JPS62129730A

JPS62129730A - 真空計用の測定ヘツド

Info

Publication number: JPS62129730A
Application number: JP61275495A
Authority: JP
Inventors: ルードルフ・フロースバツハ; ギユンター・ライヒ; ハンス−ヨアヒム・シユーベルト
Original assignee: Leybold Heraeus GmbH
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1985-11-21
Filing date: 1986-11-20
Publication date: 1987-06-12
Also published as: US4729241A; DE3541178A1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、熱伝導原理に基づく真空計用の測定ヘッドで
あって、ほぼ円筒形のケーシングとそのなかに位置する
測定小室とを備えており、該測定小室が大気に対して真
空密に閉鎖されていて、排気可能な中空室と接続可能で
あり、同測定小室内に、該１ｇ１１定小室における圧力
に相当する電気信号を生ぜしめるための測定線条が配置
されている形式のものに関する。

このような形式の真空計は西ドイツ国特許出願公開第２
２４７９８８号明細書及び英国特許第９５５６６１号明
細書に基づいて公知である。

測定線条の電気接続部は電気的に絶縁されて測定小室か
ら外に案内されていて、英国特許第９５５６６１号明細
書に開示された真空計では差込みピンの形で終っており
、この差込みピンには、給電兼表示装置と測定線条とを
接続するために適当な差込みブシュが差込み可能である
。

この真空計には通常ホイートストンブリッジの別の電気
的な構Ｗ部材が取り付けられていて、これＫは測定線条
が接続されている。ブリッジ電流（制御されない熱伝導
式真空計）又（１ブリツジ電圧（制御される熱伝導式真
空計）は測定小室におけるガス圧のための尺度として雪
く。

公知の真空計では測定線条は円筒形のケーシングの縦軸
線に対して平行に配置されており、この結果縦長の構造
形状が生せしめられている。

このような構造形状が望まれているのは、これにより測
定線条の組込み長さを容易に知ることができるからであ
る。この測定線条の組込み長さを知るということが使用
者にとって大きな意味をもつのは、測定信号が測定小室
の内部における対流現象に基づいて測定線条の組込み長
さに関連しているからである。従って使用者は正確な組
込み長さを常に考慮しなくてはならない。

公知の形式の測定ヘラＦは扁平な横曲部材の排気される
中空室における圧力の測定又は監視のためにはあまり適
していない。扁平な構Ｗ部材というのは例えば断熱特性
を備え念プレート又は管でちシ、これらは複壁に構成さ
れていて断熱効果全改善するために排気されている。も
しこのような溝曲部材の比較的扁平なワ壁に公知の測定
ヘラＰが設けられると、測定ヘッドのケーシングは著し
く突出することになり、前記溝曲部材の使用（運搬、取
付け、ストック及びこれに類したこと）が極めて置敷に
なる。さらにまた測定ヘッドひいてはその機能が衝突に
よって損われるおそれもある。従って遠隔熱伝導路とし
て使用するために公知形式の測定ヘラＰを備えた管を地
上範囲に敷設することは、面倒な手間と多額の費用を伴
ってしか可能でない。

発明の課題ゆえに本発明の課題は、構造高さが可能な限り小さく、
従って排気される扁平な溝曲部材において使用するのに
極めて適した、真空計用の測定ヘッドを提供することで
ある。

課題全解決するための手段ゆえに本発明の構Ｗでは、測定線条がケーシングの軸線
に対してほぼ直角に配置されているようにした。

発明の効果このように構成されていると、極めて扁平〕を測定ヘッ
ドを得ることができ、この扁平なｚ＋１定ヘツ１２は、
複壁に構成されたプレート又は管の排気される内室の圧
力測定及び（又は）圧力監視を目的として、同プレート
又は管に−ｆ：の使用をなんら妨げることなく取り付け
ることが可能である。

実施態様本発明の有利な実施態様では、測定ヘッドのほぼ円筒形
のケーシングの高さがその直径よりも有利にはその半径
よりも小さい。

本発明の別の有利な実施態様では、排気可能な中空室に
測定小室を接続するために働く開口に、ガス透過性のカ
ッ々−が設けられている。このような処置は特に、断却
構Ｗ部材において公知であるように排気される中空室が
断熱物質例えば砂又は別の粉状物質によって満たされて
いる場合に必要である。つまりこのように構成されてい
ると測定線条を備えた測定小室への前記所動物質の侵入
を防止することができる。さらに断熱物質を高圧下（例
えば１ｏ　ｏ　Ａ−ル）で圧縮することも公知であり、
力、Ｓ−はこの場合このような高い圧力にも耐えられな
くてはならない。

実施例次に図面につき本発明の詳細な説明する。

第１図には本発明による測定ヘラＦ′ｌのための第１実
施例が断面図で示されている。測定ヘッド１は円筒形の
ケーシング部分２ｆ！：有しており、このケーシング部
分２は筒所３，４で、複壁に構成された構成部材の１つ
である壁５に溶接されている。図示の測定ヘッドの上に
ある空間は大気が支配している。測定ヘッドの下に位置
する室６は、中空で扁平な溝曲部材の内室である。測定
ヘラｒｔの軸線は符号７で示されている。

測定ヘラＩＳ１のケーシングのなかＫは測定線条９を備
えた本来の測定小室８が位置している。

測定線条９は接続ピン１１．１２に固定されており、面
接続ピン１１．１２は電流路１４　、１５を用いて測定
小室８の大気側の仕切り壁Ｌ　３　’、Ｈ貫いて導かれ
ていて、測定小室８の外側で差込みピン１６．１７の形
で終っている。この範囲においてケーシング部分２は扁
平な室１８を形成しており、この室１８は蓋１９によっ
て閉鎖可能である。

そのために蓋１９には雄ねじ山２２’ｉ備えた中央の支
持２工が設けられている。この支持２１には雌ねじ山を
備えた中央のスリーブ２３が配属されている。中央のス
リーブ２３は底２４（でよって保持されており、この底
２４は扁平な室を１８・イ仕切り壁１３に向かって制限している。

底２４には開口２５．２６が設けられており、両開口２
５．２６’ｉ貫いて差込みピン１６　、１７が室１８に
突入している。室１８をダスト密に閉鎖するために蓋１
９はさらに半径方向、２ツキン２７を有しており、この
半径方向パツキン２７は室１８の閉鎖時にケーシング部
分２の内側に接触している。

仕切り壁１３は鉢形成形体３１の工構我部分であり、鉢
形成形体３１の縁部３２は折り曲げられて箇所３３．３
４のところでケーシング部分２と溶接されている。同時
にこの溶接箇所で、例えば多孔性の焼結材料からＷる円
板３５がケーシング部分２及び鉢形成形体３１に固定さ
れており、この円板３５け測定小室８の開口を、圧力が
潰１１定される又は監視されるべき中空室６に向かつて
閉鎖している。円板３５には、ねじ３７によって閉鎖さ
れた開口３６が設けられている。この開口３６は、測定
ヘッドエの製造直後に検査接続部として働く。もしこの
ような開口３６が設けられていないと、検査には極めて
長い時間がかかる。それというのは多孔性の円板３５は
測定小室８と中空室６との間における迅速な圧力補償を
阻止するからである。

仕切り壁１３もしくは鉢形成形体３１は有利には鉄・コ
バルト・ニッケル合金（ＶａＣＯｎ）からなっており、
この合金にはセラミック製の電流路１４．１５が挿入さ
れてろう接されている。

このような合金は耐熱性で例えば３５０℃まで加熱可能
である。

中空室６の内部における圧力の測定は次のように行われ
る。まず初め、蓋工９が例えばスリット３８に導入され
念工具を用いて螺合を解離され、これによって室１８が
開放される。この後で差込みピン１６．１７が自由に接
近可能（でなり、従って差込みピンに適合した差込みブ
シュが差込み可能になる。これによって測定線条９は、
測定兼表示装置内におけるホイートストンブリッジに接
続され、この結果汎用の形式で、中空室６内における圧
力と等しい測定小室８における圧力が測定され得る。差
込みピンと差込みブシュはもちろん交換することができ
る。

第２図に示された第２実施例では仕切り壁工３は平らな
円板であり、鉢形成形体の１．ｌ’ｆ＊ｆｆ部分ではな
い。仕切り壁１３はケーシング部分２と同様にほぼ円筒
形のケーシング部分４工との間において溶接されている
。中空室６に対して測定小室８は目の細かいネットもし
くは格子４２によっておおわれている。この格子４２は
ケーシング部分４１と溶接又はろう接によって結合され
ている。

室１８を閉鎖している蓋工９は外周部にねじ山４０全備
えていて、このねじ山４０には、ケーシング部分２の内
側面に設けられたねじ山が対応している。

第１図の実施例とは異なり第２図の実施例では室１８の
内部に電子的な横曲部材が配置されており、これは図面
で−はブロック４３として略示されている。このブロッ
クは例えば、測定線条つと一緒にホイートストンブリッ
ジを形虞している電気的な横曲部材を有していてもよい
。

接続導線４４．４５を介してブロック４３は差込みピン
１１．１２と電気的に接続されている。

ケーシング部分２に設けられた孔を貫いて電気的な信号
導線４６は室■８から案内されていて、図示されていな
い中央の給電兼表示装置と接続されており、この給電兼
表示装置によって例えば、上に述べた形式の測定ヘッド
を備え念多数の測定箇所が監視される。

第２図に示された第２実施ｆｌｌは、地上に敷設された
複壁の管、つまりその内室６における圧力を監視したい
管であると有利である。

第３図には第１図に示された測定ヘッドの開放された室
工８が平面図で示されている。固有の電流路１４．１５
及び１４ａ、１５ａ’ｉ備えた全部で４つの差込みピン
１６　、ｉ７及び１６ａ。

１７ａが設けられている。測定小室８の内部における接
続ピンは互いにほぼ平行に配置された２つの測定線条を
有しており、両測定線条は圧力測定のためＶｒ信択的に
使用され得る。従って測定ヘラＰは、念とえ両測定線条
のうちの一方が故障した場合でも使用することができる
。

実施例として上に述べた測定ヘッドは、熱伝導原理に基
づいて作動する真空計のために適している。しかしなが
らまた、測定ヘッドが」した寸法を有しているならば、
別の原理に基づいて作動する真空計つまゆ電気信号を測
定値として供給する真空計（イオン化真空計、摩擦真空
計、ペニング型真空計及びこれに類したもの）のための
測定ヘラＰもまた、本発明の範囲内で使用可能である。

つまりこの場合に重要なことは、ほぼ円筒形の仰１定ヘ
ッドケ−７ングの直径がケーシングの高さよりも著しく
大きいことである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による測定ヘッドの第１実施例を示す断
面図、第２図は第２実施ｆｌｌを示す断面図、第３図は
第１図に示された測定ヘッドの室を示す平面図である。 ■・・・測定ヘラＹ、２・・・ケーシング部分、５・・
・壁、６・・・室、７・・・軸線、８・・・測定小呈、
９・・・測定線条、１１．１２・・・接続ピン、１３・
・・仕切り壁、Ｌ４，１４ａ、１５，１５ａ−・・電流
路、１６，１６ａ、１７，１７ａ・・・差込みピン、工
８・・・室、１９・・・蓋、２１・・・支持、２２・・
・雄ねじ山、２３・・・スリーブ、２４・・・底、２５
　、２６・・・開口、２７・・・半径方向ノξツキン、
３１・・・鉢形Ｗ形体、３２・・・縁部、３５・・・円
板、３６・・・開口、３７・・・ねじ、３８・・・スリ
ット、４０・・・ねじ山、４１・・・ケーシング部分、
４２・・・格子、４３・・・ブロック、４４．４５・・
・接続導線、４６・・・信号導線。第２図

Claims

【特許請求の範囲】１、熱伝導原理に基づく真空計用の測定ヘッドであって
、ほぼ円筒形のケーシングとそのなかに位置する測定小
室とを備えており、該測定小室が大気に対して真空密に
閉鎖されていて、排気可能な中空室と接続可能であり、
同測定小室内に、該測定小室における圧力に相当する電
気信号を生ぜしめるための測定線条が配置されている形
式のものにおいて、測定線条（９）がケーシングの軸線
（７）に対してほぼ直角に配置されていることを特徴と
する、真空計用の測定ヘッド。２、測定ヘッドの高さがその直径よりも小さい、特許請
求の範囲第１項記載の測定ヘッド。３、排気可能な中空室（６）に測定小室（８）を接続す
るために働く開口に、ガス透過性のカバーが設けられて
いる、特許請求の範囲第１項又は第２項記載の測定ヘッ
ド。４、カバーがネットもしくは格子（４２）又は多孔性の
円板（３５）から形成されている、特許請求の範囲第３
項記載の測定ヘッド。５、カバーが多孔性の円板（３５）から成っていて、ね
じ（３７）を用いて密に閉鎖可能な開口（３６）を有し
ている、特許請求の範囲第４項記載の測定ヘッド。６、カバーが、１００バール以上の圧力に抗するのに適
したように構成されている、特許請求の範囲第４項又は
第５項記載の測定ヘッド。７、測定小室（８）と大気との間における仕切り壁（１
３）に電流路（１４、１５）が設けられていて、該電流
路が大気側に差込みピン（１６、、１７）又は差込みブ
シュを有している、特許請求の範囲第１項から第６項ま
でのいずれか１項記載の測定ヘッド。８、セラミック製の電流路（１４、１５）が設けられて
いて、該電流路が、セラミックの熱膨張に適合した合金
から成る仕切り壁（１３）に挿入されてろう接されてい
る、特許請求の範囲第７項記載の測定ヘッド。９、仕切り壁（１３）が、ほぼ円筒形の２つのケーシン
グ部分（２、３５；２、４１）の間に配置されていて溶
接されており、大気側のケーシング部分（２）が扁平な
室（１８）を形成している、特許請求の範囲第７項又は
第８項記載の測定ヘッド。１０、室（１８）が蓋（１９）によって閉鎖可能である
、特許請求の範囲第９項記載の測定ヘッド。１１、室（１８）に別の電気的な構成部材が配置されて
いる、特許請求の範囲第９項又は第１０項記載の測定ヘ
ッド。１２、測定小室（８）の大気側の仕切り壁（１３）が鉢
形成形体（３１）の１構成部分であり、測定小室の中空
室側のカバーが焼結金属製の円板（３５）として構成さ
れている、特許請求の範囲第５項から第１１項までのい
ずれか１項記載の測定ヘッド。１３、測定小室（８）の内部に２つの測定線条（９）が
配置されていて、該測定線条の接続部が別体の電流路（
１４、１５、１４ａ、１５ａ）を介して外に案内されて
いる、特許請求の範囲第１項から第１２項までのいずれ
か１項記載の測定ヘッド。１４、真空計用の測定ヘッドであって、ほぼ円筒形のケ
ーシングとそのなかに位置する測定小室とを備えており
、該測定小室が大気に対して真空密に閉鎖されていて、
排気可能な中空室と接続可能であり、同測定小室内に、
該測定小室における圧力に相当する電気信号を生ぜしめ
るための測定線条が配置されている形式のものにおいて
、ケーシングの直径がその高さよりも大きいことを特徴
とする、真空計用の測定ヘッド。１５、測定ヘッドの材料が３５０℃までの加熱に適して
いる、特許請求の範囲第１４項記載の測定ヘッド。