JPS6170935U - - Google Patents
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- JPS6170935U JPS6170935U JP15513184U JP15513184U JPS6170935U JP S6170935 U JPS6170935 U JP S6170935U JP 15513184 U JP15513184 U JP 15513184U JP 15513184 U JP15513184 U JP 15513184U JP S6170935 U JPS6170935 U JP S6170935U
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- JP
- Japan
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- recess
- heat treatment
- semiconductor substrate
- protrusion
- rotating disk
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Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15513184U JPH0124928Y2 (US20050075337A1-20050407-C00081.png) | 1984-10-16 | 1984-10-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15513184U JPH0124928Y2 (US20050075337A1-20050407-C00081.png) | 1984-10-16 | 1984-10-16 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6170935U true JPS6170935U (US20050075337A1-20050407-C00081.png) | 1986-05-15 |
| JPH0124928Y2 JPH0124928Y2 (US20050075337A1-20050407-C00081.png) | 1989-07-27 |
Family
ID=30713127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15513184U Expired JPH0124928Y2 (US20050075337A1-20050407-C00081.png) | 1984-10-16 | 1984-10-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0124928Y2 (US20050075337A1-20050407-C00081.png) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05198663A (ja) * | 1992-01-21 | 1993-08-06 | Hitachi Ltd | 試料搬送ホルダ |
| JPH1092915A (ja) * | 1996-08-29 | 1998-04-10 | Samsung Electron Co Ltd | 半導体製造装置のペデスタル |
| JP2002532897A (ja) * | 1998-12-11 | 2002-10-02 | シュテアク エルテーペー システムズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 急速熱処理（ｒｔｐ）システムのためのガス駆動式回転サセプタ |
| JP2004528721A (ja) * | 2001-05-29 | 2004-09-16 | アイクストロン、アーゲー | 支持体およびその上にガス支持され回転駆動される基板保持器から構成される装置 |
-
1984
- 1984-10-16 JP JP15513184U patent/JPH0124928Y2/ja not_active Expired
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05198663A (ja) * | 1992-01-21 | 1993-08-06 | Hitachi Ltd | 試料搬送ホルダ |
| JPH1092915A (ja) * | 1996-08-29 | 1998-04-10 | Samsung Electron Co Ltd | 半導体製造装置のペデスタル |
| JP2002532897A (ja) * | 1998-12-11 | 2002-10-02 | シュテアク エルテーペー システムズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 急速熱処理（ｒｔｐ）システムのためのガス駆動式回転サセプタ |
| JP4705244B2 (ja) * | 1998-12-11 | 2011-06-22 | シュテアク エルテーペー システムズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 急速熱処理（ｒｔｐ）システムのためのガス駆動式回転サセプタ及び急速熱処理する方法 |
| JP2004528721A (ja) * | 2001-05-29 | 2004-09-16 | アイクストロン、アーゲー | 支持体およびその上にガス支持され回転駆動される基板保持器から構成される装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0124928Y2 (US20050075337A1-20050407-C00081.png) | 1989-07-27 |
