JPS62114480A - 超音波モ−タ - Google Patents
超音波モ−タInfo
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- JPS62114480A JPS62114480A JP60254112A JP25411285A JPS62114480A JP S62114480 A JPS62114480 A JP S62114480A JP 60254112 A JP60254112 A JP 60254112A JP 25411285 A JP25411285 A JP 25411285A JP S62114480 A JPS62114480 A JP S62114480A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
- H02N2/0065—Friction interface
- H02N2/007—Materials
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、圧電体による超音波振動を利用した超音波モ
ータに関し、特に摩擦接触によって相手部材を一定方向
に運動させるスライド材判に関するものである。
ータに関し、特に摩擦接触によって相手部材を一定方向
に運動させるスライド材判に関するものである。
従来の技術
一般に、超音波モータは、圧電体により表面進行波を発
生する振動子と動体とが加田闇触した構成であり、振動
子と動体との摩擦力によって、動体が一定方向に駆動さ
れる。動体の駆動力を向上させるためには、加圧陵触力
が大きく、また摩擦力が大きいことが必要である。その
ために、動体の接触部に、摩擦係数の大きなスライド材
が動体と一体構成されている。そのスライド材として、
バインダーで結合されたアスベスト繊維が梶案されてい
る。
生する振動子と動体とが加田闇触した構成であり、振動
子と動体との摩擦力によって、動体が一定方向に駆動さ
れる。動体の駆動力を向上させるためには、加圧陵触力
が大きく、また摩擦力が大きいことが必要である。その
ために、動体の接触部に、摩擦係数の大きなスライド材
が動体と一体構成されている。そのスライド材として、
バインダーで結合されたアスベスト繊維が梶案されてい
る。
発明が解決しようとする問題点
上記アスベスト繊維を成分とするスライド材は、摩耗量
が多く、摩耗された遊離粉が発生し、その結果、超音波
モータの駆動性能が劣化したシ、また、動作中に超音波
モータの駆動性能が変動するという問題点がある。さら
に動作中に摩擦雑音が発生するという問題点がある。
が多く、摩耗された遊離粉が発生し、その結果、超音波
モータの駆動性能が劣化したシ、また、動作中に超音波
モータの駆動性能が変動するという問題点がある。さら
に動作中に摩擦雑音が発生するという問題点がある。
問題点を解決するための手段
°本発明は上記問題点を解決するために、少なくとも合
成高分子繊維を用いたスライド材を構成したものである
。
成高分子繊維を用いたスライド材を構成したものである
。
作用
上記構成のスライド材によシ、大きい起動トルク金出力
することができるとともに、特に焼きつき現象や摩耗が
少なく駆動出力の経時劣化が少ないなど、長時間、優れ
た超音波モータの駆動性能を維持することができる。さ
らに、モータの駆動時の摩擦接触雑音の発生が少なくな
る等の超音波モータの駆動性、能を向上することができ
る。
することができるとともに、特に焼きつき現象や摩耗が
少なく駆動出力の経時劣化が少ないなど、長時間、優れ
た超音波モータの駆動性能を維持することができる。さ
らに、モータの駆動時の摩擦接触雑音の発生が少なくな
る等の超音波モータの駆動性、能を向上することができ
る。
実施例
以下本発明の一実施例を図面を参照しながら説明する。
第１図および第２図は本発明の超音波モータの一実施例
の主要部構成を示す斜視図および拡大断面図である。（
１）は圧電体であり、その表面に振動子基材（２）が接
着固定されている。（３）は動体であυ、動体（３）に
合成高分子繊維よりなるスライド材（４）が接着固定さ
れている。振動子基材（２）とスライド材（４）は対面
加圧接触して配置される。圧電体（１）によって発生し
た表面進行波は振動子基材（２）に伝えられ、振動子基
材（２）とスライド材（４）との摩擦力によって、スラ
イド材（４）に接着固定された動体（３）がスライド材
（４）と−諸に駆動する。
の主要部構成を示す斜視図および拡大断面図である。（
１）は圧電体であり、その表面に振動子基材（２）が接
着固定されている。（３）は動体であυ、動体（３）に
合成高分子繊維よりなるスライド材（４）が接着固定さ
れている。振動子基材（２）とスライド材（４）は対面
加圧接触して配置される。圧電体（１）によって発生し
た表面進行波は振動子基材（２）に伝えられ、振動子基
材（２）とスライド材（４）との摩擦力によって、スラ
イド材（４）に接着固定された動体（３）がスライド材
（４）と−諸に駆動する。
符ｌ／ｉｃ？１ｉＩＪ限はないか、方台族ホリアミド轍
紺、ホリ△ ベンゾイミダゾール繊維などがより望ましい。また２０
０℃以上の耐熱性のある合成高分子繊維も望ましい。さ
らに、上記合成高分子繊維の結合剤として、バインダー
剤の使用も可能である。
紺、ホリ△ ベンゾイミダゾール繊維などがより望ましい。また２０
０℃以上の耐熱性のある合成高分子繊維も望ましい。さ
らに、上記合成高分子繊維の結合剤として、バインダー
剤の使用も可能である。
次に、本発明を具体的実施例°によってさらに詳しく説
明する。なお実施例において、合成高分子繊維を使用し
たスライド材をステンレス製６１体に接着固定し、また
振動子基材としてステンレス製材を使用した構成の超音
波モータに実装し、入力電力を一定にしたときの初期の
起動トルクと無負荷回転数および１００万回摩擦駆動後
の駆動出力の測定によって、モータ性能を比較評価した
。
明する。なお実施例において、合成高分子繊維を使用し
たスライド材をステンレス製６１体に接着固定し、また
振動子基材としてステンレス製材を使用した構成の超音
波モータに実装し、入力電力を一定にしたときの初期の
起動トルクと無負荷回転数および１００万回摩擦駆動後
の駆動出力の測定によって、モータ性能を比較評価した
。
実施例１
芳香族ポリアミド繊維（デュポン社製商品名ケプ？−４
９ｖ＆維、繊維径１２μｍ、引張強さ２８０ ｋｇ７ｄ
、２２ｇ／ｄｅ、耐熱性２００℃安定、加熱溶融なし、
引張弾性率１３．０００ｋｇ／ｊｌ’ｌ ）よシなる織
布（平織シ、糸使い２００デニール、密度３４本／２５
朋、厚さ０．１５ ｙｚ、質量７０ ｇ／ｍ−引張強さ
１１０ｋｇｆ／２５ Ｍ ）のシートをポリウレタンゴ
ム系接着剤を用いてステンレス製動体に接着固定したス
ライド材を用いた超音波モータを拭布した。
９ｖ＆維、繊維径１２μｍ、引張強さ２８０ ｋｇ７ｄ
、２２ｇ／ｄｅ、耐熱性２００℃安定、加熱溶融なし、
引張弾性率１３．０００ｋｇ／ｊｌ’ｌ ）よシなる織
布（平織シ、糸使い２００デニール、密度３４本／２５
朋、厚さ０．１５ ｙｚ、質量７０ ｇ／ｍ−引張強さ
１１０ｋｇｆ／２５ Ｍ ）のシートをポリウレタンゴ
ム系接着剤を用いてステンレス製動体に接着固定したス
ライド材を用いた超音波モータを拭布した。
この超音波モータの初期の起動トルクは６３０ｇｆ−口
、無負荷回転数は８００ｒｐｍであり、１００万回動作
後の起動トルクは６５０ｇｆ−□□□、無負荷回転数は
８２０ｒｐｍであって、駆動出力の劣化は殆んど認めら
れなかった。
、無負荷回転数は８００ｒｐｍであり、１００万回動作
後の起動トルクは６５０ｇｆ−□□□、無負荷回転数は
８２０ｒｐｍであって、駆動出力の劣化は殆んど認めら
れなかった。
また１００万回のモータの動作時に異常な摩擦雑音の発
生は認められなかった。さらに焼きつき現象や摩耗粉の
発生も殆んど認められなかった。
生は認められなかった。さらに焼きつき現象や摩耗粉の
発生も殆んど認められなかった。
比較例
これに対して、アスベス） ］’＆維ヲ８＃脂で結合し
たシート（厚さ１朋）をポリウレタンゴム系陵着剤を用
いてステンレス製動体に接着固定したスライド材を用い
て超音波モータの実装テストを行った結果、初期の起動
トルクは５９０ｇｆ−ｃ＋＋＋、無負荷回転数は７２０
ｒｐｍであった。また１００万回＠作後の起動トルクは
２５０ｇｆ−側、無負荷回転数は３５０ｒｐｍであり、
駆動出力は、かなり劣化した。さらに、モータの駆動中
にキューキュー音の摩擦接触音の発生が認められた。ま
た、摩耗厚さは１００μｍ以上あり、多量の摩耗粉が発
生した。
たシート（厚さ１朋）をポリウレタンゴム系陵着剤を用
いてステンレス製動体に接着固定したスライド材を用い
て超音波モータの実装テストを行った結果、初期の起動
トルクは５９０ｇｆ−ｃ＋＋＋、無負荷回転数は７２０
ｒｐｍであった。また１００万回＠作後の起動トルクは
２５０ｇｆ−側、無負荷回転数は３５０ｒｐｍであり、
駆動出力は、かなり劣化した。さらに、モータの駆動中
にキューキュー音の摩擦接触音の発生が認められた。ま
た、摩耗厚さは１００μｍ以上あり、多量の摩耗粉が発
生した。
実施例２
第１表に示すような種々のバラ系芳香族ポリアミド繊維
を用いて実施例１と同じ方法で超音波モータを試作した
。それぞれの場合について、駆動性能を測定した結果を
第２表に示す。
を用いて実施例１と同じ方法で超音波モータを試作した
。それぞれの場合について、駆動性能を測定した結果を
第２表に示す。
第２表から明らかのように、いずれも初期の起動トルク
と無負荷回転数は良好で、駆動出力が優れている。また
、１００万回動作後の駆動出力も殆んど劣化がなく、良
好な駆動性能を示す。特に、いずれも異常な摩擦雑音の
発生は認められなかった。さらに焼きつき現象や摩耗粉
の発生も認められなかった。
と無負荷回転数は良好で、駆動出力が優れている。また
、１００万回動作後の駆動出力も殆んど劣化がなく、良
好な駆動性能を示す。特に、いずれも異常な摩擦雑音の
発生は認められなかった。さらに焼きつき現象や摩耗粉
の発生も認められなかった。
−以 下 余 白 −
第１表
実施例３
第３表に示すような種々の合成高分子縁ｍを用いて実施
例１と同じ方法で超音波モータを試作した。それぞれの
場合について駆動性能を測定した結果金弟４表に示す。
例１と同じ方法で超音波モータを試作した。それぞれの
場合について駆動性能を測定した結果金弟４表に示す。
第３表から明らかのよって、いずれも初期の起動トルク
と無負荷回転数は良好であった。また、１００万回動作
後の駆動出力も殆んど劣化がなく、良好な駆動性能を示
す。特に、いずれも異常な摩擦雑音の発生は認められな
かった。さらに、焼きつき現象も認められず摩耗粉の発
生も非常に少なかった。
と無負荷回転数は良好であった。また、１００万回動作
後の駆動出力も殆んど劣化がなく、良好な駆動性能を示
す。特に、いずれも異常な摩擦雑音の発生は認められな
かった。さらに、焼きつき現象も認められず摩耗粉の発
生も非常に少なかった。
ｗＩＪ３表
第 ４ 表
発明の詳細
な説明したように、表面に進行波を発生する超音波振動
子とスライド材とが対面加圧接触し、その両者間の摩擦
力を介して前記進行波によシ前記スライド材を含む動体
を駆動する超音波モータにおいて、前記スライド材を少
なくとも合成高分子繊維を用いて構成することにより、
大きい駆動出力を出すことができ、特に摩耗が少なく駆
動出力の経時劣化が少ない等、長時間、優れた超音波モ
ータの駆動性能を維持することができる。さらにモータ
の駆動時の摩擦接触雑音の発生が少なくなる等の超音波
モータの駆動性能を向上する効果があり、その工業的価
値は極めて高い。
子とスライド材とが対面加圧接触し、その両者間の摩擦
力を介して前記進行波によシ前記スライド材を含む動体
を駆動する超音波モータにおいて、前記スライド材を少
なくとも合成高分子繊維を用いて構成することにより、
大きい駆動出力を出すことができ、特に摩耗が少なく駆
動出力の経時劣化が少ない等、長時間、優れた超音波モ
ータの駆動性能を維持することができる。さらにモータ
の駆動時の摩擦接触雑音の発生が少なくなる等の超音波
モータの駆動性能を向上する効果があり、その工業的価
値は極めて高い。
第１図は本発明超音波モータの一実施例の主要部構成を
示す斜視図、第２図はその拡大断面図である。 （１）・・・圧電体、（２）・・・振動子基材、（３）
・・・動体、（４）・・・スライド材 代理人 森 本 義 弘ｌ ／−一一斤里体 ２−＃−動シ基稗 ３−−一人う任万λ ４−動体
示す斜視図、第２図はその拡大断面図である。 （１）・・・圧電体、（２）・・・振動子基材、（３）
・・・動体、（４）・・・スライド材 代理人 森 本 義 弘ｌ ／−一一斤里体 ２−＃−動シ基稗 ３−−一人う任万λ ４−動体
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、少なくとも表面に進行波を発生する超音波振動子と
、スライド材とが対面接触し、その両者間の摩擦力を介
して前記進行波により前記スライド材を含む動体を駆動
する超音波モータにおいて、前記スライド材を少なくと
も合成高分子繊維を用いて構成した超音波モータ。 ２、合成高分子繊維は、パラ系芳香族ポリアミド繊維で
あることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の超音
波モータ。 ３、合成高分子繊維は、メタ系芳香族ポリアミド繊維、
フェノール繊維、ポリベンズイミダゾール繊維から選ば
れた少なくとも一種以上であることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の超音波モータ。 ４、合成高分子繊維は、樹脂をバインダーとしてなるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の超音波モー
タ。 ５、合成高分子繊維は、２００℃の温度においても安定
であり、さらに高温においても溶融しない耐熱性をもつ
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の超音波モ
ータ。 ６、合成高分子繊維は、ゴム弾性のある樹脂をバインダ
ーとしてなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の超音波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60254112A JPS62114480A (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 | 超音波モ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60254112A JPS62114480A (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 | 超音波モ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62114480A true JPS62114480A (ja) | 1987-05-26 |
Family
ID=17260389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60254112A Pending JPS62114480A (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 | 超音波モ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62114480A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1989000787A1 (en) * | 1987-07-21 | 1989-01-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Lining material and ultrasonic wave drive motor using the lining material |
| EP0313352A2 (en) * | 1987-10-20 | 1989-04-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ultrasonic motor |
| JPH01234070A (ja) * | 1988-03-15 | 1989-09-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波モータ |
| US4939404A (en) * | 1988-04-22 | 1990-07-03 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Vibration wave motor |
| US4978882A (en) * | 1989-04-25 | 1990-12-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave driven motor |
| US5059849A (en) * | 1987-11-26 | 1991-10-22 | Matsushita Electrical Industrial Co., Ltd. | Ultrasonic motor |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60200778A (ja) * | 1984-03-23 | 1985-10-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波駆動モ−タ |
-
1985
- 1985-11-13 JP JP60254112A patent/JPS62114480A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60200778A (ja) * | 1984-03-23 | 1985-10-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波駆動モ−タ |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1989000787A1 (en) * | 1987-07-21 | 1989-01-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Lining material and ultrasonic wave drive motor using the lining material |
| JPS6426375A (en) * | 1987-07-21 | 1989-01-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Lining material and ultrasonic driving motor using the lining material |
| US5013956A (en) * | 1987-07-21 | 1991-05-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Lining material and ultrasonic wave driven motor using lining material |
| DE3890898C1 (de) * | 1987-07-21 | 1997-01-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Belagmaterial und durch Ultraschall angetriebener Motor mit diesem Belagmaterial |
| EP0313352A2 (en) * | 1987-10-20 | 1989-04-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ultrasonic motor |
| US5059849A (en) * | 1987-11-26 | 1991-10-22 | Matsushita Electrical Industrial Co., Ltd. | Ultrasonic motor |
| JPH01234070A (ja) * | 1988-03-15 | 1989-09-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波モータ |
| US4939404A (en) * | 1988-04-22 | 1990-07-03 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Vibration wave motor |
| US4978882A (en) * | 1989-04-25 | 1990-12-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave driven motor |
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