JPS6144390A - ピンホ−ル位置微調整装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は真空チャンバ内に設け７：機器を真空保持状態
のまま観察・計測等を行う装置、例えばし−ザー核融合
用燃料ベレットの爆発過程の時間的変化の観察・計測の
目的をもって、真空チャンバ内におけるターゲットとチ
ャンバ外に設けた計門用ｘ１ｉ！ストリークカメラの受
光面の中心とを結ぶ線にピンホール中心を一致させるべ
く、ビンホーＪｌ／　位ｆｉｆＬを外部より容易に微調
整するための装置に関する。

ｃ　ｔｒｒｓ来の技術） 従来、例えばレーザー核融合用燃料ペレットの゛爆発過
程を観察するべく真空チャンバ外に観察・計測用Ｘ線ス
トリークカメラを設け、チャンバ内にピンホールエレメ
ントを配ＪＲしたものがあり、この場合目標点を正確に
捉えるため、チャンバ内のターＶットとカメラの受光面
中心とを結ぶ線にピンホール中心を一戦させろための調
整が必要であっｒこ。

この調整機構としては、水平と垂直に直交する２・：Ｍ
＋方向に位ｉｉｉ’、　：”Ａ’４整可（１目なテーブ
ル装置によりピンホールエレメントま１こはカメラの何
れかを位置調整自在に保持せしめたものが採用されてい
る（文献としてはない）。

（発明が解決しようとする問題点） 真空チャンバ内に調整装置を設けた場合、１１明方向へ
は比較的容易に移動せしめ得るが、他の軸方向への移動
に際しては多くの歯車装置等を伝達媒体としなければな
らないため、描造が複雑となるのみならず各歯車のバッ
クラッシュ等により正確な位置決めが行えない欠点があ
り、またカメラ側に調整装置を設けた場合は４０〜５０
Ｋｇ　　もある計測器重量を支持しなければなら・ない
ため調整装置は頑丈で大型化することから高価となり、
さらに真空チャンバの装置挿入部には真空封止手段とし
てベローズを用いなければならず、しかもベローズの力
に対向して直交２情方回への移動操作を行うことから全
体的に頑丈なものとしなければならないという大きな欠
点を有するものである。

（問題点を解決するための手段） 本発明は真空チャンバ内へ挿入固定した外筒の外端に測
定装置を固定保持し、該外筒に内嵌し先ＱＦＡ＋ｃピン
ホールエレメントを備えた内筒中間部をｌ１７１記外筒
内端部においてユニバーサルに首振り自在に保持させる
と共に、チャンバ外における外筒部に軸心に向って直交
し且つ互いに直交する２方向にマイクロメータヘッドと
こｎと対向する圧縮ばね付勢による押棒を設け、該マイ
クロメータヘッドの操作により前記内筒外端側を移１１
のｃｉｌＪ脂とした点に特徴を有する。

（作用） 直交する２　ｑｉｈ方向からのマイクロメータヘッドの
操ゼ「により内筒外端側の移動を行わせるので、該内筒
は外筒内端の支承点を中心に全方向に＠動し、したがっ
てピンホール部も全方向に移動し、位ｌ？！微調整が行
われる。

（実施例） 以下、図に示す１実施例につき詳述する。１は真空チャ
ンバで１側壁に貫通孔１ａ８２けである。

２はプラスチック製の外筒で、前記は通孔１ａ外端に取
付可能となすべく外端近くの中間部に取付フランジ３を
固定し、外端には計測装置支持用フランジ４を固定しで
ある。５は外筒内端に固定した外側リングで、軸心に向
い且つ互いに直交する向きにそれぞれ２個宛のねじ穴５
ａとばか穴５ｂを穿設しである。

６・７は前記外側リング５の内側に順次配置した中間リ
ングと内側リングで、このうち中間リング６には軸心に
向い且つ互いに直交する向きにそれぞれ２個宛のピボッ
ト４ｑｈ受８とねじ穴６１Ｌを設け、前記外側リング５
のねじ穴５ａに螺挿しｒ：２本の押しねじ９とピボット
軸受８との係合により該リングを１　’ｔｉ１１方向に
揺動可能に支承している。

また内側リング７には軸心に向って１方向より直交する
向きに２個のピボット軸受１０８設け、前記中間ノング
のねじ穴６ｎに螺ｉ４１シた２本の押しねじ１１とピボ
ット軸受１ｏとの係合により該内側リングを中間リング
６に対し該中間リングの揺動方向に直交する軸方向に揺
動筒ＩＪ目に支承している。

即ち、外側・中間・内側の谷リング５−６−７をもって
ジンバル空溝１２を構成しており、内側リング７は外筒
２に対し全方向に首振り自在に支持しである。

１３は押しねじ９・１１のゆるみ＋１：めねじ、１４は
外側リング５と中間リング６および中間リング６と内側
リング７の隙間を覆うシールド板で、中間リング６に固
定しである。

また内側リング７は先端、即ち内側に向ってピンホール
ホルダ１５を螺挿連結し、該内端１部にピンホールエレ
メント１６を介在させるべくチブブ１７を螺挿してあり
、さらに内側リングの外側には外端部に角状部材１９を
取付けた適宜長さの筒部１８を連結してあり、これら内
ａｌｌリング７・　ホルダ１５・筒５’１１１８をもっ
て内筒２０を形成し、外１１２の外端近くまで内嵌させ
である。

尚、前記外筒２・ホルダ−１５１１筒部１８には筒内外
の圧力を一定ならしめるべく５敢の小孔２ａ・１５ａ　
−１８ａを穿設しである。

２１は調整機構部で、外筒２の前記７ランジ３・４曲に
おいて１１１１心に向い互いに直交する２軸方向に対向
状に配置しｒ；マイクロメータヘッド２２とばね力支持
による押棒装置２３の２組から成り、前記２他方向はジ
ンバルａ棒１２と同列となる如く配置しである。以下こ
れらをさらに詳述すると、２４・２５は外筒２に対回状
に固定ＬＪ１個宛の取付座で、このうち取付座２４には
マイクロメータヘッド２２の押棒ガイド２６とヘッド保
持板２７を取付けてマイクロメータヘッド２２を支持さ
せてあり、内部真空のｃ）１１洩防止用として０リング
２８・２９を介在させである。

また取付座２５にはばね筒３０を固定し、該ばね筒３０
中心に挿通した押棒３１をばね受３２・　圧縮ばね３３
・ばね押え３４・キャップ３５により常時中心に向って
弾発付勢してあり、内部真空の漏洩防止用として０リン
グ３６・３７を介在させである。

しかして、２本宛のマイクロメータヘプト２２の押棒２
２ａと押棒３１により前記内筒２０外端の角状部材１９
を挟持させである。

３８は計測装置としてのＸ線ストリークカメ　ラで、端
部に設けｒごフランジ３９をＯリング等　（図示せず）
を介し前記フランジ４と連結することにより、真空チャ
ンバ１に内挿固定した外筒２の外端に該外筒内の真空を
呆持した状態で固定することとなる。

次に作用につき説明する。図示しない真空チャンバ１内
に設けたターゲットとＸ線ストリークカメラ３８の受光
面中心とを結末線に真空を保持した状態でピンホールエ
レメント１６の中心を一致させるＴこめには、２個のマ
イクロメータヘッド２２を操作するのみでよい。

この場合、圧縮ばね３３の共働により角状部材１９は全
周方向に任意に移動する。　したがって内筒２０はジン
バル機構１２によりピンホールエレメント１６を角状部
材１９と逆の方向に移・助させろこととなり、調整部が
マイクロメータヘッド２２であるため微調整が行えるも
のである。

（発明の効果） 本発明装置においては真空チャン、バに固定した外筒外
端に計測装置を固定し、外筒内端に設けたジンバル機構
により全方向に首振り自在に内端部にピンホールエレメ
ントを装着しｒご内筒を嵌装支承し、外筒外部に設けた
２組のマイクロメータヘッドとこれと対向する圧縮ばね
付勢によろ押棒装置をもって前記内１１外端側を位置調
整自在に支承したものであるため、全体として樹造が著
しく簡単なことから安価なものとなり、調整のための操
作機溝が電量の大なる計測装置の重量の影響を受けない
ことから操作容易であるのみならず歯車機構等を用いて
いないためバックラッシュのない機構として高精度を維
持し得ろものである。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の１実施例を示すもので、第１図は縦断面
図、瀉２・５図は第１図の部分拡大詳細図、第３嗜４・
６図は第１図におけるｍ−ｍ、ｒｖ−ＩＶ、ＶＴ−ＶＩ
矢視断向拡大図である。 尚、図中１は真空チャンバ、２は外筒、３は取付用フラ
ンジ、４は計７１（す装置直支持用フランジ、１２はジ
ンバル機構％１６はピンホールエレメント、２０は内筒
、２１はご４“１１整機構部、２２はマイクロメータヘ
ッド、２３は押棒装置を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）真空チャンバへの取付用フランジを備えた外筒の
   外端側に計測装置支持用フランジを設け、内端側にピン
   ホールエレメントを備えた内筒を前記外筒に内嵌して外
   筒内端においてユニバーサルに首振り可能に支持せしめ
   、前記外筒両フランジ間において軸心に対し直交し且つ
   互いに直交する２方向にマイクロメータヘッドとこれに
   対向する圧縮ばね付勢による押棒装置から成る調整機構
   部を配置し、これらマイクロメータヘッド先端と押棒装
   置先端の４点によって前記内筒延長部外端を位置調整自
   在に支持せしめたことを特徴とする、ピンホール位置微
   調整装置。