JPS6164155A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
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- JPS6164155A JPS6164155A JP59185393A JP18539384A JPS6164155A JP S6164155 A JPS6164155 A JP S6164155A JP 59185393 A JP59185393 A JP 59185393A JP 18539384 A JP18539384 A JP 18539384A JP S6164155 A JPS6164155 A JP S6164155A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0216—Coatings
- H01L31/02161—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02162—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
- H01L31/02164—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors for shielding light, e.g. light blocking layers, cold shields for infrared detectors
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- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
瑳亙圀j
本発明は固体撮像!Ic置、とくに、 MOSやCCD
などの固体撮像デバイスを用いて静止画撮影を行なう固
体撮像装置に関するものである。
などの固体撮像デバイスを用いて静止画撮影を行なう固
体撮像装置に関するものである。
12亘3
従来、静止画撮影では、固体撮像デバイスの撮像面の前
方の光学系に配設され機械的に動作する光学シャッタを
所望の時間開放することによって、撮像面の撮像セルを
画像光で露光し、静止画像を撮影していた。しかし、こ
のような機械的に動作するシャッタでは、スチルカメラ
の小型化を進める上で、それをさまたげる−因となって
いる。
方の光学系に配設され機械的に動作する光学シャッタを
所望の時間開放することによって、撮像面の撮像セルを
画像光で露光し、静止画像を撮影していた。しかし、こ
のような機械的に動作するシャッタでは、スチルカメラ
の小型化を進める上で、それをさまたげる−因となって
いる。
旦−一的
本発明はこのような従来技術の欠点を111’i L
。
。
コンパクトなシャンク機能を提供することを目的と干る
。
。
え」J口13
本発明によれば、入射光に応動する感光領域が画素に対
応して2次元に配列された撮像面を有する固体撮像デバ
イスを含む固体+i像装置は、撮像面を覆って配設され
感光領域のそれぞれに対応して配列された第1および第
2のセグメントを有する光学フィルタ手段と、感光領域
に対するセグメントの相対的位置を変える変位手段とを
含み、各感光領域は、撮像面の1画素の面積のたかだか
半分を占め、第1のセグメントは入射光を遮光する材料
を含み、tJS2のセグメントは入射光を透過する材料
を含み、変位手段は、通常は第1のセグメントを各感光
領域の上に位置させ、感光領域に入射光を照射させると
きは、所望の期間第2のセグメントを実質的に各感光領
域の上に位置させるものである。
応して2次元に配列された撮像面を有する固体撮像デバ
イスを含む固体+i像装置は、撮像面を覆って配設され
感光領域のそれぞれに対応して配列された第1および第
2のセグメントを有する光学フィルタ手段と、感光領域
に対するセグメントの相対的位置を変える変位手段とを
含み、各感光領域は、撮像面の1画素の面積のたかだか
半分を占め、第1のセグメントは入射光を遮光する材料
を含み、tJS2のセグメントは入射光を透過する材料
を含み、変位手段は、通常は第1のセグメントを各感光
領域の上に位置させ、感光領域に入射光を照射させると
きは、所望の期間第2のセグメントを実質的に各感光領
域の上に位置させるものである。
ヱ10乳!」L男
次に添付図面を参照して本発明による固体撮像装置の実
施例を詳細に説明する。
施例を詳細に説明する。
第1図および第2図を参照すると、本発明による固体撮
像装置の実施例では、全体として直方体をなす筐体10
にMOS型またはCCD型などの固体撮像デバイス12
が1図示のように2次元の撮像セルアレイ14を上にし
て装着されている。その上方には、本実施例では色フィ
ルタ16が配設され、その四隅が支持体18および圧電
バイモルフ20および22を介して償体lOに支持され
ている0色フィルタ16は、色フィルタセグメントが撮
像セルアレイ14に対応して2次元に配列されたセグメ
ントアレイ2Bを有している。フィルタ16と撮像セル
アレイ14との間隔は、スペーサ24によって所定の値
、たとえば5〜500gm11度に保持されている。
像装置の実施例では、全体として直方体をなす筐体10
にMOS型またはCCD型などの固体撮像デバイス12
が1図示のように2次元の撮像セルアレイ14を上にし
て装着されている。その上方には、本実施例では色フィ
ルタ16が配設され、その四隅が支持体18および圧電
バイモルフ20および22を介して償体lOに支持され
ている0色フィルタ16は、色フィルタセグメントが撮
像セルアレイ14に対応して2次元に配列されたセグメ
ントアレイ2Bを有している。フィルタ16と撮像セル
アレイ14との間隔は、スペーサ24によって所定の値
、たとえば5〜500gm11度に保持されている。
図示のように、左側の2つのバイモルフ20は接続va
30によって、また、右側の2つのバイモルフ20は接
続線32によってパルス源34に接続されている。同様
に、下側の2つのバイモルフ22は接続線3Bによって
、また、上側の2つのバイモルフ22は接続線3Bによ
ってパルス源34に接続されている。
30によって、また、右側の2つのバイモルフ20は接
続線32によってパルス源34に接続されている。同様
に、下側の2つのバイモルフ22は接続線3Bによって
、また、上側の2つのバイモルフ22は接続線3Bによ
ってパルス源34に接続されている。
両パルス源34および40は、制御回路80によって制
御される。制御回路60には、本装置のカメラと・して
のシャツタレリーズボタンに連動するスイッチ62が接
続されている。制御回路θ0は、このスイッチ62の開
成に応動してパルス源34および40、ならびに撮像デ
バイス12の映像信号読出し動作を制御する回路である
。
御される。制御回路60には、本装置のカメラと・して
のシャツタレリーズボタンに連動するスイッチ62が接
続されている。制御回路θ0は、このスイッチ62の開
成に応動してパルス源34および40、ならびに撮像デ
バイス12の映像信号読出し動作を制御する回路である
。
パルス源34は、制御回路BOの制御の下に、その出力
30にたとえば第6図に示すような波形の電圧パルスV
HI を発生し、その出力32にはこれと位相が180
°反転した波形の電圧パルスVH2を発生する。そのパ
ルス高v1は、所定の電圧42に接続された半固定抵抗
44によって調整され、また、その直流シフト分V2は
所定の電圧4Gに接続された半固定抵抗48によって調
整される。
30にたとえば第6図に示すような波形の電圧パルスV
HI を発生し、その出力32にはこれと位相が180
°反転した波形の電圧パルスVH2を発生する。そのパ
ルス高v1は、所定の電圧42に接続された半固定抵抗
44によって調整され、また、その直流シフト分V2は
所定の電圧4Gに接続された半固定抵抗48によって調
整される。
同様に、パルス源40は、その出力3Bにたとえば第7
図に示すような波形の電圧パルスvvlを発生し、その
出力38にはこれと位相が180”反転した波形の電圧
パルスVV2を発生する。そのパルス幅Tは、前述のパ
ルスVHIなどと同じである。そのパルス高v3は、所
定の電圧50に接続された半固定抵抗52によって調整
され、また、その直流シフト分v4は所定の電圧54に
接続された半固定抵抗56によって調整される0両パル
ス源34および40は、制御回路60によって同期して
制御される。
図に示すような波形の電圧パルスvvlを発生し、その
出力38にはこれと位相が180”反転した波形の電圧
パルスVV2を発生する。そのパルス幅Tは、前述のパ
ルスVHIなどと同じである。そのパルス高v3は、所
定の電圧50に接続された半固定抵抗52によって調整
され、また、その直流シフト分v4は所定の電圧54に
接続された半固定抵抗56によって調整される0両パル
ス源34および40は、制御回路60によって同期して
制御される。
バイモルフ20は、フィルタIBの水平(H)方向の位
置を調整するものである0本実施例では、バイモルフ2
0に印加される電圧VHIおよびVH2に応じてフィル
タIBが水平方向に移動する。したがって、パルス状に
電圧VHIおよびV)12が印加されると、フィルタ1
8はそれに応じて左右に移動する。
置を調整するものである0本実施例では、バイモルフ2
0に印加される電圧VHIおよびVH2に応じてフィル
タIBが水平方向に移動する。したがって、パルス状に
電圧VHIおよびV)12が印加されると、フィルタ1
8はそれに応じて左右に移動する。
同様に、バイモルフ22は、フィルタIBの垂直(V)
方向の位置を調整するものである0本実施例では、バイ
モルフ22に印加される電圧VVIおよびVV2に応じ
てフィルタ16が垂直方向に移動する。
方向の位置を調整するものである0本実施例では、バイ
モルフ22に印加される電圧VVIおよびVV2に応じ
てフィルタ16が垂直方向に移動する。
したがって、パルス状に電圧VVIおよびVV2が印加
されると、フィルタ16はそれに応じて上下に移動する
。
されると、フィルタ16はそれに応じて上下に移動する
。
コレラノ印加電圧V)II、 VH2オ、l:びVVI
、 VV217)ソれぞれの直流分り2およびv4を半
固定抵抗喀8および56によって相対的にwR整し、こ
れによって、フィルタ18のセグメントアレイ2Bの特
定の位置を撮像セルアレイIBの特定の位置に合わせる
、すなわち両者の原点の位置合せを行なうことができる
。また、印加電圧VHI、 VH2オヨびVVI、 V
V217)七hツレのパルス高v1およびv3を半固定
抵抗44および52によって相対的に調整し、これによ
って、フィルタ16のセグメントアレイ2Bが撮像セル
アレイ16に対してそれに垂直な軸を中心とする回転角
を調整することかでさる。
、 VV217)ソれぞれの直流分り2およびv4を半
固定抵抗喀8および56によって相対的にwR整し、こ
れによって、フィルタ18のセグメントアレイ2Bの特
定の位置を撮像セルアレイIBの特定の位置に合わせる
、すなわち両者の原点の位置合せを行なうことができる
。また、印加電圧VHI、 VH2オヨびVVI、 V
V217)七hツレのパルス高v1およびv3を半固定
抵抗44および52によって相対的に調整し、これによ
って、フィルタ16のセグメントアレイ2Bが撮像セル
アレイ16に対してそれに垂直な軸を中心とする回転角
を調整することかでさる。
通常、装置を組み立てる際、デバイス12の撮像セルア
レイ!4に対するフィルタセグメントアレイ2Bのおお
まかな整合が行なわれる。さらに精密な整合は、これら
の電圧v1〜v4をW堕することによって行なわれる。
レイ!4に対するフィルタセグメントアレイ2Bのおお
まかな整合が行なわれる。さらに精密な整合は、これら
の電圧v1〜v4をW堕することによって行なわれる。
この精密整合では、上述のようにして、撮像セルアレイ
14に対してフィルタセグメントアレイ28を位置的に
正しく整合させることができる。
14に対してフィルタセグメントアレイ28を位置的に
正しく整合させることができる。
撮像セルアレイ2Bには、本実施例では水平(H)方向
に380画素、垂直(V)方向に480画素に相当する
撮像セル100(第3図)が行列状に配置されている。
に380画素、垂直(V)方向に480画素に相当する
撮像セル100(第3図)が行列状に配置されている。
第3図には、それらのうち隣接する2つのセル100を
示している。セル100の表面は、たとえばアルミニウ
ムなどの金属蒸着層102にて遮光され、その一部に光
学開口104が形成されている。技術の現状では、撮像
デバイスの素子の1つの画素において光学開口部が占め
る割合は、たかだか20〜50%程度1通常は約30%
以下である6本実施例では、このような通常の撮像デバ
イスが有利に使用され、たとえば水平方向の長さにおい
て開口部104は画素ピッチのI72以下である。
示している。セル100の表面は、たとえばアルミニウ
ムなどの金属蒸着層102にて遮光され、その一部に光
学開口104が形成されている。技術の現状では、撮像
デバイスの素子の1つの画素において光学開口部が占め
る割合は、たかだか20〜50%程度1通常は約30%
以下である6本実施例では、このような通常の撮像デバ
イスが有利に使用され、たとえば水平方向の長さにおい
て開口部104は画素ピッチのI72以下である。
本実施例で撮像セルアレイ14の上方に配設されている
色フィルタ18は、1つの画素当り2つのセグメン)1
10aおよび1 jobが配置されている0本実施例で
は、一方のセグメント1loaは光を遮光する材料を含
み、またはそのような材料で構成されている。また他方
のセグメントttobは、光を透過する材料で構成され
1本実施例では、それぞれ各撮像セル100への入射光
を色分離するように配列された色フィルタセグメントを
構成している。この色セグメント配列は、従来知られて
いる原色系または補色系のいずれの配列も有利に使用さ
れる。
色フィルタ18は、1つの画素当り2つのセグメン)1
10aおよび1 jobが配置されている0本実施例で
は、一方のセグメント1loaは光を遮光する材料を含
み、またはそのような材料で構成されている。また他方
のセグメントttobは、光を透過する材料で構成され
1本実施例では、それぞれ各撮像セル100への入射光
を色分離するように配列された色フィルタセグメントを
構成している。この色セグメント配列は、従来知られて
いる原色系または補色系のいずれの配列も有利に使用さ
れる。
第4図からよくわかるように、撮像セル100の配列さ
れているピッチの172でフィルタセグメントアレイ2
Bのセグメン) 1lOaおよび110bが配列されて
いる。したがって、非露光状態における光の受光開口部
1G4への回り込みをなくし、それによるスミアを防ぐ
ためには、フィルタセグメント110bの大きさは、受
光開口部!04の面積を力/(−することができる程度
か、またはそれ以下とし。
れているピッチの172でフィルタセグメントアレイ2
Bのセグメン) 1lOaおよび110bが配列されて
いる。したがって、非露光状態における光の受光開口部
1G4への回り込みをなくし、それによるスミアを防ぐ
ためには、フィルタセグメント110bの大きさは、受
光開口部!04の面積を力/(−することができる程度
か、またはそれ以下とし。
残りの部分を遮光セグメント+10aが占めることが望
ましい。
ましい。
通常の状態、すなわち撮像デバイス12の撮像面14を
露光しない非露光状態では、第4図に示すように、遮光
セグメン) +10aが光学開口104の上方に位置す
るように、パルス源34および40の直流バイアスv2
およびv4が調整される。したがって、本撮像装置への
入射光は、遮光セグメント!10aによって十分に遮光
され、開口部104に入射しない、なお、好ましくは、
これらの直流バイアスv2およびv4が非露光状態でO
となるように、フィルタセグメントアレイ2Bの撮像面
14に対する相対的位置を機械的に整合させておく。
露光しない非露光状態では、第4図に示すように、遮光
セグメン) +10aが光学開口104の上方に位置す
るように、パルス源34および40の直流バイアスv2
およびv4が調整される。したがって、本撮像装置への
入射光は、遮光セグメント!10aによって十分に遮光
され、開口部104に入射しない、なお、好ましくは、
これらの直流バイアスv2およびv4が非露光状態でO
となるように、フィルタセグメントアレイ2Bの撮像面
14に対する相対的位置を機械的に整合させておく。
第8図に示すように、フィルタ1Bの上にマイクロレン
ズ120を形成してもよい、マイクロレンズ+20は1
図示のように、フィルタセグメン)110aおよび1l
Qbの配列ピッチに合わせてレンズセグメン) 122
aおよび122bが配列されている。なお、遮光セグメ
ント110aに対応するレンズセグメント122aは木
質的には不要である。レンズセグメント122bは、屈
折率が所定の分布をなし、各セグメントに入射した光が
titデバイスの撮像面上に集光するように構成されて
いる。これによって、撮像セル100の実質開口率が相
対的に向hL、 スミア成分の発生が少なくなるので
、ざらに高感度を達成できる。
ズ120を形成してもよい、マイクロレンズ+20は1
図示のように、フィルタセグメン)110aおよび1l
Qbの配列ピッチに合わせてレンズセグメン) 122
aおよび122bが配列されている。なお、遮光セグメ
ント110aに対応するレンズセグメント122aは木
質的には不要である。レンズセグメント122bは、屈
折率が所定の分布をなし、各セグメントに入射した光が
titデバイスの撮像面上に集光するように構成されて
いる。これによって、撮像セル100の実質開口率が相
対的に向hL、 スミア成分の発生が少なくなるので
、ざらに高感度を達成できる。
ところで第6図および第7図に示すように、時刻しにお
いてシャツタレリーズボタンを押すとスイッチ62が一
時的に閉成し、制御回路60は、パルス源34および4
0を駆動する。これによって、四回に示すような波形の
パルス電圧VHI、 VH2およびVVI 、VV2が
それらから、それぞれバイモルフ20および22に印加
される。この継続期間T中、$5図に示すようにフィル
タ1Bが矢印H2の方向に駆動されて、各画素における
フィルタセグメントll0bが受光開口部104を覆う
位置をとる。そこで、同図の上方から本撮像装置へ入射
した光は、フィルタセグメント1Iobを透過して開口
部104に入射する。
いてシャツタレリーズボタンを押すとスイッチ62が一
時的に閉成し、制御回路60は、パルス源34および4
0を駆動する。これによって、四回に示すような波形の
パルス電圧VHI、 VH2およびVVI 、VV2が
それらから、それぞれバイモルフ20および22に印加
される。この継続期間T中、$5図に示すようにフィル
タ1Bが矢印H2の方向に駆動されて、各画素における
フィルタセグメントll0bが受光開口部104を覆う
位置をとる。そこで、同図の上方から本撮像装置へ入射
した光は、フィルタセグメント1Iobを透過して開口
部104に入射する。
パルス電圧V旧、 VH2およびVVI、VV2の継続
期間Tが経過すると、バイモルフ20および22に印加
される電圧が所定のレベルv2およびv4に立ち下る。
期間Tが経過すると、バイモルフ20および22に印加
される電圧が所定のレベルv2およびv4に立ち下る。
そこで、フィルタ18は矢印旧の方向に移動され。
第4図に示す状態になる。したがって、第4図に示すよ
うに遮光セグメント1loaが受光開口部l◇4を覆う
位置をとる。したがって5本撮像装置への入射光は、遮
光セグメント+10aによって十分に遮光され、開口部
104に入射しない。
うに遮光セグメント1loaが受光開口部l◇4を覆う
位置をとる。したがって5本撮像装置への入射光は、遮
光セグメント+10aによって十分に遮光され、開口部
104に入射しない。
このようにして、継続期間T中、各撮像セル+00が露
光され、それぞれの入射光に応じて光キャリアが発生し
、それに蓄積される。以降、制御回路60は、適当なタ
イミングにて撮像デバイス12を駆動し、これから映像
信号を読み出す。
光され、それぞれの入射光に応じて光キャリアが発生し
、それに蓄積される。以降、制御回路60は、適当なタ
イミングにて撮像デバイス12を駆動し、これから映像
信号を読み出す。
なお、ここで説明した実施例は本発明を説明するための
ものであって1本発明は必ずしもこれに限定されるもの
ではなく1本発明の精神を逸脱することなく当業者が可
能な変形および修正は本発明の範囲に含まれる。
ものであって1本発明は必ずしもこれに限定されるもの
ではなく1本発明の精神を逸脱することなく当業者が可
能な変形および修正は本発明の範囲に含まれる。
たとえば、本実施例ではフィルタを変位させているが、
要は、撮像セルに対するフィルタセグメントの相対的位
置が変位すればよいので、フィルタを固定し撮像デバイ
スを変位させるように構成してもよい、また、黒白撮影
に適用する場合。
要は、撮像セルに対するフィルタセグメントの相対的位
置が変位すればよいので、フィルタを固定し撮像デバイ
スを変位させるように構成してもよい、また、黒白撮影
に適用する場合。
フィルタの色フィルタセグメントは単なる光学的な開口
であってよいことは明らかである。
であってよいことは明らかである。
丸−1
このように、本発明によれば、固体撮像デバイスの撮像
面に近接配置されたフィルタを撮像面に対して相対的に
移動させることによって、コンパクトにシャッタ機能を
実現できる。
面に近接配置されたフィルタを撮像面に対して相対的に
移動させることによって、コンパクトにシャッタ機能を
実現できる。
第1図は本発明による固体撮像装置の実施例を示す概略
ブロック図、 第2図は、第1図における一点鎖線II−I+における
断面を示す図。 第3図は、第1図の実施例における2つの隣接する撮像
セルを部分的に示す図。 第4図および第5図は、第1図の実施例の動作を説明す
るためのフィルタおよび撮像セルの断面を部分的に示す
断面図、 :JSG図および第7図は、第1図に示すパルス源から
発生するパルス波形の例を示す波形図、第8図は、本発
明の他の実施例を示す第4図と同様の断面図である。 ”′+1′の′7”の、?3 +2.、、固体撮像デバイス +4.、、撮像セルアレイ 20.22. 、圧電バイモルフ 2B、、、色フィルタセグメントアレイ34.40.
、パルス源 +005. 撮像セル lo2.、、M光膜 +10a、 、遮光セグメント +10b、 、フィルタセグメント !20...マイクロレンズ +22b、 、マイクロレンズセグメント第2図 第3図 第4図 第5図 +Z 第6図 −II′を聞 第7図
ブロック図、 第2図は、第1図における一点鎖線II−I+における
断面を示す図。 第3図は、第1図の実施例における2つの隣接する撮像
セルを部分的に示す図。 第4図および第5図は、第1図の実施例の動作を説明す
るためのフィルタおよび撮像セルの断面を部分的に示す
断面図、 :JSG図および第7図は、第1図に示すパルス源から
発生するパルス波形の例を示す波形図、第8図は、本発
明の他の実施例を示す第4図と同様の断面図である。 ”′+1′の′7”の、?3 +2.、、固体撮像デバイス +4.、、撮像セルアレイ 20.22. 、圧電バイモルフ 2B、、、色フィルタセグメントアレイ34.40.
、パルス源 +005. 撮像セル lo2.、、M光膜 +10a、 、遮光セグメント +10b、 、フィルタセグメント !20...マイクロレンズ +22b、 、マイクロレンズセグメント第2図 第3図 第4図 第5図 +Z 第6図 −II′を聞 第7図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、入射光に応動する感光領域が画素に対応して2次元
に配列された撮像面を有する固体撮像デバイスを含む固
体撮像装置において、該装置は、前記撮像面を覆って配
設され、前記感光領域のそれぞれに対応して配列された
第1および第2のセグメントを有する光学フィルタ手段
と、 前記感光領域に対する前記セグメントの相対的位置を変
える変位手段とを含み、 前記各感光領域は、前記撮像面の1画素の面積のたかだ
か半分を占め、 第1のセグメントは入射光を遮光する材料を含み、第2
のセグメントは入射光を透過する材料を含み、 前記変位手段は、通常は第1のセグメントを各感光領域
の上に位置させ、前記感光領域に入射光を照射させると
きは、所望の期間第2のセグメントを実質的に各感光領
域の上に位置させることを特徴とする固体撮像装置。 2、特許請求の範囲第1項記載の装置において、前記変
位手段は、前記フィルタ手段を可動的に支持する圧電バ
イモルフを含むことを特徴とする固体撮像装置。 3、特許請求の範囲第1項記載の装置において、第2の
セグメントは、前記感光領域への入射光を色分離する色
フィルタセグメントを含むことを特徴とする固体撮像装
置。 4、特許請求の範囲第1項記載の装置において、前記撮
像面には、前記感光領域を除いて入射光を遮光する遮光
膜が形成されていることを特徴とする固体撮像装置。 5、特許請求の範囲第1項記載の装置において、前記フ
ィルタ手段は、第2のセグメントに対応して入射光を集
光させるマイクロレンズ手段を含むことを特徴とする固
体撮像装置。 6、特許請求の範囲第2項記載の装置において、前記変
位手段は、前記圧電バイモルフへの印加電圧を調整して
前記フィルタ手段を前記撮像面に整合させる調整手段を
含むことを特徴とする固体撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59185393A JPS6164155A (ja) | 1984-09-06 | 1984-09-06 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59185393A JPS6164155A (ja) | 1984-09-06 | 1984-09-06 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6164155A true JPS6164155A (ja) | 1986-04-02 |
Family
ID=16170022
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59185393A Pending JPS6164155A (ja) | 1984-09-06 | 1984-09-06 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6164155A (ja) |
-
1984
- 1984-09-06 JP JP59185393A patent/JPS6164155A/ja active Pending
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