JPS6199256A - イオン打込機の偏向磁石電源 - Google Patents
イオン打込機の偏向磁石電源Info
- Publication number
- JPS6199256A JPS6199256A JP22044184A JP22044184A JPS6199256A JP S6199256 A JPS6199256 A JP S6199256A JP 22044184 A JP22044184 A JP 22044184A JP 22044184 A JP22044184 A JP 22044184A JP S6199256 A JPS6199256 A JP S6199256A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power source
- output
- switching
- deflection magnet
- magnet power
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/24—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、イオンビームを偏向して打込室の試料にイオ
ンを打込む、イオン打込機に関するものである。
ンを打込む、イオン打込機に関するものである。
イオン打込機の構成図を第１図に示す。第１図において
、１のイオン源にてプラズマ化され且つ加速されたイオ
ンビーム２は、３の分離磁石によってイオンの選択分離
が行われ、ビーム２は８の偏向磁石電源の出力で制御さ
れている４の偏向磁石によって偏向されて、打込室５又
は７の中に実装されている試料６に打込まれる構成とな
っている。以上の説明は、本発明の説明の為に必要最ホ
限の要素部分のみを上げである。この他の、プラズマ化
する為のガスの供給部や、イオン化の為の電源や、イオ
ンビーム２のビームラインが真空排気されていることや
、試料６は、ビーム２に対して、回転し、スキャンされ
ている円板上に実装されていること等のイオン打込機と
して一般に有している詳細部分については、省略しであ
る。
、１のイオン源にてプラズマ化され且つ加速されたイオ
ンビーム２は、３の分離磁石によってイオンの選択分離
が行われ、ビーム２は８の偏向磁石電源の出力で制御さ
れている４の偏向磁石によって偏向されて、打込室５又
は７の中に実装されている試料６に打込まれる構成とな
っている。以上の説明は、本発明の説明の為に必要最ホ
限の要素部分のみを上げである。この他の、プラズマ化
する為のガスの供給部や、イオン化の為の電源や、イオ
ンビーム２のビームラインが真空排気されていることや
、試料６は、ビーム２に対して、回転し、スキャンされ
ている円板上に実装されていること等のイオン打込機と
して一般に有している詳細部分については、省略しであ
る。
従来の偏向磁石電源について第２図で、さらに詳細に説
明する。ＡＣ入力は、電源リレーＭｙｌの接点ｍａ１経
て１の整流、フィルタ回路を経て直流電圧となり、その
出力は制御トランジスタ２と電流検出抵抗器３を経て、
極性切替用の電極リレーＭ ）’ｚ＋ Ｍ ’／ｓの接
点、ｍｃ、、ｍｅ、を経て電磁石コイル４に直流電流が
供給される。本電源は、直列制御型の定電流電源である
。電流検出抵抗器３で検出された電圧と出力設定基準電
圧Ｖ ｖ ａ ｆは、増巾器５に入力され、その出力は
トランジスタ６を経て制御トランジスタ２を駆動してい
る為に、出力電流の設定と安定化が画られている。本発
明に関係する出力０Ｎ１０ＦＦ、左右（Ｒ／Ｌ）の切替
、及びモード（電源パネル／遠隔操作）切替は、第２図
に示される如く、夫々、０Ｎ１０ＦＦ、及びＲ／Ｌ並び
にｖ、ｆは、モード切替（Ｌ、／Ｒ１）のＳＷＩによっ
て駆動されるＲｙ□１Ｒｙ２の各接点ｒｌｘｘ Ｔｒ１
□２ ＋ｒｌ１３ ＋ｒｌ１４とｒｌｚｔ ＋１７Ｌｚ
、ｒｌｚｚ ＋ｒ１□４と連動している。即ち電源パ
ネルＬ、では、０Ｎ１０ＦＦはＳｗ、、Ｒ／ＬはＳ Ｗ
４１ Ｌ 、 ／Ｒ１のり、の○Ｎ／○ＦＦはＳｗＧ
で制御され、６、 遠隔操作パネルＲ，では
、ＯＮ１０ Ｆ ＦはＳＷ、。
明する。ＡＣ入力は、電源リレーＭｙｌの接点ｍａ１経
て１の整流、フィルタ回路を経て直流電圧となり、その
出力は制御トランジスタ２と電流検出抵抗器３を経て、
極性切替用の電極リレーＭ ）’ｚ＋ Ｍ ’／ｓの接
点、ｍｃ、、ｍｅ、を経て電磁石コイル４に直流電流が
供給される。本電源は、直列制御型の定電流電源である
。電流検出抵抗器３で検出された電圧と出力設定基準電
圧Ｖ ｖ ａ ｆは、増巾器５に入力され、その出力は
トランジスタ６を経て制御トランジスタ２を駆動してい
る為に、出力電流の設定と安定化が画られている。本発
明に関係する出力０Ｎ１０ＦＦ、左右（Ｒ／Ｌ）の切替
、及びモード（電源パネル／遠隔操作）切替は、第２図
に示される如く、夫々、０Ｎ１０ＦＦ、及びＲ／Ｌ並び
にｖ、ｆは、モード切替（Ｌ、／Ｒ１）のＳＷＩによっ
て駆動されるＲｙ□１Ｒｙ２の各接点ｒｌｘｘ Ｔｒ１
□２ ＋ｒｌ１３ ＋ｒｌ１４とｒｌｚｔ ＋１７Ｌｚ
、ｒｌｚｚ ＋ｒ１□４と連動している。即ち電源パ
ネルＬ、では、０Ｎ１０ＦＦはＳｗ、、Ｒ／ＬはＳ Ｗ
４１ Ｌ 、 ／Ｒ１のり、の○Ｎ／○ＦＦはＳｗＧ
で制御され、６、 遠隔操作パネルＲ，では
、ＯＮ１０ Ｆ ＦはＳＷ、。
Ｒ／ＬはＳｗ、 、 Ｌ、 ／Ｒ，のＲｏの０Ｎ１０Ｆ
Ｆは８ｗ７で制御されている。
Ｆは８ｗ７で制御されている。
イオン打込機においては、例えばＡｓ打込では左右の打
込室にビームを偏向する為には、偏向磁場としては、５
０００ガウス必要であり、この磁場を得る為に必要な直
流電流は約１５Ａである。
込室にビームを偏向する為には、偏向磁場としては、５
０００ガウス必要であり、この磁場を得る為に必要な直
流電流は約１５Ａである。
左右の打込室へ磁場を偏向する為に、Ｍｙｚ＋Ｍ ’／
３ によってコイル極性を変更しているカ、充分に電
流が減少してＯになってから極性切替を行わないと、コ
イルの逆電圧が発生して、制御トランジスタの耐圧を越
えると、制御トランジスタを破壊に至らしめる。この逆
電圧は、ＥＬ＝Ｌ・ｄｉ／ｄｔで計算される値であり、
例えば、コイルのインダクタンスをＩＨとし、ｄｉ＝１
５Ａ。
３ によってコイル極性を変更しているカ、充分に電
流が減少してＯになってから極性切替を行わないと、コ
イルの逆電圧が発生して、制御トランジスタの耐圧を越
えると、制御トランジスタを破壊に至らしめる。この逆
電圧は、ＥＬ＝Ｌ・ｄｉ／ｄｔで計算される値であり、
例えば、コイルのインダクタンスをＩＨとし、ｄｉ＝１
５Ａ。
ｄｔ＝＝５０ｍｓとするとＥ、は３００Ｖ／Ｓにも達す
る。
る。
従って、上記した条件にならない様に工夫と、停電時等
でＭｙ、 ２Ｍｙ３ が機能しない場合でも制御トラン
ジスタ等が保護される様な工夫が必要である。
）〔発明の
概要〕 出力電流値を検出し、その電圧と、一定の基準電圧（逆
電圧で破壊に敗らない値）と比較して。
でＭｙ、 ２Ｍｙ３ が機能しない場合でも制御トラン
ジスタ等が保護される様な工夫が必要である。
）〔発明の
概要〕 出力電流値を検出し、その電圧と、一定の基準電圧（逆
電圧で破壊に敗らない値）と比較して。
基準電圧より低い時のみ、極性切替（Ｒ／Ｌ）。
出力○Ｎ／○ＦＦ、モード切替（Ｌ、／Ｒ，）等が有効
となる保護動作（インタロック）を行う構成とすること
。さらに出力設定中に停電が発生した場合は、電気信号
によって動作する能動素子は無能になり、コイルの蓄積
エネルギーを放出させる為の受動素子を使用することが
有効である。
となる保護動作（インタロック）を行う構成とすること
。さらに出力設定中に停電が発生した場合は、電気信号
によって動作する能動素子は無能になり、コイルの蓄積
エネルギーを放出させる為の受動素子を使用することが
有効である。
本発明の実施例を第３図に示す６図中の記号は、第２図
の従来例と同一の場合は、同一番号を付しである。第３
図で追加されている部分について説明する。電流検出抵
抗器３の電圧は、コンパレータ６に入力し、且つ基準電
圧７と比較した出力によりトランジスタ８が動作し、Ｒ
Ｙ ３ が駆動される。その接点ｒ１３ｘ＋ｒ１３ｚ、
ｒｌｌＩ３は夫々、出力の０Ｎ１０ Ｆ Ｆに対しては
、 ｒｌ、ｔとｒｌ、がアンド条件となり、極性切替Ｒ
／Ｌに対しては、 ｒｌ３．とｒｌＳ。
の従来例と同一の場合は、同一番号を付しである。第３
図で追加されている部分について説明する。電流検出抵
抗器３の電圧は、コンパレータ６に入力し、且つ基準電
圧７と比較した出力によりトランジスタ８が動作し、Ｒ
Ｙ ３ が駆動される。その接点ｒ１３ｘ＋ｒ１３ｚ、
ｒｌｌＩ３は夫々、出力の０Ｎ１０ Ｆ Ｆに対しては
、 ｒｌ、ｔとｒｌ、がアンド条件となり、極性切替Ｒ
／Ｌに対しては、 ｒｌ３．とｒｌＳ。
ｒｌ、がアンド条件となり、モード切替り、／Ｒ，に対
してはｒｌ２３がインタロック信号として動作する。２
従って基準値７を０．４ Ａにとった場合、出力電流が
０．４ Ａ以下にならなければ、出力の遮断も、左右切
替も、モード切替も出来ない様に保護動作を行う。
してはｒｌ２３がインタロック信号として動作する。２
従って基準値７を０．４ Ａにとった場合、出力電流が
０．４ Ａ以下にならなければ、出力の遮断も、左右切
替も、モード切替も出来ない様に保護動作を行う。
また、出力電流１５ＡでＡｓ打込中、停電等が発生した
場合、コイルの極性切替用の電磁リレーＭ ｙ ｚ ｙ
Ｍ ｙ ３が無励磁（開放）となるのに５０ｍ５かか
るとすると、過渡逆電圧は、前述した如く。
場合、コイルの極性切替用の電磁リレーＭ ｙ ｚ ｙ
Ｍ ｙ ３が無励磁（開放）となるのに５０ｍ５かか
るとすると、過渡逆電圧は、前述した如く。
約３００Ｖ／Ｓにもなるので、これを吸収するために受
動素子１例えばサージアブソーバ９やサー吸収抵抗１０
を接続する。コイルの蓄積エネルギ−は−ＬＩ”で計算
されるが、Ｌ＝ＬＨ，Ｉ＝１５Ａとすると１１２．５
（Ｊ ）となるので、それに耐えるものを選択しなけ
ればならない。
動素子１例えばサージアブソーバ９やサー吸収抵抗１０
を接続する。コイルの蓄積エネルギ−は−ＬＩ”で計算
されるが、Ｌ＝ＬＨ，Ｉ＝１５Ａとすると１１２．５
（Ｊ ）となるので、それに耐えるものを選択しなけ
ればならない。
サージ吸収抵抗は、サージアブソーバの特性がバリスタ
特性をもっているので、ある電圧を越した時に生じる過
渡電流を吸収する効果がある。
特性をもっているので、ある電圧を越した時に生じる過
渡電流を吸収する効果がある。
出力には、従来より、過渡電圧吸収用のダイオード１１
が使用されているが、極性反転時には、片側しか効果が
ないので、サージアブソーバを、極性切替用電磁リレー
のあとに挿入することによって、どちらの極性でも有効
に動作する様にしである。
が使用されているが、極性反転時には、片側しか効果が
ないので、サージアブソーバを、極性切替用電磁リレー
のあとに挿入することによって、どちらの極性でも有効
に動作する様にしである。
単一電源で、その出力の極性を切替えることによって、
左右の打込室へのビームの偏向を行う場合に生じる過渡
逆電圧が発生しない様な本発明は。
左右の打込室へのビームの偏向を行う場合に生じる過渡
逆電圧が発生しない様な本発明は。
それによって生じる制御トランジスタ等を破壊すること
がさけられると共に、左右への切替、出力の遮断、モー
ドの切替等でのオペレータの操作上の注意を不必要とす
るものであり、装置の信頼性向上と、操作性の向上に多
大の効果を有するものである。
がさけられると共に、左右への切替、出力の遮断、モー
ドの切替等でのオペレータの操作上の注意を不必要とす
るものであり、装置の信頼性向上と、操作性の向上に多
大の効果を有するものである。
第１図はイオン打込機の概略構成図、第２図は７
偏向磁石電源の従来列を示す図、第３図は本発明の
偏向磁石電源の実施例を示す図である。 ３・・・電流検出抵抗器、６・・・コンパレータ、７・
・・基＊を圧、８・・・トランジスタ、９・・・サージ
アブソーバ、１０・・・サージ吸収抵抗、１１・・・ダ
イオード。
偏向磁石電源の従来列を示す図、第３図は本発明の
偏向磁石電源の実施例を示す図である。 ３・・・電流検出抵抗器、６・・・コンパレータ、７・
・・基＊を圧、８・・・トランジスタ、９・・・サージ
アブソーバ、１０・・・サージ吸収抵抗、１１・・・ダ
イオード。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、イオン打込機のイオンビームを偏向するための電磁
石用電源において、該出力電流が一定レベル以下でない
場合は、該電源の出力の遮断を禁止する手段を有し、該
電源の出力極性の切替を禁止する手段を有し、また、該
電源の出力電流設定の遠隔操作への切替を禁止する手段
を有する如く構成したことを特徴としたイオン打込機の
偏向磁石電源。 ２、偏向磁石電源の出力と電磁石コイルとの接続間に発
生する過渡電圧を吸収するために、サージ吸収素子を接
続したことを特徴としたイオン打込機の偏向磁石電源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22044184A JPS6199256A (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | イオン打込機の偏向磁石電源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22044184A JPS6199256A (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | イオン打込機の偏向磁石電源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6199256A true JPS6199256A (ja) | 1986-05-17 |
Family
ID=16751156
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22044184A Pending JPS6199256A (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | イオン打込機の偏向磁石電源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6199256A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112870560A (zh) * | 2021-01-05 | 2021-06-01 | 中国科学院上海高等研究院 | 一种基于射频偏转腔技术的质子束流立体角分配装置 |
-
1984
- 1984-10-22 JP JP22044184A patent/JPS6199256A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112870560A (zh) * | 2021-01-05 | 2021-06-01 | 中国科学院上海高等研究院 | 一种基于射频偏转腔技术的质子束流立体角分配装置 |
| CN112870560B (zh) * | 2021-01-05 | 2022-09-20 | 中国科学院上海高等研究院 | 一种基于射频偏转腔技术的质子束流立体角分配装置 |
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