JPS6166139A - フイルタ膜検査装置 - Google Patents
フイルタ膜検査装置Info
- Publication number
- JPS6166139A JPS6166139A JP18803584A JP18803584A JPS6166139A JP S6166139 A JPS6166139 A JP S6166139A JP 18803584 A JP18803584 A JP 18803584A JP 18803584 A JP18803584 A JP 18803584A JP S6166139 A JPS6166139 A JP S6166139A
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- JP
- Japan
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- filter film
- angle
- light
- inspected
- wavelength
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光学系に於けるフィルタ膜を、基準フィルタ
膜をもとに検査するフィルタ膜検査装置に関するもので
ある。
膜をもとに検査するフィルタ膜検査装置に関するもので
ある。
光通信システムや各種の光学系に於いては、特定波長帯
の光のみ抽出する為のバンドパスフィル夕や、特定波長
以下の波長の光のみ透過させるローパスフィルタ等の各
種の光学フィルタが用いられている。このような各種の
光学フィルタの検査は、従来分光器等を用いた可変波長
光源からの光を被検査フィルタ膜に入射させ、波長をス
ィーブさせて、フィルタ膜の波長特性を検査するもので
あった。
の光のみ抽出する為のバンドパスフィル夕や、特定波長
以下の波長の光のみ透過させるローパスフィルタ等の各
種の光学フィルタが用いられている。このような各種の
光学フィルタの検査は、従来分光器等を用いた可変波長
光源からの光を被検査フィルタ膜に入射させ、波長をス
ィーブさせて、フィルタ膜の波長特性を検査するもので
あった。
第３図は従来のフィルタ膜の検査装置の説明図であり、
分光器１０から前述のように順次界なる波長の光を出力
し、その光をレンズ１１により平行光線として被検査フ
ィルタ膜１２に入射させ、被検査フィルタ膜１２の透過
光を光検出部１３により検出して、表示又は記録等の処
理を行う検出処理部１４にその検出出力を加えて、波長
特性を測定するものであった。
分光器１０から前述のように順次界なる波長の光を出力
し、その光をレンズ１１により平行光線として被検査フ
ィルタ膜１２に入射させ、被検査フィルタ膜１２の透過
光を光検出部１３により検出して、表示又は記録等の処
理を行う検出処理部１４にその検出出力を加えて、波長
特性を測定するものであった。
被検査フィルタ膜１２によってバンドパスフィルタを構
成している場合に、分光器１０からλ。
成している場合に、分光器１０からλ。
〜λ２の波長範囲で出力光を変化させ、光検出部１３の
検出出力を記録した時、例えば、第４図に示す波長特性
が得られることになる。この波長時性から中心波長λ。
検出出力を記録した時、例えば、第４図に示す波長特性
が得られることになる。この波長時性から中心波長λ。
及び波長帯域幅が許容範囲内のものであるか否か検査す
ることになる。
ることになる。
被検査フィルタ膜１２を透過して光検出部１３に入射さ
れる光は、ｊｍ常は非常に微弱なものとなるから、この
微弱光に対する光検出部１３の応答速度が遅くなり、そ
の為に分光器１０による波長のスイープを高速化できな
いものであった。又被検査フィルタ膜１２の波長特性を
正確に測定する為には、数ｎｍの波長毎に測定点を設定
することになり、例えば、１００点程度の測定点を必要
とするものであった。このように波長スイープを低速で
行うと共に測定点が多いことによって、一つのフィルタ
膜に対する検査時間が長くなる欠点があった。又分光器
１０は高価であるから、検査装置全体が高価となる欠点
があった。
れる光は、ｊｍ常は非常に微弱なものとなるから、この
微弱光に対する光検出部１３の応答速度が遅くなり、そ
の為に分光器１０による波長のスイープを高速化できな
いものであった。又被検査フィルタ膜１２の波長特性を
正確に測定する為には、数ｎｍの波長毎に測定点を設定
することになり、例えば、１００点程度の測定点を必要
とするものであった。このように波長スイープを低速で
行うと共に測定点が多いことによって、一つのフィルタ
膜に対する検査時間が長くなる欠点があった。又分光器
１０は高価であるから、検査装置全体が高価となる欠点
があった。
本発明は、廉価な構成で短時間に被検査フィルタ膜の検
査を可能とすることを目的とするものである。
査を可能とすることを目的とするものである。
本発明のフィルタ膜検査装置は、白色光源と、この白色
光源からの白色光を入射させる基準フィルタ膜と、この
基準フィルタ膜を透過した光を入射させる被検査フィル
タ膜と、この被検査フィルタ膜を透過した光を検出する
光検出部と、前記基【セフィルタ膜又は前記被検査フィ
ルタ膜の何れか一方を入射光に対して角度を変化させそ
の角度に対応した前記光検出部の検出出力信号を測定す
る手段とを備えているものである。
光源からの白色光を入射させる基準フィルタ膜と、この
基準フィルタ膜を透過した光を入射させる被検査フィル
タ膜と、この被検査フィルタ膜を透過した光を検出する
光検出部と、前記基【セフィルタ膜又は前記被検査フィ
ルタ膜の何れか一方を入射光に対して角度を変化させそ
の角度に対応した前記光検出部の検出出力信号を測定す
る手段とを備えているものである。
フィルタ膜の波長特性が光の入射角度に依存するもので
あるから、基準フィルタ膜又は被検査フィルタ膜の何れ
か一方の角度を変化させて、その角度対応の透過光を光
検出部で検出し、基準フィルタ膜と被検査フィルタ膜と
が同一角度に於いて所定の透過光検出出力が得られた場
合は、基準フィルタ膜と被検査フィルタ膜とは同一の波
長特性を有する゛と判１祈し、又基準フィルタ膜と被検
査フィルタ膜とが同一角度に於いて透過光検出出力が最
大値となるが所定の値より小さい場合は、基準フィルタ
膜に対して被検査フィルタ膜の波長特性曲線の形状が異
なると判断し、又基準フィルタ膜と被検査フィルタ膜と
が異なる角度に於いて透過光検出出力が最大値で且つ所
定の値となった場合は、基準フィルタ膜に対して被検査
フィルタ膜の例えば中心波長がずれていると判断するも
のである。
あるから、基準フィルタ膜又は被検査フィルタ膜の何れ
か一方の角度を変化させて、その角度対応の透過光を光
検出部で検出し、基準フィルタ膜と被検査フィルタ膜と
が同一角度に於いて所定の透過光検出出力が得られた場
合は、基準フィルタ膜と被検査フィルタ膜とは同一の波
長特性を有する゛と判１祈し、又基準フィルタ膜と被検
査フィルタ膜とが同一角度に於いて透過光検出出力が最
大値となるが所定の値より小さい場合は、基準フィルタ
膜に対して被検査フィルタ膜の波長特性曲線の形状が異
なると判断し、又基準フィルタ膜と被検査フィルタ膜と
が異なる角度に於いて透過光検出出力が最大値で且つ所
定の値となった場合は、基準フィルタ膜に対して被検査
フィルタ膜の例えば中心波長がずれていると判断するも
のである。
以下図面を参照して、本発明の実施例について詳細に説
明する。
明する。
第１図は本発明の詳細な説明図であり、１は白色光源、
２はレンズ、３は基準フィルタ膜、４ば被検査フィルタ
膜、５は光検出部、６は検出処理部である。白色光源Ｉ
は、被検査フィルタ膜４０波長範囲に対応した波長範囲
の光を含む光源であり、例えば、ハロゲンランプと光学
フィルタとの組合せ、又は発光ダイオード等により構成
することができる。又基準フィルタ膜３又は被検査フィ
ルタ膜４の何れか一方の角度を変化できる構成とするも
のであり、第１図に於いては、被検査フィルタ膜４の角
度を変化する場合を示す。
２はレンズ、３は基準フィルタ膜、４ば被検査フィルタ
膜、５は光検出部、６は検出処理部である。白色光源Ｉ
は、被検査フィルタ膜４０波長範囲に対応した波長範囲
の光を含む光源であり、例えば、ハロゲンランプと光学
フィルタとの組合せ、又は発光ダイオード等により構成
することができる。又基準フィルタ膜３又は被検査フィ
ルタ膜４の何れか一方の角度を変化できる構成とするも
のであり、第１図に於いては、被検査フィルタ膜４の角
度を変化する場合を示す。
誘電体多層膜によりフィルタ膜を構成した場合の波長特
性は、光の入射角度に依存するものであり、例えば、中
心波長が０．８〜１．３μｍのバンドパスフィルタに於
いては、波長特性の入射角度依存性は、数度の角度範囲
内で、中心波長が３〜５（ｎ ｍ／度〕の割合で変化す
るものである。又バンドパスフィルタとして使用する場
合は、フィルタ膜に対して成る角度で光を入射させる構
成とすることが一般的であるから、第１図に於いては、
基準フィルタ膜３を成る角度θ。で傾斜させて配置して
いる。
性は、光の入射角度に依存するものであり、例えば、中
心波長が０．８〜１．３μｍのバンドパスフィルタに於
いては、波長特性の入射角度依存性は、数度の角度範囲
内で、中心波長が３〜５（ｎ ｍ／度〕の割合で変化す
るものである。又バンドパスフィルタとして使用する場
合は、フィルタ膜に対して成る角度で光を入射させる構
成とすることが一般的であるから、第１図に於いては、
基準フィルタ膜３を成る角度θ。で傾斜させて配置して
いる。
又被検査フィルタ膜４の基準位置は、基準フィルタ膜３
と同一の角度θ。で傾斜させて配置し、これを中心とし
て、＋Δθの位置４１と−Δθの位置４゛との範囲内で
角度を変化させる構成とするものである。この被検査フ
ィルタ膜４の角度を変化させる手段は、基準位置に対す
る角度情報が得られる構成とするものであり、公知の手
動、自動等の任意の構成を採用することができるもので
あって、その角度変化の為の構成の図示は省略している
。
と同一の角度θ。で傾斜させて配置し、これを中心とし
て、＋Δθの位置４１と−Δθの位置４゛との範囲内で
角度を変化させる構成とするものである。この被検査フ
ィルタ膜４の角度を変化させる手段は、基準位置に対す
る角度情報が得られる構成とするものであり、公知の手
動、自動等の任意の構成を採用することができるもので
あって、その角度変化の為の構成の図示は省略している
。
前述のバンドパスフィルタを構成する基準フィルタ膜３
及び被検査フィルタ膜４の場合、被検査フィルタ膜４の
角度変化と光検出部５の検出出力との一例を第２図に示
す。同図に於いて、横軸は、フィルタ膜の波長特性の入
射角度依存性が、３［ｎｍ／度〕の場合に、基準フィル
タ膜３と同一角度θ。の時を０ じ〕とし、且つシフト
波長を０ （ｎｍ）として示し、縦軸は、光検出部５の
検出出力が所定の値即ち基準フィルタ膜３と被検査フィ
ルタ膜４とが全く同じ波長特性である時の同一角度に於
ける検出出力を１００ 〔％〕として示すものである。
及び被検査フィルタ膜４の場合、被検査フィルタ膜４の
角度変化と光検出部５の検出出力との一例を第２図に示
す。同図に於いて、横軸は、フィルタ膜の波長特性の入
射角度依存性が、３［ｎｍ／度〕の場合に、基準フィル
タ膜３と同一角度θ。の時を０ じ〕とし、且つシフト
波長を０ （ｎｍ）として示し、縦軸は、光検出部５の
検出出力が所定の値即ち基準フィルタ膜３と被検査フィ
ルタ膜４とが全く同じ波長特性である時の同一角度に於
ける検出出力を１００ 〔％〕として示すものである。
第２図の実線曲線ａは、角度０じ〕に於いて１００〔％
〕の最大検出出力となり、角度を十又は一方向に変化す
るに従って検出出力は低下する特性の場合を示し、基準
フィルタ膜３と同一の角度θ０の時に、所定の最大検出
出力が得られるので、このような特性の被検査フィルタ
膜４は、基準フィルタ膜３と同一の波長特性を有するこ
とになる。
〕の最大検出出力となり、角度を十又は一方向に変化す
るに従って検出出力は低下する特性の場合を示し、基準
フィルタ膜３と同一の角度θ０の時に、所定の最大検出
出力が得られるので、このような特性の被検査フィルタ
膜４は、基準フィルタ膜３と同一の波長特性を有するこ
とになる。
又点線曲線すは、被検査フィルタｎり４を基準位置から
＋３じ〕変化させた時に、１００（％〕の最大検出出力
となり、はぼ実線曲線ａを右方向にシフトさせた特性の
場合を示し、このような特性の被検査フィルタ膜４は、
基準フィルタ膜３の中心波長に対して、−９（ｎｍ）シ
フトした中心波長を存する波長特性を有するものである
。従って、中心波長のずれの許容範囲を＋１０じ〕とす
ると、この場合の被検査フィルタ膜４は許容範囲内のも
のであると判断できることになる。
＋３じ〕変化させた時に、１００（％〕の最大検出出力
となり、はぼ実線曲線ａを右方向にシフトさせた特性の
場合を示し、このような特性の被検査フィルタ膜４は、
基準フィルタ膜３の中心波長に対して、−９（ｎｍ）シ
フトした中心波長を存する波長特性を有するものである
。従って、中心波長のずれの許容範囲を＋１０じ〕とす
ると、この場合の被検査フィルタ膜４は許容範囲内のも
のであると判断できることになる。
又鎖線曲線Ｃは、検出出力の最大値が０１〕の角度で生
じているが、その最大値は、所定の値であるところの１
００〔％〕より小さい値の場合を示し、このような特性
の被検査フィルタ膜４は、基準フィルタ膜３と中心波長
は同一であるが、波長特性曲線の形状が異なる特性を有
するものである。この場合、波長特性曲線の形状のずれ
が大きい程、最大値が小さくなるから、最大値の許容範
囲を定めておくことにより、被検査フィルタ膜４が基準
フィルタ膜３に対して許容範囲内の特性を有するもので
あるか否かを判断することができる。
じているが、その最大値は、所定の値であるところの１
００〔％〕より小さい値の場合を示し、このような特性
の被検査フィルタ膜４は、基準フィルタ膜３と中心波長
は同一であるが、波長特性曲線の形状が異なる特性を有
するものである。この場合、波長特性曲線の形状のずれ
が大きい程、最大値が小さくなるから、最大値の許容範
囲を定めておくことにより、被検査フィルタ膜４が基準
フィルタ膜３に対して許容範囲内の特性を有するもので
あるか否かを判断することができる。
前述のように、被検査フィルタ膜４の角度と光検出部５
の検出出力とを対応付けて記録又は表示することによっ
て、基準フィルタ膜３の特性に対する被検査フィルタ膜
４のずれを容易に識別することができる。又測定点も僅
かで済むから、短時間で検査を行うことができる。又被
検査フィルタ膜４の角度変化は、手動、自動の何れでも
可能であり、手動の場合は、被検査フィルタ膜４の角度
変化を角度目盛等で読取り、その時の光検出部５の検出
出力をプロットすれば良いことになる。又自動化する場
合は、モータや電磁石等により基準位置から＋Δθと−
Δθの範囲内で変化させ、角度センサ例えば回転エンコ
ーダ等を用いて被検査フィルタ膜４の角度情報を検出処
理部６に入力し、その角度情報と光検出部５の検出出力
とにより、第２図に示す特性曲線を表示或いは印字出力
しく９） て、被検査フィルタ膜４が許容範囲内の波長特性を有す
るものであるか否かを判断するか、或いは、検出処理部
６で許容範囲内の波長特性であるか否かを判断させるこ
とができる。
の検出出力とを対応付けて記録又は表示することによっ
て、基準フィルタ膜３の特性に対する被検査フィルタ膜
４のずれを容易に識別することができる。又測定点も僅
かで済むから、短時間で検査を行うことができる。又被
検査フィルタ膜４の角度変化は、手動、自動の何れでも
可能であり、手動の場合は、被検査フィルタ膜４の角度
変化を角度目盛等で読取り、その時の光検出部５の検出
出力をプロットすれば良いことになる。又自動化する場
合は、モータや電磁石等により基準位置から＋Δθと−
Δθの範囲内で変化させ、角度センサ例えば回転エンコ
ーダ等を用いて被検査フィルタ膜４の角度情報を検出処
理部６に入力し、その角度情報と光検出部５の検出出力
とにより、第２図に示す特性曲線を表示或いは印字出力
しく９） て、被検査フィルタ膜４が許容範囲内の波長特性を有す
るものであるか否かを判断するか、或いは、検出処理部
６で許容範囲内の波長特性であるか否かを判断させるこ
とができる。
以上説明したように、本発明は、白色光源１からの白色
光を入射させる基準フィルタ膜３と、基準フィルタ膜３
を透過した光を入射させる被検査フィルタ膜４と、被検
査フィルタ膜４の透過光を検出する光検出部５と、基準
フィルタ膜３又は被検査フィルタ膜４の何れか一方の角
度を変化させて光検出部５の検出出力信号を測定する検
出処理部６等の手段とを備えたものであり、光源として
は、白色光源１を用いるものであるから、従来例の分光
器を用いる場合に比較して廉価な構成となる。又基準フ
ィルタ膜３又は被検査フィルタ膜４の何れか一方の角度
を変化させて、透過光の検出出力を測定するものであり
、測定点も僅かで済むから、検査所要時間が短くなる利
点がある。
光を入射させる基準フィルタ膜３と、基準フィルタ膜３
を透過した光を入射させる被検査フィルタ膜４と、被検
査フィルタ膜４の透過光を検出する光検出部５と、基準
フィルタ膜３又は被検査フィルタ膜４の何れか一方の角
度を変化させて光検出部５の検出出力信号を測定する検
出処理部６等の手段とを備えたものであり、光源として
は、白色光源１を用いるものであるから、従来例の分光
器を用いる場合に比較して廉価な構成となる。又基準フ
ィルタ膜３又は被検査フィルタ膜４の何れか一方の角度
を変化させて、透過光の検出出力を測定するものであり
、測定点も僅かで済むから、検査所要時間が短くなる利
点がある。
第１図は本発明の詳細な説明図、第２図は本発明の実施
例に於ける測定曲線の説明図、第３図は従来の検査装置
の説明図、第４図はバンドパスフィルタの波長特性曲線
図である。 １は白色光源、２はレンズ、３は基準フィルタ膜、４は
被検査フィルタ膜、５は光検出部、６は検出処理部であ
る。
例に於ける測定曲線の説明図、第３図は従来の検査装置
の説明図、第４図はバンドパスフィルタの波長特性曲線
図である。 １は白色光源、２はレンズ、３は基準フィルタ膜、４は
被検査フィルタ膜、５は光検出部、６は検出処理部であ
る。
Claims (1)
- 白色光源と、該白色光源からの白色光を入射させる基準
フィルタ膜と、該基準フィルタ膜を透過した光を入射さ
せる被検査フィルタ膜と、該被検査フィルタ膜を透過し
た光を検出する光検出部と、前記基準フィルタ膜又は前
記被検査フィルタ膜の何れか一方を入射光に対して角度
を変化させ該角度に対応した前記光検出部の検出出力信
号を測定する手段とを備えたことを特徴とするフィルタ
膜検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18803584A JPS6166139A (ja) | 1984-09-10 | 1984-09-10 | フイルタ膜検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18803584A JPS6166139A (ja) | 1984-09-10 | 1984-09-10 | フイルタ膜検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6166139A true JPS6166139A (ja) | 1986-04-04 |
| JPH0460212B2 JPH0460212B2 (ja) | 1992-09-25 |
Family
ID=16216525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18803584A Granted JPS6166139A (ja) | 1984-09-10 | 1984-09-10 | フイルタ膜検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6166139A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6450001A (en) * | 1987-08-21 | 1989-02-27 | Asahi Optical Co Ltd | Wavelength band adjusting method for luminous flux of optical system |
| JP2003004589A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-01-08 | Jasco Corp | リジェクションフィルタの光学特性測定方法及びその装置 |
-
1984
- 1984-09-10 JP JP18803584A patent/JPS6166139A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6450001A (en) * | 1987-08-21 | 1989-02-27 | Asahi Optical Co Ltd | Wavelength band adjusting method for luminous flux of optical system |
| JP2003004589A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-01-08 | Jasco Corp | リジェクションフィルタの光学特性測定方法及びその装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0460212B2 (ja) | 1992-09-25 |
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