JPS6196409A - 光電式角度検出器 - Google Patents
光電式角度検出器Info
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- JPS6196409A JPS6196409A JP21899984A JP21899984A JPS6196409A JP S6196409 A JPS6196409 A JP S6196409A JP 21899984 A JP21899984 A JP 21899984A JP 21899984 A JP21899984 A JP 21899984A JP S6196409 A JPS6196409 A JP S6196409A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/344—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using polarisation
- G01D5/345—Polarising encoders
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
11Lへ孔北を町
本発明は、回動軸の角変位の検出i!Stこ関するちの
であり、例えば、ロボンFアームの支承軸、あるいはエ
ンジン、モータ等の原動磯 ・の回転軸1こ結合さ
れてその日動角度の検出に供され、この検出された信号
は前記検出対象の回動角度や速度の制御系における帰還
信号あるいはその回動角度の表示に用いられる。
であり、例えば、ロボンFアームの支承軸、あるいはエ
ンジン、モータ等の原動磯 ・の回転軸1こ結合さ
れてその日動角度の検出に供され、この検出された信号
は前記検出対象の回動角度や速度の制御系における帰還
信号あるいはその回動角度の表示に用いられる。
従来の技術
この種の検出器には、例えば米国特許
第3,306.156号に開示されたちのがある。これ
は偏光板を軸に固着して回転偏光板とし、それに対して
、相互に透過軸を45度づつずらした第1〜第4の偏光
板を配設し、第1〜第・tの偏光板のそれぞれと前記回
転偏光板を挟んで直流光源と第1〜第4の受光部を対向
させたものである。
は偏光板を軸に固着して回転偏光板とし、それに対して
、相互に透過軸を45度づつずらした第1〜第4の偏光
板を配設し、第1〜第・tの偏光板のそれぞれと前記回
転偏光板を挟んで直流光源と第1〜第4の受光部を対向
させたものである。
これにおいては、回転偏光板が角度θだけ回動すると、
その透過軸と各第1〜第4の偏光板の透過軸との交わり
角がθ、(45°+θ)。
その透過軸と各第1〜第4の偏光板の透過軸との交わり
角がθ、(45°+θ)。
(90° +θ)、 (135°+θ)となり、それに
より光の透過率が変化することになる。この透過率の変
化は、Mulasの法則として公知であり、それぞれ所
定の透過率と前記交わり角の倍角のコサイン関数として
変化する透過率の和がその角度での透過率となる。すな
わも、それぞれの透過率をα1〜α、とおくと、次のよ
うに表される。
より光の透過率が変化することになる。この透過率の変
化は、Mulasの法則として公知であり、それぞれ所
定の透過率と前記交わり角の倍角のコサイン関数として
変化する透過率の和がその角度での透過率となる。すな
わも、それぞれの透過率をα1〜α、とおくと、次のよ
うに表される。
’ 1= (HQ I−15Jcos” θ
+ 1−1.。
+ 1−1.。
=に1CO52θ+に2
a2=(Ho Hq1+)cos’(θ+45’
)+11.、、 ’=−KIS1112θ+に
2 α 1=(Ho−Hso)cos二(θ +90° )
+ H、。
)+11.、、 ’=−KIS1112θ+に
2 α 1=(Ho−Hso)cos二(θ +90° )
+ H、。
= K 1cos2θ十に2
(2’+=(Ho−1■qn)cos”(θ+135°
)+09.。
)+09.。
=に、5in2θ+に2 ■ここに、H
o:平行位透過率 Hl。:・直行泣透過率 K 1=(1/’2)([−1o−Hq、、)K2=
(1;2)(Ho+Hso) したがって、fIS1〜第4の受光部には、それぞれ前
記a、〜a4に比例した次のような電気信号e、〜e、
が発生することになる。
o:平行位透過率 Hl。:・直行泣透過率 K 1=(1/’2)([−1o−Hq、、)K2=
(1;2)(Ho+Hso) したがって、fIS1〜第4の受光部には、それぞれ前
記a、〜a4に比例した次のような電気信号e、〜e、
が発生することになる。
e+ = K *cos2θ+に4
e2: Kzsin2θ + K4es: −K
teos2θ+に4 e*= −K 、sin
■ここに、K)、に、は定数 この第1〜vJ4の受光部出力e1〜e4は、次に演算
回路に導入され、それぞれに90度づつ1立相のずれた
キャリアsinωt、 cosωt。
teos2θ+に4 e*= −K 、sin
■ここに、K)、に、は定数 この第1〜vJ4の受光部出力e1〜e4は、次に演算
回路に導入され、それぞれに90度づつ1立相のずれた
キャリアsinωt、 cosωt。
−sinωt、 −cosωtが乗じられた後加算され
、次のよ)な回褒J角度θ1こ対応した位相を有する移
相信号el:変換される。
、次のよ)な回褒J角度θ1こ対応した位相を有する移
相信号el:変換される。
e= K 3(2cos2 θ sinω t−2
sin2 θ eO8ω し)= 2 K =sin
(ωt−20) ■尚、前記従来技術は、
光源を直流点灯光源とし、受光部出力にキャリアを乗じ
るものであるが、これとは逆に各受光部と対向させる丸
部からの発光量を90度づつ位相のずれたえヤリアによ
り制御し、その受光部出力を加減算しても同様である。
sin2 θ eO8ω し)= 2 K =sin
(ωt−20) ■尚、前記従来技術は、
光源を直流点灯光源とし、受光部出力にキャリアを乗じ
るものであるが、これとは逆に各受光部と対向させる丸
部からの発光量を90度づつ位相のずれたえヤリアによ
り制御し、その受光部出力を加減算しても同様である。
しかしながら、この種の従来技術においては、第1〜第
4の偏光板を、その透過軸が相互で45度づつ正確にず
れた状態に配置することが必要になるが、その配置には
熟練を蟹し、結局、3回の透過軸の角度調整が必要どさ
れるので、多大の作業時間を要することら避けられない
。
4の偏光板を、その透過軸が相互で45度づつ正確にず
れた状態に配置することが必要になるが、その配置には
熟練を蟹し、結局、3回の透過軸の角度調整が必要どさ
れるので、多大の作業時間を要することら避けられない
。
A肌尤■沃↓1j−上4る問題点
本発明は、偏光板を配置するに際して多数の偏光板に対
しての位置決め調整を必要とするIJI題点を解決しよ
うとするものである。
しての位置決め調整を必要とするIJI題点を解決しよ
うとするものである。
問題点を解決するための・段
本発明は、fli記問題点を解決するために、偏光板の
透過軸の位置調整を1ケ所だけに減少させたものであり
、透過軸を45度ずらした2枚の偏光板を、互いに重合
するtISlの部分と互いに他方とは非重合となる第2
.第3の部分を有する状態に結合して第1の板体とし、
そのttS2.tjS3の部分とは偏光板よ1)なる第
2の板体を対向させ、前記第1の部分を挟んで第1の光
源と受光部を配設し、前記i11の板体の第2.!@3
の部分と第2の板体を挟んでそれぞれ対向して第2.第
3の光源と受光部を配設し、その第1〜第3の受光部出
力を演算回路に導入して第1.第2の板体間の回動角変
位に(1応して位相の変化する移相信号を形1表するよ
うにしたものである。
透過軸の位置調整を1ケ所だけに減少させたものであり
、透過軸を45度ずらした2枚の偏光板を、互いに重合
するtISlの部分と互いに他方とは非重合となる第2
.第3の部分を有する状態に結合して第1の板体とし、
そのttS2.tjS3の部分とは偏光板よ1)なる第
2の板体を対向させ、前記第1の部分を挟んで第1の光
源と受光部を配設し、前記i11の板体の第2.!@3
の部分と第2の板体を挟んでそれぞれ対向して第2.第
3の光源と受光部を配設し、その第1〜第3の受光部出
力を演算回路に導入して第1.第2の板体間の回動角変
位に(1応して位相の変化する移相信号を形1表するよ
うにしたものである。
■
第1.第2の板体が相対的に回動変位θを生じると、第
1の板体の第1の部分、すなわち重合した部分の透過率
α1゜は次のようにθと無関係に一定であり、 Q 1o=(Ho−Hoo)cos245°+ Hs。
1の板体の第1の部分、すなわち重合した部分の透過率
α1゜は次のようにθと無関係に一定であり、 Q 1o=(Ho−Hoo)cos245°+ Hs。
=に、 ■第2.第3の部
分と第2の板体間の透過率α1、、a、2が前記式■の
それぞれα1.a、と同様に変化する。すなわも、 ’ ++= Q += K 1cos2θ+に2α1.
=α2= −K 、5in2θ+に2 ■′この結
果これらfjSI−第3の部分を通過する光源からの光
は、それぞれα1111α、、、ff 、、倍されて受
光量に対応した電気信号e1o+ez+elIに変換さ
枕る。すなわち、 e、。=K。
分と第2の板体間の透過率α1、、a、2が前記式■の
それぞれα1.a、と同様に変化する。すなわも、 ’ ++= Q += K 1cos2θ+に2α1.
=α2= −K 、5in2θ+に2 ■′この結
果これらfjSI−第3の部分を通過する光源からの光
は、それぞれα1111α、、、ff 、、倍されて受
光量に対応した電気信号e1o+ez+elIに変換さ
枕る。すなわち、 e、。=K。
el l = K 3eos 2 θ + K
。
。
c、2: Kssin2θ+K +
C’、J3続いて、この各出力e、。〜e12は演算回
路に導入されて移相信号C9への変換が行なわれる。
C’、J3続いて、この各出力e、。〜e12は演算回
路に導入されて移相信号C9への変換が行なわれる。
すなわち、
eo=(e++−e+o)3IIIωt+(eIi−e
+))cosωL=Kssin(ωt−2θ)
・9以上は、受光部出力をえヤリ7によI)変調
させる場合であるが、第2.第3の光源の発光量を90
度位相のキャーJ7に上り制御し、その受光部出力を用
いて移相信号を形成してもよ艮1肚 第1図において、10は第1の板体であり、回動軸1に
固着された透明材よりなる補強円板11、その円板11
の右側面に固着されたドーナツ状の第1の偏光板12、
その第1の偏光板12の内外径のほぼ中間径を有し、前
記の円板11の左側面に第1の偏光板12と透過軸を4
5度ずらして固着した!fs2の偏光板13とからなる
。これにより第1の板体10の中間近くは第1.第2の
偏光板12.13が透過軸の交わり角45度にて重合し
た部分(以下、これをtiSlの部分という)となり、
その重合部分の外側は第1の偏光板12のみの非重合部
分(以下、これをIIIJ2の部分という)となり、重
合部分の内側は第2の偏光板】3のみの非重合部分(以
下、これを第3の部分という)となる。
+))cosωL=Kssin(ωt−2θ)
・9以上は、受光部出力をえヤリ7によI)変調
させる場合であるが、第2.第3の光源の発光量を90
度位相のキャーJ7に上り制御し、その受光部出力を用
いて移相信号を形成してもよ艮1肚 第1図において、10は第1の板体であり、回動軸1に
固着された透明材よりなる補強円板11、その円板11
の右側面に固着されたドーナツ状の第1の偏光板12、
その第1の偏光板12の内外径のほぼ中間径を有し、前
記の円板11の左側面に第1の偏光板12と透過軸を4
5度ずらして固着した!fs2の偏光板13とからなる
。これにより第1の板体10の中間近くは第1.第2の
偏光板12.13が透過軸の交わり角45度にて重合し
た部分(以下、これをtiSlの部分という)となり、
その重合部分の外側は第1の偏光板12のみの非重合部
分(以下、これをIIIJ2の部分という)となり、重
合部分の内側は第2の偏光板】3のみの非重合部分(以
下、これを第3の部分という)となる。
犬に、20は第2の板体であり、前記第1の板体10と
対向状態に配設された矩形状の補強板21、その板21
の右側面に固着され、前記第1の板体10の第1の部分
(重合部分)と対向する部分の偏光部が除去された偏光
板22とからなる。したがって、第2の板体20の偏光
板22の偏光部は第1の板体1()の非重合の第2.第
3の部分と対向し、中空部が重合の第1の部分と対向す
ることになる。
対向状態に配設された矩形状の補強板21、その板21
の右側面に固着され、前記第1の板体10の第1の部分
(重合部分)と対向する部分の偏光部が除去された偏光
板22とからなる。したがって、第2の板体20の偏光
板22の偏光部は第1の板体1()の非重合の第2.第
3の部分と対向し、中空部が重合の第1の部分と対向す
ることになる。
そして、第1の板体10の第1の部分を挟んで対向状態
に第1の光源31と受光部41が配設され、同様に第1
の板体lOの非重合の第2.第3の部分と第2の板体2
()の偏光板22をそれぞれ挟んで対向状態に@2の尤
fi32と受光部42、第3の光源33と受光部43が
配設されている。
に第1の光源31と受光部41が配設され、同様に第1
の板体lOの非重合の第2.第3の部分と第2の板体2
()の偏光板22をそれぞれ挟んで対向状態に@2の尤
fi32と受光部42、第3の光源33と受光部43が
配設されている。
次に、第2図は前記受光部41〜43の出力を導入して
移相信号を形成する演算回路の実施例である。前記第2
.第3の受光部42゜43の出力8口1 el2はそれ
ぞれ減W、器51゜52に入力され、別に入力される受
光部41の出力e16との差(ez−eIJ+(e+ニ
ーe+n)が演r1.される。続いて、その各出力(Q
x−e1J+(e1□−el。)はそれぞれ乗算器53
.54に人力され、えヤリア発振器55がら送出される
90度位相差のキャリアsinωL+ eO9ωtと乗
算され、その両乗算出力は加算器5Gにより加算される
ようにしである。
移相信号を形成する演算回路の実施例である。前記第2
.第3の受光部42゜43の出力8口1 el2はそれ
ぞれ減W、器51゜52に入力され、別に入力される受
光部41の出力e16との差(ez−eIJ+(e+ニ
ーe+n)が演r1.される。続いて、その各出力(Q
x−e1J+(e1□−el。)はそれぞれ乗算器53
.54に人力され、えヤリア発振器55がら送出される
90度位相差のキャリアsinωL+ eO9ωtと乗
算され、その両乗算出力は加算器5Gにより加算される
ようにしである。
以上のらのにおいては、紬1が角度θだけ回動すると、
ttSlの板体10も一体的にθだけ回動し、第1の板
体10における非重合の第2.第3の部分と第2の板体
20の偏光板との透過軸がそれぞれθ、(θ+45°)
となり、それぞれの透過率αIllα12が前記式■゛
のようになる。これにより光源32.33から放射され
、各対応する受光部42.43に到達する光量は、透過
率α18.α1□に対応して変化し、第2.第3の受光
部42.43には前記式・■に示す出力ellle12
が発生する。地方、第1゛の板体10の第1の部分(重
合部分)の透過率α、。は、第1の板体10の回動角θ
とは無関係に一定のに2(弐〇参照)であり、第1の受
光部41の出力eloも一定のに、(弐〇参照)となる
。そして、これら出力eIo−e+2は前記の演算回路
に入力され、前記式〇に基づく演算により角度θに対応
した、すなわち角度θの倍角の位相をもつ移相信号に変
換される。
ttSlの板体10も一体的にθだけ回動し、第1の板
体10における非重合の第2.第3の部分と第2の板体
20の偏光板との透過軸がそれぞれθ、(θ+45°)
となり、それぞれの透過率αIllα12が前記式■゛
のようになる。これにより光源32.33から放射され
、各対応する受光部42.43に到達する光量は、透過
率α18.α1□に対応して変化し、第2.第3の受光
部42.43には前記式・■に示す出力ellle12
が発生する。地方、第1゛の板体10の第1の部分(重
合部分)の透過率α、。は、第1の板体10の回動角θ
とは無関係に一定のに2(弐〇参照)であり、第1の受
光部41の出力eloも一定のに、(弐〇参照)となる
。そして、これら出力eIo−e+2は前記の演算回路
に入力され、前記式〇に基づく演算により角度θに対応
した、すなわち角度θの倍角の位相をもつ移相信号に変
換される。
尚、上記実施例において、光源を@1〜第3の光源と表
現したが、これは第1の板体10の第1〜第3の部分に
対して光を供給するものを意味したものであり、例えば
、共用の光源あるいは共用の光源からオプティカルファ
イバーを介して第1〜vJ3の部分に光を供給するもの
も第1〜第3の光源と表し、同様に、第1〜第3の受光
部との表現もfI′IJ]の板体10の第1〜第3の部
分を通過した光を受けて電気信号に変換するものを意味
したちのであり、後記するように例えば第2.第3の光
源が発光量を90度位相のキヤ、リアによ1)制御され
るものとし、直接第2.第3の受光° 部出力の加算が
行なえるものにおいて、第2゜第3の部分の両方と直接
あるいはオプティカルファイバーを介して対向する共用
の受光部も$2.第3の受光部と分けて表して−する。
現したが、これは第1の板体10の第1〜第3の部分に
対して光を供給するものを意味したものであり、例えば
、共用の光源あるいは共用の光源からオプティカルファ
イバーを介して第1〜vJ3の部分に光を供給するもの
も第1〜第3の光源と表し、同様に、第1〜第3の受光
部との表現もfI′IJ]の板体10の第1〜第3の部
分を通過した光を受けて電気信号に変換するものを意味
したちのであり、後記するように例えば第2.第3の光
源が発光量を90度位相のキヤ、リアによ1)制御され
るものとし、直接第2.第3の受光° 部出力の加算が
行なえるものにおいて、第2゜第3の部分の両方と直接
あるいはオプティカルファイバーを介して対向する共用
の受光部も$2.第3の受光部と分けて表して−する。
また、上記実施例においては、第1の板体lOを円板状
として軸1に固着し、第2の板1G20を矩形状として
静止させた場合を例示したが、逆に、第3図に示すよう
に第2の板本20′を円板状にして軸lに固着し、第1
の板体10′を円板状あるいは矩形状として静1にさせ
てら同様である。また、上記実施例においては、演算回
路を減算器51.52、乗算器53.54、キャリア発
振器55、加算456により構成した場合を例示したが
、上記式〇の演算を実行する回路であれば、上記演算順
序に限らず変更してよい。
として軸1に固着し、第2の板1G20を矩形状として
静止させた場合を例示したが、逆に、第3図に示すよう
に第2の板本20′を円板状にして軸lに固着し、第1
の板体10′を円板状あるいは矩形状として静1にさせ
てら同様である。また、上記実施例においては、演算回
路を減算器51.52、乗算器53.54、キャリア発
振器55、加算456により構成した場合を例示したが
、上記式〇の演算を実行する回路であれば、上記演算順
序に限らず変更してよい。
また、上記実施例は光源に直流点灯するものを用いた場
合であるが、第2.第3の光源は90度位相のキャリア
によりその発光量が制御されるものとし、第1の光源は
90度位相のキャリアの和により発光量が制御されるも
のとし、演算回路では第1.第3の受光部出力と第1の
受光部出力との差を算出することにより移相信号を形成
してもよい。
合であるが、第2.第3の光源は90度位相のキャリア
によりその発光量が制御されるものとし、第1の光源は
90度位相のキャリアの和により発光量が制御されるも
のとし、演算回路では第1.第3の受光部出力と第1の
受光部出力との差を算出することにより移相信号を形成
してもよい。
また、上記実施例において、第1の受光部出力を設定値
と比較し、その偏差に応して第1〜第3の光源の発光量
を制御する補正回路を付加し、常時光源からの発光量を
所定値に保ち、安定性を向」二させてもよい。
と比較し、その偏差に応して第1〜第3の光源の発光量
を制御する補正回路を付加し、常時光源からの発光量を
所定値に保ち、安定性を向」二させてもよい。
発明の効果
本発明は、第1の板体において2枚の偏光板を透過軸の
又わり角45度をもって重合させるに際し、互いの偏光
板が非重合となる部分を形成し、その2つの非重合部分
と第2の板体の偏光板および小作部分の透過光量を利用
して移相信号を形成するものであ1)、偏光板の透過軸
の角度調整は1ケ所のみとなり、11゜業性が大幅に向
上する。
又わり角45度をもって重合させるに際し、互いの偏光
板が非重合となる部分を形成し、その2つの非重合部分
と第2の板体の偏光板および小作部分の透過光量を利用
して移相信号を形成するものであ1)、偏光板の透過軸
の角度調整は1ケ所のみとなり、11゜業性が大幅に向
上する。
第1,3図は本発明の実施例を示す一部断面を有する正
面図、第2図は本発明−二おける演算回路の一例を示す
ブロック線図である。 10.21)110’ :板体 12.13,22.12’ 、13’ 、22’ :偏
光板31〜33:光源 41〜43:受光部
面図、第2図は本発明−二おける演算回路の一例を示す
ブロック線図である。 10.21)110’ :板体 12.13,22.12’ 、13’ 、22’ :偏
光板31〜33:光源 41〜43:受光部
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、透過軸を45度ずらした2枚の偏光板が、互いに重
合する第1の部分と、互いに他方とは非重合となる第2
、第3の部分を有して結合された第1の板体、その第2
、第3の部分と対向して配設された偏光板よりなる第2
の板体、前記第1の板体の第1の部分を挟んで対向して
配設された第1の光源および受光部、前記第1の板体の
第2、第3の部分と第2の板体を挟んでそれぞれ対向し
て配設された 第2、第3の光源および受光部、第1〜第3の受光部出
力の演算回路とからなるところの光電式角度検出器。 2、透過軸を45度ずらした2枚の偏光板が、互いに重
合する第1の部分と、互いに他方とは非重合となる第2
、第3の部分を有して結合された第1の板体、その第2
、第3の部分と対向して配設された偏光板よりなる第2
の板体、前記第1の板体の第1の部分を挟んで対向して
配設された第1の光源および受光部、前記第1の板体の
第2、第3の部分と第2の板体を挟んでそれぞれ対向し
て配設された 第2、第3の光源および受光部、第1〜第3の受光部出
力の演算回路、前記第1の受光部出力と設定値との偏差
に応じて前記第1〜 第3の光源の発光量を補正する補正回路とからなるとこ
ろの光電式角度検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21899984A JPS6196409A (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 | 光電式角度検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21899984A JPS6196409A (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 | 光電式角度検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6196409A true JPS6196409A (ja) | 1986-05-15 |
JPH0342774B2 JPH0342774B2 (ja) | 1991-06-28 |
Family
ID=16728677
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21899984A Granted JPS6196409A (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 | 光電式角度検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6196409A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008241453A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Nidec Copal Corp | 光学式エンコーダ |
KR20170120658A (ko) * | 2015-02-25 | 2017-10-31 | 구엔터 그라우 | 카운팅 장치와 다단식 회전 인코더에서의 회전 각도를 측정하기 위한 장치 및 관련 센서들 |
KR102019681B1 (ko) | 2019-04-10 | 2019-09-09 | 주식회사 하이드텍 | 절삭유 복합 쿨런트 장치 |
KR102019684B1 (ko) | 2019-04-10 | 2019-09-09 | 주식회사 하이드텍 | 절삭유의 재사용 방법 |
CN112325802A (zh) * | 2020-10-23 | 2021-02-05 | 北京交通大学 | 基于共路差分和自校零的二维小角度激光测量方法与装置 |
-
1984
- 1984-10-18 JP JP21899984A patent/JPS6196409A/ja active Granted
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008241453A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Nidec Copal Corp | 光学式エンコーダ |
KR20170120658A (ko) * | 2015-02-25 | 2017-10-31 | 구엔터 그라우 | 카운팅 장치와 다단식 회전 인코더에서의 회전 각도를 측정하기 위한 장치 및 관련 센서들 |
KR102019681B1 (ko) | 2019-04-10 | 2019-09-09 | 주식회사 하이드텍 | 절삭유 복합 쿨런트 장치 |
KR102019684B1 (ko) | 2019-04-10 | 2019-09-09 | 주식회사 하이드텍 | 절삭유의 재사용 방법 |
CN112325802A (zh) * | 2020-10-23 | 2021-02-05 | 北京交通大学 | 基于共路差分和自校零的二维小角度激光测量方法与装置 |
CN112325802B (zh) * | 2020-10-23 | 2022-06-21 | 北京交通大学 | 基于共路差分和自校零的二维小角度激光测量方法与装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0342774B2 (ja) | 1991-06-28 |
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