JPS6180729A - 真空容器の封止方法 - Google Patents
真空容器の封止方法Info
- Publication number
- JPS6180729A JPS6180729A JP20203784A JP20203784A JPS6180729A JP S6180729 A JPS6180729 A JP S6180729A JP 20203784 A JP20203784 A JP 20203784A JP 20203784 A JP20203784 A JP 20203784A JP S6180729 A JPS6180729 A JP S6180729A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- end plate
- container
- brazing material
- vacuum
- rod
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
- H01J9/26—Sealing together parts of vessels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は真空管や放電管等の真空容器の封止方法に関す
るものである。
るものである。
真空容器ハ第７図及び第８図に示されており、銅合金な
どからなる電気導体のロンド入（１）ハ中心部にドリル
加工された穴（１ａ）を有している。
どからなる電気導体のロンド入（１）ハ中心部にドリル
加工された穴（１ａ）を有している。
ロッドＢ （２） を！銅合金からなる１ｉＥ気導体で
あって、可動することによりロッドＡ（１）と接触した
り、接触しなくなったりしている。薄板を成形加工した
門形の端板Ａ（３）と端板Ｂ（４）とはセラミックス材
から絶縁筒（５）の端面にロウ付されている。ロッドＢ
（２）の軸方向長さの途中の中間には薄板を成形加工し
たフレアー状の内部端板（６）がロウ付されている。
あって、可動することによりロッドＡ（１）と接触した
り、接触しなくなったりしている。薄板を成形加工した
門形の端板Ａ（３）と端板Ｂ（４）とはセラミックス材
から絶縁筒（５）の端面にロウ付されている。ロッドＢ
（２）の軸方向長さの途中の中間には薄板を成形加工し
たフレアー状の内部端板（６）がロウ付されている。
内部端板（６）と端板Ｂ（４）との間にはベローズ（７
）が設けられている。ベローズ（７）ハロラドＢ （２
） ｅ可動させるものであって、挽みながら容器の内部
と外部とを気密保持している。排気管（８）ハロラドＡ
（１）の中心部の穴（１ａ）に嵌合し、ロッドＡ（１
）にロウ付され、容器内部を真空引きするだめの管とし
ての役割を果している。（９）は保護キャップであって
、容器を真空引きしたのち、圧接して封止した排気管（
８）を保、１４１Ｈするために、排気管（８）の封止し
たとこイ）を覆うようにロッドＡ（１）にハンダ付けに
より固着きれている。ａυ、θａ、α９．α、自及び（
１９はロウ材である。＋２１）は容イ器内部ケ真空引き
する際の気体分子の随りる方向を示すものである。０１
）はベローズ（７）と内部端板（６）との溶接部分及び
ベローズ（７）と端板Ｒ（４）とのｆｉｊ接、；ＩＳ分
を示すものでちる。
）が設けられている。ベローズ（７）ハロラドＢ （２
） ｅ可動させるものであって、挽みながら容器の内部
と外部とを気密保持している。排気管（８）ハロラドＡ
（１）の中心部の穴（１ａ）に嵌合し、ロッドＡ（１
）にロウ付され、容器内部を真空引きするだめの管とし
ての役割を果している。（９）は保護キャップであって
、容器を真空引きしたのち、圧接して封止した排気管（
８）を保、１４１Ｈするために、排気管（８）の封止し
たとこイ）を覆うようにロッドＡ（１）にハンダ付けに
より固着きれている。ａυ、θａ、α９．α、自及び（
１９はロウ材である。＋２１）は容イ器内部ケ真空引き
する際の気体分子の随りる方向を示すものである。０１
）はベローズ（７）と内部端板（６）との溶接部分及び
ベローズ（７）と端板Ｒ（４）とのｆｉｊ接、；ＩＳ分
を示すものでちる。
したがって、従来の真空容器の封止方法は容器を掃成す
る部材を８００〜１１０Ｏ℃でロウ付けして組立だのち
、容器を常温まで冷却し、その後排気管（８）に排気装
咋（図示省略する）を接続し、容器を５００〜６００℃
に再加熱して真空排気を行い、最後に排気管（８）全圧
接し℃、封止したのち、保ｉ慢キャップ（９）全ロッド
Ａ（１）に固着して、排気管（８）の封止したところを
覆うようＶこするものである。
る部材を８００〜１１０Ｏ℃でロウ付けして組立だのち
、容器を常温まで冷却し、その後排気管（８）に排気装
咋（図示省略する）を接続し、容器を５００〜６００℃
に再加熱して真空排気を行い、最後に排気管（８）全圧
接し℃、封止したのち、保ｉ慢キャップ（９）全ロッド
Ａ（１）に固着して、排気管（８）の封止したところを
覆うようＶこするものである。
従来の真空容器の封止方法はｉ’＋ｉ前記のように真空
排気の際に、容器を５００〜６００°Ｃに再加熱してい
るので、容器’Ｚ 溝５５７．する金属の表面、例えば
、ロッドＡ （１）、ロッドＢ（２）、端板Ａ（３）、
端板Ｂ（４）の表面ニ収化被）１４が形成これ、酸化被
膜の除去が必要になると共に、排気管（８）を圧接して
制止したのち、保護キャンプ（９）をロッドＡ （１）
に固着して、排気管（８）の封止したところを覆うよう
にしているので、真空容器の外部シて不必要な突出部が
でさる問題点を有していた。
排気の際に、容器を５００〜６００°Ｃに再加熱してい
るので、容器’Ｚ 溝５５７．する金属の表面、例えば
、ロッドＡ （１）、ロッドＢ（２）、端板Ａ（３）、
端板Ｂ（４）の表面ニ収化被）１４が形成これ、酸化被
膜の除去が必要になると共に、排気管（８）を圧接して
制止したのち、保護キャンプ（９）をロッドＡ （１）
に固着して、排気管（８）の封止したところを覆うよう
にしているので、真空容器の外部シて不必要な突出部が
でさる問題点を有していた。
本究明は前記のような従来の方法のもつ問題点を解決し
て、点字排気の際に再加熱を必要とぜず、金属の表面に
酸化被ｊ模が形成されないと共に、真空容器の外部に不
必要な突出部ができない真空容器の封止方法を提供する
ことを目的とするものである。
て、点字排気の際に再加熱を必要とぜず、金属の表面に
酸化被ｊ模が形成されないと共に、真空容器の外部に不
必要な突出部ができない真空容器の封止方法を提供する
ことを目的とするものである。
本発明け、容器に備えたロッドＡに配設したコラ材Ａに
容器を封止する端板Ａを係止′；！せ、容器の絶縁筒の
上端部と端板Ａとの間に隙間を設けると共に、容器の絶
縁筒の上端部にロウ材Ｂを設定した状態のものを真空排
気装置の甲に投入し、真空排気をしながら８００〜１１
００℃まで加熱し。
容器を封止する端板Ａを係止′；！せ、容器の絶縁筒の
上端部と端板Ａとの間に隙間を設けると共に、容器の絶
縁筒の上端部にロウ材Ｂを設定した状態のものを真空排
気装置の甲に投入し、真空排気をしながら８００〜１１
００℃まで加熱し。
加熱中にロウ材Ａ及びロウ材Ｂを溶解させ、ロウけＡの
溶解により前記係止を解除して、端板ＡをＭ記容器の絶
縁筒の上端部まで移動させ、前記ロウ材ＢでＭｉｌ記容
型容器縁筒の上端部に前記端板Ａをロウ付けして、容器
を前記端柱Ａで封止したのち、容器を常温まで冷却する
ことを特徴とする方法で２ちる。
溶解により前記係止を解除して、端板ＡをＭ記容器の絶
縁筒の上端部まで移動させ、前記ロウ材ＢでＭｉｌ記容
型容器縁筒の上端部に前記端板Ａをロウ付けして、容器
を前記端柱Ａで封止したのち、容器を常温まで冷却する
ことを特徴とする方法で２ちる。
本究明においてに、真空排気をしながら８００〜１１０
０℃ まで加熱し、加シシ〜中ＶＣＯつ材Ａ及びロウオ
Ｂｔ溶触させているり）で、排気工程とロウ付玉哩とか
同時におこなわれている。
０℃ まで加熱し、加シシ〜中ＶＣＯつ材Ａ及びロウオ
Ｂｔ溶触させているり）で、排気工程とロウ付玉哩とか
同時におこなわれている。
以Ｆ、本究明の実施例全図面に基づいて説明す第１ ＋
！／′ｌ及び第２図に本発明の第１実施例を示している
。
！／′ｌ及び第２図に本発明の第１実施例を示している
。
２１Ｓ１ソｉにおいて、容器に（！’ｆｉえたロッドＡ
（１）の中間に番１角形＃ｌ’ｆ Ｃａ１ｌが設けら
ｆｌ、（−の角形１；’１ （＋１）にはロウ材ＡＬ＋
υがはまり込んだ状態で巻き付いている。
（１）の中間に番１角形＃ｌ’ｆ Ｃａ１ｌが設けら
ｆｌ、（−の角形１；’１ （＋１）にはロウ材ＡＬ＋
υがはまり込んだ状態で巻き付いている。
絶；噸筒（５）の上端部には薄板円輪状のロウ材Ｂ （
ｌηが設定されている。ロッドＡ （１） Ｋは端板Ａ
（３）が挿入され、端板Ａ（３）けロウ材Ａα０によっ
て係止され、端板Ａ（３）と絶縁筒（５）の上端部との
間に隙間が設けられている。端板Ａ（３）の上面にはウ
ェイトα０が載置されている。なお、ぐ１）はＸ空排気
の時の気体分子の流れを示している。
ｌηが設定されている。ロッドＡ （１） Ｋは端板Ａ
（３）が挿入され、端板Ａ（３）けロウ材Ａα０によっ
て係止され、端板Ａ（３）と絶縁筒（５）の上端部との
間に隙間が設けられている。端板Ａ（３）の上面にはウ
ェイトα０が載置されている。なお、ぐ１）はＸ空排気
の時の気体分子の流れを示している。
第１図に示すような状態のものを真空排気装置、の中に
投入し、真空排気をしながら８００〜１１００℃まで加
熱すると、容器の中は真空になると共に、ロウ柱入へＯ
とロウ材Ｂ （１７）とが融解するようＫなるっロウ材
Ａ （ｌｆ９の融解により端板Ａ（３）は係止が解除さ
れるので、ウェイトαＯの下向きの力によって下降し、
ロウ材Ｂ（１ηと接触し、絶縁筒（５）の上端部にロウ
付けされ、容器は端板Ａ（３）によって封止されるよう
ＶＣするうこの状態を第２図に示している。七の後、容
器を常温まで冷却して大空容器の樹上作業を完了する。
投入し、真空排気をしながら８００〜１１００℃まで加
熱すると、容器の中は真空になると共に、ロウ柱入へＯ
とロウ材Ｂ （１７）とが融解するようＫなるっロウ材
Ａ （ｌｆ９の融解により端板Ａ（３）は係止が解除さ
れるので、ウェイトαＯの下向きの力によって下降し、
ロウ材Ｂ（１ηと接触し、絶縁筒（５）の上端部にロウ
付けされ、容器は端板Ａ（３）によって封止されるよう
ＶＣするうこの状態を第２図に示している。七の後、容
器を常温まで冷却して大空容器の樹上作業を完了する。
次に、第６図及び第４図μ本発明の第２実施例を示して
いる。第６図において、ロッドＡ（１）の中間には段付
部が形成され、段付部にＪｉｏつ材Ｃα→が巻きつき、
端板Ａ（３）がロウ材Ｂ（Ｉηの溶解により絶縁筒（５
）の上端部にロウ付けされるとさ、ロウ材Ｃ１１９の溶
解によりロットＡ（１）ＶＣもロウ付は濱れるようＶＣ
なっている。第４図は端板Ａ（田で容器を封正しだ状丼
金示している。なお、答謂を封止する手順は前記第１実
施勿ｊの場合と同様であるう次に、４５図及び第６図は
本発明の第３実施例を示している。第５図（′こおいて
、ロット（１）Ｖこは小穴（１′２が水平ダζ設けられ
、小穴ＣＩＺにロウ材Ｄ（１→がＶｊ挿されていも。そ
のため、端板（３）Ｐａｔロウ！ｔ Ｄ ｎｌによって
係止され、端板Ａ（３）と絶縁筒（５）との間に隙間が
役けらハ、でいる。またロッドＡ（１）の中間ＶＣＨ段
付部が形成きれ、段付部にはロウ材Ｃ翰が巻きつ啓、端
板Ａ（３）がロウ材ＢＯηの溶解により絶縁筒（５）に
ロウｆすけされるとき、端板Ａ（３）はロウ材Ｃへυの
ｉ−ｓ； ”ｒ” ＶＣよりロットＡ（１）にロウ付け
されるように１つ−Ｃいる。第６図な端板Ａ（３）で容
器を封止した状傳を示している。なお、容器を封止する
手Ｉ＠ｉは弓・■型巣１夷力雨ｖｉ＋の場合と同様であ
く）。
いる。第６図において、ロッドＡ（１）の中間には段付
部が形成され、段付部にＪｉｏつ材Ｃα→が巻きつき、
端板Ａ（３）がロウ材Ｂ（Ｉηの溶解により絶縁筒（５
）の上端部にロウ付けされるとさ、ロウ材Ｃ１１９の溶
解によりロットＡ（１）ＶＣもロウ付は濱れるようＶＣ
なっている。第４図は端板Ａ（田で容器を封正しだ状丼
金示している。なお、答謂を封止する手順は前記第１実
施勿ｊの場合と同様であるう次に、４５図及び第６図は
本発明の第３実施例を示している。第５図（′こおいて
、ロット（１）Ｖこは小穴（１′２が水平ダζ設けられ
、小穴ＣＩＺにロウ材Ｄ（１→がＶｊ挿されていも。そ
のため、端板（３）Ｐａｔロウ！ｔ Ｄ ｎｌによって
係止され、端板Ａ（３）と絶縁筒（５）との間に隙間が
役けらハ、でいる。またロッドＡ（１）の中間ＶＣＨ段
付部が形成きれ、段付部にはロウ材Ｃ翰が巻きつ啓、端
板Ａ（３）がロウ材ＢＯηの溶解により絶縁筒（５）に
ロウｆすけされるとき、端板Ａ（３）はロウ材Ｃへυの
ｉ−ｓ； ”ｒ” ＶＣよりロットＡ（１）にロウ付け
されるように１つ−Ｃいる。第６図な端板Ａ（３）で容
器を封止した状傳を示している。なお、容器を封止する
手Ｉ＠ｉは弓・■型巣１夷力雨ｖｉ＋の場合と同様であ
く）。
〔発明の曽１束〕
本発明に前記のような方法により、排気工程とロウ付Ｔ
：、秤とが同時におこなわれるので、製造工程が簡略化
できると共に、ロットＡや端板Ａの酸化被膜の発生を防
止でさる効果を有している。四に、本発明は従来の方法
のような排気管の取付けや、排気管の圧接による封止を
必要とせず、しかも保設キャンプの取付けを必要としな
いで、真空容器の外部に不吟要な突出部がでへない等の
効果を有している。
：、秤とが同時におこなわれるので、製造工程が簡略化
できると共に、ロットＡや端板Ａの酸化被膜の発生を防
止でさる効果を有している。四に、本発明は従来の方法
のような排気管の取付けや、排気管の圧接による封止を
必要とせず、しかも保設キャンプの取付けを必要としな
いで、真空容器の外部に不吟要な突出部がでへない等の
効果を有している。
第１図及び第２図は本発明の第１実施例を示しており、
第１図はロウ付は及び排気前の真空容器を示す説明図、
第２図セロウ付は及び排気後の真空容器を示す説明図で
ある。第３図及び第４図は本発明の第２実施例を示して
おり、第３図はロウ付は及び排気前の真空容器を示す説
明図、第４図はロウ付は及び排気後の真空容器を示す説
明図である。第５図及び第６図は本発明の第３実施例を
示しており、第５図げロウ付は及び排気前の真空容器を
示す説明図、第６図はロウ付は及び排気後の真空容器を
示す説明図である。第７図及び＄８図は従来の真空容器
を示しており、第７図は排気前の１工空容器に示す説明
図、第８図は排気後に排気管を川止し、保護キャンプを
泡付けた真空容器を示す説明図である。 １・・・ロット’Ａ、３・・・端板Ａ、５・・・絶縁筒
、１６・・・ロウＨＡ、１７− ｃｆｆつ材Ｂ。 各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第１ 図 ！ ５、地福葡 第３図 ・１ １ｎ 第５ 図 第６図 第７図 第８図
第１図はロウ付は及び排気前の真空容器を示す説明図、
第２図セロウ付は及び排気後の真空容器を示す説明図で
ある。第３図及び第４図は本発明の第２実施例を示して
おり、第３図はロウ付は及び排気前の真空容器を示す説
明図、第４図はロウ付は及び排気後の真空容器を示す説
明図である。第５図及び第６図は本発明の第３実施例を
示しており、第５図げロウ付は及び排気前の真空容器を
示す説明図、第６図はロウ付は及び排気後の真空容器を
示す説明図である。第７図及び＄８図は従来の真空容器
を示しており、第７図は排気前の１工空容器に示す説明
図、第８図は排気後に排気管を川止し、保護キャンプを
泡付けた真空容器を示す説明図である。 １・・・ロット’Ａ、３・・・端板Ａ、５・・・絶縁筒
、１６・・・ロウＨＡ、１７− ｃｆｆつ材Ｂ。 各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第１ 図 ！ ５、地福葡 第３図 ・１ １ｎ 第５ 図 第６図 第７図 第８図
Claims (1)
- 容器に備えたロッドＡに配設したロウ材Ａに容器を封止
する端板Ａを係止させ、容器の絶縁筒の上端部と端板Ａ
との間に隙間を設けると共に、容器の絶縁筒の上端部に
ロウ材Ｂを設定した状態のものを真空排気装置の中に投
入し、真空排気をしながら８００〜１１００℃まで加熱
し、加熱中にロウ材Ａ及びロウ材Ｂを溶解させ、ロウ材
Ａの溶解により前記係止を解除して、端板Ａを前記容器
の絶縁筒の上端部まで移動させ、前記ロウ材Ｂで前記容
器の絶縁筒の上端部に前記端板Ａをロウ付けして、容器
を前記端板Ａで封止したのち、容器を常温まで冷却する
ことを特徴とする真空容器の封止方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20203784A JPS6180729A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 真空容器の封止方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20203784A JPS6180729A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 真空容器の封止方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6180729A true JPS6180729A (ja) | 1986-04-24 |
Family
ID=16450886
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20203784A Pending JPS6180729A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 真空容器の封止方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6180729A (ja) |
-
1984
- 1984-09-28 JP JP20203784A patent/JPS6180729A/ja active Pending
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