JPS6181681A - 空冷形イオンレ−ザ管 - Google Patents
空冷形イオンレ−ザ管Info
- Publication number
- JPS6181681A JPS6181681A JP20320884A JP20320884A JPS6181681A JP S6181681 A JPS6181681 A JP S6181681A JP 20320884 A JP20320884 A JP 20320884A JP 20320884 A JP20320884 A JP 20320884A JP S6181681 A JPS6181681 A JP S6181681A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fine tube
- ion laser
- laser tube
- plasma
- capillary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、空冷形イオンレーザ管の構造に関する。
（従来め技術およびその問題点）
ホログラフィの光源、２７７分光をはじめとする各種分
光器の光源としては、入射光の強度が大きいほど情報処
理が容易となる几め、可視光域で最も大きな出力を出す
イオンレーザが用いられている。アルボ／レーザを代表
とする希ガスイオンレーザは高々数ＩＱｍＡで動作する
）ｉ６−Ｎｅガスレーザに比べ、そのイオン化エネルギ
ーが高いため数人のアーク放電電流ｔ−流し、数Ｗの出
力を得ている。しかるに近年、ファクシミリ、プリッタ
−、ホトレジスト感光などの分野において、アルゴノイ
オル−ザの出す４８８．Ｏｎｍの発振線が感光物質に対
して好適であるとの理由によＦ）、Ｈｅ−Ｎｅガスレー
ザと同等の手軽さで使用できる小出カイオンレーザに対
する要求が高まってきた。
光器の光源としては、入射光の強度が大きいほど情報処
理が容易となる几め、可視光域で最も大きな出力を出す
イオンレーザが用いられている。アルボ／レーザを代表
とする希ガスイオンレーザは高々数ＩＱｍＡで動作する
）ｉ６−Ｎｅガスレーザに比べ、そのイオン化エネルギ
ーが高いため数人のアーク放電電流ｔ−流し、数Ｗの出
力を得ている。しかるに近年、ファクシミリ、プリッタ
−、ホトレジスト感光などの分野において、アルゴノイ
オル−ザの出す４８８．Ｏｎｍの発振線が感光物質に対
して好適であるとの理由によＦ）、Ｈｅ−Ｎｅガスレー
ザと同等の手軽さで使用できる小出カイオンレーザに対
する要求が高まってきた。
このような小出力で手軽に使用できるイオンレーザ管と
して空冷形のイオンレーザ管がある。しかし、従来の空
冷形イオンレーザ管はプラズマ細管の材料として絶縁性
、耐熱性および熱電導性に優れたべＩＪ １３７磁％！
Ａｔ用いているので高価であるという問題があり、また
有害性があるためその取扱いに十分注意しなければなら
ないという欠点があった。
して空冷形のイオンレーザ管がある。しかし、従来の空
冷形イオンレーザ管はプラズマ細管の材料として絶縁性
、耐熱性および熱電導性に優れたべＩＪ １３７磁％！
Ａｔ用いているので高価であるという問題があり、また
有害性があるためその取扱いに十分注意しなければなら
ないという欠点があった。
本発明の目的は、これらの欠点を取り除き、安価で取扱
い易いプラズマ細管で構成−した空冷形イオンレーザ管
を提供することにある。
い易いプラズマ細管で構成−した空冷形イオンレーザ管
を提供することにある。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、陰極、陽極、プラズマ細管とを有するイオノ
レーザ管において、プラズマ細管は、中心孔を成す細管
円筒部材の外周をその外径にかん合する内径を有する導
電性部材で包囲し、且つ包囲部材を２分割し、セラミッ
クを介して連結して構成したことを特徴とする。細管円
筒部材としては熱伝導率がα１ （ｃａｌ ／ ｓｅｃ
−ｃｍ ・℃）以上のボロ／カイトライド、炭化ケイ素
、サファイア。
レーザ管において、プラズマ細管は、中心孔を成す細管
円筒部材の外周をその外径にかん合する内径を有する導
電性部材で包囲し、且つ包囲部材を２分割し、セラミッ
クを介して連結して構成したことを特徴とする。細管円
筒部材としては熱伝導率がα１ （ｃａｌ ／ ｓｅｃ
−ｃｍ ・℃）以上のボロ／カイトライド、炭化ケイ素
、サファイア。
窒化ケイ素などを用いることができる。
（実施例）
以下本発明につき図面に従って詳細に説明する。
第１図は本発明の一実施例の断面図で、第２図はそのプ
ラズマ細管部分の拡大断面図である。空冷形イオノレー
ザ管１２は、主としてプラズマ細管Ｌユと陽極１３と陰
極９から構成されている。
ラズマ細管部分の拡大断面図である。空冷形イオノレー
ザ管１２は、主としてプラズマ細管Ｌユと陽極１３と陰
極９から構成されている。
プラズマ細管し１は、中心孔を成す細管材に熱電導、耐
熱性、絶縁性に優れたボロ／カイトライドの細！７円筒
部材１ｆｔ用い、このボロンナイトライド円筒部材１の
外周をその外径にかん合する内径を有する２分割さルた
導電性部材３で包囲し、中央部で絶縁部材のセラミック
２を介して連結されている。プラズマ細管１１０両端に
はＫＶ封入皿４が導電性部材３にロー付けされて一体化
され、一方ＯＫＶ封入皿４の内側には陽極１３がロー付
けされて固定されている。ＫＶ封入皿４の両端はレーザ
管の外囲器６．ｌＯにそれぞれ封着され、外囲器６，１
０にはプリエースタ窓７が取付けられて密封されている
。陰極９は外囲器１０の肩口に設けられた導入棒８によ
って取付けられている。
熱性、絶縁性に優れたボロ／カイトライドの細！７円筒
部材１ｆｔ用い、このボロンナイトライド円筒部材１の
外周をその外径にかん合する内径を有する２分割さルた
導電性部材３で包囲し、中央部で絶縁部材のセラミック
２を介して連結されている。プラズマ細管１１０両端に
はＫＶ封入皿４が導電性部材３にロー付けされて一体化
され、一方ＯＫＶ封入皿４の内側には陽極１３がロー付
けされて固定されている。ＫＶ封入皿４の両端はレーザ
管の外囲器６．ｌＯにそれぞれ封着され、外囲器６，１
０にはプリエースタ窓７が取付けられて密封されている
。陰極９は外囲器１０の肩口に設けられた導入棒８によ
って取付けられている。
さらにガスリターンパス５が外囲器６，１０間に設けら
れている。
れている。
ボロンナイトライド１はガラス、金属等との接合手段が
ない為ボロ７ナイトラ・ｆド１の外径にかん合するよう
に包囲している導電性部材３によって外囲器を構成して
いること、又導電性部材３を２分割し、絶縁性部材であ
るセラミック２を介して連結しているのは陽極と陰極が
同電位になることを防ぐ為でおる。
ない為ボロ７ナイトラ・ｆド１の外径にかん合するよう
に包囲している導電性部材３によって外囲器を構成して
いること、又導電性部材３を２分割し、絶縁性部材であ
るセラミック２を介して連結しているのは陽極と陰極が
同電位になることを防ぐ為でおる。
以上の実施例では細管円筒部材としてボロンナイトライ
ドを用い九場合について説明したが、熱伝導率が０．１
（ｃａｌ ／ ｓｅｃ −ｃｍ ′”Ｃ）以上で絶縁
性にすぐれた炭化ケイ素、窒化ケイ素、サファイアなど
でもよい。
ドを用い九場合について説明したが、熱伝導率が０．１
（ｃａｌ ／ ｓｅｃ −ｃｍ ′”Ｃ）以上で絶縁
性にすぐれた炭化ケイ素、窒化ケイ素、サファイアなど
でもよい。
（発明の効果）
本発明によれば、プラズマ細管の細管円筒部材としてべ
ＩＪ ＩＪアに相幽する一伝導性、ｉ’Ｊ熱性、絶縁性
を有するボロンナイトライド、炭化ケイ素などを使用し
ているため加工性が容易で、しかも安価で取扱いの簡単
な空冷形イオンレーザ管を得ることができる。
ＩＪ ＩＪアに相幽する一伝導性、ｉ’Ｊ熱性、絶縁性
を有するボロンナイトライド、炭化ケイ素などを使用し
ているため加工性が容易で、しかも安価で取扱いの簡単
な空冷形イオンレーザ管を得ることができる。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図はプラ
ズマ細管部分の拡大断面図である。 １・・・・・・細管円筒部材、２・・・・・・セラミッ
ク、３・・・・・・導電性部材、４・・・・・・ＫＶ封
入皿、５・・・・・・ガスリターンパス、６．１０・・
・・・・外囲器、７・・・・・・ブリュースタ窓、８・
・・・・・導入棒、９・・・・・・陰極、Ｌユ・・・・
・・プラズマ細管、上」・・・・・・イオンレーザ管、
１３・・・・・・陽極。 静ノー輌−Ｉ 代理人 弁理士 内 原 晋 −”’、−’！−
０．−２・′
ズマ細管部分の拡大断面図である。 １・・・・・・細管円筒部材、２・・・・・・セラミッ
ク、３・・・・・・導電性部材、４・・・・・・ＫＶ封
入皿、５・・・・・・ガスリターンパス、６．１０・・
・・・・外囲器、７・・・・・・ブリュースタ窓、８・
・・・・・導入棒、９・・・・・・陰極、Ｌユ・・・・
・・プラズマ細管、上」・・・・・・イオンレーザ管、
１３・・・・・・陽極。 静ノー輌−Ｉ 代理人 弁理士 内 原 晋 −”’、−’！−
０．−２・′
Claims (1)
- 陰極、陽極、プラズマ細管を有するイオンレーザ管にお
いて、前記プラズマ細管は、中心孔を成す細管円筒部材
の外周をその外径にかん合する内径を有する２分割され
た導電性部材で包囲し、該導電性部材間にセラミックを
介在させて連結し構成したことを特徴とする空冷形イオ
ンレーザ管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20320884A JPS6181681A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 空冷形イオンレ−ザ管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20320884A JPS6181681A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 空冷形イオンレ−ザ管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6181681A true JPS6181681A (ja) | 1986-04-25 |
Family
ID=16470253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20320884A Pending JPS6181681A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 空冷形イオンレ−ザ管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6181681A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0422418A2 (en) * | 1989-10-10 | 1991-04-17 | Hughes Aircraft Company | Integrating laser diode pumped laser apparatus |
-
1984
- 1984-09-28 JP JP20320884A patent/JPS6181681A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0422418A2 (en) * | 1989-10-10 | 1991-04-17 | Hughes Aircraft Company | Integrating laser diode pumped laser apparatus |
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