JPS62142792A - 高純度水酸化第四アンモニウム水溶液の製造方法 - Google Patents
高純度水酸化第四アンモニウム水溶液の製造方法Info
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- JPS62142792A JPS62142792A JP60281977A JP28197785A JPS62142792A JP S62142792 A JPS62142792 A JP S62142792A JP 60281977 A JP60281977 A JP 60281977A JP 28197785 A JP28197785 A JP 28197785A JP S62142792 A JPS62142792 A JP S62142792A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［産業上の利用分野］
本発明は、第四アンモニウム、ｊｆシから高純度の水酸
化第四アンモニウムを得る新規な製造方法に関する。 ［従来の技術および問題点］ 水酸化第四アンモニウム水溶液は、金属イオンを含まな
い有機系アルカリ剤として、例えば［Ｃ。 １．８１等の半導体装置の製造における半導体基板の洗
浄剤、レジストの除去剤等への用途が広がりつつある。 これらの用途においては、装置の高集積化に伴い、水酸
イオン以外の陰イオン、金属イオン等のイオン性物質が
極めて少ない高純度の水酸化第四アンモニウム水溶液が
要求される。 一方、水酸化第四アンモニウムの製造方法としては、陽
イオン交換膜を隔膜として用いた電解槽の陽極室に第四
アンモニウムクロライド、第四アンモニウム硫酸塩等の
第四アンモニウム塩の水溶液を供給し゛Ｃ１陰極室より
水酸化第四アンモニウム水溶液を得る方法がス■られて
いる。 しかしながら、このような隔膜法電解槽を用いた製造方
法においては、陽極室に供給した原料である第四アンモ
ニウム塩の陰イオン（以下、不純陰イオンという）が隔
膜を透過して陰極室に拡散するため、陰極室より１ｊす
られる水酸化第四アンモニウム水溶液中のイオン性物質
の量を著しく増大させるという聞届を有する。かかる問
題に対して、陰極室より１ｑられる水酸化第四アンモニ
ウム水溶液を０１■型イオン交換杓脂と接触させ、含有
の陰イオンを水酸イオンとイオン交換させて精製する方
法が考えられるが、精製によって１：）られる水酸化第
四アンモニウム水溶液の純度を上げるためには、使用す
る該イオン交換樹脂中の水酸イオン以外のドχイオンを
極めてｖＩＩ＠に抑える必要がある。 そのため、使用する０１１型イオン交換樹脂の精製には
極めて純度の高い再生剤および水を使用しなければなら
ず、工業的な実施において不利である。 ［問題点を解決するための手段］ 本発明者等は、−１，ｌｌｒ！ Ｌ／た電気分解におい
て、水酸化第四アンモニウムをＯＨ型イオン交換樹脂に
よって精製して高純度の水酸化第四アンモニウムを得る
方法を経済的に実施し得る方法について、鋭意研究を重
、ねた。その結果、陽極と陰極との間に２枚以上の陽イ
オン交換膜を配列して陰極室および該陰極室に隣接する
中間室を形成し、この中間室に水酸化第四アンモニウム
水溶液を供給して第四アンモニウム、、 ｉ４．≦水溶
液の電気分解を行うとともに、該中間室の水酸化第四ア
ンモニラ水溶液と０１１型イオン交換樹脂とを接触させ
て、該中間室に存在する不純陰イオンを除去しながら電
気分解を行うことにより、１）ｕ記した陰極室から得ら
れる水酸化第四アンモニウム、をＯＩ（≧（リイオン交
喚杓脂で精製する場合のように、該イオン交換樹脂を高
度に精製しなくても、極めて高純度の水酸化第四アンモ
ニウムを陰極室から１３１・ることかできることを見い
出し、本発明を完成するに至った。 本発明は、陽極と陰極との間に少なくとも２枚の陽イオ
ン交換膜を配列して陽極室、中間室および陰極室を形成
した電解槽において、中間室に水酸化第四アンモニウム
水溶液をＯ１ｌ型イオン交換樹脂と循環接触させながら
供給し、該中間室に対して陽極側に隣接する室に第四ア
ンモニウム塩水溶液を供給して電気分解を行うことによ
り、陰極室から水酸化第四アンモニウム水溶液を得るこ
とを特徴とする高純度水酸化第四アンモニウム、水溶液
の製造方法である。 本発明において、１皇料の第四アンモニウム塩は、１？
。 一般式 ［１？２−Ｎ−Ｒ４］ ” Ｘ”−― （イ旧ハ）＜１〜１（４は、アルキル基またはその誘導
体、もしくは芳香族基またはその誘導体であり、それぞ
れの１（は同一でもよいし、異種のものでもよい。また
、Ｘは酸基を示す。） で表されるものが特に制限なく使用される。］−記］セ
１〜Ｉ＜４を具体的に例示すれば、メチル基、エチル基
、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘ
プチル基、オクチル基、ノニル基およびデシル基等のア
ルキル基、メトキシメチル基。 メトキシエチル基、メチキシプロピル基等のアルコキシ
アルキル基、フェニル基、トリル基、キシリル基、ベン
ジル基、フェネチル基、スチリル基等の芳香族基および
その誘導体が挙げられる。また、Ｘは、クロルイオン、
ブロムイオン等のハａゲンイオン、硫酸イオン、ＷＪＶ
イオン、リン酸イオン等の酸基が挙げられ、中でもハロ
ゲンイオンは、第四アンモニウム塩水溶液の電気分解に
おいて、隔膜からの透過酸が多く本発明の方法が特に有
効である。 本発明において、電解槽は陽極と陰極との間に少なくと
も２枚の陽イオン交換膜を配列して陰極室および中間室
を形成したものであれば仙の構造は特に制限されない。 例えば、第１図は本発明に用いる電解槽の代表的な態様
を示す概略図である。 第１図において、電解槽上は陽極２と陰極：（との間に
２枚の陽イオン交換膜４．／Ｌ′を配列して、中間室５
、陽極室６および陰極室７を形成ｔ）−Ｃ構成される。 上記の電解槽において、陽イオン交換膜は、公知のもの
が特に制限なく使用される。例えば、スルホン酸基、カ
ルボン酸基等の陽イオン交換基を有する炭化水素系重合
体、あるいはパーフルオロカーボン系重合体の膜状物が
一般に使用される。 本発明の方法において、電気分解は前記した構造の電解
槽上の中間室５に水酸化第四アンモニウム水溶液を、該
中間室５に隣接する室に第四アンモニウム、塩水溶液を
それぞれ供給して行われる。 従って、原料の第四アンモニラ１．塩水溶液の供給は、
第１図の電解槽にあっては陽ＰＪｘ７？６にされる。 また、前記°電解槽の陰極室７には水を供給すればよい
が、″Ｉ′Ｊ￥気分解の初！（Ｉにおける゛電気抵抗を
低ドさせるために水酸化第四アンモニウム水溶液を供給
することが好ましい。かかる水は、イオン交換処理、蒸
留等′によって不純物となるイオン性物質が充分除去さ
れたものを使用することが望ましい。 また、原料の第四アンモニウム塩水溶液の濃度は、一般
にＯ，１〜５０重屯％、特に１〜１０ル率゛％が、中間
室に供給する水酸化第四アンモニウム水溶液の濃度は、
一般に０．１〜５０小笛０％、特に０．５〜２０市電％
が好ましい。 本発明の方法の最大の特徴は、前記した′電気分解にお
いて、中間室５の水酸化第四アンモニウム水溶液をＯ１
ｌ型イオン交換樹脂と循環接触させることにある。即ち
、電解槽上の中間室５に水酸化第四アンモニウム水溶液
を供給することにより、該室に存在する不純陰イオンの
竿が原料の第四アンモニウム塩水溶液に比べｒ 片［／
＜低下し、中間室５から陰１１１！室７に拡散する該
イ・純陰イオンの拡散率は極端に低下する。そのため、
該中間室５におＣＪる不純陰イオンの除去効宋は、陰極
室７て１：ｔられる水酸化第四アンモニウム水溶液を処
理する場合に比べて数十倍゛Ｃ効くのである。従って、
本発明ζこあっては、超重純度の１＋牛剤を使用するこ
となく、通常の精製方法で精製された０１（型イオン交
換樹脂を使用しても、枠めて高純度の水酸化第四アンモ
ニウムを陰極室７より１ニドることができる。 中間室５の水酸化第四アンモニウム水溶液と０［ｆ型交
換樹脂との接触の態様は特に制限されるものではないが
、第１図および第２図に示すように中間室５の外にＯ［
［！ｖｔイオン交換樹脂槽８を設けこれに中間室５内の
水酸化第四アンモニウム、水溶液を連続的にあるいは断
続的に循環させる方法が一般的である。 本発明において使用する０１１型イオン交換樹脂は、公
知の陰イオン交換樹脂をＯＩＩ型としたものが特に制限
なく使用される。例えば、スチレンと１）ｖ８共重合物
をり〔ｌルメチル化したあと、トリメチルアミン化した
ｌ Ｑｌｊの強３に基性陰イオン交換樹脂、トリメチル
アミンの代りにジメチルエタノールを用いた１１型の強
塩基性陰イオン交換樹脂が好適“Ｃある。０１（型イオ
ン交換樹脂の形状も特に制限されるもの”Ｃはないが、
一般に粒状、管状。 シート状等が好適である。 本発明におい゛Ｃ，電気分解の条件は特に制限されるも
のではないが、一般には゛電流密度１〜５０Ａ ／ ｄ
ｒｒｒ、ｌｒ ７Ｅ Ｌ／ ＜ Ｌｔ ５〜：３０
Ａ ／ ｄ ｍ’ で実ｂｌＱ すればよい。 ［効果コ 以上の説明より理解されるように、本発明の方法によれ
ば、汎用の苛性ソーダ等の純度の低い１１■生剤゛Ｃ精
製された０１１八′１イオン交換樹脂を使用しても、極
め′Ｃ高い純度の水酸化第四アンモニウムを１：するこ
とが用能であり、経済的に水酸化第四アンモニウムを製
造することができる。 ［実施例］ 以下、本発明を１１１体的に説明するため、実施例を示
すが本発明はこれらの実施例に限定されるものではない
。 実施例１ 陽イオン交１４ｊ！膜（徳１１１曹達■製、ネオセプタ
（二６Ｂ−１０１ｉ’）を２枚使用した第１図のような
：（室チ（す電解槽を用い、該電解槽の陽極室に５％テ
トラメチルアンモニウムクロライド水溶液を、また陰極
室および中間室には１％水酸化テトラメチルアンニウム
をそれぞれ供給（］、中間室液は電解槽外に設置した市
１１反のｌ ｊ（ｌｊのＱ ｌ］ ＋（す陰イオン交１
１ｊ樹脂充填したイオン交換樹脂塔を通過させた後、（
１１び中間室に循環させながら＊気分前を行った。１１
１解電流密度は２ＯＡ／ｄ〆で行ない、陰極室の水散テ
トラメチルアンモニウムの濃度が約５％♂！度に達した
所で電気分解を終了した。 陰極室よりｊｉＩられた５％水酸化テトラメチルアンモ
ニウム中のα−濃度は０ 、０１ ｐｐｍであった。 なお、１型イオン交換樹脂は、使用に際Ｌ／てイオン交
換膜法食塩電解てｔ（Ｆた。５％Ｎ ａ Ｏｔｌ溶濯を
用い−ＣＯＩＩ型に
化第四アンモニウムを得る新規な製造方法に関する。 ［従来の技術および問題点］ 水酸化第四アンモニウム水溶液は、金属イオンを含まな
い有機系アルカリ剤として、例えば［Ｃ。 １．８１等の半導体装置の製造における半導体基板の洗
浄剤、レジストの除去剤等への用途が広がりつつある。 これらの用途においては、装置の高集積化に伴い、水酸
イオン以外の陰イオン、金属イオン等のイオン性物質が
極めて少ない高純度の水酸化第四アンモニウム水溶液が
要求される。 一方、水酸化第四アンモニウムの製造方法としては、陽
イオン交換膜を隔膜として用いた電解槽の陽極室に第四
アンモニウムクロライド、第四アンモニウム硫酸塩等の
第四アンモニウム塩の水溶液を供給し゛Ｃ１陰極室より
水酸化第四アンモニウム水溶液を得る方法がス■られて
いる。 しかしながら、このような隔膜法電解槽を用いた製造方
法においては、陽極室に供給した原料である第四アンモ
ニウム塩の陰イオン（以下、不純陰イオンという）が隔
膜を透過して陰極室に拡散するため、陰極室より１ｊす
られる水酸化第四アンモニウム水溶液中のイオン性物質
の量を著しく増大させるという聞届を有する。かかる問
題に対して、陰極室より１ｑられる水酸化第四アンモニ
ウム水溶液を０１■型イオン交換杓脂と接触させ、含有
の陰イオンを水酸イオンとイオン交換させて精製する方
法が考えられるが、精製によって１：）られる水酸化第
四アンモニウム水溶液の純度を上げるためには、使用す
る該イオン交換樹脂中の水酸イオン以外のドχイオンを
極めてｖＩＩ＠に抑える必要がある。 そのため、使用する０１１型イオン交換樹脂の精製には
極めて純度の高い再生剤および水を使用しなければなら
ず、工業的な実施において不利である。 ［問題点を解決するための手段］ 本発明者等は、−１，ｌｌｒ！ Ｌ／た電気分解におい
て、水酸化第四アンモニウムをＯＨ型イオン交換樹脂に
よって精製して高純度の水酸化第四アンモニウムを得る
方法を経済的に実施し得る方法について、鋭意研究を重
、ねた。その結果、陽極と陰極との間に２枚以上の陽イ
オン交換膜を配列して陰極室および該陰極室に隣接する
中間室を形成し、この中間室に水酸化第四アンモニウム
水溶液を供給して第四アンモニウム、、 ｉ４．≦水溶
液の電気分解を行うとともに、該中間室の水酸化第四ア
ンモニラ水溶液と０１１型イオン交換樹脂とを接触させ
て、該中間室に存在する不純陰イオンを除去しながら電
気分解を行うことにより、１）ｕ記した陰極室から得ら
れる水酸化第四アンモニウム、をＯＩ（≧（リイオン交
喚杓脂で精製する場合のように、該イオン交換樹脂を高
度に精製しなくても、極めて高純度の水酸化第四アンモ
ニウムを陰極室から１３１・ることかできることを見い
出し、本発明を完成するに至った。 本発明は、陽極と陰極との間に少なくとも２枚の陽イオ
ン交換膜を配列して陽極室、中間室および陰極室を形成
した電解槽において、中間室に水酸化第四アンモニウム
水溶液をＯ１ｌ型イオン交換樹脂と循環接触させながら
供給し、該中間室に対して陽極側に隣接する室に第四ア
ンモニウム塩水溶液を供給して電気分解を行うことによ
り、陰極室から水酸化第四アンモニウム水溶液を得るこ
とを特徴とする高純度水酸化第四アンモニウム、水溶液
の製造方法である。 本発明において、１皇料の第四アンモニウム塩は、１？
。 一般式 ［１？２−Ｎ−Ｒ４］ ” Ｘ”−― （イ旧ハ）＜１〜１（４は、アルキル基またはその誘導
体、もしくは芳香族基またはその誘導体であり、それぞ
れの１（は同一でもよいし、異種のものでもよい。また
、Ｘは酸基を示す。） で表されるものが特に制限なく使用される。］−記］セ
１〜Ｉ＜４を具体的に例示すれば、メチル基、エチル基
、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘ
プチル基、オクチル基、ノニル基およびデシル基等のア
ルキル基、メトキシメチル基。 メトキシエチル基、メチキシプロピル基等のアルコキシ
アルキル基、フェニル基、トリル基、キシリル基、ベン
ジル基、フェネチル基、スチリル基等の芳香族基および
その誘導体が挙げられる。また、Ｘは、クロルイオン、
ブロムイオン等のハａゲンイオン、硫酸イオン、ＷＪＶ
イオン、リン酸イオン等の酸基が挙げられ、中でもハロ
ゲンイオンは、第四アンモニウム塩水溶液の電気分解に
おいて、隔膜からの透過酸が多く本発明の方法が特に有
効である。 本発明において、電解槽は陽極と陰極との間に少なくと
も２枚の陽イオン交換膜を配列して陰極室および中間室
を形成したものであれば仙の構造は特に制限されない。 例えば、第１図は本発明に用いる電解槽の代表的な態様
を示す概略図である。 第１図において、電解槽上は陽極２と陰極：（との間に
２枚の陽イオン交換膜４．／Ｌ′を配列して、中間室５
、陽極室６および陰極室７を形成ｔ）−Ｃ構成される。 上記の電解槽において、陽イオン交換膜は、公知のもの
が特に制限なく使用される。例えば、スルホン酸基、カ
ルボン酸基等の陽イオン交換基を有する炭化水素系重合
体、あるいはパーフルオロカーボン系重合体の膜状物が
一般に使用される。 本発明の方法において、電気分解は前記した構造の電解
槽上の中間室５に水酸化第四アンモニウム水溶液を、該
中間室５に隣接する室に第四アンモニウム、塩水溶液を
それぞれ供給して行われる。 従って、原料の第四アンモニラ１．塩水溶液の供給は、
第１図の電解槽にあっては陽ＰＪｘ７？６にされる。 また、前記°電解槽の陰極室７には水を供給すればよい
が、″Ｉ′Ｊ￥気分解の初！（Ｉにおける゛電気抵抗を
低ドさせるために水酸化第四アンモニウム水溶液を供給
することが好ましい。かかる水は、イオン交換処理、蒸
留等′によって不純物となるイオン性物質が充分除去さ
れたものを使用することが望ましい。 また、原料の第四アンモニウム塩水溶液の濃度は、一般
にＯ，１〜５０重屯％、特に１〜１０ル率゛％が、中間
室に供給する水酸化第四アンモニウム水溶液の濃度は、
一般に０．１〜５０小笛０％、特に０．５〜２０市電％
が好ましい。 本発明の方法の最大の特徴は、前記した′電気分解にお
いて、中間室５の水酸化第四アンモニウム水溶液をＯ１
ｌ型イオン交換樹脂と循環接触させることにある。即ち
、電解槽上の中間室５に水酸化第四アンモニウム水溶液
を供給することにより、該室に存在する不純陰イオンの
竿が原料の第四アンモニウム塩水溶液に比べｒ 片［／
＜低下し、中間室５から陰１１１！室７に拡散する該
イ・純陰イオンの拡散率は極端に低下する。そのため、
該中間室５におＣＪる不純陰イオンの除去効宋は、陰極
室７て１：ｔられる水酸化第四アンモニウム水溶液を処
理する場合に比べて数十倍゛Ｃ効くのである。従って、
本発明ζこあっては、超重純度の１＋牛剤を使用するこ
となく、通常の精製方法で精製された０１（型イオン交
換樹脂を使用しても、枠めて高純度の水酸化第四アンモ
ニウムを陰極室７より１ニドることができる。 中間室５の水酸化第四アンモニウム水溶液と０［ｆ型交
換樹脂との接触の態様は特に制限されるものではないが
、第１図および第２図に示すように中間室５の外にＯ［
［！ｖｔイオン交換樹脂槽８を設けこれに中間室５内の
水酸化第四アンモニウム、水溶液を連続的にあるいは断
続的に循環させる方法が一般的である。 本発明において使用する０１１型イオン交換樹脂は、公
知の陰イオン交換樹脂をＯＩＩ型としたものが特に制限
なく使用される。例えば、スチレンと１）ｖ８共重合物
をり〔ｌルメチル化したあと、トリメチルアミン化した
ｌ Ｑｌｊの強３に基性陰イオン交換樹脂、トリメチル
アミンの代りにジメチルエタノールを用いた１１型の強
塩基性陰イオン交換樹脂が好適“Ｃある。０１（型イオ
ン交換樹脂の形状も特に制限されるもの”Ｃはないが、
一般に粒状、管状。 シート状等が好適である。 本発明におい゛Ｃ，電気分解の条件は特に制限されるも
のではないが、一般には゛電流密度１〜５０Ａ ／ ｄ
ｒｒｒ、ｌｒ ７Ｅ Ｌ／ ＜ Ｌｔ ５〜：３０
Ａ ／ ｄ ｍ’ で実ｂｌＱ すればよい。 ［効果コ 以上の説明より理解されるように、本発明の方法によれ
ば、汎用の苛性ソーダ等の純度の低い１１■生剤゛Ｃ精
製された０１１八′１イオン交換樹脂を使用しても、極
め′Ｃ高い純度の水酸化第四アンモニウムを１：するこ
とが用能であり、経済的に水酸化第四アンモニウムを製
造することができる。 ［実施例］ 以下、本発明を１１１体的に説明するため、実施例を示
すが本発明はこれらの実施例に限定されるものではない
。 実施例１ 陽イオン交１４ｊ！膜（徳１１１曹達■製、ネオセプタ
（二６Ｂ−１０１ｉ’）を２枚使用した第１図のような
：（室チ（す電解槽を用い、該電解槽の陽極室に５％テ
トラメチルアンモニウムクロライド水溶液を、また陰極
室および中間室には１％水酸化テトラメチルアンニウム
をそれぞれ供給（］、中間室液は電解槽外に設置した市
１１反のｌ ｊ（ｌｊのＱ ｌ］ ＋（す陰イオン交１
１ｊ樹脂充填したイオン交換樹脂塔を通過させた後、（
１１び中間室に循環させながら＊気分前を行った。１１
１解電流密度は２ＯＡ／ｄ〆で行ない、陰極室の水散テ
トラメチルアンモニウムの濃度が約５％♂！度に達した
所で電気分解を終了した。 陰極室よりｊｉＩられた５％水酸化テトラメチルアンモ
ニウム中のα−濃度は０ 、０１ ｐｐｍであった。 なお、１型イオン交換樹脂は、使用に際Ｌ／てイオン交
換膜法食塩電解てｔ（Ｆた。５％Ｎ ａ Ｏｔｌ溶濯を
用い−ＣＯＩＩ型に
【）た後、混床式イオン交換樹脂塔
を用いて製造した。 純粋（比抵抗１０へ４Ω−帥以１−１）を用いてＮ ；
Ｌ”イオンが（原子吸光分析にＣ） ０ 、０１ ｐｐ
ｍ以下なるまでＮ ａ ＯＩＩの押出水洗を行った。 比較例 実施例】と同様の電解槽を用い、中間室液の１％水酸化
子トラメチルアンモニウムを０［■型イオン交換樹脂で
処押しなかった以外の条件は実施例１と同様にして電解
を行った。その結果、陰極室にて生成［）た５％水酸化
テトラメチルアンモニウム中の■、−濃度はＯ，Ｂｐｐ
ｍであった。
を用いて製造した。 純粋（比抵抗１０へ４Ω−帥以１−１）を用いてＮ ；
Ｌ”イオンが（原子吸光分析にＣ） ０ 、０１ ｐｐ
ｍ以下なるまでＮ ａ ＯＩＩの押出水洗を行った。 比較例 実施例】と同様の電解槽を用い、中間室液の１％水酸化
子トラメチルアンモニウムを０［■型イオン交換樹脂で
処押しなかった以外の条件は実施例１と同様にして電解
を行った。その結果、陰極室にて生成［）た５％水酸化
テトラメチルアンモニウム中の■、−濃度はＯ，Ｂｐｐ
ｍであった。
第１図は本発明に使用する電解槽の代表的な態様を示す
概略図である。図において上は電解槽、２は陽極、；（
は陰極室、４．／ｌ’は陽イオン交換膜、５は中間室、
６は陽極室、７は陰極室、８は０１（型イオン交換樹脂
層、う）は循環ラインをそれぞれ示す。
特許出願人 徳＋ｌ＋Ｌ！’ｌ達株式会社 第１図
概略図である。図において上は電解槽、２は陽極、；（
は陰極室、４．／ｌ’は陽イオン交換膜、５は中間室、
６は陽極室、７は陰極室、８は０１（型イオン交換樹脂
層、う）は循環ラインをそれぞれ示す。
特許出願人 徳＋ｌ＋Ｌ！’ｌ達株式会社 第１図
Claims (1)
- １、陽極と陰極との間に少なくとも２枚の陽イオン交換
膜を配列して陽極室、中間室および陰極室を形成した電
解槽において、中間室に水酸化第四アンモニウム水溶液
をＯＨ型イオン交換樹脂と循環接触させながら供給し、
該中間室に対して陽極側に隣接する室に第四アンモニウ
ム塩水溶液を供給して電気分解を行うことにより、陰極
室から水酸化第四アンモニウム水溶液を得ることを特徴
とする高純度水酸化第四アンモニウム水溶液の製造方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60281977A JPS62142792A (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 | 高純度水酸化第四アンモニウム水溶液の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60281977A JPS62142792A (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 | 高純度水酸化第四アンモニウム水溶液の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62142792A true JPS62142792A (ja) | 1987-06-26 |
| JPH0213029B2 JPH0213029B2 (ja) | 1990-04-03 |
Family
ID=17646531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60281977A Granted JPS62142792A (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 | 高純度水酸化第四アンモニウム水溶液の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62142792A (ja) |
-
1985
- 1985-12-17 JP JP60281977A patent/JPS62142792A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0213029B2 (ja) | 1990-04-03 |
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