JPS6151740U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6151740U JPS6151740U JP13698784U JP13698784U JPS6151740U JP S6151740 U JPS6151740 U JP S6151740U JP 13698784 U JP13698784 U JP 13698784U JP 13698784 U JP13698784 U JP 13698784U JP S6151740 U JPS6151740 U JP S6151740U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- passage
- frame body
- plate
- closing device
- gate opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第1図は、本考案の実施例を示す平面図、第2
図は第1図の−線断面図、第3図は従来例の
装置を取付けた状態を示す図である。 1…仕切板、2…カセツト室、3…CVD装置
、4…通路、11…枠体、12…ラツク、32…
ピニオン、33…ドライブシヤフト。
図は第1図の−線断面図、第3図は従来例の
装置を取付けた状態を示す図である。 1…仕切板、2…カセツト室、3…CVD装置
、4…通路、11…枠体、12…ラツク、32…
ピニオン、33…ドライブシヤフト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 真空度の異なる容器の仕切板に通路を設け該
仕切板と平行に走行可能な枠体を設け、該枠体に
通路を開閉する圧着板を設けると共に枠体の駆動
装着を介して圧着板を作動せしめることを特徴と
する真空保持用ゲート開閉装置。 2 圧着板に通路をシールするOリングを設けた
ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第1項
記載の真空保持用ゲート開閉装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13698784U JPS6151740U (ja) | 1984-09-10 | 1984-09-10 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13698784U JPS6151740U (ja) | 1984-09-10 | 1984-09-10 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6151740U true JPS6151740U (ja) | 1986-04-07 |
Family
ID=30695415
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13698784U Pending JPS6151740U (ja) | 1984-09-10 | 1984-09-10 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6151740U (ja) |
-
1984
- 1984-09-10 JP JP13698784U patent/JPS6151740U/ja active Pending
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