式(I−3)で表わされるものも好ましい。Moreover, those represented by the following formula (I-3) are also preferable.

式(I−3) 上記式(I−3)において、nは式(I)におけるもの
と同義である。
Formula (I-3) In the above formula (I-3), n has the same meaning as in formula (I).

nは10〜100であり、好ましくは30〜70である
n is 10-100, preferably 30-70.

このような化合物は、平均分子311000〜1000
0、動粘度40〜3000cST(20℃)、流動点−
80〜−10℃を有する。
Such compounds have an average molecular weight of 311,000 to 1,000
0, kinematic viscosity 40-3000cST (20℃), pour point -
It has a temperature of 80 to -10°C.

これら化合物は、公知の方法に従い合成できる。These compounds can be synthesized according to known methods.

また、市販のものを用いてもよい。Alternatively, commercially available products may be used.

具体的に商品名を挙げると、モンテフルオス社製FOM
BLIN  YO4,YO6゜Y25.Y45.YR:
FOMBLINY−L−VACO616,Y−L−VA
C14/6゜Y−L−VAC16/6.Y−L−VAC
25/6:FOMBLIN  Y−H−VAC1B/8
、Y−H−VAC25/9.Y−H−VAC40/11
.Y−H−VAC140/13 ;FOMBLIN  
Z;デュポン社製KRYTOX143CZ、143AZ
、143AA、143AY、143AB、143AC,
143AD;KRYTOX1502.1504.150
6.1509.1514.1516.1525゜161
8.1625.1645.1680.1614などであ
る。
Specifically, the product name is FOM made by Montefluos.
BLIN YO4, YO6゜Y25. Y45. YR:
FOMBLINY-L-VACO616, Y-L-VA
C14/6°Y-L-VAC16/6. Y-L-VAC
25/6:FOMBLIN Y-H-VAC1B/8
, Y-H-VAC25/9. Y-H-VAC40/11
.. Y-H-VAC140/13 ;FOMBLIN
Z; DuPont KRYTOX143CZ, 143AZ
, 143AA, 143AY, 143AB, 143AC,
143AD; KRYTOX1502.1504.150
6.1509.1514.1516.1525゜161
8.1625.1645.1680.1614, etc.

このなかで、KRYTOX143CZは、式(I−3)
で示される化合物でn−11〜49のものである。
Among these, KRYTOX143CZ has the formula (I-3)
These are the compounds represented by n-11 to n-49.

また、FOMBLIN  Yは式(1−2)、FOMB
LIN  Zf、を式(I−1)で示すJ”L ?)も
のである。
Also, FOMBLIN Y is the formula (1-2), FOMB
LIN Zf is expressed by the formula (I-1).

このような化合物は二種以上混合して用いてもよい。Two or more such compounds may be used in combination.

そして、このような化合物の総合有量は、トップコート
層8を重量に換算した場合全体の50〜100爪量%、
好ましくは70〜100屯叶%である。
The total amount of such compounds is 50 to 100% of the total weight of the top coat layer 8,
Preferably it is 70-100%.

50重量%未満では十分な潤滑効果が得られない。If it is less than 50% by weight, a sufficient lubricating effect cannot be obtained.

また、このような化合物が含有されるトップコート層8
の厚さは20〜300人、好ましくは50〜150人と
する。
Moreover, a top coat layer 8 containing such a compound
The thickness of the board is 20 to 300 people, preferably 50 to 150 people.

20人未満では十分な本発明の効果が得られず特に耐久
性が劣り、300人をこえると吸着が発生し、いわゆる
ヘッドクラッシュを起こすからである。
This is because if there are fewer than 20 people, the sufficient effect of the present invention cannot be obtained and the durability is especially poor, and if more than 300 people are involved, adhesion occurs and so-called head crash occurs.

さらに、トップコート層8には他に脂肪酸、脂肪酸エス
テル、エポキシ樹脂、フェノール樹脂等が含まれていて
もよい。
Furthermore, the top coat layer 8 may also contain fatty acids, fatty acid esters, epoxy resins, phenol resins, and the like.

このような、トップコート層8を形成するには、通常、
フロン等のフッ素系溶媒に前記化合物を0.01〜1.
0重量%、より好ましくは0.05〜0.1重量%混合
させて、その溶液をスピンコード、ディッピング、スプ
レーコート等の塗布方法を用いて行う。
To form such a top coat layer 8, usually,
The above compound is added to a fluorine-based solvent such as chlorofluorocarbon at a concentration of 0.01 to 1.
0% by weight, more preferably 0.05 to 0.1% by weight, and the solution is applied using a coating method such as spin cording, dipping, or spray coating.

スピンコードによる場合、その回転数は500〜300
0 rpm 、回転時間5〜20秒程度とし、また、デ
ィッピングによる場合は、例えばまず最初にフロン等の
溶媒に15〜30秒間程度浸して洗浄した後、潤滑剤溶
液に10〜30秒間浸し、5〜20 mad/secの
スピードで引き上げて行えばよい。
When using a spin code, the number of rotations is 500 to 300
0 rpm, rotation time is about 5 to 20 seconds, and in the case of dipping, for example, first immerse it in a solvent such as Freon for about 15 to 30 seconds to clean it, then soak it in a lubricant solution for 10 to 30 seconds. It may be done by pulling up at a speed of ~20 mad/sec.

このようなトップコート層8は後述するカーボン保護膜
7上に設層される。
Such a top coat layer 8 is provided on a carbon protective film 7, which will be described later.

カーボン保護膜7は、その組成としてC単独からなるが
、他の元素を5wL%未満含有するものであってよい。
The carbon protective film 7 is composed of C alone, but may contain less than 5 wL% of other elements.

カーボン保護膜7は、スパッタ法、イオンブレーティン
グ法、蒸着法、CVD等の各種気相成膜法で形成可能で
あるが、中でも特にスパッタ法によるのが好ましい。 
この場合には、形成された膜がきわめて緻密となり、耐
久性、耐候性に優れた効果を有する。
The carbon protective film 7 can be formed by various vapor phase film forming methods such as sputtering, ion blasting, vapor deposition, and CVD, but sputtering is particularly preferred.
In this case, the formed film becomes extremely dense and has excellent durability and weather resistance.

このように形成されるカーボン保護膜7の膜厚は100
〜800人、特に300〜500人が好ましい。
The thickness of the carbon protective film 7 formed in this way is 100 mm.
-800 people, especially 300-500 people is preferred.

さらにカーボン保護膜7の表面をプラズマ処理しておく
ことが好ましい。 こうすることによりカーボン保護膜
表面を化学的に活性化し、上述したトップコート層8を
密着性良く設層することができる。 従って接着強度が
向上する。
Furthermore, it is preferable that the surface of the carbon protective film 7 be subjected to plasma treatment. By doing so, the surface of the carbon protective film can be chemically activated, and the above-mentioned top coat layer 8 can be formed with good adhesion. Therefore, adhesive strength is improved.

プラズマ処理は公知の方法によって行えばよく、Ar、
Ne、He、N2 、N2等の1種ないし2種以上の処
理ガスを用い、電源の周波数50[1z 〜13.56
MHz程度、印加電流、処理時間等は通常の条件とすれ
ばよい。
Plasma treatment may be performed by a known method, such as Ar,
Using one or more processing gases such as Ne, He, N2, N2, etc., the frequency of the power supply is 50 [1z ~ 13.56].
Approximately MHz, applied current, processing time, etc. may be set to normal conditions.

本発明で使用される非磁性基体2は、例えば、アルミニ
ウム、アルミニウム合金等の金属、ガラス、セラミック
ス、エンジニアリングプラスチックス等が挙げられる。
Examples of the nonmagnetic substrate 2 used in the present invention include metals such as aluminum and aluminum alloys, glass, ceramics, and engineering plastics.

 そして、これらの中でも、機械的剛性、加工性等が良
好でしかも後述する下地層が容易に設層できるアルミニ
ウム、アルミニウム合金等を用いるのが好ましい。
Among these, it is preferable to use aluminum, aluminum alloy, etc., which have good mechanical rigidity, workability, etc., and can easily form a base layer, which will be described later.

このような非磁性基体2の厚さは1.2〜1.9mm程
度であり、その形状は通常、ディスク状、ドラム状等特
に制限はない。
The thickness of such a nonmagnetic substrate 2 is about 1.2 to 1.9 mm, and its shape is usually not particularly limited, such as a disk shape or a drum shape.

このような非磁性基体2の材質として、特にAfL等の
金属基体を用いるときには、この基体上に下地層3を設
けることが好ましい。 この下地層3は、N i−P、
 N 1−Cu−P、N i −W−P、 N i−B
等のいずれかの組成を含有して形成される。 このもの
は、液相メッキ法、特に無電解メッキ法で成膜させるこ
とが好ましい。 無電解メッキ法によれば、きわめて緻
密な膜が形成でき、機械的剛性、硬度、加工性を上げる
ことができる。
In particular, when a metal substrate such as AfL is used as the material of the non-magnetic substrate 2, it is preferable to provide the underlayer 3 on this substrate. This base layer 3 is made of N i-P,
N1-Cu-P, N1-W-P, N1-B
It is formed by containing any of the following compositions. This film is preferably formed by a liquid phase plating method, particularly an electroless plating method. According to the electroless plating method, an extremely dense film can be formed, and mechanical rigidity, hardness, and workability can be improved.

なお、上記の組成からなる下地層の組成比(wt)は、
以下のとおりである。
In addition, the composition ratio (wt) of the base layer consisting of the above composition is:
It is as follows.

すなわち、(NixCuy)八P  B、(NixWy
)    P B これらの場合においては、 x+y=100:O〜10:90、 A:B=97:3〜85:15である。
That is, (NixCuy)8P B, (NixWy
) PB In these cases, x+y=100:O~10:90, A:B=97:3~85:15.

N i xByの場合にはx : y=97 : 3〜
90:3である。
In the case of N i xBy, x:y=97:3~
The ratio is 90:3.

この無電解メッキ法のプロセスの一例を簡単にのべると
、まず、アルカリ性脱脂および酸性脱脂を行った後、数
回のジンケート処理をくり返して行い、さらに重炭酸ナ
トリウム等で表面調整したのちp84.0〜6,0のニ
ッケル・メッキ溶中で約80〜95℃、約0.5〜3時
間メッキ処理すればよい。
To briefly describe an example of the process of this electroless plating method, first, after alkaline degreasing and acid degreasing, zincate treatment is repeated several times, and the surface is further adjusted with sodium bicarbonate, etc., and then p84. Plating may be carried out in a nickel plating solution of ~6.0° C. at about 80 DEG -95 DEG C. for about 0.5 to 3 hours.

これらメッキ処理は、例えば特公昭第48−18842
号公報、特公昭第50−1438号公報等に記載されて
いる。
These plating treatments are, for example,
No. 50-1438, Japanese Patent Publication No. 50-1438, etc.

このような上地層3の膜厚は3〜50μm、特に5〜2
0μmが好ましい。
The thickness of such upper layer 3 is 3 to 50 μm, especially 5 to 2 μm.
0 μm is preferable.

さらに下地層3の表面には凹凸部を設けることが好まし
い。
Furthermore, it is preferable to provide the surface of the base layer 3 with an uneven portion.

凹凸部をつくるには、例えば、下地層3が設層された円
板状基体2を回転させながら、研磨剤等を作用させ、下
地層3の表面に同心円状に不規則な溝を設ける。
To create the uneven portion, for example, while rotating the disc-shaped substrate 2 on which the base layer 3 is provided, an abrasive or the like is applied to form concentric irregular grooves on the surface of the base layer 3.

なお凹凸部は、下地層3上にランダムに設けてもよい。Note that the uneven portions may be provided randomly on the base layer 3.

このような凹凸部を設けることによって、吸着特性およ
び耐久性が向上する。
By providing such uneven portions, the adsorption characteristics and durability are improved.

なお、下地層3を基体2上に設けない場合には、直接基
体2上に上記の凹凸を設ければよい。
In addition, when the base layer 3 is not provided on the base body 2, the above-mentioned unevenness may be provided directly on the base body 2.

さらにこのような下地層3を有することのある基体上に
はCoまたはCOとNi、Cr、Pのうちの1種以上を
主成分とする金属薄膜磁性層5が設層される。
Further, on a substrate that may have such an underlayer 3, a metal thin film magnetic layer 5 whose main components are Co or CO and one or more of Ni, Cr, and P is provided.

このものの組成の具体例としては、Co−Ni、Co−
Ni−Cr、Co−Cr、Co−N1−P、Co−Zn
−P、Co−Ni−Mn−Re−P等がある。 これら
の中では特にCo−Ni、Co−Ni−Cr、Co−C
r、Co−N1−P等が好ましく、これらの合金の好適
組成比は重量比で、Co:N1=1 : 1〜9:1、 (Co  N 1  )  Cr eにおいてx:y=
I   yA : 1〜9 : l、A  :B =99.9:0. 
1〜75:25、 Co : Cr=7 : 3〜9 : 1゜(Co  
N1y)、PBにおいて、 x:y=1:O〜1:9、A :B =99.9 :0
.1〜85:L5である。 これらの範囲をはずれると
記録特性が低下する。
Specific examples of the composition of this material include Co-Ni, Co-
Ni-Cr, Co-Cr, Co-N1-P, Co-Zn
-P, Co-Ni-Mn-Re-P, etc. Among these, Co-Ni, Co-Ni-Cr, Co-C
r, Co-N1-P, etc. are preferable, and the preferred composition ratio of these alloys is Co:N1=1:1 to 9:1 by weight, and x:y= in (CoN1)Cre.
IyA: 1-9:l, A:B=99.9:0.
1~75:25, Co:Cr=7:3~9:1°(Co
N1y), in PB, x:y=1:O~1:9, A:B=99.9:0
.. 1 to 85: L5. Outside these ranges, recording characteristics deteriorate.

このような金属薄膜磁性層5は気相もしくは液相の柚々
のメッキ法で設層可能であるが、中でも特に気相法の1
種であるスパッタ法が好ましい。 スパッタ法を用いる
ことによフて磁気特性の良好な磁性層が得られる。
Such a metal thin film magnetic layer 5 can be formed by a plating method in a gas phase or a liquid phase.
A seed sputtering method is preferred. By using the sputtering method, a magnetic layer with good magnetic properties can be obtained.

スパッタ法は作業を行う領域によって、さらにプラズマ
法とイオンビーム法の2つに大別することができる。
Sputtering methods can be further divided into two types, plasma methods and ion beam methods, depending on the area to be worked on.

プラズマ法によりスパッタ法では、Ar等の不活性ガス
雰囲気中で異常グロー放電を発生させ、Arイオンによ
フてターゲット(蒸着物質)のスパッタを行い、例えば
、被着体に蒸着させる。
In the plasma sputtering method, an abnormal glow discharge is generated in an atmosphere of an inert gas such as Ar, and a target (vapor deposition material) is sputtered using Ar ions, and is deposited on, for example, an adherend.

ターゲットに数にVの直流電圧を印加する直流スパッタ
リング、数百〜数KWの高周波数電力を印加する高周波
スパッタリングのいずれであってもよい。
Either direct current sputtering, in which a direct current voltage of several volts is applied to the target, or high frequency sputtering, in which high frequency power of several hundred to several kilowatts is applied, may be used.

また、2filから3極、4極スパツタ装置と多極化し
たほか、直行電磁界を加えてプラズマ中の電子のマグネ
トロンと同様サイクロイド運動を与え、高密度プラズマ
を作るとともに、印加電圧を低くし、スパッタを高能率
化したマグネトロン系スパッタリングを用いてもよい。
In addition, we have changed the number of poles from 2fil to 3-pole and 4-pole sputtering equipment, and added an orthogonal electromagnetic field to give electrons in the plasma a cycloidal motion similar to a magnetron to create high-density plasma.We also lowered the applied voltage to reduce sputtering. Highly efficient magnetron sputtering may also be used.

イオンビーム法では、適当なイオン源を用いてArなど
をイオン化し、引出し、電極に印加した負高電圧によっ
て高真空側にイオンビームとして引出し、ターゲット表
面に照射してスパッタしたターゲット物質を例えば被着
体に蒸着させる。
In the ion beam method, Ar or the like is ionized using an appropriate ion source, extracted, and extracted as an ion beam to the high vacuum side using a negative high voltage applied to an electrode.The ion beam is then irradiated onto the target surface to sputter the sputtered target material. Vapor-deposit onto the target body.

また、スパッタ法における被着粒子の運動エネルギーは
約数eV〜100eVであり、例えば蒸着法のそれ(約
0.1eV〜feV)と比べてきわめて大きい。
Further, the kinetic energy of the deposited particles in the sputtering method is approximately several eV to 100 eV, which is extremely large compared to, for example, that in the vapor deposition method (approximately 0.1 eV to feV).

本発明において、ターゲットの材質としては、目的とす
る金属薄線磁性層5の組成に対応する合金等を用いれば
よい。
In the present invention, as the material of the target, an alloy or the like corresponding to the composition of the intended thin metal wire magnetic layer 5 may be used.

ところで、金属薄膜磁性層5の組成をCoPないしCo
N i Pとする場合には、液相メッキ法、特に無電解
メッキ法で設層してもよい。
By the way, the composition of the metal thin film magnetic layer 5 is set to CoP or Co.
In the case of using N i P, the layer may be formed by a liquid phase plating method, particularly an electroless plating method.

そしてその磁性層は上記スパッタ法と同様に良好な磁気
特性を示す。
The magnetic layer exhibits good magnetic properties similar to the sputtering method described above.

無電解メッキに用いるメッキ浴組成、メッキ条件等とし
ては公知の種々のものが適用可能であり、例えば、特公
昭第54−9136号公報、特公昭第55−14865
号公報等に記載のものはいずれも使用可能である。
Various known plating bath compositions, plating conditions, etc. used in electroless plating can be applied, such as those disclosed in Japanese Patent Publication No. 54-9136 and Japanese Patent Publication No. 55-14865.
Any of those described in the No. 1 publication, etc. can be used.

上述してきたような金属薄膜磁性層5の膜厚は200〜
5000人、特に500〜1000人、さらに500〜
600人が好ましい。
The thickness of the metal thin film magnetic layer 5 as described above is 200~
5000 people, especially 500-1000 people, even 500-
Preferably 600 people.

このような金属薄膜磁性層5を前述したようなスパッタ
法で設層する場合には、下地層3と磁性層5との間にC
rを含む非磁性金属中間層4を設けることが好ましい。
When such a metal thin film magnetic layer 5 is deposited by the sputtering method as described above, C is deposited between the base layer 3 and the magnetic layer 5.
It is preferable to provide a nonmagnetic metal intermediate layer 4 containing r.

 この非磁性金属中間層4を設けることによって、媒体
の磁気特性が向上し、記録特性のイ8頼性の向上をも図
ることができる。
By providing this nonmagnetic metal intermediate layer 4, the magnetic properties of the medium are improved, and the reliability of the recording properties can also be improved.

そしてこの非磁性金属中間層4は通常Crから形成され
るのが最も好ましいが、Cr含有量は99wL%以上で
あればよい。
The nonmagnetic metal intermediate layer 4 is usually most preferably formed from Cr, but the Cr content may be 99wL% or more.

そしてこの中間層4は、種々の公知の気相成膜法で形成
可能であるが、通常、上述した金属薄膜磁性層5と同様
にスパッタ法で成膜することが好ましい。 このような
非磁性金属中間層4の膜厚は用いる金属薄膜磁性層5の
種類によって適宜決定すべきであるが、通常500〜3
000λ程度である。
This intermediate layer 4 can be formed by various known vapor phase deposition methods, but it is usually preferable to deposit it by sputtering as in the case of the metal thin film magnetic layer 5 described above. The thickness of such a non-magnetic metal intermediate layer 4 should be appropriately determined depending on the type of metal thin film magnetic layer 5 used, but is usually 500 to 300 mm.
It is about 000λ.

本発明の磁気記録媒体1は前述した金属薄膜磁性層5と
カーボン保護膜7との間にOrなどの非磁性金属保護膜
6を設層することが好ましい。
In the magnetic recording medium 1 of the present invention, it is preferable that a nonmagnetic metal protective film 6 such as Or is provided between the metal thin film magnetic layer 5 and the carbon protective film 7 described above.

そして、この保護膜6の成膜方法は上記の非磁性金属中
間層4の場合と同様にすればよい。
The method for forming the protective film 6 may be the same as that for the nonmagnetic metal intermediate layer 4 described above.

このような非磁性金属保護膜6の膜厚は30〜300人
、特に100〜200人が好ましい。
The thickness of such a non-magnetic metal protective film 6 is preferably 30 to 300, particularly preferably 100 to 200.

上述してきたような磁気記録媒体1は、第1図に示され
るように片面記録の媒体としてもよいが、基体2の両面
側に磁性層等を第1図と同様に設けた、いわゆる両面記
録の媒体としてもよい。
The magnetic recording medium 1 as described above may be a single-sided recording medium as shown in FIG. 1, but it may also be a so-called double-sided recording medium in which magnetic layers and the like are provided on both sides of the base 2 in the same manner as shown in FIG. It may also be used as a medium.

■ 発明の具体的作用効果 本発明によれば、金属薄sin性層上層上−ボン保護膜
を有し、この保護膜層上に所定の潤滑剤を含むトップコ
ート層を有するために、得られた媒体は、耐久性、耐摩
耗性、耐候性、耐食性等に優れ、ヘッド吸着も少なく、
実用に際してきわめて高い信頼性を有゛する。
■Specific effects of the invention According to the present invention, a thin metallic thin layer is provided with a protective film on the upper layer, and a top coat layer containing a predetermined lubricant is provided on this protective film layer. The media has excellent durability, abrasion resistance, weather resistance, corrosion resistance, etc., and has less head adsorption.
It has extremely high reliability in practical use.

■ 発明の具体的実施例 以下、本発明の具体的実施例を示し、本発明をさらに詳
細に説明する。
(2) Specific Examples of the Invention Hereinafter, specific examples of the present invention will be shown and the present invention will be explained in more detail.

(実施例1) φ13cm、厚さ1’、9mmのディスク状のA2基体
上に、厚さ20μmのNiPの下地層を無電解メッキ法
で設けた。 なお、無電解メッキ法は下記のプロセスお
よび製造条件で行った。
(Example 1) A NiP base layer with a thickness of 20 μm was provided by electroless plating on a disc-shaped A2 substrate with a diameter of 13 cm, a thickness of 1′, and a 9 mm. Note that the electroless plating method was performed under the following process and manufacturing conditions.

(N i P無電解メッキ) プロセス       製 造 条 件工、アルカリ性
 アルブレツブ204 (fi野製薬社脱脂     
製) 250 ml / l、65℃、5分2、酸性脱
脂  アルブレツブ230(実計製薬社製)15011
/42.65℃、 5分 3゜ジンケート アープ302(実計製薬社製)250
!IJl/ffi、25℃、30秒4、ジンケート 6
2 vo1%濃硝酸、剥離     800 ml /
 l、25℃、30秒5、ジンケート アープ302(
実計製薬社製)25011171.25℃、20秒 6、表面調整  重炭酸ナトリウム30g/iL、20
℃、30秒 7、ニッケルメ ナイフラッド719A(実計製薬ツキ
    社製)80Td/il。
(NiP electroless plating) Process Manufacturing Conditions, Alkaline Albretsubu 204 (Fino Pharmaceutical Co., Ltd. Degreasing
250 ml/l, 65°C, 5 minutes 2, acidic degreasing Albretsubu 230 (manufactured by Jitsukei Pharmaceutical Co., Ltd.) 15011
/42.65℃, 5 minutes 3゜Zincate Arp 302 (manufactured by Jitsukei Pharmaceutical Co., Ltd.) 250
! IJl/ffi, 25°C, 30 seconds 4, zincate 6
2 vol 1% concentrated nitric acid, peeling 800 ml /
l, 25℃, 30 seconds 5, Zincate Arp 302 (
Jitskei Pharmaceutical Co., Ltd.) 25011171.25℃, 20 seconds 6, surface conditioning Sodium bicarbonate 30g/iL, 20
℃, 30 seconds 7, nickel metal knife clad 719A (manufactured by Jitsukei Pharmaceutical Tsuki Co., Ltd.) 80 Td/il.

ナイフラッド719B(実計製薬 社製)150J/l1 pH4,5,90℃、2時間 なお、下地層の組成はNi:P=85+15く重量比)
、厚さは20μ「とじた。
Knife Lad 719B (manufactured by Jitsukei Pharmaceutical Co., Ltd.) 150 J/l1 pH 4, 5, 90°C, 2 hours The composition of the base layer is Ni:P = 85 + 15 (weight ratio)
, the thickness is 20μ.

このようなNiPの下地層を有するAf1基体の他に、
表1に示されるような、AM、ガラス(コーニング社製
)、プラスチック(ポリエーテルイミド樹脂)の種々の
材質の基体も用いた。
In addition to the Af1 substrate with such a NiP underlayer,
Substrates made of various materials such as AM, glass (manufactured by Corning), and plastic (polyetherimide resin) as shown in Table 1 were also used.

次いで、上記の各種基体表面(基体表面上に下地層を有
するものは、その下地層の表面)を下記の条件にて研磨
処理した。
Next, the surfaces of the various substrates described above (for those having an underlayer on the surface of the substrate, the surface of the underlayer) were polished under the following conditions.

く表面研磨処理〉 スピードファム■社製のラッピングマシン9B−5Pを
用い、上記基体を回転させながら、不二見研磨−の研磨
液、メディボールNo。
Surface polishing treatment> Using a lapping machine 9B-5P manufactured by Speed Fam ■, while rotating the above-mentioned substrate, a polishing liquid of Fujimi Polishing and Mediball No. was applied.

8(50%希釈液)を用い、100gの加重をかけなが
ら10分間研磨を行った。
8 (50% diluted solution), polishing was performed for 10 minutes while applying a load of 100 g.

その後、ディスク基板洗浄装置(スピードファムクリー
ンシステム■社製)を用いて洗浄した。 工程は以下に
示すとおりである。
Thereafter, it was cleaned using a disk substrate cleaning device (manufactured by Speed Fam Clean System ■). The process is as shown below.

く洗浄工程〉 1、中性洗剤溶液、浸漬、超音波 2、超純水、スクラブ 3、超純水、スクラブ 4、超純水、浸漬、超音波 5、超純水、浸漬 6、フロン/エタノール混合液、浸漬、超音波7、フロ
ン/エタノール混合液、浸漬 8.70ン/エタノール、蒸気(→乾燥)このような洗
浄工程後、基体表面(基体表面上に下地層を存するもの
は、その下地層の表面)に凹凸部を下記のようにして設
けた(以F、テクスチャリング工程という)。 すなわ
ち、テープボリヅシングマシン(巴テクノ■社製)を用
い、基体を回転させながら、基体表面に同心円状の不規
則な溝を設けた。 工程条件は、ポリッシングテープ番
手#4000、コンタクト圧力1.2にg/crn’、
オシレーン5250回/分、ワーク回転数150回/分
とした。
Cleaning process> 1. Neutral detergent solution, immersion, ultrasound 2, ultrapure water, scrub 3, ultrapure water, scrub 4, ultrapure water, immersion, ultrasonic 5, ultrapure water, immersion 6, Freon/ Ethanol mixture, immersion, ultrasonic wave 7, Freon/ethanol mixture, immersion 8.70 l/ethanol, steam (→drying) After such a cleaning process, the substrate surface (if there is a base layer on the substrate surface, An uneven portion was provided on the surface of the base layer as follows (hereinafter referred to as texturing step). That is, concentric irregular grooves were formed on the surface of the substrate while rotating the substrate using a tape bodging machine (manufactured by Tomoe Techno Corporation). The process conditions were: polishing tape number #4000, contact pressure 1.2, g/crn',
The oscillator was set at 5250 times/min and the work rotation speed was set at 150 times/min.

その後、さらに前記と同様な洗浄を行った後、C「から
成る非磁性磁性金属中間層をスパッタで膜厚2000人
に設層した。
Thereafter, the same cleaning as above was performed, and then a non-magnetic magnetic metal intermediate layer made of C was formed by sputtering to a thickness of 2,000 yen.

設層条件は、A「圧力2.OPa、DC8KWとした。The layer construction conditions were A: pressure 2.OPa, DC 8KW.

 なお、この中間層形成前にArガス圧0.2Pa、R
F400Wの条件でエツチング処理を行った。
Note that before forming this intermediate layer, Ar gas pressure is 0.2 Pa, R
Etching treatment was performed under the condition of F400W.

その後、この上に連続して以下に示すような各種金属薄
膜磁性層を設層した。 なお、無電解メッキ法で磁性層
を設層する場合には、上記のエツチング処理は行わず、
しかもCrかうなる非磁性金属中間層も設けなかった。
Thereafter, various metal thin film magnetic layers as shown below were successively deposited thereon. Note that when forming a magnetic layer by electroless plating, the above etching process is not performed.
Moreover, no nonmagnetic metal intermediate layer such as Cr was provided.

く金属薄膜磁性層の形成〉 挺工」「」立」2 CoN i磁性層をスパッタ法を用いて形成した。 成
膜条件はArガス圧2.OPa、DC8KWとした。 
CoN i組成重量比はCo/N i = 80 / 
20、膜厚は600人とした。
Formation of Metal Thin Film Magnetic Layer> A CoNi magnetic layer was formed using a sputtering method. The film forming conditions were Ar gas pressure 2. OPa, DC8KW.
The CoN i composition weight ratio is Co/N i = 80/
20. The film thickness was 600 people.

11豆コエス CoN i Cr磁性層をスパッタ法を用いて形成した
。 成膜条件はArガス圧2.OPa、DC8KWとし
た。
A CoN i Cr magnetic layer was formed using a sputtering method. The film forming conditions were Ar gas pressure 2. OPa, DC8KW.

CoNiCr組成重量比は62.5:30ニア、5とし
、膜厚は600人とした。
The CoNiCr composition weight ratio was 62.5:30, and the film thickness was 600.

11凰jエユ CoCrwL性層をスパッタ法を用いて形成した。 成
膜条件はArガス圧2.OPa、DC8KWとした。
A CoCrwL layer was formed using a sputtering method. The film forming conditions were Ar gas pressure 2. OPa, DC8KW.

CoCrの組成重量比はCo / Cr = 87 /
13、膜厚は1000人とした。
The composition weight ratio of CoCr is Co/Cr = 87/
13. The film thickness was 1000 people.

母まし館−独工丘 CoN1P磁性層を無電解メッキ法を用いて形成した。Mother Masashikan-Dokukooka A CoN1P magnetic layer was formed using an electroless plating method.

 CoN i Pの組成重量比はCo=Ni:P=6:
4:1.膜厚は1000人とした。
The composition weight ratio of CoN i P is Co=Ni:P=6:
4:1. The film thickness was 1000 people.

無電解メッキプロセスおよび製造条件は以下のとおりと
した。
The electroless plating process and manufacturing conditions were as follows.

プロセス       製 造 条 件次亜リン酸ナト
リウム 0.25モル/2 0ツセル塩 1.00モル/2 硫安    0.40モル/U 3分 このようにして設層された種々の金属薄膜磁性層上にC
rから成る非磁性金属保護膜を形成した。 成膜はスパ
ッタ法で行い、その条件は、Arガス圧2.OPa、D
C8にWとし、膜厚は200人とした。
Process Manufacturing Conditions Sodium hypophosphite 0.25 mol/2 0 Tsel salt 1.00 mol/2 Ammonium sulfate 0.40 mol/U 3 minutes On the various metal thin film magnetic layers deposited in this way C
A nonmagnetic metal protective film made of r was formed. Film formation is performed by sputtering, and the conditions are Ar gas pressure 2. OPa,D
C8 was set to W, and the film thickness was set to 200.

さらにこの保護膜の上に、表1に示されるようにカーボ
ン保護膜をスパッタ法で、厚さ400人に設けた。 な
お、スパッタ条件はArガス圧0.2Pa、DC8KW
とした。
Further, on this protective film, a carbon protective film with a thickness of 400 mm was formed by sputtering as shown in Table 1. The sputtering conditions are Ar gas pressure 0.2 Pa, DC 8 KW.
And so.

ただし、金属薄膜磁性層5として前述した磁性層No、
1〜4のうち磁性層N014の材料を用いた場合に限り
、非磁性金・属層を形成する直面に、金属薄膜磁性層表
面にArガス圧0.2Pa、RF400Wの条件でエツ
チング処理を施した。
However, the magnetic layer No. mentioned above as the metal thin film magnetic layer 5,
Among 1 to 4, only when the material of magnetic layer N014 is used, etching treatment is performed on the surface of the metal thin film magnetic layer on the surface where the non-magnetic metal/metal layer is to be formed under the conditions of Ar gas pressure of 0.2 Pa and RF of 400 W. did.

なお、膜厚は表1に示すとおりである。Note that the film thickness is as shown in Table 1.

このカーボン保護膜の表面を表1に示すように必要に応
じてプラズマ処理を行った。 なお、プラズマ条件は処
理ガスN2、圧力5Pa、電源は13 、56Mt(z
の高周波とし、投入電力は3KWとした。 その上に下
記に示すような種々の潤滑剤を含むトップコート層をス
ピンコード法で設層した。 スピンコード条件は回転数
1000 rpm、10秒間とした。 膜厚は表1に示
されるとおりとした。
The surface of this carbon protective film was subjected to plasma treatment as shown in Table 1, if necessary. The plasma conditions were processing gas N2, pressure 5 Pa, power supply 13,56 Mt (z
The high frequency was set at 3 kW, and the input power was set at 3 kW. A top coat layer containing various lubricants as shown below was formed thereon by a spin cord method. The spin code conditions were a rotation speed of 1000 rpm and a duration of 10 seconds. The film thickness was as shown in Table 1.

くトップコート層組成〉 此皮上ユ人ユ」) 潤滑剤としてフィンプリンY25(モンテフルオス社製
、分子13000)をフロン113(ダイキン工業社製
、ダイフロン5−3)の溶媒中に混合し、潤滑剤含有塗
布液濃度を0.05重量%に調整した。
As a lubricant, Finprin Y25 (manufactured by Monte Fluos, molecular weight 13000) was mixed in the solvent of Freon 113 (manufactured by Daikin Industries, Ltd., Daiflon 5-3) to provide lubrication. The concentration of the agent-containing coating solution was adjusted to 0.05% by weight.

L艮又ユ盈1j) 潤滑剤として、7オンプリンY45(モンテフルオス社
製、分子量4100)をフロン113(ダイキン工業社
製、ダイフロン5−3)の溶媒中に混合し、潤滑剤含存
塗布液濃度を0.1重量%に調整した。
As a lubricant, 7onpurin Y45 (manufactured by Monte Fluos, molecular weight 4100) was mixed in the solvent of Freon 113 (manufactured by Daikin Industries, Ltd., Daiflon 5-3), and the concentration of the lubricant-containing coating solution was adjusted. was adjusted to 0.1% by weight.

1(L→」」) 潤滑剤として、以下に示される構造式からなるクライト
ツクス143AZ(デュポン社製、分子量2000) をフロン113(ダイキン工業社製、ダイフロン5−3
)の溶媒中に混合し、潤滑剤含有塗布液濃度を0.05
重量%に調整した。
1 (L → "") As a lubricant, Klytox 143AZ (manufactured by DuPont, molecular weight 2000) having the structural formula shown below was used as a lubricant, and Freon 113 (manufactured by Daikin Industries, Ltd., Daiflon 5-3) was used as a lubricant.
) in a solvent, and the concentration of the lubricant-containing coating solution was 0.05.
Adjusted to % by weight.

紋蕪」−仁本」L朋) 潤滑剤として、クライトックス143AC(デュポン社
製、分子15500)をフロン113(ダイキン工業社
製、ダイフロン5−3)の溶媒中に混合し、潤滑剤含有
塗部液濃度を0.05重量%に調整した。
As a lubricant, Krytox 143AC (manufactured by DuPont, molecular 15500) was mixed in the solvent of Freon 113 (manufactured by Daikin Industries, Ltd., Daiflon 5-3) to form a lubricant-containing coating. The concentration of the part solution was adjusted to 0.05% by weight.

順東旦ユ北上) 潤滑剤として、以下に示される構造式からなるフッ素オ
イル(ダイフロイル#50、分子量700、ダイキン工
業社製) を丘記組成lで用いた溶媒中に混合し、潤滑剤含有塗布
液濃度を0.05wt%に調整した。
As a lubricant, a fluorine oil having the structural formula shown below (Daifloil #50, molecular weight 700, manufactured by Daikin Industries, Ltd.) was mixed into the solvent used in the composition 1, and the lubricant-containing The concentration of the coating liquid was adjusted to 0.05 wt%.

糺東且ユ上上) 潤滑剤をシリコーンオイル(東芝シリコーンTSF45
1.粘度1000CPS)にかえた以外は、上記の組成
5と同様にした。
(Toshiba Silicone TSF45) Use lubricant with silicone oil (Toshiba Silicone TSF45)
1. The composition was the same as the above composition 5 except that the viscosity was changed to 1000 CPS).

このようにして、下記表1に示される種々の磁気ディス
クサンプルを作製し、下記に示すような特性を測定した
In this way, various magnetic disk samples shown in Table 1 below were produced, and the characteristics shown below were measured.

(1)にΣΣ苔j 磁気ディスクサンプルの作成直後およびC55(コンタ
クト・スタート・アンド・ストップ)3万回後のディス
ク記録面当りのエラー数を測定し、C3S前後でのエラ
ー数(ミッシングパルス数)の増加を表示した[単位二
ビット/面]。
(1) Measure the number of errors per disk recording surface immediately after creating a magnetic disk sample and after 30,000 C55 (contact start and stop) operations, and calculate the number of errors (missing pulse number) before and after C3S. ) displaying the increase in [unit 2 bits/plane].

なお、ディスク記録面当りのエラー数は、日立電子エン
ジニアリング社製磁気ディスク用サーデイファイヤーに
て測定し、設定条件は、ミッシングパルスのスライスレ
ベルを65%とした。
The number of errors per disk recording surface was measured using a third-day fire for magnetic disks manufactured by Hitachi Electronic Engineering Co., Ltd., and the setting conditions were a missing pulse slice level of 65%.

(2)耐候性 サンプルの作成直後および60℃、90%RHの環境下
、1ケ月間放置した後に、ディスク記録面当りのエラー
増加数で表示した。
(2) Weather resistance Immediately after preparing the sample and after leaving it for one month in an environment of 60° C. and 90% RH, it was expressed as an increase in the number of errors per disk recording surface.

(3)低温摩擦係数 5℃、60%RHの環境下で動摩擦係数を測定した。(3) Low temperature friction coefficient The dynamic friction coefficient was measured in an environment of 5° C. and 60% RH.

これらの結果を表1に示す。These results are shown in Table 1.

表1の結果より本発明の効果があきらかである。From the results in Table 1, the effects of the present invention are clear.

なお、表1の結果に加えて以下に示すような特性を本発
明サンプルについてさらに測定した。
In addition to the results in Table 1, the following characteristics were further measured for the samples of the present invention.

(1)耐久摩擦 CSS (コンタクト・スタート・アンド・ストップ)
3万回後、磁気ディスクサンプル磁性層表面の摩擦係数
を測定した。
(1) Durable friction CSS (contact start and stop)
After 30,000 cycles, the friction coefficient of the surface of the magnetic layer of the magnetic disk sample was measured.

なお、測定に際しては、パティチック■社製、I−#擦
試験機にて測定した。
The measurement was performed using an I-# rubbing tester manufactured by Patichik ■.

本発明のサンプルは0,17以下であった。The sample of the present invention was below 0.17.

く 2 ) Δ Bm(%) 60℃、90%RHの環境下で1ケ月間放置した飽和磁
束密度の変化ΔBmを測定した。
2) ΔBm (%) The change in saturation magnetic flux density ΔBm was measured after being left in an environment of 60° C. and 90% RH for one month.

ここで、△Bmは、ΔBm= [(60℃90%RHの
環境に1ケ月間放置した後のBm)−(作成直後のBm
)] / (作成直後のBm)xloo(%)で表わさ
れる。
Here, △Bm is ΔBm = [(Bm after being left in an environment of 60°C and 90% RH for one month) - (Bm immediately after creation)
)] / (Bm immediately after creation) xlooo (%).

なお、サンプルの飽和磁束密度Bmは、振動試料型磁力
計(東英工業−社製VSM−53)を用い、最大印加磁
界15にGの条件にて測定した。 測定サンプルは8 
mmX 8 +nmに切り出したものを用いた。
The saturation magnetic flux density Bm of the sample was measured using a vibrating sample magnetometer (VSM-53 manufactured by Toei Kogyo Co., Ltd.) under conditions of a maximum applied magnetic field of 15 and G. The measurement sample is 8
A piece cut out to a size of mm×8+nm was used.

本発明のサンプルは2%以下であった。The sample of the present invention had less than 2%.

(3)耐候摩擦係数 60℃90%RHの環境に1ケ月間放置した後の磁気デ
ィスクサンプル表面の摩擦係数を測定した。
(3) Weather Resistance Friction Coefficient The friction coefficient of the surface of a magnetic disk sample was measured after being left in an environment of 60° C. and 90% RH for one month.

本発明のサンプルは0.15以下であった。The sample of the present invention had a value of 0.15 or less.

(4)吸着 20℃、60%RH172時間の条件下でMn−Znフ
ェライトヘッドを磁気ディスクサンプル表面上に静置し
ておき、急にサンプルを回転させたときの初期摩擦係数
を測定した。
(4) Adsorption The Mn-Zn ferrite head was left stationary on the surface of the magnetic disk sample under the conditions of 20° C. and 60% RH for 172 hours, and the initial friction coefficient was measured when the sample was suddenly rotated.

本発明のサンプルは0.24以下であった。The sample of the present invention had a value of 0.24 or less.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、本発明の磁気記録媒体の断面図を示す。 符号の簡単な説明 1・・・磁気記録媒体、2・・・非磁性基体、3・・・
下地層、4・・・非磁性金属中間層、5・・・金属薄膜
磁性層、6・・・非磁性金属保護膜57・・・カーボン
保護膜、8・−トップコート層出願人  ティーディー
ケイ株式会社 FIG、1 7/′
FIG. 1 shows a cross-sectional view of the magnetic recording medium of the present invention. Brief explanation of symbols 1...Magnetic recording medium, 2...Nonmagnetic substrate, 3...
Base layer, 4... Nonmagnetic metal intermediate layer, 5... Metal thin film magnetic layer, 6... Nonmagnetic metal protective film 57... Carbon protective film, 8... Top coat layer Applicant: TDC FIG Co., Ltd., 1 7/'

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)非磁性基体上に、金属薄膜磁性層を有し、さらに
この磁性層上にカーボン保護膜を有し、この保護膜層上
に潤滑剤としてパーフルオロポリエーテルを含むトップ
コート層を有することを特徴とする磁気記録媒体。
(1) Having a metal thin film magnetic layer on a nonmagnetic substrate, further having a carbon protective film on this magnetic layer, and having a top coat layer containing perfluoropolyether as a lubricant on this protective film layer. A magnetic recording medium characterized by:
(2)金属薄膜磁性層がCoまたはCoと Ni、Cr、Pのうちの1種以上を主成分とする特許請
求の範囲第1項に記載の磁気記録媒体。
(2) The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the metal thin film magnetic layer mainly contains Co or one or more of Co, Ni, Cr, and P.
(3)カーボン保護膜の表面がプラズマ処理されている
特許請求の範囲第1項または第2項に記載の磁気記録媒
体。
(3) The magnetic recording medium according to claim 1 or 2, wherein the surface of the carbon protective film is plasma-treated.
(4)基体と金属薄膜磁性層との間に下地層を有する特
許請求の範囲第1項ないし第3項のいずれかに記載の磁
気記録媒体。
(4) The magnetic recording medium according to any one of claims 1 to 3, which has an underlayer between the substrate and the metal thin film magnetic layer.
(5)金属薄膜磁性層の基体側に磁性層に接して非磁性
金属中間層を有する特許請求の範囲第1項ないし第4項
のいずれかに記載の磁気記録媒体。
(5) The magnetic recording medium according to any one of claims 1 to 4, which has a nonmagnetic metal intermediate layer in contact with the magnetic layer on the base side of the metal thin film magnetic layer.
(6)金属薄膜磁性層とカーボン保護膜との間に非磁性
金属保護膜を有する特許請求の範囲第1項ないし第5項
のいずれかに記載の磁気記録媒体。
(6) The magnetic recording medium according to any one of claims 1 to 5, which has a nonmagnetic metal protective film between the metal thin film magnetic layer and the carbon protective film.
(7)下地層の表面に凹凸を有する特許請求の範囲第4
項ないし第6項のいずれかに記載の磁気記録媒体。
(7) Claim 4 in which the surface of the base layer has irregularities
6. The magnetic recording medium according to any one of items 6 to 6.
(8)非磁性基体が剛性基体である特許請求の範囲第1
項ないし第7項のいずれかに記載の磁気記録媒体。
(8) Claim 1 in which the non-magnetic substrate is a rigid substrate
The magnetic recording medium according to any one of Items 7 to 7.
(9)ディスク状の形状をもつ特許請求の範囲第1項な
いし第8項のいずれかに記載の磁気記録媒体。
(9) The magnetic recording medium according to any one of claims 1 to 8, which has a disk-like shape.
JP28901185A 1985-12-21 1985-12-21 Magnetic recording medium Pending JPS62146431A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28901185A JPS62146431A (en) 1985-12-21 1985-12-21 Magnetic recording medium

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28901185A JPS62146431A (en) 1985-12-21 1985-12-21 Magnetic recording medium

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62146431A true JPS62146431A (en) 1987-06-30

Family

ID=17737674

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP28901185A Pending JPS62146431A (en) 1985-12-21 1985-12-21 Magnetic recording medium

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62146431A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6565719B1 (en) Magnetic disk comprising a first carbon overcoat having a high SP3 content and a second carbon overcoat having a low SP3 content
JP4479528B2 (en) Method of plating on glass substrate, method of manufacturing disk substrate for magnetic recording medium using the plating method, and method of manufacturing perpendicular magnetic recording medium
JPS62234229A (en) Magnetic recording medium
JPS61267929A (en) Magnetic recording medium
JPS63311626A (en) Manufacture of magnetic recording disc
JP4479572B2 (en) Method for manufacturing disk substrate for perpendicular magnetic recording medium, disk substrate for perpendicular magnetic recording medium, and perpendicular magnetic recording medium
JP2010049782A (en) Perfluoropolyether lubricant thin film for thin film storage medium
JPH02285508A (en) Magnetic recording medium
JPH05143972A (en) Metal thin film magnetic recording medium and its production
JPS62146431A (en) Magnetic recording medium
JPS62146434A (en) Magnetic disk
JPS62146430A (en) Magnetic recording medium
JPS62150525A (en) Magnetic recording medium
JP2004022025A (en) Magnetic recording medium, its manufacturing method and magnetic storage device using the same
JPS62150527A (en) Magnetic recording medium
JPS62150526A (en) Magnetic recording medium
JPS63113924A (en) Magnetic recording medium
JPS62234228A (en) Magnetic recording medium
JPH01271908A (en) Magnetic storage body and magnetic storage device and its manufacture
JP2727504B2 (en) Magnetic recording media
JPS61208620A (en) Magnetic disk
JPS63239602A (en) Magnetic recording method
JPS63113822A (en) Magnetic recording medium
JP2003301257A (en) Method for forming carbonaceous film and method for manufacturing magnetic disc
JP2003223710A (en) Magnetic recording medium, lubrication film and magnetic recording device