JPS6199824A - 分光器 - Google Patents
分光器Info
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- JPS6199824A JPS6199824A JP22147184A JP22147184A JPS6199824A JP S6199824 A JPS6199824 A JP S6199824A JP 22147184 A JP22147184 A JP 22147184A JP 22147184 A JP22147184 A JP 22147184A JP S6199824 A JPS6199824 A JP S6199824A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ0発明の目的
産業上の利用分野
本発明は、光電検出手段としてマイクロチャンネルプレ
ー) (MicrochannaIPlate、以下M
OPという)を使用した分光器に関する。
ー) (MicrochannaIPlate、以下M
OPという)を使用した分光器に関する。
従来の技術
従来、例えば真空紫外域の光を分光器として米国特許第
4380393号に開示されているようなものがある。
4380393号に開示されているようなものがある。
この米国特許に開示された分光器は、入l]スリットと
、この入口スリットから入射してきた光を回折して複数
のス硬りトル線として結像する回折格子とを備えており
、この回折格子がその結像面をほぼ平面とする如く不等
間隔とした曲面回折格子であり、まだ入口スリットが以
下の条件を満足すべく線分l上に設けられている。即ち
、この条件とは0.7≦・π−に≦0.9である。ここ
で、Rは曲面回折格子の主曲率半径、αは入1コスリッ
トから曲面回折格子へ入射する主光線の入射角、lは曲
面回折格子の中心からFtcosα離れたローランド円
トの点と該格子の中心とを結ぶ線分、rは線分l上の入
口スリットと該格子の中心との間の距離である。この従
来の分光器によれば入口スリットから入射してきた光は
ローランド円内で平面上に結像される。この平面上に結
像されたスイクトル線像は、MOPによって光電子増倍
されて分光測定に供される。
、この入口スリットから入射してきた光を回折して複数
のス硬りトル線として結像する回折格子とを備えており
、この回折格子がその結像面をほぼ平面とする如く不等
間隔とした曲面回折格子であり、まだ入口スリットが以
下の条件を満足すべく線分l上に設けられている。即ち
、この条件とは0.7≦・π−に≦0.9である。ここ
で、Rは曲面回折格子の主曲率半径、αは入1コスリッ
トから曲面回折格子へ入射する主光線の入射角、lは曲
面回折格子の中心からFtcosα離れたローランド円
トの点と該格子の中心とを結ぶ線分、rは線分l上の入
口スリットと該格子の中心との間の距離である。この従
来の分光器によれば入口スリットから入射してきた光は
ローランド円内で平面上に結像される。この平面上に結
像されたスイクトル線像は、MOPによって光電子増倍
されて分光測定に供される。
第9図を参照してMCPの概要を説明する。第9図(a
)はMCPのバイアスを明らかにするために横方向から
みだ断面図であり、第9図(b)はMOPの縦方向(こ
の方向からはバイアスは判然と現れない)からみた断面
図であり、第9図(c)はMOPの斜視図である。MO
Pは内径10〜20μmの細いガラス管つ壕りチャンネ
ルah を互いに平行に多数束ね、個々のチャンネル内
壁に二次電子放出材料をコーティングして各チャンネル
の各々を連続二次電子増倍器としたものである。そして
、束ねられたチャンネルは所定の厚さに切断される。こ
の切断の角度は、入射−次電子の突き抜は防IE等の理
由により、チャンネルの長さ方向に対して所定値に選ば
れている。この角度のことをバイアス角θといい、切断
面と該バイアス角θで交わる面内の該チャンネルの中心
軸の向きをバイアス方向という。
)はMCPのバイアスを明らかにするために横方向から
みだ断面図であり、第9図(b)はMOPの縦方向(こ
の方向からはバイアスは判然と現れない)からみた断面
図であり、第9図(c)はMOPの斜視図である。MO
Pは内径10〜20μmの細いガラス管つ壕りチャンネ
ルah を互いに平行に多数束ね、個々のチャンネル内
壁に二次電子放出材料をコーティングして各チャンネル
の各々を連続二次電子増倍器としたものである。そして
、束ねられたチャンネルは所定の厚さに切断される。こ
の切断の角度は、入射−次電子の突き抜は防IE等の理
由により、チャンネルの長さ方向に対して所定値に選ば
れている。この角度のことをバイアス角θといい、切断
面と該バイアス角θで交わる面内の該チャンネルの中心
軸の向きをバイアス方向という。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、従来の分光器では光電検出器としてMO
Pを使用したときの感度特性について十分考慮されてい
なかった。即ち、MCPのバイアス角と回折格子によっ
て分散されたスペクトル線の分散角との関係に考慮がな
かったので、分光感度が波長により著しく変化するとい
う問題点があった。
Pを使用したときの感度特性について十分考慮されてい
なかった。即ち、MCPのバイアス角と回折格子によっ
て分散されたスペクトル線の分散角との関係に考慮がな
かったので、分光感度が波長により著しく変化するとい
う問題点があった。
従って、本発明の目的は、MCPのような光電検出器の
バイアスに起因する分光感度の変化を除去した分光器を
提供することである。
バイアスに起因する分光感度の変化を除去した分光器を
提供することである。
口9発明の構成
問題点を解決するための手段
本発明は、回折格子によって分散されたスにクトル線の
波長による分散方向の違いによって生ずるMCPの各チ
ャンネルへ入射角のずれを、該MCPのバイアス方向を
特定することによって減少させるものである。これによ
って、各波長に対す。
波長による分散方向の違いによって生ずるMCPの各チ
ャンネルへ入射角のずれを、該MCPのバイアス方向を
特定することによって減少させるものである。これによ
って、各波長に対す。
る分光感度の変化は低減される。本発明によれば、被測
定光を取り入れるだめの入口スリットと、該入1」スリ
ットから入射してきた前記被測定光を波し毎に分散する
分散素子と、該分散素子によって分散されたスペクトル
線を光電子増倍するためのマイクロチャンネルプレート
とを少なくとも備えた分光器において、前記マイクロチ
ャンネルプレートのチャンネルのバイア、ス方向が前記
被測定光の波長分散方向と直交する面内にあるように前
記マイクロチャンネルプレートを配置した分光器が提供
される。
定光を取り入れるだめの入口スリットと、該入1」スリ
ットから入射してきた前記被測定光を波し毎に分散する
分散素子と、該分散素子によって分散されたスペクトル
線を光電子増倍するためのマイクロチャンネルプレート
とを少なくとも備えた分光器において、前記マイクロチ
ャンネルプレートのチャンネルのバイア、ス方向が前記
被測定光の波長分散方向と直交する面内にあるように前
記マイクロチャンネルプレートを配置した分光器が提供
される。
実施例
以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
第1図は本発明の分光器の第1実施例を示す正面図、第
2図は同実施例の側面図である。第1図において、分光
器は入口スリット1、凹面回折格子2及び光電検出器3
から構成される。入口スリット1と凹面回折格子2は、
例えば前述の米国特許第4380393号に開示された
ものと同様に配置及び形成しである。従って、入口スリ
ット1から入射した光は凹面回折格子2によって複数ス
ペクトル線(回折光)に分散(回折)されてほぼ平面の
結像面つまり矢印4の点線を含んで第1図紙面と直交す
る面に結像する。2本のスペクトル線L1及びLn は
凹面回折格子2によって分散されたスペクトル線の主回
折光を代表的にあられしている。
2図は同実施例の側面図である。第1図において、分光
器は入口スリット1、凹面回折格子2及び光電検出器3
から構成される。入口スリット1と凹面回折格子2は、
例えば前述の米国特許第4380393号に開示された
ものと同様に配置及び形成しである。従って、入口スリ
ット1から入射した光は凹面回折格子2によって複数ス
ペクトル線(回折光)に分散(回折)されてほぼ平面の
結像面つまり矢印4の点線を含んで第1図紙面と直交す
る面に結像する。2本のスペクトル線L1及びLn は
凹面回折格子2によって分散されたスペクトル線の主回
折光を代表的にあられしている。
この複数のスペクトル線の分散方向っまシ波長分散方向
は矢印4で示す方向である。ここで、波長分散方向とは
被測定波長域λ1〜λ。に対応する回折角をβ1〜β□
としたとき、回折角β=(β1+へ号なる波長λの主回
析光線つまり回折格子の中心で回折する光線に直交する
方向である。さて、各スペクトル線の像は第1図の紙面
と直交する方向に伸びている。光電検出器3は、MCP
5、螢光板6、ファイバー板7、アレイセンサ8及び電
気回路部9を収納している。MCP5iは入射してきた
回折光を光電子増倍し、螢光板6はMCPの各チャンネ
ルから出射してきた光電子をそれぞれ可視光に変換し、
ファイバー板7は各可視光をアレイセンサー8までそれ
ぞれ伝送する。アレイセンサー8は回折光の波長に対応
した受光部を複数備えており、ファイバー板7からの各
チャンネルに対応した可視光を電気信号に変換する。ア
レイセンサー8の出力信号は電気回路部9によって処理
される。
は矢印4で示す方向である。ここで、波長分散方向とは
被測定波長域λ1〜λ。に対応する回折角をβ1〜β□
としたとき、回折角β=(β1+へ号なる波長λの主回
析光線つまり回折格子の中心で回折する光線に直交する
方向である。さて、各スペクトル線の像は第1図の紙面
と直交する方向に伸びている。光電検出器3は、MCP
5、螢光板6、ファイバー板7、アレイセンサ8及び電
気回路部9を収納している。MCP5iは入射してきた
回折光を光電子増倍し、螢光板6はMCPの各チャンネ
ルから出射してきた光電子をそれぞれ可視光に変換し、
ファイバー板7は各可視光をアレイセンサー8までそれ
ぞれ伝送する。アレイセンサー8は回折光の波長に対応
した受光部を複数備えており、ファイバー板7からの各
チャンネルに対応した可視光を電気信号に変換する。ア
レイセンサー8の出力信号は電気回路部9によって処理
される。
さて、MCP5はチャンネルを二次元的に配列して成り
、1本のスペクトル線を複数のチャンネルが受光するよ
うになっている。従って、各スにクトル線に対して複数
の光電子増倍出力がそれぞれ得られる。各スペクトル線
に対応する複数の光電子増倍出力;r、1アレイセンザ
ー8及び電気回路部9によって合成され、最終的に各ス
Rクトル線につき1つの光電出力とされる。もちろん、
各スペクトル線につき特定のチャンネルから得られる光
電子増倍出力を選択してもよい。MCP5の切断面は凹
面回折格子2の結像面又はその近傍に配置されている。
、1本のスペクトル線を複数のチャンネルが受光するよ
うになっている。従って、各スにクトル線に対して複数
の光電子増倍出力がそれぞれ得られる。各スペクトル線
に対応する複数の光電子増倍出力;r、1アレイセンザ
ー8及び電気回路部9によって合成され、最終的に各ス
Rクトル線につき1つの光電出力とされる。もちろん、
各スペクトル線につき特定のチャンネルから得られる光
電子増倍出力を選択してもよい。MCP5の切断面は凹
面回折格子2の結像面又はその近傍に配置されている。
更に、MCP5はチャンネルのバイアス方向が波長分散
方向と直交する面内にあるように、換言すれば矢印4で
示す波長分散方向を含んで第1図の紙面と直交する而と
該バイアス方向とが所定の角度例えば上記バイアス角を
もって交差するように支持されている。つまり、MOP
5の各チャンネルは第1図の紙面と直交する方向に所
定のバイアス角をもって傾いているのである。
方向と直交する面内にあるように、換言すれば矢印4で
示す波長分散方向を含んで第1図の紙面と直交する而と
該バイアス方向とが所定の角度例えば上記バイアス角を
もって交差するように支持されている。つまり、MOP
5の各チャンネルは第1図の紙面と直交する方向に所
定のバイアス角をもって傾いているのである。
第2図によれば、MCP5の各チャンネルが波長分散方
向を含んで第1図の紙面と直交する面(第2図では4a
で示す面)に対して所定のバイアス角をもって対向して
いることが良く理解できよう。凹面回折格子2で分散さ
れたスペクトル線は第2図中紙面と直交する方向に分散
されるので、スハクトル、1JyLnのみが図示されて
いる。
向を含んで第1図の紙面と直交する面(第2図では4a
で示す面)に対して所定のバイアス角をもって対向して
いることが良く理解できよう。凹面回折格子2で分散さ
れたスペクトル線は第2図中紙面と直交する方向に分散
されるので、スハクトル、1JyLnのみが図示されて
いる。
次に、この実施例について第3図ないし第5図を参照し
て説明する。第3図はMCPのチャンネルへの回折光の
入射角と光電変換効率との関係を表わす図である。第3
図から明らかなように、入射角が7°付近に効率のピー
クがあり、 その両側では効率が急激に低下している。
て説明する。第3図はMCPのチャンネルへの回折光の
入射角と光電変換効率との関係を表わす図である。第3
図から明らかなように、入射角が7°付近に効率のピー
クがあり、 その両側では効率が急激に低下している。
また、効率のピークを与える入射角は波長によりあまり
変化しない。このような特性を持ったMOPを波長分散
方向に対してバイアス角が生じるように配置すると1.
。
変化しない。このような特性を持ったMOPを波長分散
方向に対してバイアス角が生じるように配置すると1.
。
MOPの各チャンネル−\の光の入射角は回折格子2で
分散されたスペクトル線L1〜Lnの拡がりと等しい分
布で変化することになる。例えば、回折格子2として溝
本数300本/龍のものを使用し、入口スリット1から
回折格子2への光の入射角を88°、波長域を2〜50
rLm、回折格子2からのスペクトル線L1〜Lnの分
散角を−87,2°〜−798° とすると、MOPの
チャンネルへ入射するスペクトル線り、〜Lnの分散角
の差つまり角度差は最大で7.4°である。従って、M
CPのほぼ中央のチャンネルへの入射角を7°とした場
合には、該中央から波長分散方向に向かって両側に位置
し、スRクトル線L1及びLnをそれぞれ受光するチャ
ンネルへの入射角はそれぞれ3.3°及び10.7°と
なる。その結果、MOPのスペクトルa(波長)に対す
る感度は、MOPの中央付近のスRクトル線に対して最
も高く、そこから波長分散方向に離れるに従って低下し
てゆくといった特性になる。この特性では、各波長に対
して等しい感度を得られないので好ましくない。
分散されたスペクトル線L1〜Lnの拡がりと等しい分
布で変化することになる。例えば、回折格子2として溝
本数300本/龍のものを使用し、入口スリット1から
回折格子2への光の入射角を88°、波長域を2〜50
rLm、回折格子2からのスペクトル線L1〜Lnの分
散角を−87,2°〜−798° とすると、MOPの
チャンネルへ入射するスペクトル線り、〜Lnの分散角
の差つまり角度差は最大で7.4°である。従って、M
CPのほぼ中央のチャンネルへの入射角を7°とした場
合には、該中央から波長分散方向に向かって両側に位置
し、スRクトル線L1及びLnをそれぞれ受光するチャ
ンネルへの入射角はそれぞれ3.3°及び10.7°と
なる。その結果、MOPのスペクトルa(波長)に対す
る感度は、MOPの中央付近のスRクトル線に対して最
も高く、そこから波長分散方向に離れるに従って低下し
てゆくといった特性になる。この特性では、各波長に対
して等しい感度を得られないので好ましくない。
そこで、第1図及び第2図に示すように、チャンネルの
バイアス方向が波長分散方向と直交する面内にあるよう
にMCP5を配置する。そうすると、先に例示した回折
格子の溝本数、入射角、波長域及び分散角と同じ条件の
もとではMOPのほぼ中央のチャンネルへの入射角を7
°とした場合には該中央から波長分散方向に向かって両
側に位置してスペクトル線L0及びLnをそれぞれ受光
するチャンネルの入射角はそれぞれ6.09°及び7.
91°となる。つまり、この実施例によれば、各スペク
トル線を受光するチャンネルへの該スペクトル線の入射
各は、MCP5の中心のチャンネルへの入射角に対して
±0.91°の範囲に圧縮されるから、各波長にだいす
る感度のメラツキを充分に除去できる。これにたいして
、前述の本発明を適用しない従来例では各スペクトル線
の各チャンネルへの入射角は、MCP5の中心のチャン
ネルへの入射角に対して±3.7°の範囲をもっていた
。
バイアス方向が波長分散方向と直交する面内にあるよう
にMCP5を配置する。そうすると、先に例示した回折
格子の溝本数、入射角、波長域及び分散角と同じ条件の
もとではMOPのほぼ中央のチャンネルへの入射角を7
°とした場合には該中央から波長分散方向に向かって両
側に位置してスペクトル線L0及びLnをそれぞれ受光
するチャンネルの入射角はそれぞれ6.09°及び7.
91°となる。つまり、この実施例によれば、各スペク
トル線を受光するチャンネルへの該スペクトル線の入射
各は、MCP5の中心のチャンネルへの入射角に対して
±0.91°の範囲に圧縮されるから、各波長にだいす
る感度のメラツキを充分に除去できる。これにたいして
、前述の本発明を適用しない従来例では各スペクトル線
の各チャンネルへの入射角は、MCP5の中心のチャン
ネルへの入射角に対して±3.7°の範囲をもっていた
。
第4図はこの様子を示す図である。第4図において、横
軸はMOPの中央のチャンネルへの入射するスペクトル
純の分散角に対する角スペクトル線の分散角の角度差(
絶対値)、また縦軸は該中央のチャンネルへの入射する
スにクトル線の入射角に対する角スペクトル線の角チャ
ンネルの入射角の角度差(絶対値)である。直線(al
は本発明を適用しない従来例についての両角度差の関係
を示し、曲線(blはこの実施例についての両角度差の
関係を示している。
軸はMOPの中央のチャンネルへの入射するスペクトル
純の分散角に対する角スペクトル線の分散角の角度差(
絶対値)、また縦軸は該中央のチャンネルへの入射する
スにクトル線の入射角に対する角スペクトル線の角チャ
ンネルの入射角の角度差(絶対値)である。直線(al
は本発明を適用しない従来例についての両角度差の関係
を示し、曲線(blはこの実施例についての両角度差の
関係を示している。
第5図は実施例におけるチャンネルのバイアス角θ、M
CPの中央のチャンネルに入射するスペクトル線の分散
角に対する各スペクトル線の分散角の角度差φ及びスペ
クトル線のチャンネルへの入射角ψの関係を示す図であ
る。第1図において、チャンネルは分散されたスにクト
ル線L1〜Lnの波長分散方向4と直交する面内で傾い
ているから、各スペクトル線と各チャンネルとの関係は
第5図に示すように1本のチャンネルch を使って説
明することができる。MCP5の中央のチャンネルah
に入射するスペクトル線の主回折光Lcはバイアス角θ
と等しい角度で入射する。従って、その入射角ψはθと
等しい。主回折光Lc に対して角度φだけ傾いてチャ
ンネルahに入射する別のスペクトル線り、の主回折光
は主回折光Lc とは別の位置でチャンネルに入射する
。主回折光L1とそのチャンネルへの入射点からチャン
ネルの中心軸0へ向けて引いた垂線11 との成す角
度は90°−ψとなる。ここで、θ、φ及びψとの関係
式%式% となる。そして、θ=0°としたときに第4図の直線(
alが得られ、θ−7°としたときに第4図の曲線fb
lが得られ、乙。
CPの中央のチャンネルに入射するスペクトル線の分散
角に対する各スペクトル線の分散角の角度差φ及びスペ
クトル線のチャンネルへの入射角ψの関係を示す図であ
る。第1図において、チャンネルは分散されたスにクト
ル線L1〜Lnの波長分散方向4と直交する面内で傾い
ているから、各スペクトル線と各チャンネルとの関係は
第5図に示すように1本のチャンネルch を使って説
明することができる。MCP5の中央のチャンネルah
に入射するスペクトル線の主回折光Lcはバイアス角θ
と等しい角度で入射する。従って、その入射角ψはθと
等しい。主回折光Lc に対して角度φだけ傾いてチャ
ンネルahに入射する別のスペクトル線り、の主回折光
は主回折光Lc とは別の位置でチャンネルに入射する
。主回折光L1とそのチャンネルへの入射点からチャン
ネルの中心軸0へ向けて引いた垂線11 との成す角
度は90°−ψとなる。ここで、θ、φ及びψとの関係
式%式% となる。そして、θ=0°としたときに第4図の直線(
alが得られ、θ−7°としたときに第4図の曲線fb
lが得られ、乙。
第6図は本発明の分光器の第2実施例を表す正面図、第
7図は同実施例の側面図である。MCP5の切断面は回
折光の波長分散方向には正対しておらず、これと斜めに
対向している。この場合にも、MCP5のチャンネルの
バイアス方向は第1実施例と同様に波長分散方向と直交
する面内にあるようになっている。第7図において、M
CP5のチャンネルのバイアス方向は結像面10と直交
す・る面内で該結像面と該チャンネルのバイアス角をも
って交わっている。このようにしても第1実施例と同様
の効果が得られる。
7図は同実施例の側面図である。MCP5の切断面は回
折光の波長分散方向には正対しておらず、これと斜めに
対向している。この場合にも、MCP5のチャンネルの
バイアス方向は第1実施例と同様に波長分散方向と直交
する面内にあるようになっている。第7図において、M
CP5のチャンネルのバイアス方向は結像面10と直交
す・る面内で該結像面と該チャンネルのバイアス角をも
って交わっている。このようにしても第1実施例と同様
の効果が得られる。
第8図は本発明の分光器の第3実施例を示す正面図であ
り、凸面の結晶2′を分散素子とした場合の実施例であ
る。この場合は、凹面回折格子のような結像作用はない
が、結晶の回折作用によりL1′〜Ln′の範囲で特定
の方向へは特定のスづクトルのみが回折され、MCP上
にスペクトル線が得られる。この場合もMCP5のバイ
アス角を波長分散方向と直交する面内にとることにより
感度変化を小さくできる。
り、凸面の結晶2′を分散素子とした場合の実施例であ
る。この場合は、凹面回折格子のような結像作用はない
が、結晶の回折作用によりL1′〜Ln′の範囲で特定
の方向へは特定のスづクトルのみが回折され、MCP上
にスペクトル線が得られる。この場合もMCP5のバイ
アス角を波長分散方向と直交する面内にとることにより
感度変化を小さくできる。
尚、分光器としては入口スリット、分散素子、光電検出
器だけから構成されるものに限られず、途中に凹面鏡等
を含むものであってもよい。また、MCP5から出射さ
れる光電子は可視光に変換して光電変換することは必ず
しも必要なことではなく、角チャンネルの光電子を該チ
ャンネルに対向して複数個設けられたマルチアノードに
よって電流出力に変換してもよい。
器だけから構成されるものに限られず、途中に凹面鏡等
を含むものであってもよい。また、MCP5から出射さ
れる光電子は可視光に変換して光電変換することは必ず
しも必要なことではなく、角チャンネルの光電子を該チ
ャンネルに対向して複数個設けられたマルチアノードに
よって電流出力に変換してもよい。
ハ0発明の効果
以上のように、本発明によれば分散素子からの回折光の
MOPのチャンネルへの入射角がほぼ同じ値となるから
、入射角による感度変化が小さくなる。これにより、広
い波長域にわたって最も感度が大きくなるような分光器
が得られる。また、分光器の製作時に入口スリット、分
散素子などの位置や角度、また分散素子の曲率半径や溝
本数の誤差などにより、MOPの支持体を設計値と少し
異なる配置で設定する場合でも、本実施例のようになっ
ていれば感度の変化を最小に抑えることができる。
MOPのチャンネルへの入射角がほぼ同じ値となるから
、入射角による感度変化が小さくなる。これにより、広
い波長域にわたって最も感度が大きくなるような分光器
が得られる。また、分光器の製作時に入口スリット、分
散素子などの位置や角度、また分散素子の曲率半径や溝
本数の誤差などにより、MOPの支持体を設計値と少し
異なる配置で設定する場合でも、本実施例のようになっ
ていれば感度の変化を最小に抑えることができる。
第1図は本発明の分光器の第1実施例を表す正面図、第
2図は第1図の分光器の側面図、第3図はMOPのチャ
ンネルへのスペクトル線の入射角と光電変換効率との関
係を表す図、第4図はMOPの中央のチャンネルへ入射
するスペクトル線の分散角に対する各スペクトル線の分
散角の角度差と、該中央のチャンネルへ入射するスペク
トル線の入射角に対する各スペクトル線の各チャンネル
への入射角の角度差との関係を表す図、第5図はチャン
ネルのバイアス角、MCPの中央のチャンネルに入射す
るスにクトル線の分散角に対する各スばクトIし線の分
散角の角度差及びス投りトル線のチャンネルへの入射角
との関係を表す図、第6図は本発明の分光器の第2実施
例を表す正面図、第7図は第6図の分光器の側面図、第
8図は本発明の第3実施例を表す正面図、第9図fa)
、 (1〕) 、 (C1はMCPの構造を説明するだ
めの説明図である。
2図は第1図の分光器の側面図、第3図はMOPのチャ
ンネルへのスペクトル線の入射角と光電変換効率との関
係を表す図、第4図はMOPの中央のチャンネルへ入射
するスペクトル線の分散角に対する各スペクトル線の分
散角の角度差と、該中央のチャンネルへ入射するスペク
トル線の入射角に対する各スペクトル線の各チャンネル
への入射角の角度差との関係を表す図、第5図はチャン
ネルのバイアス角、MCPの中央のチャンネルに入射す
るスにクトル線の分散角に対する各スばクトIし線の分
散角の角度差及びス投りトル線のチャンネルへの入射角
との関係を表す図、第6図は本発明の分光器の第2実施
例を表す正面図、第7図は第6図の分光器の側面図、第
8図は本発明の第3実施例を表す正面図、第9図fa)
、 (1〕) 、 (C1はMCPの構造を説明するだ
めの説明図である。
Claims (1)
- 被測定光を取り入れるための入口スリットと、該入口ス
リットから入射してきた前記被測定光を波長毎に分散す
る分散素子と、該分散素子によつて分散されたスペクト
ル線を光電子増倍するためのマイクロチャンネルプレー
トとを少なくとも備えた分光器において、前記マイクロ
チャンネルプレートのチャンネルのバイアス方向が前記
被測定光の波長分散方向と直交する面内にあるように前
記マイクロチャンネルプレートを配置したことを特徴と
する分光器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22147184A JPS6199824A (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | 分光器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22147184A JPS6199824A (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | 分光器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6199824A true JPS6199824A (ja) | 1986-05-17 |
Family
ID=16767232
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22147184A Pending JPS6199824A (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | 分光器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6199824A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0499929A (ja) * | 1990-08-20 | 1992-03-31 | Agency Of Ind Science & Technol | 高感度ラマン分光装置,調整方法,および測定方法 |
JP2009075073A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-04-09 | Canon Inc | 電磁波の分析装置 |
JP2013253815A (ja) * | 2012-06-05 | 2013-12-19 | Kohzu Precision Co Ltd | X線分光器 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56137227A (en) * | 1980-03-31 | 1981-10-27 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Crystal spectroscope |
-
1984
- 1984-10-22 JP JP22147184A patent/JPS6199824A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56137227A (en) * | 1980-03-31 | 1981-10-27 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Crystal spectroscope |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0499929A (ja) * | 1990-08-20 | 1992-03-31 | Agency Of Ind Science & Technol | 高感度ラマン分光装置,調整方法,および測定方法 |
JP2009075073A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-04-09 | Canon Inc | 電磁波の分析装置 |
JP2013253815A (ja) * | 2012-06-05 | 2013-12-19 | Kohzu Precision Co Ltd | X線分光器 |
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