JPS61208620A - Magnetic disk - Google Patents

Magnetic disk

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Publication number
JPS61208620A
JPS61208620A JP4957085A JP4957085A JPS61208620A JP S61208620 A JPS61208620 A JP S61208620A JP 4957085 A JP4957085 A JP 4957085A JP 4957085 A JP4957085 A JP 4957085A JP S61208620 A JPS61208620 A JP S61208620A
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JP
Japan
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protective film
substrate
magnetic
carbon protective
film
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Application number
JP4957085A
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Japanese (ja)
Inventor
Kenji Yazawa
健児 矢沢
Shuichi Haga
秀一 芳賀
Kazunori Ozawa
和典 小沢
Mitsuo Ohashi
大橋 光雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
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Publication of JPS61208620A publication Critical patent/JPS61208620A/en
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Abstract

PURPOSE:To decrease noise and to improve durability by forming a thin magnetic metallic film on a substrate and forming a carbon protective film on the thin magnetic metallic film then treating the surface with a liquid lubricating agent. CONSTITUTION:The thin magnetic metallic film 4 is formed on the substrate 1 and the carbon protective film 5 is formed on the thin magnetic metallic film and thereafter the surface thereof is treated with the liquid lubricating agent 6. The carbon protective film has excellent lubricity, corrosion resistance, etc. and is formed by a method such as vacuum deposition or sputtering. The surface thereof is further treated by the liquid lubricating agent. The liquid lubricating agent used for the surface treatment is exemplified by a freon soln. of perfluoropolyether, etc. Light alloys such as aluminum alloy and titanium alloy, thermoplastics such as polystyrene and ABS resin, ceramics such as alumina glass and single crystalline silicon, etc. are used for the blank material of the substrate. The magnetic disk having the remarkably improved durability, runnability, impact resistance and corrosion resistance, excellent mechanical strength and less noise is thus obtd.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気ディスク装置の如き磁気的記憶装置の記
憶媒体として用いられる磁気ディスクに関し、詳細には
耐久性等を向上するための保護膜の改良に関する。
Detailed Description of the Invention [Field of Industrial Application] The present invention relates to a magnetic disk used as a storage medium of a magnetic storage device such as a magnetic disk device, and in particular, a protective film for improving durability etc. Regarding improvements.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

例えばコンピュータ等の記憶媒体としては、ラソAlp
、マ/F Jp 1礒(言炸fr田儒仲^讃傭;1吋力
礒(広く用いられており、なかでも、応答性に優れるこ
と、記憶容量が大きいこと、保存性が良好で信頼性が高
いこと等から、基板にA1合金板やガラス板、プラスチ
ック板等の硬質材料を用いた磁気ディスク、いわゆるハ
ードディスクが固定ディスク、あ、るいは外部ディスク
として使用されるようになっている。
For example, as a storage medium for computers etc., LasoAlp
, MA/F Jp 1 礒 (Words 炸fr 田儒中^三浒; 1吋力礒) (Widely used, among others, it has excellent responsiveness, large storage capacity, good storage stability, and reliability. Due to the high cost, magnetic disks whose substrates are made of hard materials such as A1 alloy plates, glass plates, plastic plates, etc., so-called hard disks, have come to be used as fixed disks, or external disks.

上記ハードディスクは、例えばA1合金基板上に記録再
生に関与する磁性層を形成したものであって、高速で回
転して同心円状の多数のトラックに情報の記録再生を行
うものである。
The hard disk has, for example, an A1 alloy substrate on which a magnetic layer involved in recording and reproduction is formed, and rotates at high speed to record and reproduce information on a large number of concentric tracks.

ところで、上述のハードディスクに対して記録再生を行
う場合には、操作開始時に磁気ヘッドと磁性層面とを接
触状態で装着した後、上記ハードディスクに所定の回転
を与えることによりヘッドと磁性層面との間に微小な空
気層を形成し、この状態で記録再生を行うCSS方式(
コンタクト・スタート・ストップ方式)によるのが一般
的である。
By the way, when performing recording and reproduction on the above-mentioned hard disk, after the magnetic head and the magnetic layer surface are mounted in contact with each other at the start of operation, the distance between the head and the magnetic layer surface is established by applying a predetermined rotation to the hard disk. The CSS method (which forms a minute air layer in the air and performs recording and playback in this state)
The contact start/stop method is generally used.

このようなC8S方式では、磁気ヘッドは、操作間始時
や操作終了時には磁性層面と接触摩擦状態にあり、ヘッ
ドと磁気ディスクの間に生じる摩擦力は、これら磁気ヘ
ッドや磁気ディスクを摩耗させる原因となる。あるいは
、磁気ヘッドに塵埃や磁性層の剥離粉の付着があると、
ヘッドクラッシュ(磁気ヘッドの落下)が発生し昌くな
り、またヘッドの跳躍等により記録再生中に突発的に磁
気ヘッドが磁気ディスクに接触する等、磁気ディスクに
大きな衝撃が加わることがあり、これら磁気ディスクや
磁気ヘッドを破損する原因ともなっている。
In such a C8S system, the magnetic head is in frictional contact with the magnetic layer surface at the beginning and end of an operation, and the frictional force generated between the head and the magnetic disk is the cause of wear on the magnetic head and magnetic disk. becomes. Or, if there is dust or peeling powder from the magnetic layer on the magnetic head,
Head crashes (falling of the magnetic head) may occur, and the magnetic head may suddenly come into contact with the magnetic disk during recording and playback due to head jumping, etc., which may cause a large impact to the magnetic disk. It also causes damage to magnetic disks and magnetic heads.

特に、磁性層がCo−N1等の合金を真空蒸着やスパッ
タリング等の真空薄膜形成技術により薄膜化する方法や
、Co−N1−P等の合金を無電解メッキ等の湿式法に
より薄膜化する方法等によって形成される連続薄膜であ
る場合には、この傾向が顕著である。
In particular, a method in which the magnetic layer is formed by thinning an alloy such as Co-N1 using a vacuum thin film forming technique such as vacuum evaporation or sputtering, or a method in which an alloy such as Co-N1-P is formed into a thin film by a wet method such as electroless plating. This tendency is remarkable in the case of a continuous thin film formed by et al.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

このような磁気ディスクと磁気ヘッドの接触摺動から発
生する耐久性の劣化はノイズの発生を招くので好ましい
ものではなく、また、磁気ディスクに対する衝撃は、磁
気ヘッドやディスク面の傷つき等をもたらし、良好な記
録再生の妨げとなる。
Deterioration of durability caused by such sliding contact between the magnetic disk and the magnetic head is not desirable because it causes noise, and an impact on the magnetic disk can cause damage to the magnetic head or disk surface. This impedes good recording and playback.

そこで従来、上述の磁気ディスクの表面に保護膜を形成
し、この磁気ディスクの耐久性を向上することが検討さ
れているが、耐久性、走行性、耐衝撃性等の種々の要求
を同時に満足するものは得られていない。
Conventionally, therefore, it has been considered to improve the durability of the magnetic disk by forming a protective film on the surface of the magnetic disk. I haven't gotten what I want.

かかる状況から、本発明は、機械的強度に優れ良好な走
行性を付与し得る保護膜を提供し、ノイズが少なく耐久
性に優れた磁気ディスクを提供することを目的とする。
In view of this situation, an object of the present invention is to provide a protective film that has excellent mechanical strength and can provide good runnability, and to provide a magnetic disk that has low noise and excellent durability.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本発明者等は、上述のような目的を達成せんものと鋭意
研究の結果、金属磁性薄膜上にカーボン保護膜を形成し
、さらにその表面を液体潤滑剤で処理することにより磁
性層の耐久性を相乗的に高めることができることを見出
し本発明を完成するに至ったものであり、基板上に金属
磁性薄膜を形成し、前記金属磁性薄膜上にカーボン保護
膜を形成した後、その表面を液体潤滑剤で処理したこと
を特徴とするものである。
As a result of intensive research to achieve the above-mentioned objectives, the present inventors formed a carbon protective film on a metal magnetic thin film and further treated the surface with a liquid lubricant to improve the durability of the magnetic layer. The present invention has been completed by discovering that it is possible to synergistically increase the It is characterized by being treated with a lubricant.

すなわち、本発明の磁気ディスクにおいては、保護膜を
カーボン保護膜と液体潤滑剤層の2層構造とし、これら
の相乗効果により耐久性や耐衝撃性、走行性、耐蝕性等
を向上する。
That is, in the magnetic disk of the present invention, the protective film has a two-layer structure of a carbon protective film and a liquid lubricant layer, and the synergistic effect of these improves durability, impact resistance, runnability, corrosion resistance, etc.

上記カーボン保護膜は、潤滑性や耐蝕性等に優れたもの
であり、通索、真空蒸着やスパッタリング等の手法によ
り形成される。例えば、真空蒸着による場合には、圧力
5 X 10−’Torr以下の真空度、基板温度50
〜250℃の条件であればよく、加熱方法としては電子
ビーム加熱法、抵抗加熱法。
The carbon protective film has excellent lubricity, corrosion resistance, etc., and is formed by a method such as threading, vacuum deposition, or sputtering. For example, in the case of vacuum evaporation, the pressure is 5 x 10-' Torr or less, the substrate temperature is 50
Any condition of ~250°C is sufficient, and heating methods include electron beam heating and resistance heating.

誘導加熱法やアーク放電法等の手法が用いられる。Techniques such as induction heating and arc discharge methods are used.

ここで、基板温度が高すぎると、例えば基板面上に下地
膜として形成されるN1−Pメッキ層が結晶化する等の
不具合が生ずる虞れがある。また、スパッタリングによ
る場合には、Ar等の不活性の真空度、基板温度50〜
250℃の条件で、ターゲットとしてカーボン板(厚さ
1〜4 fii1度)を用い、RF電力1〜10Kwあ
るいはDCC電力5註0 ボン保護膜の膜厚は、100〜800人の範囲内である
ことが好ましい。
Here, if the substrate temperature is too high, problems such as crystallization of the N1-P plating layer formed as a base film on the substrate surface may occur. In addition, when using sputtering, use an inert vacuum such as Ar, and a substrate temperature of 50 to 50°C.
Under the condition of 250℃, using a carbon plate (thickness 1~4 degrees) as a target, RF power 1~10Kw or DCC power 5*0, the film thickness of the bond protective film is within the range of 100~800. It is preferable.

一方、上記カーボン保護膜の表面は、さらに液体潤滑剤
により処理しておく.このカーボン保護膜の表面処理に
使用される液体潤滑剤としては、パーフロロポリエーテ
ルのフレオン溶液等が挙ケられる.すなわち、本発明の
磁気ディスクにお°いては、カーボン保護膜上に、パー
フロロポリエーテルのフレオン溶液を浸漬,スピンコー
ティング。
Meanwhile, the surface of the carbon protective film is further treated with a liquid lubricant. Examples of liquid lubricants used for surface treatment of this carbon protective film include perfluoropolyether Freon solutions. That is, in the magnetic disk of the present invention, a Freon solution of perfluoropolyether is immersed and spin-coated onto the carbon protective film.

スプレーコーティング等の手法により塗布し、液体潤滑
剤層を形成する。
It is applied by a method such as spray coating to form a liquid lubricant layer.

ここで使用するパーフロロポリエーテルには、例えば F  (CF (CF3)−CFz  O)、−C*F
sで示される構造を有するもの(米国デュポン社製。
The perfluoropolyether used here includes, for example, F (CF (CF3)-CFz O), -C*F
Those having the structure shown by s (manufactured by DuPont, USA).

KRYTOXl 43AC,KRYTOXl 43AD
、KRYTOX143AX、KRYTOX143AB、
KRYTOX143AY、KRYTOX143AA、K
RYTOX143AZ、KRYTOX143CZ等)が
挙げられる。これらパーフロロポリエーテルには、アル
コール、グリコール。
KRYTOXl 43AC, KRYTOXl 43AD
, KRYTOX143AX, KRYTOX143AB,
KRYTOX143AY, KRYTOX143AA, K
RYTOX143AZ, KRYTOX143CZ, etc.). These perfluoropolyethers include alcohols and glycols.

グリセリン、フェノール、カルボン酸等の親水基を有す
る有機化合物や、これらのフッ素置換体を添加し、塗布
液の濡れ性を改善して、均一な液体潤滑剤層を形成する
ことが好ましい。また、パーフロロポリエーテルの溶剤
であるフレオン類としては、パーフロロアルカン、パー
クロロパーフロロアルカン等が使用可能であり、トリク
ロロトリフロロエタン、テトラクロロジフロロエタン、
トリクロロモノフロロメタン等が例示される。 あるい
は、上記液体潤滑剤として、ジアルキルポリシロキサン
、ジアルコキシポリシロキサン、モノアルキルモノアル
コキシポリシロキサン、フェニルポリシロキサン、フロ
ロアルキルポリシロキサン等のシリコンオイルや、常温
で液状の不飽和脂肪族炭化水素(n−オレフィン二重結
合が末端の炭素に結合した化合物、炭素敵役20)、炭
素数12〜20個の一塩基性脂肪酸と炭素数3〜12の
一価のアルコールから成る脂肪酸エステル類等を使用す
ることも可能である。
It is preferable to add an organic compound having a hydrophilic group such as glycerin, phenol, or carboxylic acid, or a fluorine-substituted product thereof to improve the wettability of the coating liquid and form a uniform liquid lubricant layer. In addition, perfluoroalkanes, perchloroperfluoroalkanes, etc. can be used as freons, which are solvents for perfluoropolyether, and trichlorotrifluoroethane, tetrachlorodifluoroethane,
Examples include trichloromonofluoromethane. Alternatively, as the liquid lubricant, silicone oil such as dialkylpolysiloxane, dialkoxypolysiloxane, monoalkylmonoalkoxypolysiloxane, phenylpolysiloxane, fluoroalkylpolysiloxane, or unsaturated aliphatic hydrocarbon (n - Compounds in which an olefinic double bond is bonded to the terminal carbon, carbon antagonists (20), fatty acid esters consisting of monobasic fatty acids with 12 to 20 carbon atoms and monohydric alcohols with 3 to 12 carbon atoms, etc. are used. It is also possible.

本発明が適用される磁気ディスクは、ディスク基板上に
磁性層として強磁性金属の連続膜を設けたものであるが
、このディスク基板の素材としては、アルミニウム合金
、チタン合金等の軽合金、ポリスチレン、ABS樹脂等
の熱可塑性樹脂、アルミナガラス等のセラミックス、単
結晶シリコン等が使用可能である。
The magnetic disk to which the present invention is applied has a continuous film of ferromagnetic metal as a magnetic layer on a disk substrate, and the material of this disk substrate may be light alloys such as aluminum alloys and titanium alloys, polystyrene, etc. , thermoplastic resin such as ABS resin, ceramics such as alumina glass, single crystal silicon, etc. can be used.

ここで、上記ディスク基板として比較的軟らかい材質の
ものを使用する場合には、表面を硬くする非磁性金属下
地層を形成しておくことが好ましい、上記非磁性金属下
地層の材質としては、N1−P合金* Cu + Cr
 *  Z n + ステンレス等が好ましい、これら
をメッキ、スパッタリング、M着等の手法により基板表
面に4〜20μm程庫の膜厚で被着する0例えば、A1
1−Mg合金基板の表面にN1−Pメッキを施すと、そ
の硬度は400程度になり、この基板上に形成した磁性
層の磁気特性が優れたものとなる。
Here, when a relatively soft material is used as the disk substrate, it is preferable to form a non-magnetic metal underlayer to harden the surface.The material of the non-magnetic metal underlayer is N1. -P alloy* Cu + Cr
* Z n + Stainless steel etc. are preferable, and these are coated on the substrate surface with a film thickness of about 4 to 20 μm by a method such as plating, sputtering, M adhesion, etc. For example, A1
When N1-P plating is applied to the surface of a 1-Mg alloy substrate, its hardness becomes approximately 400, and the magnetic layer formed on this substrate has excellent magnetic properties.

また、上記磁性層は、メッキやスパッタリング。In addition, the above magnetic layer can be formed by plating or sputtering.

真空蒸着等の手法により連続膜として形成される。It is formed as a continuous film using techniques such as vacuum evaporation.

例えばGo−P、 Co−N1−p等をメッキすること
により金属磁性薄膜が磁性層として形成される。
For example, a metal magnetic thin film is formed as a magnetic layer by plating with Go-P, Co-N1-p, etc.

あるいは、真空蒸着法やイオンブレーティング法、スパ
ッタリング法等の真空薄膜形成技術によってもよい。
Alternatively, a vacuum thin film forming technique such as a vacuum evaporation method, an ion blating method, or a sputtering method may be used.

上記真空蒸着法は、10 ”’〜10−”Torrの真
空下で強磁性金属材料を抵抗加熱、高周波加熱、電子ビ
ーム加熱等により蒸発させ、ディスク基板上に蒸発金属
(強磁性金属材料)を沈着するというものであり、斜方
蒸着法及び垂直蒸着法に大別される。上記斜方蒸着法は
、高い抗磁力を得るため基板に対して上記強磁性金属材
料を斜めに蒸着す素雰囲気中で上記蒸着を行うものも含
まれる。上記垂直蒸着法は、蒸着効率や生産性を向上し
、かつ高い抗磁力を得るために基板上にあらかじめBi
、Sb、Pb、Sn、Ga、In、C,Go。
In the vacuum evaporation method described above, a ferromagnetic metal material is evaporated by resistance heating, high frequency heating, electron beam heating, etc. under a vacuum of 10'' to 10-'' Torr, and the evaporated metal (ferromagnetic metal material) is deposited on a disk substrate. It is roughly divided into oblique evaporation method and vertical evaporation method. The above-mentioned oblique vapor deposition method includes a method in which the above-mentioned ferromagnetic metal material is vapor-deposited obliquely to a substrate in an elementary atmosphere in order to obtain a high coercive force. In the vertical evaporation method described above, Bi is pre-coated on the substrate in order to improve the evaporation efficiency and productivity and to obtain high coercive force.
, Sb, Pb, Sn, Ga, In, C, Go.

St、T1等の下地金属層上に上記強磁性金属材料を垂
直に蒸着するというものである。
The ferromagnetic metal material is vertically deposited on a base metal layer such as St or T1.

上記イオンブレーティング法も真空蒸着法の一種であり
、10−4〜10−”Torrの不活性ガス雰囲気中で
DCグロー放電、RF  グロー放電を起こして、放電
中ディスク上記強磁性金属材料を蒸発させるというもの
である。
The above ion blating method is also a type of vacuum deposition method, in which DC glow discharge and RF glow discharge are caused in an inert gas atmosphere of 10-4 to 10-'' Torr, and the ferromagnetic metal material above the disk is evaporated during discharge. It is to let them do so.

上記スパッタリング法は、10″2〜10−’Torr
のアルゴンガスを主成分とする雰囲気中でグロー放電を
起こし、生じたアルゴンガスイオンでターゲット表面の
原子をたたき出すというものであり、グロー放電の方法
により直流2極、3極スパツタ法や、高周波スパッタ法
、またはマグネトロン放電を利用したマグネトロンスパ
ッタ法等がある。
The above sputtering method uses 10"2 to 10" Torr.
A glow discharge is caused in an atmosphere mainly composed of argon gas, and the generated argon gas ions are used to knock out atoms on the target surface. method, or magnetron sputtering method using magnetron discharge.

このスパッタリング法による場合には、CrやW。In the case of this sputtering method, Cr or W is used.

U ”M /7’l 丁++h Ml!11− 綴虐J
 、 ”7” k l、s ? i、 )r、sこのよ
うな真空薄膜形成技術により金属磁性薄膜を形成する際
に、使用される強磁性金属材料としては、Fe、Co、
Ni等の金属の他に、C。
U ”M /7'l Ding++h Ml!11- Tsuzuru J
, “7” k l,s ? i, ) r, s When forming a metal magnetic thin film using such a vacuum thin film forming technique, the ferromagnetic metal materials used include Fe, Co,
In addition to metals such as Ni, C.

−Ni合金、Co−Pt合金、Co−Ni−Pt合金、
Fe−Co合金、Fe−Ni金合金  F e −Co
−N1合金、Fe−Go−B合金、Co−N1−Fe−
B合金、Co−Cr合金あるいはこれらにCr、 lk
、It等の金属が含有されたもの等が挙げられる。特に
、Co−Cr合金を使用した場合には、垂直磁化膜が形
成される。
-Ni alloy, Co-Pt alloy, Co-Ni-Pt alloy,
Fe-Co alloy, Fe-Ni gold alloy Fe-Co
-N1 alloy, Fe-Go-B alloy, Co-N1-Fe-
B alloy, Co-Cr alloy or these with Cr, lk
Examples include those containing metals such as , It, and the like. In particular, when a Co--Cr alloy is used, a perpendicularly magnetized film is formed.

このような手法により形成される磁性層の膜厚は、0.
04〜1μm程度である。
The thickness of the magnetic layer formed by such a method is 0.
It is about 0.04 to 1 μm.

〔作用〕[Effect]

このように、磁性層表面にカーボン保護膜と液体潤滑剤
層の2層構造からなる保護膜を形成することにより、こ
れら2層の保護膜が相乗的に作用し、耐摩耗性、耐衝撃
性、耐蝕性、走行性等に優れた効果が発揮される。
In this way, by forming a protective film consisting of a two-layer structure of a carbon protective film and a liquid lubricant layer on the surface of the magnetic layer, these two protective films act synergistically to improve wear resistance and impact resistance. , excellent effects on corrosion resistance, running properties, etc.

〔実施例〕〔Example〕

実施例1 先ず、第1図に示すように、非磁性金属下地層として厚
さ15μmのN1−Pメッキ層(2)を形成したAN−
Mg合金基板(1)(厚さ約1.27諺。
Example 1 First, as shown in FIG. 1, an AN-
Mg alloy substrate (1) (thickness approximately 1.27 mm.

外径95鶴、内径25目)を用意し、このメッキ層(2
)上に圧力I X 10−’Torr、基板温度150
℃の条件でBlを電子ビーム蒸着して膜厚200人の低
融点金属下地膜(3)を形成した。
Prepare a plating layer (outer diameter: 95, inner diameter: 25), and apply this plating layer (2
) on pressure I x 10-'Torr, substrate temperature 150
A low melting point metal base film (3) having a thickness of 200 mm was formed by electron beam evaporation of Bl at .degree.

次いで、この下地膜(3)上に、同様に圧力1×10−
5Torr、基板温度150℃の条件で、Coを電子ビ
ーム蒸着し、膜厚1000人の金属磁性薄膜(4)を形
成した。
Next, a pressure of 1 x 10-
Co was deposited by electron beam under conditions of 5 Torr and substrate temperature of 150° C. to form a metal magnetic thin film (4) with a thickness of 1000 μm.

さらに、真空蒸着法によりこの金属磁性薄膜(4)上に
カーボン保護膜(5)を形成し、次いでこのカーボン保
護膜(5)上に、スピンコード法によりパーフロロポリ
エーテルからなる液体潤滑剤層(6)を形成した。
Furthermore, a carbon protective film (5) is formed on this metal magnetic thin film (4) by a vacuum evaporation method, and then a liquid lubricant layer made of perfluoropolyether is applied on this carbon protective film (5) by a spin cord method. (6) was formed.

上記カーボン保護膜(5)及び液体潤滑剤層(6)の膜
厚を次表に示すように変え、一般に知られているコンタ
クト・スタート・ストップ(C3S)試験によりCSS
特性を調べた。また、同時に保護膜の剥離やノイズにつ
いても調べた。結果を第1表に示す。
The thickness of the carbon protective film (5) and liquid lubricant layer (6) was changed as shown in the table below, and CSS was determined by the generally known contact start-stop (C3S) test.
We investigated the characteristics. At the same time, we also investigated peeling of the protective film and noise. The results are shown in Table 1.

第1表 実施例2 先の実施例1と同様の手法により、N1−Pメッキ層(
2)を形成したAJI−Mg合金基板(1)上に、低融
点金属下地膜(3)、金属磁性薄膜(4)、カーボン保
護膜(5)を順次形成し、このカーボン保護膜(5)上
に脂肪酸エステルの0.2%メチルエチルケトン 潤滑剤層(6)を形成した。
Table 1 Example 2 The N1-P plating layer (
On the AJI-Mg alloy substrate (1) on which 2) was formed, a low melting point metal base film (3), a metal magnetic thin film (4), and a carbon protective film (5) were sequentially formed. A 0.2% methyl ethyl ketone lubricant layer (6) of fatty acid ester was formed thereon.

上記カーボン保護膜(5)及び液体潤滑剤層(6)の膜
厚を次表に示すように変え、コンタクト・スタート・ス
トップ(C S S)試験によりCSS特性を調べた。
The film thicknesses of the carbon protective film (5) and liquid lubricant layer (6) were changed as shown in the following table, and the CSS characteristics were examined by a contact start/stop (CSS) test.

また、同時に保護膜の剥離やノイズについても調べた.
結果を第2表に示す。
At the same time, we also investigated peeling of the protective film and noise.
The results are shown in Table 2.

第2表 これら各実施例より、金属磁性薄膜上にカーボン保護膜
を形成するとともに、その表面に液体潤滑剤層を形成す
ることにより、CSS特性が大幅に向上するとともにノ
イズも低減し、また保護膜の剥離も見られないことがわ
かる。
Table 2 These examples show that by forming a carbon protective film on a metal magnetic thin film and a liquid lubricant layer on its surface, CSS characteristics are greatly improved, noise is reduced, and protection is achieved. It can be seen that no peeling of the film was observed.

以上、本発明の具体的な実施例について説明したが、本
発明がこの実施例に限定されるものでないことは言うま
でもない。
Although specific embodiments of the present invention have been described above, it goes without saying that the present invention is not limited to these embodiments.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上の説明からも明らかなように、本発明の磁気ディス
クにおいては、金属磁性薄膜上にカーボン保護膜を形成
するとともに、このカーボン保護膜表面を液体潤滑剤に
より処理し、カーボン保護膜と液体潤滑剤層の2層構造
から成る保護膜を形成しているので、耐久性、走行性、
耐衝撃性、耐蝕性が大幅に向上し、機械的強度に優れ、
かづノイズの少ないものとなっている。
As is clear from the above description, in the magnetic disk of the present invention, a carbon protective film is formed on the metal magnetic thin film, and the surface of this carbon protective film is treated with a liquid lubricant, so that the carbon protective film and the liquid lubricant are treated. Forms a protective film consisting of a two-layer structure of agent layer, which improves durability, runnability,
Significantly improved impact resistance and corrosion resistance, excellent mechanical strength,
It has little noise.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明を適用した磁気ディスクの一例を示す要
部拡大断面図である。 1・・・A1合金基板 4・・・金属磁性薄膜 5・・・カーボン保護膜 6・・・液体潤滑剤層 時評出願人 ソニー株式会社
FIG. 1 is an enlarged sectional view of a main part showing an example of a magnetic disk to which the present invention is applied. 1...A1 alloy substrate 4...Metal magnetic thin film 5...Carbon protective film 6...Liquid lubricant layer Current review applicant Sony Corporation

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 基板上に金属磁性薄膜を形成し、前記金属磁性薄膜上に
カーボン保護膜を形成した後、その表面を液体潤滑剤で
処理したことを特徴とする磁気ディスク。
1. A magnetic disk characterized in that a metal magnetic thin film is formed on a substrate, a carbon protective film is formed on the metal magnetic thin film, and the surface thereof is treated with a liquid lubricant.
JP4957085A 1985-03-13 1985-03-13 Magnetic disk Pending JPS61208620A (en)

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