JPS6152307A - Method and device for producing pulverous metallic powder - Google Patents

Method and device for producing pulverous metallic powder

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JPS6152307A
JPS6152307A JP17534884A JP17534884A JPS6152307A JP S6152307 A JPS6152307 A JP S6152307A JP 17534884 A JP17534884 A JP 17534884A JP 17534884 A JP17534884 A JP 17534884A JP S6152307 A JPS6152307 A JP S6152307A
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metal
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powder
plasma
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Susumu Hiratake
平竹 進
Yasunobu Shimomoto
下元 康延
Mamoru Takeda
守 竹田
Kazuo Yanagihara
柳原 和夫
Genichi Nakazawa
中澤 元一
Yoshio Higashitsuji
東辻 善夫
Tadayoshi Shimizu
清水 忠義
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Sumitomo Metal Mining Co Ltd
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  • Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
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Abstract

PURPOSE:To obtain pulverous metallic powder having high purity with good productivity by supplying pellets formed by pelletizing a metallic chloride to the melt of the same kind of metal and subjecting the same to plasma heating in the presence of gaseous hydrogen. CONSTITUTION:The pellets P pelletized from the pulverous metallic powder are powder are supplied into a furnace body 1. The supply is preferably executed in an atmosphere of gaseous hydrogen and gaseous argon. The pellets are supplied toward the recess 5 of a crucible 4 and the melt M of the same kind of metal as the pellets P is held in the recess 5. The formation and holding of the melt M are executed by the injection of the plasma arc from a plasma torch 2 using gaseous hydrogen, etc. as a working gas. The supplied pellets P are captured by the melt M and are heated over the entire part by the presence of the gaseous hydrogen. The pellets are immediately reduced to metallic smoke V which is ejected through a discharge port 3. The ejected smoke V is captured and refined by the conventional practice.

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は金属の塩化物のペレットをプラズマ加熱する金
属微粉末の製造方法及び装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Industrial Application Field> The present invention relates to a method and apparatus for producing fine metal powder by plasma heating pellets of metal chloride.

近年、金属微粉末は、その金属塊には全く見られないよ
うな磁気特性、光学特性、電気特性、化学反応性及び焼
結性等によシ、大容量の磁気メモリー、センサ、太陽熱
吸収塗料、超電導材料、高効率触媒、新焼結体等、その
新規利用分野が急展開している。
In recent years, fine metal powders have been developed to have magnetic, optical, electrical, chemical reactivity, and sintering properties that are not found in metal blocks, and are used in large-capacity magnetic memories, sensors, and solar heat-absorbing paints. New fields of use are rapidly developing, such as superconducting materials, high-efficiency catalysts, and new sintered bodies.

本発明は、かかる新規利用に応える高純度の金属微粉末
を生産性良く製造することができる金属微粉末の製造方
法及び装置に関するものである。
The present invention relates to a method and apparatus for producing fine metal powder, which can produce fine metal powder with high productivity to meet such new uses.

〈従来の技術とその問題点〉 従来、金属微粉末の製造手段として、化学的手段と物理
的手段が採用されている。前者の化学的手段は、溶液中
での化学反応によシ沈澱物として金属微粉末を得たシ、
或いは金属よシも蒸気圧が大きく且つ融点の低い金属化
合物、例えば金属の塩化物を、加熱蒸発させて水素で還
元し、金属微粉末を捕集するものであるが、これらの従
来手段によると、得られる金属微粉末の粒径が大きく、
また該金属微粉末が水分や副生成物等で汚染されること
を避けられないために純度の低いものとなる問題点があ
る。また後者の物理的手段は、真空蒸発法と通称され、
金属を低圧の不活性ガス中で加熱蒸発させて金属微粉末
を捕集するもので、現在一般的に採用されているが、こ
の従来手段によると、粒径が小さく且つ純度の高いもの
が得られる反面、蒸発速度が遅いために生産性が低く、
シたがって高価なものとなる問題点がある。
<Prior art and its problems> Conventionally, chemical means and physical means have been employed as means for producing fine metal powder. The former chemical method involves obtaining fine metal powder as a precipitate through a chemical reaction in a solution;
Alternatively, metal compounds with high vapor pressure and low melting points, such as metal chlorides, are heated and evaporated and reduced with hydrogen to collect fine metal powder, but according to these conventional methods, , the particle size of the obtained metal fine powder is large,
Furthermore, there is a problem that the metal fine powder is inevitably contaminated with moisture, by-products, etc., resulting in low purity. The latter physical method is commonly known as vacuum evaporation method.
This method collects fine metal powder by heating and vaporizing the metal in a low-pressure inert gas, and is currently commonly used.This conventional method yields particles with small particle size and high purity. On the other hand, productivity is low due to slow evaporation rate.
Therefore, there is a problem that it is expensive.

最近、プラズマ水素ガスの金属に対する反応性を利用し
、金属をプラズマ加熱する金属微粉末の製造手段(通称
、ガス中蒸発法)が提案されている(例えば、雑誌「化
学と工業」、第36巻第8号、72〜74頁、1983
年)。これは、水素ガス雰囲気下に金属をプラズマ加熱
し、この際、溶融金属の周辺部から激しく発生する所謂
金属煙を捕集するものでちるが、この手段でも依然とし
て、得られる金属微粉末の生産性の点で問題点があシ、
シかも加熱に伴って生じる溶融物の飛散で粒径の大きな
粒が混入する等地の問題点もある。
Recently, a method for producing fine metal powder (commonly known as evaporation in gas method) has been proposed, which utilizes the reactivity of plasma hydrogen gas to metal and heats the metal with plasma. Volume No. 8, pp. 72-74, 1983
Year). This method involves plasma heating the metal in a hydrogen gas atmosphere and collecting the so-called metal smoke that is violently generated from the periphery of the molten metal, but even with this method, it is still difficult to produce the resulting fine metal powder. There are problems in terms of sexuality,
However, there are also problems such as particles with large diameters being mixed in due to the scattering of the melt that occurs during heating.

〈発明が解決しようとする問題点〉 本発明は斜上の如き従来手段の問題点を解決するもので
、金属の塩化物のペレットを特定条件下でプラズマ加熱
することを骨子として、高純度の金属微粉末を生産性良
く(具体的には単位時間当たシの処理量や収率を向上す
ること)、シたがって経済的に製造する金属微粉末の製
造方法及び装置を提供するものである。
<Problems to be Solved by the Invention> The present invention solves the problems of conventional methods such as slanting. The purpose of the present invention is to provide a method and apparatus for producing fine metal powder with high productivity (specifically, by improving the throughput and yield per unit time) and thus economically. be.

〈問題点を解決するだめの手段〉 しかして本発明者らは、得られる金属微粉末の粒度、純
度及び生産性を平均的に充足する上で従来手段の中では
比較的有効なプラズマ加熱による金属微粉末の製造手段
について鋭意研究した結果、この従来手段において前記
生産性等がなお不充分であるという問題の所在がプラズ
マ加熱で発生させる所謂金属塩(金属蒸気)それ自体の
量的及び質的なところにあシ、かかる問題を解決するに
は、金属の塩化物のペレットを処理対象として、これを
同種金属の溶湯へ一旦捕捉させつつ水素ガス存在下にプ
ラズマ加熱することが極めて有効であることを見出し、
本発明を完成するに到った。
<Means to Solve the Problems> However, the present inventors have found that plasma heating is relatively effective among conventional means in achieving the average particle size, purity, and productivity of the obtained metal fine powder. As a result of intensive research on the means for producing fine metal powder, we found that the problem with the above-mentioned productivity, etc., being still insufficient with this conventional method lies in the quantity and quality of the so-called metal salt (metal vapor) itself generated by plasma heating. In order to solve this problem, it is extremely effective to treat metal chloride pellets and heat them with plasma in the presence of hydrogen gas while temporarily trapping them in a molten metal of the same type. I discovered something,
The present invention has now been completed.

すなわち本発明は、 金属の塩化物を造粒してペレットにし、このペレットを
同種金属の溶湯へ供給しつつ水素ガス存在下にプラズマ
加熱することを特徴とする金属微粉末の製造方法に係る
発明と、この製造方法の発明の実施に直接使用するとこ
ろの、 一端にプラズマトーチが装備され且つ他端に排気口が開
口された略々V字形の炉体であって、該炉体のtlぼ中
央底側にルツボが取付けられ、該ルツボには金属の溶湯
を保持する陥部が形成されていて、該ルツボに対向する
前記炉体の上側に金属の塩化物のペレットの供給口が開
口されて成る金属微粉末の製造装置に係る発明とからな
っている。
That is, the present invention relates to a method for producing fine metal powder, which comprises granulating a metal chloride into pellets, supplying the pellets to a molten metal of the same kind, and heating the pellets with plasma in the presence of hydrogen gas. and a roughly V-shaped furnace body, which is equipped with a plasma torch at one end and has an exhaust port at the other end, which is directly used in carrying out the invention of this manufacturing method. A crucible is attached to the center bottom side, and the crucible has a recess formed therein for holding molten metal, and a supply port for the pellets of metal chloride is opened at the upper side of the furnace body facing the crucible. The present invention relates to an apparatus for producing fine metal powder.

以下、図面に基づいて本発明の構成を更に詳細に説明す
る。
Hereinafter, the configuration of the present invention will be explained in more detail based on the drawings.

第1図は本発明に係る装置の一実施例を示す断面図(一
部省略)、また第2図はその部分拡大図であるが、これ
ら社同時に本発明に係る方法の実施状態をも例示してい
るので、そこで以下、先ず本発明に係る装置の構成を説
明し、次にその作用の項で、本発明に係る方法の構成を
併せて説明する。
FIG. 1 is a cross-sectional view (partially omitted) showing an embodiment of the apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a partially enlarged view thereof, which also illustrates the implementation state of the method according to the present invention. Therefore, the structure of the apparatus according to the present invention will be explained first, and then the structure of the method according to the present invention will also be explained in the section of its operation.

略々V字形の炉体1があシ、この炉体1は当然ではある
が中空に形成されていて、7字形のその一端にはプラズ
マトーチ2が装備され、その他端には排気口3が開口さ
れている。炉体1のほぼ中央底側にはルツボ4が取付け
られておシ、とのルツボ4は銅製で水冷されるようにな
っていて、金属の溶湯Mを保持することができる陥部5
が形成されている。そして、このルツボ4に対向するが
如く、炉体1の上側には金属の塩化物のペレットPの供
給口6が開口されている。図面の場合にはまた、供給口
6の外側に水素ガス及び/又はアルゴンガスの流入ロア
が周設されている。
There is a roughly V-shaped furnace body 1, which is naturally hollow, with a plasma torch 2 installed at one end of the 7-shape, and an exhaust port 3 at the other end. It is opened. A crucible 4 is attached to the bottom of the furnace body 1, which is made of copper and is water-cooled, and has a recess 5 that can hold the molten metal M.
is formed. A supply port 6 for metal chloride pellets P is opened in the upper side of the furnace body 1 so as to face the crucible 4 . In the case of the drawing, an inflow lower for hydrogen gas and/or argon gas is also provided around the outside of the supply port 6.

第3図は本発明に使用される他のルツボを例示する拡大
平面図、第4図はそのA−A線部分断面図、第5図は同
じ<B−B線部分断面図である。
FIG. 3 is an enlarged plan view illustrating another crucible used in the present invention, FIG. 4 is a partial cross-sectional view taken along the line A-A, and FIG. 5 is a partial cross-sectional view taken along the line B-B.

ルツボ8は、外周平面が円形であシ、そのほぼ中央に周
囲を傾斜面9,10,11.12で囲まれている二段階
の陥部13.14が形成されているもので、主として陥
没の程度が大きい方の陥部13に金属の溶湯が保持され
るようになっている。
The crucible 8 has a circular outer circumferential plane, and a two-stage recess 13.14 surrounded by inclined surfaces 9, 10, 11.12 is formed at approximately the center of the crucible 8. The molten metal is held in the recess 13 with a greater degree of .

〈作用〉 第1図及び第2図を引用して、本発明に係る装置の作用
を以下に説明するが、ここで併せて、本発明に係る方法
の構成を説明する。本発明において処理対象となるのは
、金属の塩化物を造粒したペレットである。この種のペ
レットは、例えば塩化ニッケル(NiC/2)や塩化第
一鉄(FeCh)等の粉体を既によく知られている造粒
機に供して、容易に得ることができる。使用する金属の
塩化物は、結晶水を含むものでも(例えばNiC/z・
6H20)、又は所謂無水物でもよいが、これらの粉体
から造粒したペレットは、以後の処理の安定化等の点で
、乾燥したものを対象とするのが好ましい。
<Operation> The operation of the apparatus according to the present invention will be explained below with reference to FIGS. 1 and 2, and the configuration of the method according to the present invention will also be explained here. In the present invention, the object to be treated is pellets obtained by granulating metal chloride. Pellets of this type can be easily obtained, for example, by subjecting a powder of nickel chloride (NiC/2), ferrous chloride (FeCh), or the like to a well-known granulator. The metal chloride used may contain water of crystallization (for example, NiC/z・
6H20) or a so-called anhydride, but it is preferable that the pellets granulated from these powders be dried from the viewpoint of stabilizing subsequent processing.

前記ベレン)Pを供給口6から炉体1の内部へ自重落下
により供給する。この場合の供給は、本発明の性質上、
水素ガス及び/又はアルゴンガスの雰囲気中で行うのが
好ましい。そして、供給方向はルツボ4の陥部5である
。この陥部5には予め処理対象であるベレン)Pと同種
金属の溶湯Mを作成しておき、以後処理中はかかる溶湯
Mを保持する。溶湯Mの作成及び保持は、前述したよう
な特殊形状のルツボ5による溶湯Mの保持効果のもとに
、水素ガス又は、水素ガスとアルゴンガスを作動ガスと
するプラズマトーチ2からのプラズマアーク(プラズマ
ジェット)の噴射によってなされる。したがって、供給
口6から供給されたペレットPは一旦溶湯Mに捕捉され
る。捕捉されたペレットPは、前記プラズマアークで高
温加熱されている溶湯Mによって、炉体1における水素
ガス存在下に、全体を加熱され、直ちに還元されて、所
謂金属煙(金属蒸気)■となる。この金属煙Vは前記プ
ラズマアークの噴射流に乗るが如く排気口3から搬出さ
れる。搬出された金属煙Vは以下、常法にしだがって気
相で凝縮させてもよいが、金属煙Vを高温のitで急冷
水捕集し、これによって生成する懸濁液を固液分離して
、分離した固形分を水素ガス気流中にて例えば300 
’C程度で間接加熱し、還元精製するのが好ましい。
The above-mentioned belen) P is supplied from the supply port 6 to the inside of the furnace body 1 by falling under its own weight. Due to the nature of the invention, the supply in this case is
It is preferable to carry out in an atmosphere of hydrogen gas and/or argon gas. The supply direction is the recess 5 of the crucible 4. In this depression 5, a molten metal M of the same type of metal as the object to be treated (Belen) P is prepared in advance, and the molten metal M is held during the subsequent treatment. The molten metal M is created and held using hydrogen gas or a plasma arc ( This is done by jetting a plasma jet. Therefore, the pellets P supplied from the supply port 6 are once captured by the molten metal M. The captured pellets P are entirely heated in the presence of hydrogen gas in the furnace body 1 by the molten metal M heated at high temperature by the plasma arc, and are immediately reduced to become so-called metal smoke (metal vapor). . This metal smoke V is carried out from the exhaust port 3 as if riding on the jet flow of the plasma arc. The metal smoke V carried out may be condensed in the gas phase according to the conventional method, but the metal smoke V is collected with quenched water in a high-temperature IT, and the resulting suspension is separated into solid-liquid. The separated solid content is heated, for example, at 300° C. in a hydrogen gas stream.
It is preferable to perform indirect heating at a temperature of about 'C and reductive purification.

本発明では、金属の塩化物を造粒したペレットPを処理
対象とする。したがって、それを構成する金属より蒸気
圧が高くしかも金属の塩化物自体は昇華によシ直接気化
するため、該ペレノ)Pは急速に蒸発し、またその処理
物が融滴となって飛散するようなことがない。加えて、
還元反応が気化した気体分子や電離イオンの形で行われ
るために還元によって生成した金属微粉末の粒径は極め
て小さい。また金属の塩化物を粉体のままで供給口6か
ら炉体1の内部へ供給すると、ペレットPに比べて供給
速度が大きくとれない上に前記プラズマアークの噴射に
吹き飛ばされて、未反応のまま該粉体が排気口3から搬
出される不都合がある。
In the present invention, pellets P, which are granulated metal chlorides, are treated. Therefore, since the vapor pressure is higher than that of the metal composing it, and the metal chloride itself vaporizes directly by sublimation, the pereno)P evaporates rapidly, and the processed product becomes molten droplets and scatters. There is no such thing. In addition,
Since the reduction reaction is carried out in the form of vaporized gas molecules and ionized ions, the particle size of the metal fine powder produced by reduction is extremely small. Furthermore, if metal chloride is fed into the furnace body 1 from the feed port 6 in powder form, the feed rate cannot be as high as that of pellets P, and the unreacted particles are blown away by the plasma arc jet. There is an inconvenience that the powder is carried out from the exhaust port 3 as it is.

したがって必然に、粉体のままで供給する場合には、そ
の供給量を抑制することとなるが、それでもなお、前記
不都合を避は難い。この結果、前述したような生産性及
び純度がともに低くなる。本発明においてベレン)Pを
対象とするのは、それが自重落下で連続的に供給される
ためその供給が容易というだけでなく、前記不都合を排
除して前述したような生産性及び純度を向上させること
ができるからである。
Therefore, when supplying the powder as it is, the amount of supply must be suppressed, but the above-mentioned disadvantages are still unavoidable. As a result, both productivity and purity as described above become low. The purpose of the present invention is to use Belen) P not only because it is easily supplied because it is continuously supplied by falling under its own weight, but also because it eliminates the above-mentioned disadvantages and improves productivity and purity as described above. This is because it can be done.

まだ本発明では、ペレノ)Pを同種金属の溶湯Mで一旦
捕捉する。プラズマトーチ2からのプラズマアークで高
温加熱されている溶湯Mによって、ペレッ)Pの全体が
効率よく且つ均一に加熱され、したがって迅速且つ完全
にペレットPが還元反応を受けるからであり、併せて溶
湯Mがペレッ)Pを捕捉することそれ自体によっても前
記不都合を排除できるからである。このような役割の溶
湯Mは、処理中において常時、ペレットPの捕捉及びプ
ラズマアークによる加熱という双方との関係で、ほぼ固
定的に保持される必要がある。ルツボ4に陥部5を形成
しているのは、との陥部5がかかる必要を満たすからで
ある。
In the present invention, Pereno) P is once captured in a molten metal M of the same kind of metal. This is because the entire pellet P is efficiently and uniformly heated by the molten metal M heated at high temperature by the plasma arc from the plasma torch 2, so that the pellet P undergoes a reduction reaction quickly and completely. This is because the above-mentioned disadvantage can be eliminated by M capturing P (Pellet) itself. The molten metal M, which plays such a role, needs to be held almost fixedly at all times during processing, both in terms of trapping the pellets P and heating by the plasma arc. The reason why the recess 5 is formed in the crucible 4 is that the recess 5 satisfies this need.

第3図〜第5図に例示したよりなルツボ8を代用すると
、ペレットPの供給方向が若干ズしても、傾斜面9〜1
2によって結局、陥部13に保持されてプラズマアーク
で直接加熱される最も温度の高くなった溶湯に捕捉され
ることとなるため、該ルツボ8に限定されるものではな
いが、陥部がその周囲を傾斜面で囲まれている形状のル
ツボが好ましい。第1図において、流入ロアから水素ガ
ス及び/又はアルゴンガスを流入すると、該ガスがペレ
ットPを溶湯Mへ供給するその該当雰囲気Cをシールす
る。その結果、ペレットPの供給方向のズレを抑制でき
るだけでなく、該当雰囲気Cの内部を相対的に高濃度の
水素ガス雰囲気とすることもできるため、ペレッ)Pの
還元反応をそれだけ促進できる。この際、ルツボ4を水
冷銅製のものとすれば、ルツボ4が消耗しないので、一
層高純度の金属微粉末が得られる。
If the straight crucible 8 illustrated in FIGS. 3 to 5 is used instead, even if the feeding direction of the pellets P is slightly shifted,
2, the molten metal will eventually be captured in the hottest molten metal which is held in the recess 13 and directly heated by the plasma arc. A crucible whose periphery is surrounded by an inclined surface is preferable. In FIG. 1, when hydrogen gas and/or argon gas flows in from the inflow lower, the gas seals the corresponding atmosphere C that supplies the pellets P to the molten metal M. As a result, not only can the shift in the supply direction of the pellets P be suppressed, but also the inside of the atmosphere C can be made into a hydrogen gas atmosphere with a relatively high concentration, so that the reduction reaction of the pellets P can be promoted accordingly. At this time, if the crucible 4 is made of water-cooled copper, the crucible 4 will not be consumed, so that fine metal powder of even higher purity can be obtained.

更に本発明では、略々V字形の炉体1が好適に使用され
る。プラズマアークの噴射流に対する抵抗を少なくし、
該噴射流に乗せて還元生成した金属煙Vを排気口3から
搬出させるためであり、同時にその一方で、金属煙Vに
比べれば着るしく重い、ペレットPの未反応破片や炉体
1等に起因する種々の不純物が、排気0.3から搬出さ
れないようにするためである。
Further, in the present invention, a substantially V-shaped furnace body 1 is preferably used. Reduces resistance to plasma arc jet flow,
This is to carry out the metal smoke V generated by reduction on the jet stream from the exhaust port 3, and at the same time, it also removes the unreacted fragments of the pellets P, which are considerably heavier than the metal smoke V, the furnace body 1, etc. This is to prevent various impurities caused by this from being carried out from the exhaust gas.

〈発明の効果〉 以上説明した通りであるから、本発明によると、結果的
に高純度の極めて細かい金属微粉末を生産性良く製造す
ることができ、急展開している金属微粉末の新規利用に
対して質的及び量的に充分適応することができる効果が
ある。
<Effects of the Invention> As explained above, according to the present invention, extremely fine metal powder of high purity can be produced with good productivity, and new uses of metal fine powder are being rapidly developed. It has the effect of being able to fully adapt to the situation both qualitatively and quantitatively.

〈実施例〉 第1図及び第2図に例示した装置を使用して、次の条件
で処理した。
<Example> Using the apparatus illustrated in FIGS. 1 and 2, processing was carried out under the following conditions.

ペレット:無水塩化ニッケル(純度99.4重量%)を
直径16wX厚さ10+w の円板状に造粒したもの ペレットの連続供給:167g/分×20分プラズマト
ーチ:出力84 KW 作動ガス:水素ガス3ONly分十アルゴンガス35N
ty分 シールドガス:水素ガス360 N17分ルツボ:水冷
銅製のもの 炉体の排気口よシ搬出される金属煙を高温のままで急冷
水捕集しく水タンクを3個直列に並び、排気口から排出
される金属煙を順次水中へ通した)、この際得られる懸
濁液を固液分離(濾過)して、分離した固形分を水素ガ
ス気流中で加熱した(300°C,2時間/固形分10
0f)。回収した金属微粉末を分析した結果、試験回数
20回の総合で、前記金属煙の発生速度は6s、1q/
分、金属微粉末の収率90重量−以上、純度98重量−
以上、酸素含有率1.0重量%以下、塩素含有率0.0
1重量%以下であった。
Pellet: Anhydrous nickel chloride (purity 99.4% by weight) granulated into a disk shape with a diameter of 16w and a thickness of 10+w Continuous supply of pellets: 167g/min x 20min Plasma torch: Output 84KW Working gas: Hydrogen gas 3ONly argon gas 35N
ty minutes Shielding gas: Hydrogen gas 360N 17 minutes Crucible: Made of water-cooled copper Three water tanks are lined up in series to collect the metal smoke carried out from the exhaust port of the furnace body with quenching water while maintaining its high temperature. The discharged metal fumes were sequentially passed into water), the resulting suspension was subjected to solid-liquid separation (filtration), and the separated solids were heated in a hydrogen gas stream (300°C, 2 hours/ Solid content 10
0f). As a result of analyzing the recovered metal fine powder, the generation rate of the metal smoke was 6s, 1q/
minute, yield of fine metal powder 90% by weight or more, purity 98% by weight
Above, oxygen content 1.0% by weight or less, chlorine content 0.0
It was 1% by weight or less.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明に係る装置の一実施例を示す断面図(一
部省略)、第2図はその部分拡大図、第3図は本発明に
使用されるルツボを例示する拡大平面図、第4図は第3
図のA−A線部分断面図、第5図は同じ<B−B線部分
断面図である。 1・・・炉体、     2・・・プラズマアーク、3
・・・排気口、    4・8°ル2′・5 、13 
、14・・陥部、  6・・・供給口、7・・・流入口
、     9 、10 、11 、12・・・傾斜面
、P・・・ペレット、   M・・・溶湯、■・・・金
属煙、 代理人 弁理士 入 山 宏 正 第1図 を 第2図 第3図   r、B 第4図   L′8 +4 第5図 !4
FIG. 1 is a sectional view (partially omitted) showing an embodiment of the device according to the present invention, FIG. 2 is a partially enlarged view thereof, and FIG. 3 is an enlarged plan view illustrating a crucible used in the present invention. Figure 4 is the third
FIG. 5 is a partial cross-sectional view taken along the line A--A in the figure, and FIG. 5 is a partial cross-sectional view taken along the line B-B. 1...Furnace body, 2...Plasma arc, 3
...Exhaust port, 4.8°le 2'.5, 13
, 14... recess, 6... supply port, 7... inlet, 9, 10, 11, 12... inclined surface, P... pellet, M... molten metal, ■... Metal smoke, agent Hiroshi Iriyama Masashi Figure 1 Figure 2 Figure 3 r, B Figure 4 L'8 +4 Figure 5! 4

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 金属の塩化物を造粒してペレットにし、このペレッ
トを同種金属の溶湯へ供給しつつ水素ガス存在下にプラ
ズマ加熱することを特徴とする金属微粉末の製造方法。 2 ペレットを同種金属の溶湯へ供給するその該当雰囲
気を水素ガス及び/又はアルゴンガスでシールする特許
請求の範囲第1項記載の金属微粉末の製造方法。 3 一端にプラズマトーチが装備され且つ他端に排気口
が開口された略々V字形の炉体であって、該炉体のほぼ
中央底側にルツボが取付けられ、該ルツボには金属の溶
湯を保持する陥部が形成されていて、該ルツボに対向す
る前記炉体の上側に金属の塩化物のペレットの供給口が
開口されて成る金属微粉末の製造装置。 4 供給口の外側に水素ガス及び/又はアルゴンガスの
流入口が周設された特許請求の範囲第3項記載の金属微
粉末の製造装置。 5 ルツボが水冷銅製のものである特許請求の範囲第3
項又は第4項記載の金属微粉末の製造装置。
[Scope of Claims] 1. A method for producing fine metal powder, which comprises granulating a metal chloride into pellets, and heating the pellets with plasma in the presence of hydrogen gas while supplying the pellets to a molten metal of the same type. 2. The method for producing fine metal powder according to claim 1, wherein the atmosphere in which the pellets are supplied to a molten metal of the same kind is sealed with hydrogen gas and/or argon gas. 3 A roughly V-shaped furnace body equipped with a plasma torch at one end and an exhaust port opened at the other end, a crucible is attached to the bottom side of the furnace body, and a molten metal is placed in the crucible. 1. An apparatus for producing fine metal powder, comprising: a recess for holding a metal chloride pellet; 4. The apparatus for producing fine metal powder according to claim 3, wherein an inlet for hydrogen gas and/or argon gas is provided around the outside of the supply port. 5 Claim 3 in which the crucible is made of water-cooled copper
The apparatus for producing fine metal powder according to item 1 or 4.
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US6391081B1 (en) * 1999-03-25 2002-05-21 Sony Corporation Metal purification method and metal refinement method

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