JPS62120092A - レ−ザ装置 - Google Patents
レ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS62120092A JPS62120092A JP60260345A JP26034585A JPS62120092A JP S62120092 A JPS62120092 A JP S62120092A JP 60260345 A JP60260345 A JP 60260345A JP 26034585 A JP26034585 A JP 26034585A JP S62120092 A JPS62120092 A JP S62120092A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- laser
- aperture
- optical resonator
- total reflection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
- H01S3/082—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors defining a plurality of resonators, e.g. for mode selection or suppression
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は不安定形共振器を用いたレーザ装置の発振特
性の高効率化、ビームモードの高品質化に関するもので
ある。
性の高効率化、ビームモードの高品質化に関するもので
ある。
第４図は例えば特願昭９８−４−２２２号明細書に記載
の従来のレーザ装置を示す断面構成図であシ。
の従来のレーザ装置を示す断面構成図であシ。
図において、 ｆｔ１． Ｉ２）は１対の反射鏡であυ
、（１）は凹形球面鏡、（２）は凸形球面鏡、（３）は
レーザ媒質。
、（１）は凹形球面鏡、（２）は凸形球面鏡、（３）は
レーザ媒質。
（４）は穴つき反射鏡で、ビーム取出し用ミラー、（５
）は外部に取出されたリング状のレーザビーム、（６）
はレーザビームの外形を規制するアパーチャ。
）は外部に取出されたリング状のレーザビーム、（６）
はレーザビームの外形を規制するアパーチャ。
（６１）はレーザビーム吸収体、 （５２） はレ
ーザビーム吸収体（６１）に入射するレーザビーム、
Ｏ（Ｉは基台である。
ーザビーム吸収体（６１）に入射するレーザビーム、
Ｏ（Ｉは基台である。
次に動作について説明する。
１対の反射鏡ｍｆ２＋はレーザ媒質（３）をはさんで対
向して配置され、いわゆるコンフォーカルネ安定型光共
振器を構成している。画調間な往復する光はレーザ媒質
（３）によって増幅されると共にしだいに軸からはずれ
、平行レーザビーム（５）として外部に取出される。
向して配置され、いわゆるコンフォーカルネ安定型光共
振器を構成している。画調間な往復する光はレーザ媒質
（３）によって増幅されると共にしだいに軸からはずれ
、平行レーザビーム（５）として外部に取出される。
取出されるレーザビーム（５）は光共振器内におかれた
アパーチャ（６）を通過することにより、外形を整えら
れる。アパーチャ（６）には、レーザ吸収体（６１）が
つけられており、レーザビームの外形を整えたことによ
り、削られるレーザビーム（５２）を吸収している。
アパーチャ（６）を通過することにより、外形を整えら
れる。アパーチャ（６）には、レーザ吸収体（６１）が
つけられており、レーザビームの外形を整えたことによ
り、削られるレーザビーム（５２）を吸収している。
従来のレーザ装置は以上のように構成されているので、
外形の整った高品質のレーザビームを得ようとした場合
、レーザビームの一部をレーザビーム吸収体に吸収させ
、無駄にせねばならなかったので、レーザ出力の取出し
効率の低下を招くという問題点があった。
外形の整った高品質のレーザビームを得ようとした場合
、レーザビームの一部をレーザビーム吸収体に吸収させ
、無駄にせねばならなかったので、レーザ出力の取出し
効率の低下を招くという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、高品質のモードのレーザビームを、取出し効
率の低下を招くことなく発生できるレーザ装置を得るこ
とを目的とする。
たもので、高品質のモードのレーザビームを、取出し効
率の低下を招くことなく発生できるレーザ装置を得るこ
とを目的とする。
この発明に係るレーザ装置はレーザビームの出射方向と
対向するアパーチャ表面を全反射面とし。
対向するアパーチャ表面を全反射面とし。
この全反射面と反射鏡とが共振状態を持つようにしたも
のである。
のである。
この発明におけるアパーチャは、レーザビームの外形を
整えると共に１表面を全反射面とし入射するレーザビー
ムを光共振器内に返す。
整えると共に１表面を全反射面とし入射するレーザビー
ムを光共振器内に返す。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第１図はこの発明の一実施例によるレーザ装置を示す断
面構成図であ９１図においてｍは凹形球面鏡、（２）は
凸形球面鏡、（３）はレーザ媒質でａｏ２レーザを例に
とれば放電により励起されたガス。
面構成図であ９１図においてｍは凹形球面鏡、（２）は
凸形球面鏡、（３）はレーザ媒質でａｏ２レーザを例に
とれば放電により励起されたガス。
ＹＡＧレーザではフラッシュランプによυ励起されたガ
ラス体等である。（４）は光共振器内に設置されたビー
ム取出し用ミラー、（５）は外部に取出されたレーザビ
ーム、（６）はビーム取出し用ミラー（４）と凹形球面
鏡（１１との間に設けられたアパーチャ。
ラス体等である。（４）は光共振器内に設置されたビー
ム取出し用ミラー、（５）は外部に取出されたレーザビ
ーム、（６）はビーム取出し用ミラー（４）と凹形球面
鏡（１１との間に設けられたアパーチャ。
（６０）はレーザビームの出射方向と対向するアパーチ
ャ表面に設けられた金属等の反射薄膜であり。
ャ表面に設けられた金属等の反射薄膜であり。
全反射面を形成している。（５１）はこの反射薄膜（５
１）に入射したレーザビーム、また（５２）は反射した
レーザビームであり、レーザビーム（５１）（５２）は
アパーチャ表面に垂直に入射１反射して凹形球面鏡（１
）とアパーチャ表面の全反射面が共振状態をもつように
配置されている。
１）に入射したレーザビーム、また（５２）は反射した
レーザビームであり、レーザビーム（５１）（５２）は
アパーチャ表面に垂直に入射１反射して凹形球面鏡（１
）とアパーチャ表面の全反射面が共振状態をもつように
配置されている。
次に動作について説明する。一対の反射鏡＋１１ （２
１はいわゆる不安定形光共振器を構成している。両鏡（
１１ｒ２１間を往復する光は、レーザ媒質（３）Ｋより
増幅されるとともに、しだいに軸上からはずれ、レーザ
ビーム（５）として外部に取出される。
１はいわゆる不安定形光共振器を構成している。両鏡（
１１ｒ２１間を往復する光は、レーザ媒質（３）Ｋより
増幅されるとともに、しだいに軸上からはずれ、レーザ
ビーム（５）として外部に取出される。
取出されるレーザビーム（５）は、光共振器内におかれ
たアパーチャ（６：を通過することによシ、外形を整え
られる。
たアパーチャ（６：を通過することによシ、外形を整え
られる。
第２図（ａ）（ｂｌは、各々放電励起００２レーザにお
いて、アパーチャ（６１をつけずに得たレーザビームモ
ードの正面図及び第２図（ａ）のＢ−Ｂ線での断面図で
あシ、また第３図（ａ）（１））は、各々アパーチャに
よって整形されたレーザビームモードの正面図及び第３
図（ａ）のＢ−Ｂ線での断面図である。
いて、アパーチャ（６１をつけずに得たレーザビームモ
ードの正面図及び第２図（ａ）のＢ−Ｂ線での断面図で
あシ、また第３図（ａ）（１））は、各々アパーチャに
よって整形されたレーザビームモードの正面図及び第３
図（ａ）のＢ−Ｂ線での断面図である。
また開口部材によりはし切りされるレーザビーム（５１
）は、レーザビーム（５２）としてレーザビーム（５１
）と同一光路内に光共振器内に返され。
）は、レーザビーム（５２）としてレーザビーム（５１
）と同一光路内に光共振器内に返され。
このレーザビーム（５２）は光共振器内を数回往復する
間にレーザビーム（５）に含まれて外部に出射される。
間にレーザビーム（５）に含まれて外部に出射される。
従ってアパーチャによるレーザビームのはし切りにより
レーザ出力を損失することがない。
レーザ出力を損失することがない。
なお、上記実施例では１対の反射鏡ｆｉ）（２）として
凹形及び凸形球面鏡を用い、平行ビームを出射するコン
フォーカルネ安定形光共振器を例にと９説明したが、他
の反射鏡の組合せにより発散もしくは収束ビームを出射
する不安定形光共振器においても９反射鏡（６０）
に入射するレーザビーム（５１）を入射ビームと同一光
路内にレーザビーム（５２）として返すことにより同一
の効果を奏する。
凹形及び凸形球面鏡を用い、平行ビームを出射するコン
フォーカルネ安定形光共振器を例にと９説明したが、他
の反射鏡の組合せにより発散もしくは収束ビームを出射
する不安定形光共振器においても９反射鏡（６０）
に入射するレーザビーム（５１）を入射ビームと同一光
路内にレーザビーム（５２）として返すことにより同一
の効果を奏する。
また、上記実施例ではアパーチャ（６）の位置をビーム
取出し用ミラー（４）と凹形球面鏡ｆｉ＋の間に設けた
が、１対の反射鏡により構成される光共振器の外側、即
ち、ビーム取出し用ミラー（４）よシ外部に取出される
レーザビーム（５）の光路上に、このレーザビーム（５
）の出射方向に対向する表面が全反射面となるアパーチ
ャを設け、この全反射面と凹形球面鏡（１）とがビーム
取出し用ミラー（４）を介して共振状態を持つようにし
てもよい。
取出し用ミラー（４）と凹形球面鏡ｆｉ＋の間に設けた
が、１対の反射鏡により構成される光共振器の外側、即
ち、ビーム取出し用ミラー（４）よシ外部に取出される
レーザビーム（５）の光路上に、このレーザビーム（５
）の出射方向に対向する表面が全反射面となるアパーチ
ャを設け、この全反射面と凹形球面鏡（１）とがビーム
取出し用ミラー（４）を介して共振状態を持つようにし
てもよい。
さらに、上記実施例ではビーム取出し用ミラー（４）を
用いてレーザビームの共振方向と異る方向にレーザビー
ム（５）を取出すものを示したが、ビーム取出し用ミラ
ー（４）ヲ用いずに、凸形球面鏡（２）側よりレーザビ
ームを外部に取出す構成のレーザ装置においても、上述
と同様のアパーチャを用いることにより同一の効果が得
られる。
用いてレーザビームの共振方向と異る方向にレーザビー
ム（５）を取出すものを示したが、ビーム取出し用ミラ
ー（４）ヲ用いずに、凸形球面鏡（２）側よりレーザビ
ームを外部に取出す構成のレーザ装置においても、上述
と同様のアパーチャを用いることにより同一の効果が得
られる。
以上はように、この発明によれば、レーザビームの出射
方向と対向するアノく−チャ表面を全反射面とし、この
全反射面と反射鏡とが共振状態を持つようにしたので９
外形の整ったレーザビームを。
方向と対向するアノく−チャ表面を全反射面とし、この
全反射面と反射鏡とが共振状態を持つようにしたので９
外形の整ったレーザビームを。
レーザ出力の取出し効率を損うことなく得ることができ
る効果がある。
る効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるレーザ装置を示す断
面構成図、第２図（ａ）（ｂ）は各々外形の整形されて
いないレーザビームモードを示す正面図および第２図（
ａ）のＢ−ＢＭでの断面図、第３図（ａｌ ｔｌ））は
各々外形の整形されたレーザビームモードを示す正面図
および第３図（ａ）のＢ−Ｂ線での断面図。 並びに第４図は従来のレーザ装置を示す断面構成図であ
る。 ＋ｉ＋Ｆｉ、凹形球面鏡、（２）は凸形球面鏡、（３）
はレーザ媒質、（４）はビーム取出し用ミラー、 ＋５
１． （ｓｌ）。 （５２）はレーザビーム、（６）はアパーチャ、 （
６０）は反射薄膜 なお９図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
面構成図、第２図（ａ）（ｂ）は各々外形の整形されて
いないレーザビームモードを示す正面図および第２図（
ａ）のＢ−ＢＭでの断面図、第３図（ａｌ ｔｌ））は
各々外形の整形されたレーザビームモードを示す正面図
および第３図（ａ）のＢ−Ｂ線での断面図。 並びに第４図は従来のレーザ装置を示す断面構成図であ
る。 ＋ｉ＋Ｆｉ、凹形球面鏡、（２）は凸形球面鏡、（３）
はレーザ媒質、（４）はビーム取出し用ミラー、 ＋５
１． （ｓｌ）。 （５２）はレーザビーム、（６）はアパーチャ、 （
６０）は反射薄膜 なお９図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (5)
- （１）レーザ媒質をはさんで対向して配置された１対の
反射鏡により不安定型光共振器を構成し、この光共振器
内に発生したレーザビームの外形をアパーチヤにより規
制するものにおいて、上記レーザビームの出射方向と対
向するアパーチヤ表面を全反射面とし、この全反射面と
上記反射鏡とが共振状態を持つようにしたことを特徴と
するレーザ装置。 - （２）光共振器内にビーム取出し用ミラーを設置した特
許請求の範囲第１項記載のレーザ装置。 - （３）アパーチヤは１対の反射鏡間に設けた特許請求の
範囲第１項又は第２項記載のレーザ装置。 - （４）アパーチヤは１対の反射鏡により構成される光共
振器の外側に設けた特許請求の範囲第１項又は第２項記
載のレーザ装置。 - （５）アパーチヤの表面に薄膜を形成して全反射面とし
た特許請求の範囲第１項ないし第４項のいずれかに記載
のレーザ装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60260345A JPS62120092A (ja) | 1985-11-20 | 1985-11-20 | レ−ザ装置 |
| DE19863639580 DE3639580A1 (de) | 1985-11-20 | 1986-11-20 | Laseranordnung |
| US07/377,774 US4942588A (en) | 1985-11-20 | 1989-07-10 | Laser device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60260345A JPS62120092A (ja) | 1985-11-20 | 1985-11-20 | レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62120092A true JPS62120092A (ja) | 1987-06-01 |
Family
ID=17346680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60260345A Pending JPS62120092A (ja) | 1985-11-20 | 1985-11-20 | レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62120092A (ja) |
-
1985
- 1985-11-20 JP JP60260345A patent/JPS62120092A/ja active Pending
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