JPS6196645A - マルチチヤンネル形検出器 - Google Patents
マルチチヤンネル形検出器Info
- Publication number
- JPS6196645A JPS6196645A JP21968984A JP21968984A JPS6196645A JP S6196645 A JPS6196645 A JP S6196645A JP 21968984 A JP21968984 A JP 21968984A JP 21968984 A JP21968984 A JP 21968984A JP S6196645 A JPS6196645 A JP S6196645A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- molding
- sectional shape
- holes
- perforated body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J43/00—Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
- H01J43/04—Electron multipliers
- H01J43/06—Electrode arrangements
- H01J43/18—Electrode arrangements using essentially more than one dynode
- H01J43/24—Dynodes having potential gradient along their surfaces
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は電子やイオンなどの荷電粒子を検出する検出器
に関し、特に二次元的な検出を可能にするマルチチャン
ネル形の検出器に関するものである。
に関し、特に二次元的な検出を可能にするマルチチャン
ネル形の検出器に関するものである。
（従来の技術）
これまで一般によく使用されている検出器はシングルチ
ャンネル形の二次電子増倍管である。これは１つの出口
からの電子の検出ができるだけで。
ャンネル形の二次電子増倍管である。これは１つの出口
からの電子の検出ができるだけで。
二次元的な分布を持ったものの測定ができない。
そこで、二次元的な検出を可能にするために、第７図に
示されるマルチチャンネルプレート（ＭＣＰ）と呼ばれ
る検出器が開発された。これは、多数のガラス管を束ね
て各ガラス管の直径が数十μｍになるまで引き伸ばした
後、適当な長さで切り、各ガラス管１の内壁に二次電子
放出材料をコーティングしたものである。
示されるマルチチャンネルプレート（ＭＣＰ）と呼ばれ
る検出器が開発された。これは、多数のガラス管を束ね
て各ガラス管の直径が数十μｍになるまで引き伸ばした
後、適当な長さで切り、各ガラス管１の内壁に二次電子
放出材料をコーティングしたものである。
（発明が解決しようとする問題点）
マルチチャンネルプレートはコストが高く、寿命が短か
いという欠点の他に、各チャンネルの管の形状が円形で
、スリット状などの任意の所望の形状が得られないとい
う欠点ももっている。またマルチチャンネルプレートの
電子増倍率は従来のシングルチャンネル形の電子増倍管
に比べて半分程度なので、２枚重ねて使われることが多
いが。
いという欠点の他に、各チャンネルの管の形状が円形で
、スリット状などの任意の所望の形状が得られないとい
う欠点ももっている。またマルチチャンネルプレートの
電子増倍率は従来のシングルチャンネル形の電子増倍管
に比べて半分程度なので、２枚重ねて使われることが多
いが。
その場合、相互の管位置がずれる問題もある。
本発明は安価で、所望の断面形状を得ることが自由なマ
ルチチャンネル形検出器を提供することを目的とするも
のである。
ルチチャンネル形検出器を提供することを目的とするも
のである。
（問題点を解決するための手段）
本発明のマルチチャンネル形検出器は、成型により形成
された所望の断面形状をもつ複数の貫通した開口を有し
、それらの開口は二次電子放出特性をもつとともに、そ
れらの開口の入射側の端部と射出側の端部には導電膜が
形成され９両導電膜間には電位差が与えられており、開
口の射出口に対向して電子を取り出すコレクタが設けら
れて構成されている。
された所望の断面形状をもつ複数の貫通した開口を有し
、それらの開口は二次電子放出特性をもつとともに、そ
れらの開口の入射側の端部と射出側の端部には導電膜が
形成され９両導電膜間には電位差が与えられており、開
口の射出口に対向して電子を取り出すコレクタが設けら
れて構成されている。
成型により開口が形成されるベース材料としてはセラミ
ックスやプラスチックが使用される。セラミックスには
二次電子放出特性のよいものがあるので、そのようなセ
ラミックスを使用すれば開口を設けるだけでその開口は
二次電子放出特性をもっている。また、開口が二次電子
放出特性のよゞ くない材料を用いて形成
される場合には、その開口内壁に二次電子放出材料をコ
ーティングすればよい。
ックスやプラスチックが使用される。セラミックスには
二次電子放出特性のよいものがあるので、そのようなセ
ラミックスを使用すれば開口を設けるだけでその開口は
二次電子放出特性をもっている。また、開口が二次電子
放出特性のよゞ くない材料を用いて形成
される場合には、その開口内壁に二次電子放出材料をコ
ーティングすればよい。
（作用）
開口は成型により形成されるので、任意の所望の形状に
形成することができる。開口の両端には電圧が印加され
、射出口近傍にコレクタが設けられて、各開口がそれぞ
れシングルチャンネル形の二次電子増倍管に対応してい
る。
形成することができる。開口の両端には電圧が印加され
、射出口近傍にコレクタが設けられて、各開口がそれぞ
れシングルチャンネル形の二次電子増倍管に対応してい
る。
（実施例）
第１図及び第２図は一実施例を表わし、第１図は開口に
沿って切断した断面図、第２図は開口に垂直に切断した
断面図である。
沿って切断した断面図、第２図は開口に垂直に切断した
断面図である。
２はチタン酸亜鉛などの二次電子放出物質を含有するセ
ラミックスにてなるベースであり、貫通する複数の開口
４が成型法により形成された後、焼結されたものである
。本実施例では開口４の断面形状は円形である。
ラミックスにてなるベースであり、貫通する複数の開口
４が成型法により形成された後、焼結されたものである
。本実施例では開口４の断面形状は円形である。
ベース２の上面と下面にはそれぞれ電極用の薄い導電性
皮膜６．８が例えば銀ペーストを塗布することにより形
成されている。
皮膜６．８が例えば銀ペーストを塗布することにより形
成されている。
電極６には電位ｖ３が印加され、電極８には電位ｖ４が
印加されている。検出される荷電粒子は第１図では上方
から飛来するので、電極６，８の電位はｖ３に比べてｖ
４の方を＋３〜５ＫＶ程度高くされている。
印加されている。検出される荷電粒子は第１図では上方
から飛来するので、電極６，８の電位はｖ３に比べてｖ
４の方を＋３〜５ＫＶ程度高くされている。
第１図において、各開口４の下端近傍に開口に対向して
コレクタ電極１０が設けられており、これらコレクタ電
極１０には例えばアース電位に近い電位が印加されてい
る。
コレクタ電極１０が設けられており、これらコレクタ電
極１０には例えばアース電位に近い電位が印加されてい
る。
１２はグリッドで、電位ｖ２が印加され、開口４の上端
からの電界のしみ呂しを防ぐために設けられたものであ
る。１４もグリッドであり、このグリッド１４の電位４
１１を荷電粒子が飛来してくる分析器など（図示路）の
出口の電位と同電位にしておくことにより、荷電粒子ビ
ームの方向が電界の影響で曲らないようにするためのも
のである。
からの電界のしみ呂しを防ぐために設けられたものであ
る。１４もグリッドであり、このグリッド１４の電位４
１１を荷電粒子が飛来してくる分析器など（図示路）の
出口の電位と同電位にしておくことにより、荷電粒子ビ
ームの方向が電界の影響で曲らないようにするためのも
のである。
本実施例の動作を説明すると、電極６，８、コレクタ電
極１０、グリッド１２．１４’にそれぞれ所定の電位を
印加しておき、荷電粒子を第１図に矢印１６で示される
ように開口４に対し少し斜め方向から入射させる。１個
の開口４を拡大して第３図に示すと、開口４に入射した
電子などの荷電粒子１６は開口４の両端電極６，８間の
電位差Ｖｄにより増倍されて射出口から放出される。射
出口から放出された電子はコレクタ電極１０に集められ
、それぞれの増幅器で増幅されるか、あるいは信号切換
機構で順次切換えられて増幅される。
極１０、グリッド１２．１４’にそれぞれ所定の電位を
印加しておき、荷電粒子を第１図に矢印１６で示される
ように開口４に対し少し斜め方向から入射させる。１個
の開口４を拡大して第３図に示すと、開口４に入射した
電子などの荷電粒子１６は開口４の両端電極６，８間の
電位差Ｖｄにより増倍されて射出口から放出される。射
出口から放出された電子はコレクタ電極１０に集められ
、それぞれの増幅器で増幅されるか、あるいは信号切換
機構で順次切換えられて増幅される。
増幅後はコンピュータのスケーラで計数され、記憶され
る。
る。
第１図及び第２図の実施例では開口の断面形状は円形で
あるが１本発明では開口は成型法で形成されるので任意
の形状とすることができる。第４図及び第５図はそれぞ
れ開口の断面形状がスリット状である例を示したもので
ある。このようなスリット状の開口１８．２０は特定位
置に設けることにより、分散形アナライザ用検出器とし
て多成分の同時検出を行なう場合などに好都合である。
あるが１本発明では開口は成型法で形成されるので任意
の形状とすることができる。第４図及び第５図はそれぞ
れ開口の断面形状がスリット状である例を示したもので
ある。このようなスリット状の開口１８．２０は特定位
置に設けることにより、分散形アナライザ用検出器とし
て多成分の同時検出を行なう場合などに好都合である。
以上の実施例ではベース２自体が二次電子放出特性のよ
い材料にて構成されているので、寿命も長い利点を有し
ている。しかし、本発明はそのような場合だけでなく、
開口が形成されるベースはあまり二次電子放出特性をも
たず、開口が形成された後に開口内壁に通常使用されて
いる二次電子放出物質をコーティングしたものも含んで
いる。
い材料にて構成されているので、寿命も長い利点を有し
ている。しかし、本発明はそのような場合だけでなく、
開口が形成されるベースはあまり二次電子放出特性をも
たず、開口が形成された後に開口内壁に通常使用されて
いる二次電子放出物質をコーティングしたものも含んで
いる。
第６図は検出器のベース２の厚み方向に対して少し斜め
方向に形成した開口２２を有する実施例を表わす。
方向に形成した開口２２を有する実施例を表わす。
第１図の実施例では、開口４は検出器のベース２の厚み
方向に形成されているので、荷電粒子ビームは検出器に
対して斜め方向から入射させる必要があるのに対し、第
６図の実施例では荷電粒子ビームを検出器に垂直に入射
させることができる。
方向に形成されているので、荷電粒子ビームは検出器に
対して斜め方向から入射させる必要があるのに対し、第
６図の実施例では荷電粒子ビームを検出器に垂直に入射
させることができる。
（発明の効果）
本発明によれば、以下のような効果を達成することがで
きる。
きる。
（１）任意の形状の開口を持つ検出器が得られる。
（２）分散形アナライザに取り付けた場合、任意の位置
に開口を配置することができる。つまり、多数のエネル
ギーの電子やイオンを同時に検出す争 ること
ができるマルチチャンネル形分光器を作ることができる
。
に開口を配置することができる。つまり、多数のエネル
ギーの電子やイオンを同時に検出す争 ること
ができるマルチチャンネル形分光器を作ることができる
。
（３）コストが非常に低くなる。
第１図は一実施例を開口に沿って切断した状態を示す断
面図、第２図は同実施例を開口に垂直方向に切断した状
態を示す断面図、第３図は１個の開口の動作を示す概略
図、第４図及び第５図はそれぞれ他の実施例を開口に垂
直方向に切断した状態を示す断面図、第６図は更に他の
実施例を開口に沿って切断した状態を示す断面図、第７
図は従来のマルチチャンネルプレートを示す一部切欠き
斜視図である。 ２・・・・・・ベース、 ４．１８，２０．２２・・
・・・・開口、６．８・・・・・・導電膜、 １０・
・・・・・コレクタ。
面図、第２図は同実施例を開口に垂直方向に切断した状
態を示す断面図、第３図は１個の開口の動作を示す概略
図、第４図及び第５図はそれぞれ他の実施例を開口に垂
直方向に切断した状態を示す断面図、第６図は更に他の
実施例を開口に沿って切断した状態を示す断面図、第７
図は従来のマルチチャンネルプレートを示す一部切欠き
斜視図である。 ２・・・・・・ベース、 ４．１８，２０．２２・・
・・・・開口、６．８・・・・・・導電膜、 １０・
・・・・・コレクタ。
Claims (1)
- （１）成型により形成された所望の断面形状をもつ複数
の貫通した開口を有し、それらの開口は二次電子放出特
性をもつとともに、 それらの開口の入射側の端部と射出側の端部には導電膜
が形成され、両導電膜間には電位差が与えられており、 開口の射出口に対向して電子を取り出すコレクタが設け
られているマルチチャンネル形検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21968984A JPS6196645A (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 | マルチチヤンネル形検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21968984A JPS6196645A (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 | マルチチヤンネル形検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6196645A true JPS6196645A (ja) | 1986-05-15 |
Family
ID=16739420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21968984A Pending JPS6196645A (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 | マルチチヤンネル形検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6196645A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002543573A (ja) * | 1999-04-30 | 2002-12-17 | エックスカウンター アーベー | 固体コンバーターを備えたｘ線検出ユニット |
| WO2007017984A1 (ja) * | 2005-08-10 | 2007-02-15 | Hamamatsu Photonics K.K. | 光電子増倍管 |
| JP2012169210A (ja) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Kobe Steel Ltd | 荷電粒子検出器，飛行時間型質量分析装置 |
-
1984
- 1984-10-18 JP JP21968984A patent/JPS6196645A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002543573A (ja) * | 1999-04-30 | 2002-12-17 | エックスカウンター アーベー | 固体コンバーターを備えたｘ線検出ユニット |
| WO2007017984A1 (ja) * | 2005-08-10 | 2007-02-15 | Hamamatsu Photonics K.K. | 光電子増倍管 |
| JP2007048633A (ja) * | 2005-08-10 | 2007-02-22 | Hamamatsu Photonics Kk | 光電子増倍管 |
| US7880385B2 (en) | 2005-08-10 | 2011-02-01 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photomultiplier including an electronic-multiplier section in a housing |
| JP2012169210A (ja) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Kobe Steel Ltd | 荷電粒子検出器，飛行時間型質量分析装置 |
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