JPS6151740U - - Google Patents

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JPS6151740U
JPS6151740U JP13698784U JP13698784U JPS6151740U JP S6151740 U JPS6151740 U JP S6151740U JP 13698784 U JP13698784 U JP 13698784U JP 13698784 U JP13698784 U JP 13698784U JP S6151740 U JPS6151740 U JP S6151740U
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JP
Japan
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passage
frame body
plate
closing device
gate opening
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JP13698784U
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図は、本考案の実施例を示す平面図、第2
図は第1図の−線断面図、第3図は従来例の
装置を取付けた状態を示す図である。 1…仕切板、2…カセツト室、3…CVD装置
、4…通路、11…枠体、12…ラツク、32…
ピニオン、33…ドライブシヤフト。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 1 真空度の異なる容器の仕切板に通路を設け該
    仕切板と平行に走行可能な枠体を設け、該枠体に
    通路を開閉する圧着板を設けると共に枠体の駆動
    装着を介して圧着板を作動せしめることを特徴と
    する真空保持用ゲート開閉装置。 2 圧着板に通路をシールするOリングを設けた
    ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第1項
    記載の真空保持用ゲート開閉装置。
JP13698784U 1984-09-10 1984-09-10 Pending JPS6151740U (ja)

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JP13698784U JPS6151740U (ja) 1984-09-10 1984-09-10

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JP13698784U JPS6151740U (ja) 1984-09-10 1984-09-10

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JPS6151740U true JPS6151740U (ja) 1986-04-07

Family

ID=30695415

Family Applications (1)

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JP13698784U Pending JPS6151740U (ja) 1984-09-10 1984-09-10

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