JPS6145348B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電子顕微鏡あるいは走査電子顕微鏡等
における高圧電源に関し、特に操作の容易な高圧
電源に関するものである。

電子顕微鏡等において電子銃部に加速電圧を印
加する際には、過大放電による過大電流により昇
圧整流回路を破損する恐れがあるため、いきなり
100KV、200KVの高電圧を印加することはでき
ず、従来は操作者がはじめに低い加速電圧を印加
し、それから徐々に加速電圧を高めるという操作
が必要であつた。そのため操作が煩雑となり、し
かもその様にしても加速電圧を高めていく過程で
過大放電が発生する危険が全くなくなるわけでは
なかつた。

本発明は上述した従来の問題点を改善すべくな
されたものであり、以下図面を用いて本発明を詳
説する。

第１図は本発明の一実施例を示す構成図であ
り、同図において１はパルス発生器である。該パ
ルス発生器１から発生したクロツクパルスはカウ
ンタ２によりカウントされ、そのカウント値はＤ
−Ａ変換器３を介して高圧発生回路４へ送られ
る。該高圧発生回路４は上記カウント値に応じた
高電圧H.V.を発生し、該高電圧を図示しない電
子銃へ供給する。５は前記カウント値が基準信号
源６からの基準信号値と一致した時に一致信号を
発生する比較回路であり、該一致信号は前記パル
ス発生器１へ送られその動作を停止させる。７は
前記電子銃から発生する電子ビームのビーム電流
の変動に基づいて電子銃部分での過大放電を検出
する放電検出回路であり、前記カウンタ２は上記
放電検出回路７からの検出信号によつてリセツト
される。

上述の如き構成において、パルス発生器１は第
２図ａに示す様に一定時間（例えば10秒）毎に１
個のクロツクパルスを発生する。該クロツクパル
スが発生するたびにカウンタ２のカウント値は上
昇し、それに応じて高圧発生回路４より発生する
H.V.も10KV、20KV、30KV………と第２図ｂに
示す様に段階的に増加する。そして電子銃部のゴ
ミなどに起因する過大放電を検出して放電検出回
路７から第２図ｃに示す様な検出信号が発生する
度にカウンタ２は零にリセツトされるため、それ
に応じてH.V.も零に戻る。そして次のクロツク
パルスから再びH.V.は段階的に上昇し、以下こ
の動作が比較回路５から第２図ｄに示す様に終了
信号が発生してパルス発生器１の動作が停止する
まで続き、その時点で電子銃部に設定電圧が印加
される。

以上詳述した如く本発明によれば、操作が自動
化された高圧電源が実現される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す構成図であ
り、第２図はその動作を説明するためのタイミン
グ図である。 １：パルス発生器、２：カウンタ、３：Ｄ−Ａ
変換器、４：高圧発生回路、５：比較回路、６：
基準信号源、７：放電検出回路。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ クロツクパルスを発生するパルス発生器と、
   該クロツクパルスをカウントするカウンタと、該
   カウンタのカウント値に応じた電圧を発生する高
   圧発生回路と、放電検出回路と、前記カウンタの
   カウント値が所定値になつた時に一致信号を発生
   する比較回路とを備え、前記放電検出回路の出力
   信号により前記カウンタをリセツトし、且つ前記
   一致信号により前記カウンタのカウント動作を停
   止させることを特徴とする電子顕微鏡等の高圧電
   源。