JPS6189519A - 感度調整可能な流量センサー - Google Patents
感度調整可能な流量センサーInfo
- Publication number
- JPS6189519A JPS6189519A JP60210914A JP21091485A JPS6189519A JP S6189519 A JPS6189519 A JP S6189519A JP 60210914 A JP60210914 A JP 60210914A JP 21091485 A JP21091485 A JP 21091485A JP S6189519 A JPS6189519 A JP S6189519A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow
- compartment
- sensor
- port
- flow rate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F5/00—Measuring a proportion of the volume flow
- G01F5/005—Measuring a proportion of the volume flow by measuring pressure or differential pressure, created by the use of flow constriction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
- G01F1/36—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明に流量センサーに関する。更に特定−ｆｆ’Ｌば
１本発明は感度調整可能な流量センサーして関する。
１本発明は感度調整可能な流量センサーして関する。
本発明の目的は感度調整可能な改良さｆ′した流量セン
サーおよびそｔ″Ｌを利用した流十測定装Ｐｔを提供す
ることにある８ 〔発明の目的全達成するｋめの手段〕 上述の目的およびその他の目的全達成するために本発明
により１区画室ケもつ中空の容器手段と、上＝ｈ容器手
段上にあり、上記区画室とつながっている第１のポート
と、上記第１のポートと直径の反対側の上記容器手段上
にあり、上記区画室とつながっている第２のポートと、
上記区画室内に取りつけられ、上記第１および第２のポ
ートの間の差圧に応答し、該差圧を表わす出力信号を発
生するトランスデユーサ手段、および上記容器手段を固
定回転軸の周りに選択的に回転させる回転手段とからな
ることを特徴とする流量センサーが提供される。
サーおよびそｔ″Ｌを利用した流十測定装Ｐｔを提供す
ることにある８ 〔発明の目的全達成するｋめの手段〕 上述の目的およびその他の目的全達成するために本発明
により１区画室ケもつ中空の容器手段と、上＝ｈ容器手
段上にあり、上記区画室とつながっている第１のポート
と、上記第１のポートと直径の反対側の上記容器手段上
にあり、上記区画室とつながっている第２のポートと、
上記区画室内に取りつけられ、上記第１および第２のポ
ートの間の差圧に応答し、該差圧を表わす出力信号を発
生するトランスデユーサ手段、および上記容器手段を固
定回転軸の周りに選択的に回転させる回転手段とからな
ることを特徴とする流量センサーが提供される。
第１図は複数の流体流路２，４．６および８を用いた流
量測足装置の例を示す。各流路はそれぞｎｙｚイノソス
路および絞り１例えば流路２はパイ、。
量測足装置の例を示す。各流路はそれぞｎｙｚイノソス
路および絞り１例えば流路２はパイ、。
ス路２Ａ、２Ｂおよび絞り２０をもつ、パ°イノξス路
２〜８け、そｎぞｉ流体圧力センサー（以下「センサー
」と略言己する）１０，１２．１４および１６をモツ。
２〜８け、そｎぞｉ流体圧力センサー（以下「センサー
」と略言己する）１０，１２．１４および１６をモツ。
例、ｔ ケセンサーＩＯはバイノぐス路２Ａ 、 ２Ｒ
の間に接続さｎ、絞ジ２Ｃによジ流路２Ａ、２［（の間
に生じる流体の差圧全受ける。この差圧は流路２の流体
の流ｉｆ表わす。センサー１０〜１６の出力は、そｎぞ
ｎ信号線１８，２０．２２および２４６て加えらｎる。
の間に接続さｎ、絞ジ２Ｃによジ流路２Ａ、２［（の間
に生じる流体の差圧全受ける。この差圧は流路２の流体
の流ｉｆ表わす。センサー１０〜１６の出力は、そｎぞ
ｎ信号線１８，２０．２２および２４６て加えらｎる。
こｎらの信号線１８〜２４は、単一のマルチプレクサ２
６のそれぞｎの入力に接続されている。マルチプレクサ
２６の単一出力の信号は、信号線１８，２０．２２およ
び２４の選択さｎ７こ１人力を表わし、マルチプレクサ
出力線２７に与えらｎる。出力線２７ば、増幅器２８の
入力に接続されている。増幅器２８の出力線２９は信号
変換器３０の入力に接続さｎている。信号変換器３０の
出力線３１ｉデイスプレイ３２に接続さｎている。した
がって、センサー１１Ｊ 、 ｌ ２ 、１４および１
６は、それぞｎ検出した圧力を表わす出力信号を出力し
、それらの出力信号はマルチプレクサ２６によって選択
さｎ、ｉ終的にディスプレイ上に表示される。
６のそれぞｎの入力に接続されている。マルチプレクサ
２６の単一出力の信号は、信号線１８，２０．２２およ
び２４の選択さｎ７こ１人力を表わし、マルチプレクサ
出力線２７に与えらｎる。出力線２７ば、増幅器２８の
入力に接続されている。増幅器２８の出力線２９は信号
変換器３０の入力に接続さｎている。信号変換器３０の
出力線３１ｉデイスプレイ３２に接続さｎている。した
がって、センサー１１Ｊ 、 ｌ ２ 、１４および１
６は、それぞｎ検出した圧力を表わす出力信号を出力し
、それらの出力信号はマルチプレクサ２６によって選択
さｎ、ｉ終的にディスプレイ上に表示される。
複数のセンサー１０，１２．１４および１６がパイノξ
ス路に設置されているが、こｎらのセンサーはパイ、ｏ
ス路を一使用１．ないで、直接にそｎ、それの主流路に
配置してもよい。
ス路に設置されているが、こｎらのセンサーはパイ、ｏ
ス路を一使用１．ないで、直接にそｎ、それの主流路に
配置してもよい。
第２図は、センサー１０，１２．１４およびＪ６の１例
について回転軸に直角な断面図で示しｋものである。第
１図と共通に用いらｉる要素は、同一の参照番号で示さ
ｎる。パイノξス路２Ａ、２Ｂは。
について回転軸に直角な断面図で示しｋものである。第
１図と共通に用いらｉる要素は、同一の参照番号で示さ
ｎる。パイノξス路２Ａ、２Ｂは。
流体の流ｎ’６主流路２からハウジング３６に取り入ｎ
るようになっている。ハウジング３ｆｉｌでは。
るようになっている。ハウジング３ｆｉｌでは。
ハウジング３６を辿る流体の渡れの方向に直角な回転軸
子もつシリンダー４０からなる中空容器が含まｎでいる
。この流体の流ｆＬは、絞り２０（図示せず］によって
生じるバイパス路２Ａ、２Ｂの間の差圧によって生じる
。一対の流路４２．４３が。
子もつシリンダー４０からなる中空容器が含まｎでいる
。この流体の流ｆＬは、絞り２０（図示せず］によって
生じるバイパス路２Ａ、２Ｂの間の差圧によって生じる
。一対の流路４２．４３が。
シリンダー４０の表面上の直径方向の相対する位置にあ
るポート４２Ａ、４３Ａ とシリンダー４０内にある
区画室４４０間に設けらｎている。区画室４４ば、その
表面に流体圧カドランスデューサ４８をもったダイアフ
ラム４６によって区分さ６ている。したがってダイアフ
ラム４６の両面に加わる差圧に応答するダイアフラム４
６の動きハ、トランスデユーサ４８から出力信号を生じ
させる。例えば、トランスデユーサ４８は、ダイアフラ
ム４６に取りつけらｆｌ７（圧電抵抗ブリッジ回路素子
を含む。圧電抵抗ブリッジ素子は、曲げ応力を受けると
その動特性が変化し、素子に応力を与えた差圧を表わす
出力信号を発生する。
るポート４２Ａ、４３Ａ とシリンダー４０内にある
区画室４４０間に設けらｎている。区画室４４ば、その
表面に流体圧カドランスデューサ４８をもったダイアフ
ラム４６によって区分さ６ている。したがってダイアフ
ラム４６の両面に加わる差圧に応答するダイアフラム４
６の動きハ、トランスデユーサ４８から出力信号を生じ
させる。例えば、トランスデユーサ４８は、ダイアフラ
ム４６に取りつけらｆｌ７（圧電抵抗ブリッジ回路素子
を含む。圧電抵抗ブリッジ素子は、曲げ応力を受けると
その動特性が変化し、素子に応力を与えた差圧を表わす
出力信号を発生する。
第３図は流路４２．４３の軸を含む面に沿つ罠センサー
１０の断面図である。シリンダー４０は、その表面に適
当な０リング５０を設け、ハウジング３６の内壁に流体
密になっている。シリンダー４０の片側にハウジング３
６の外方に突き出た第１の軸５１があり、そ′ｉ″Ｌは
）・ウジング３６の外１１１１１にある調節ノブ５２に
接続されている。第１の軸５１は、そｆｌ、ヲ囲むＯリ
ング５４によってハウジング３６゜の内面に流体密にな
っている。シリンダー４０の第２の軸５６１’ｉ：、シ
リンダー４０に対し第１の軸５１の反対側にあり、ノ・
ウジング３６の外側に突き出している。第２の軸５６Ｖ
ｉ、％ぞれ全囲むＯＩＩソング８によってハウジング３
６の内壁に流体密になっている、 動作については、７１１ンダー４ｏを調節ノブ５２によ
って回転することによりシリンダー４０の外側電流ｎる
流体の流れに対してポート４２Ａ、４３へと流路４２，
４３の向き全変化させる。このような回転によりポート
４２へ、４３Ａ はシリンダー４０の周囲に流ｊ、る流
体のもつ流体圧と異なる圧力金堂ける。特に流路４２，
４３が流体の流ｎ方向に一致するとダイアフラム４６に
加わる流体差圧は最大になり、シリンダ−４０全回転し
て流路４２゜４３が流体の流量に直角の方向になると、
ダイアフラム４６に加わる差圧は零になるであろう。こ
ｎら両極端の中間のシリンダー４０の向きでは差圧もそ
ｎにしたがって変化するであろう。
１０の断面図である。シリンダー４０は、その表面に適
当な０リング５０を設け、ハウジング３６の内壁に流体
密になっている。シリンダー４０の片側にハウジング３
６の外方に突き出た第１の軸５１があり、そ′ｉ″Ｌは
）・ウジング３６の外１１１１１にある調節ノブ５２に
接続されている。第１の軸５１は、そｆｌ、ヲ囲むＯリ
ング５４によってハウジング３６゜の内面に流体密にな
っている。シリンダー４０の第２の軸５６１’ｉ：、シ
リンダー４０に対し第１の軸５１の反対側にあり、ノ・
ウジング３６の外側に突き出している。第２の軸５６Ｖ
ｉ、％ぞれ全囲むＯＩＩソング８によってハウジング３
６の内壁に流体密になっている、 動作については、７１１ンダー４ｏを調節ノブ５２によ
って回転することによりシリンダー４０の外側電流ｎる
流体の流れに対してポート４２Ａ、４３へと流路４２，
４３の向き全変化させる。このような回転によりポート
４２へ、４３Ａ はシリンダー４０の周囲に流ｊ、る流
体のもつ流体圧と異なる圧力金堂ける。特に流路４２，
４３が流体の流ｎ方向に一致するとダイアフラム４６に
加わる流体差圧は最大になり、シリンダ−４０全回転し
て流路４２゜４３が流体の流量に直角の方向になると、
ダイアフラム４６に加わる差圧は零になるであろう。こ
ｎら両極端の中間のシリンダー４０の向きでは差圧もそ
ｎにしたがって変化するであろう。
第４図はセンサー１０，１２．１４および１６の他の実
施例についての回転軸に直角な断面図を示す。
施例についての回転軸に直角な断面図を示す。
第１図、第２図と共通に用いらｎる要素は、同一の参照
番号で示さｎる。バイパス路２Ａ 、２Ｒは流体の流ｆ
ｉｉ主流路２からハウジング３６に取り入ｎるようにな
っている。ハウジング３６にはハウジング３６を通る流
体の流への方向に直角な回転軸をもつシリンダー４０か
らなる中空の容器が含まｉている。一対の流路４２．４
３がシ１１ンダ−４０の表面上の直径方向に相対する位
＠にあるポート４２Ａ、４３Ａ とシリンダー４０内に
ある区画室４４の間に設けらｎている。区画室４４内に
流量センサー手段４８Ａが取付けら九ポート４２Ａ。
番号で示さｎる。バイパス路２Ａ 、２Ｒは流体の流ｆ
ｉｉ主流路２からハウジング３６に取り入ｎるようにな
っている。ハウジング３６にはハウジング３６を通る流
体の流への方向に直角な回転軸をもつシリンダー４０か
らなる中空の容器が含まｉている。一対の流路４２．４
３がシ１１ンダ−４０の表面上の直径方向に相対する位
＠にあるポート４２Ａ、４３Ａ とシリンダー４０内に
ある区画室４４の間に設けらｎている。区画室４４内に
流量センサー手段４８Ａが取付けら九ポート４２Ａ。
４３Ａの開の差圧によって生じる流体の流ｎ’ｉ検出す
る。シリンダー４０の周囲の流体の流ｆＬは絞り２０に
よって生じるパイノぐス路２Ａ、２Ｂの間の差圧によっ
て生じる。同様にシリンダー４０の軸位１ハポート４２
Ａ、４３Ａ の間の差圧に比例した区画室内の流ｎ２生
じさせる。トランスデユーサ４８Ａで検出さｎる区画室
４４内の流ｆ′Ｌｈ。
る。シリンダー４０の周囲の流体の流ｆＬは絞り２０に
よって生じるパイノぐス路２Ａ、２Ｂの間の差圧によっ
て生じる。同様にシリンダー４０の軸位１ハポート４２
Ａ、４３Ａ の間の差圧に比例した区画室内の流ｎ２生
じさせる。トランスデユーサ４８Ａで検出さｎる区画室
４４内の流ｆ′Ｌｈ。
主流路２の流量に比例する。トランスデユーサ４８Ａ
として抵抗素子のブリッジを利用した流量センサー手
段音用いてもよい。その抵抗素子は電流により加熱さｎ
、素子の１つまたはそｎ以上の表面上流れる流体の流れ
により素子が冷却さｎることによって電気抵抗値が変化
し、ブリッジ回路を不平衡にする。ブリッジ回路の不平
衡の大きさを示す出力信号は１区画室４４を通る流体の
流量に比例し、シタがって主流路２を流れる流体の流量
に比例することは、第２図、第３図について前述したと
同様である。
として抵抗素子のブリッジを利用した流量センサー手
段音用いてもよい。その抵抗素子は電流により加熱さｎ
、素子の１つまたはそｎ以上の表面上流れる流体の流れ
により素子が冷却さｎることによって電気抵抗値が変化
し、ブリッジ回路を不平衡にする。ブリッジ回路の不平
衡の大きさを示す出力信号は１区画室４４を通る流体の
流量に比例し、シタがって主流路２を流れる流体の流量
に比例することは、第２図、第３図について前述したと
同様である。
本発明のセンサーは、複数のセンサー１０．１２゜１４
および１６を産業用プロセス監視装置などの単一の計装
や、複数の需要家のそれぞれへの燃料ガスラインに設置
さｎ１′Ｃ個々のセンサーなどの複数の計装に利用する
。流量計測装置に特ＶＣ有用である。前者においては、
第１図に示されるようにセンサーは共用の増幅器にマル
チプレクサ全通して加えらｎるであろう。後者において
は、増幅器および検出システムは各センサーに移さｎ、
それから出力が得られるであろう。
および１６を産業用プロセス監視装置などの単一の計装
や、複数の需要家のそれぞれへの燃料ガスラインに設置
さｎ１′Ｃ個々のセンサーなどの複数の計装に利用する
。流量計測装置に特ＶＣ有用である。前者においては、
第１図に示されるようにセンサーは共用の増幅器にマル
チプレクサ全通して加えらｎるであろう。後者において
は、増幅器および検出システムは各センサーに移さｎ、
それから出力が得られるであろう。
複数のセンサー１０，１２．１４および１６を採用する
測定回路では、センサーは個々の感度が共用の増幅器と
の間で整会するように較正さｎなけｎばならないが、各
センサーの較正は、各流路に等（５い流１・入力を与え
たときに各センサーからの出力信号が等しくなるまで調
整ノブ５２により各センサーを回転させることによって
簡単に行わｎる。
測定回路では、センサーは個々の感度が共用の増幅器と
の間で整会するように較正さｎなけｎばならないが、各
センサーの較正は、各流路に等（５い流１・入力を与え
たときに各センサーからの出力信号が等しくなるまで調
整ノブ５２により各センサーを回転させることによって
簡単に行わｎる。
こうして、全てのセンサーは、各センサーの電気的感覚
の相異やトランスデユーサの出力信号に影響を与えるそ
の他の要因に無関係に、＊−の測定回路に対する正確な
出力信号を発生するように較正することができる。製造
段階で決足さｎるセンサーの較正位置は、使用中にも紺
持さｎ、共用増幅器がそｎぞｎ検出さｎ ７ｔ ｎ体圧
力の正確な測定を行うことができる。
の相異やトランスデユーサの出力信号に影響を与えるそ
の他の要因に無関係に、＊−の測定回路に対する正確な
出力信号を発生するように較正することができる。製造
段階で決足さｎるセンサーの較正位置は、使用中にも紺
持さｎ、共用増幅器がそｎぞｎ検出さｎ ７ｔ ｎ体圧
力の正確な測定を行うことができる。
他述ｔ７）如く、第２図、第３図のセンサーは、バイノ
セス路を用いずに、直接に複数の主流路に用いてもよい
。
セス路を用いずに、直接に複数の主流路に用いてもよい
。
以上の如く１本発明により感度調整可能な改良きｆｋ流
流上センサーよび七ｎを利用（−２に流星測定装置が提
供さｎ；！１ことが理解さｎよう、
流上センサーよび七ｎを利用（−２に流星測定装置が提
供さｎ；！１ことが理解さｎよう、
第１図は本発明の流ψセンサ音用いる流１１１測？装置
の一実施例のブロック構成図を示す。 第２図は第１図に示す流量測定装置に用いるのＶＣ適し
７ζセンサーの１例の断面図を示す。 第３図は、第２図に示すセンサーについてセンサーの回
転軸を含む平面に沿った断面図を示す。 第４図は、本発明のセンサーの他の実施例について、セ
ンサーの回転軸に直角な平面に沿った断面図を示す。 ２．４，６．８・・・流路 ２Ａ、２８〜８Ａ、８Ｂ・・・バイパス路２Ｃ・・・絞
り １０．１２，１４．ｌｌ’ｉ・・・センサー２６・・・
マルチプレクサ ２８・・・増幅器 ３０・・・信号変換器 ３２・・・ディスプレイ ３６・・・ハウジング ４０・・・シリンダー（ローターノ ４２．４３・・・流路 ４４・・・区画室 ４６・・・ダイアフラム ４８・・・トランスデユーサ ５０．５８・・・０リング ５２・・・調節ノブ 特許出願人 ハネウェル・インコーボレーテツド代理
人弁理士 松 下 義 治 ＦＩＧ、２ ＦＩＧ、３
の一実施例のブロック構成図を示す。 第２図は第１図に示す流量測定装置に用いるのＶＣ適し
７ζセンサーの１例の断面図を示す。 第３図は、第２図に示すセンサーについてセンサーの回
転軸を含む平面に沿った断面図を示す。 第４図は、本発明のセンサーの他の実施例について、セ
ンサーの回転軸に直角な平面に沿った断面図を示す。 ２．４，６．８・・・流路 ２Ａ、２８〜８Ａ、８Ｂ・・・バイパス路２Ｃ・・・絞
り １０．１２，１４．ｌｌ’ｉ・・・センサー２６・・・
マルチプレクサ ２８・・・増幅器 ３０・・・信号変換器 ３２・・・ディスプレイ ３６・・・ハウジング ４０・・・シリンダー（ローターノ ４２．４３・・・流路 ４４・・・区画室 ４６・・・ダイアフラム ４８・・・トランスデユーサ ５０．５８・・・０リング ５２・・・調節ノブ 特許出願人 ハネウェル・インコーボレーテツド代理
人弁理士 松 下 義 治 ＦＩＧ、２ ＦＩＧ、３
Claims (3)
- （１）内部に区画室をもつ中空の容器手段と、上記容器
手段に設けられ、上記区画室とつ ながつている第１のポートと、 上記第１のポートと直径の反対側の上記容 器手段に設けられ、上記区画室とつながつている第２の
ポートと、 上記区画室内に取りつけられ、上記第１お よび第２のポートの間の差圧に応答し、該差圧を表わす
出力信号を発生するトランスデューサ手段、および 上記容器手段を固定回転軸の周りに選択的 に回転させる回転手段と からなることを特徴とする感度調整可能な流量センサー
。 - （２）上記トランスデューサ手段は、上記区画室を上記
第１のポートとつながつた第１の室と上記第２のポート
とつながつた第２の室に区分する可撓性の隔壁手段と、 上記第１および第２のポートの間の差圧に 応答する上記隔壁手段のたわみに応答して該たわみを表
わす出力信号を発生するセンサー手段と からなる第（１）項記載の感度調整可能な流量センサー
。 - （３）上記トランスデューサ手段は、上記第１および第
２のポートの間の流路を流れる流体の流れを検出し、該
流れを表わす出力信号を発生するセンサー手段を含む第
（１）項記載の感度調整可能な流量センサー。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/654,577 US4565092A (en) | 1984-09-25 | 1984-09-25 | Flow sensor with adjustable sensitivity |
| US654577 | 1984-09-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6189519A true JPS6189519A (ja) | 1986-05-07 |
Family
ID=24625423
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60210914A Pending JPS6189519A (ja) | 1984-09-25 | 1985-09-24 | 感度調整可能な流量センサー |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4565092A (ja) |
| EP (1) | EP0176051B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6189519A (ja) |
| BR (1) | BR8504679A (ja) |
| CA (1) | CA1257486A (ja) |
| DE (1) | DE3570522D1 (ja) |
| MX (1) | MX159130A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FI73315C (fi) * | 1984-06-15 | 1987-09-10 | Nokia Oy Ab | Kalibreringssystem foer kalibrering av massastroemreglerare. |
| US4765326A (en) * | 1987-04-20 | 1988-08-23 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Low-flow alarm system for powdered air-purifying respirator |
| GB9106727D0 (en) * | 1991-03-28 | 1991-05-15 | Bushman John A | Device for the measurement of the rate of fluid flow |
| FR2683038A1 (fr) * | 1991-10-29 | 1993-04-30 | Cit Alcatel | Capteur de debit gazeux. |
| US5363689A (en) * | 1992-09-11 | 1994-11-15 | Intertech Development Company | Calibration device for leak detecting instruments |
| AT402236B (de) * | 1994-12-02 | 1997-03-25 | Klementschitz Peter Ing | Vorrichtung zur massendurchflussmessung |
| US11378468B2 (en) | 2016-08-12 | 2022-07-05 | Brightsentinel Limited | Sensor module and process for producing same |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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