JPS6231885Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は多重型Ｘ線分光器に関する。Ｘ線分光
器は一般に第１図ａに示すように、入射スリツト
１と分光結晶２と射出スリツト３とＸ線検出器４
とよりなつている。このような構成でＸ線強度が
弱い場合、第１図ｂのように同じ波長のＸ線が射
出スリツト３，３′に出て来るよう構成された２
組の分光器を試料Ｓの周囲に配置し、２つのＸ線
検出器４，４′の出力の和を採ればＸ線強度が２
倍になつたのと同じ結果が得られる。Ｘ線分光に
おいてＸ線波長が長い場合は分光結晶の代りにＸ
線反射鏡を用い第１図ｂの構成に対応して第１図
ｃのような構成が考えられる。この構成でＭ，
M′は反射鏡、Slはソーラースリツト、Ｓは試料
で４，４′はＸ線検出器である。第１図ｃの構成
は長波長Ｘ線を対象としているから全体が真空室
の中に配置されている。

上述した従来構成にあつては、Ｘ線強度が弱く
分光器を複数組並列的に用いたい場合、分光器の
構成要素が全て複数組必要となり、装置が高価に
なるだけでなく、Ｘ線分光装置全体として大型と
なる。

本考案は上述した二重型Ｘ線分光器の改良に関
するもので、複数組の分光器の射出スリツト及び
Ｘ線検出器を共通にすると共に分光結晶の配置の
特徴によつて複数組の分光器の組合せをきわめて
コンパクトにした二重型Ｘ線分光器を提供しよう
とするものである。以下実施例によつて本考案を
説明する。

第２図は本考案の一実施例を示す。図でＬはＸ
線管球、Ｓは試料でＸ線管球Ｌから放射されるＸ
線に照射されて螢光Ｘ線ｘを発する。１，１′は
分光器の入射スリツトで互に平行に配置されてい
る。Ｍ，M′はＸ線反射鏡で凹面鏡になつてお
り、凹面が向き合つた配置になつている。３は分
光器の射出スリツトでこれは一個だけになつてい
る。反射鏡Ｍは入射スリツト１、射出スリツト３
を通る円弧の２倍の半径を有しその中央部が同円
弧に沿つており、入射スリツト１を通つて反射鏡
Ｍの各点に入射するＸ線は全て反射鏡Ｍに対し同
じ入射角、反射角で反射され射出スリツト３上に
焦点を結ぶ。同様に反射鏡M′は反射鏡Ｍと同じ
形で入射スリツト１′と射出スリツト３とを通る
円弧に沿うように配置され、入射スリツト１′を
通つて反射鏡M′に入射するＸ線は全て同じ入射
角、反射角で反射されて射出スリツト３に焦点を
結ぶ。Ｘ線の全反射を利用するＸ線分光ではＸ線
の入射角によつて分光がなされるが、上述構成で
は反射鏡Ｍ，M′の各点に入射するＸ線は全て同
じ入射角になるから射出スリツト３の所には分光
されたＸ線が集中する。従つてこの射出スリツト
３の後に一個のＸ線検出器４を配置すれば、この
検出器には試料Ｓから発し、２つの分光系１，
Ｍ，３及び１′M′，３によつて分光された強度が
単一分光系の場合の２倍に強められたＸ線が入射
することになる。

第３図は本考案の他の実施例を示す。この実施
例は２つの分光系について入射スリツト１を共通
にしたもので、その他の構成は第２図の実施例と
同じである。即ち互に向き合つた同形の凹面反射
鏡Ｍ，M′は夫々入射スリツト１及び射出スリツ
ト３を通る円弧に沿わせてあり、射出スリツト３
の後にＸ線検出器４が配置される。この実施例で
は反射鏡Ｍ，M′が入射スリツト１を通して試料
Ｓをにらむ位置がａ，ｂと異なつている。従つて
この実施例は各反射鏡がにらむ試料上の位置が異
なつていても支障ない場合に適用される。

もし試料面の分析すべき部分が小径のスポツト
であつたり入射スリツト１に相当する程度に細長
い場合は第３図の例で入射スリツト１をなくし、
入射スリツト１の位置に試料の分析すべき個所が
位置するよう試料をセツトすればよい。

上述各実施例は反射鏡を用いた分光装置に関す
るものであるが、反射鏡Ｍ，M′を凹面分光結晶
とし、入射スリツト１，１′各分光結晶の中心点
及び射出スリツトの３点を通る円弧をローランド
円として２組のＸ線分光器を対向させたような型
の分光結晶を用いた二重型Ｘ線分光器を構成する
こともできる。

また第２図の実施例図の紙面と平行に反射鏡
Ｍ，M′の向う側及びこちら側にＭ，M′と同形の
凹面反射鏡を対向させ、４枚の反射鏡が角筒状を
呈するよう配置し、入射スリツトをロの字形に配
置し、射出スリツトを十字形にすれば４組の分光
器を高密度に集積した型となる。同様の構成は第
３図の実施例でも可能である。この場合入射スリ
ツト１も射出スリツト３も共に十字形となる。更
に試料上の分析個所がスポツト状であるときは、
上述した角筒状の構成は特に有効である。この場
合射出スリツトはピンホールとなる。

本考案多重型Ｘ線分光器は上述したような構成
で複数の分光系が向き合つた形になつているので
分光系の各要素の集積度が大となり、従つて多重
型でありながら分光装置全体としてコンパクトに
構成でき、複数個の分光器に対してＸ線検出器が
一つでよいからＸ線検出器に後続する信号処理回
路が一組でよく、構造的にコンパクトなことと相
俟つてＸ線検出感度が高められているにもかゝわ
らず安価にＸ線分光器を供給し得ることになる。

なお本考案は前述したように分光結晶を用いる
Ｘ線分光器にも適用できるが、本考案は低反射
角、低回折角のＸ線分光器に適用した場合特に有
効である。

【図面の簡単な説明】

第１図は二重型Ｘ線分光器の従来構成を示す平
面図、第２図、第３図は夫々異なる本考案の実施
例Ｘ線分光器の平面図である。 １，１′……入射スリツト、Ｍ，M′……凹面反
射鏡、３……射出スリツト、４……Ｘ線検出器。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 複数の同形の凹面鏡或は凹面分光結晶を凹面を
   向き合せて対向させ、かつこれら各凹面鏡或は凹
   面分光結晶を、各凹面鏡或は凹面分光結晶毎にそ
   の中心と入射スリツト或は分光すべきＸ線の微小
   範囲の線源と上記各凹面鏡或は凹面結晶に共通な
   一点の三つの点を結ぶ同形の円弧に沿わせて配置
   し、上記共通な一点の位置に各凹面鏡或は凹面分
   光結晶に共通な一個の射出スリツトを配置し、そ
   の後に一個のＸ線検出器を配置した多重型Ｘ線分
   光器。