JPS6140633U - 高速波長掃引可能な分光器 - Google Patents

高速波長掃引可能な分光器

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JPS6140633U
JPS6140633U JP12526984U JP12526984U JPS6140633U JP S6140633 U JPS6140633 U JP S6140633U JP 12526984 U JP12526984 U JP 12526984U JP 12526984 U JP12526984 U JP 12526984U JP S6140633 U JPS6140633 U JP S6140633U
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JP
Japan
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spectrometer capable
wavelength sweeping
speed wavelength
spectrometer
slit
Prior art date
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Pending
Application number
JP12526984U
Other languages
English (en)
Inventor
修二 竹下
Original Assignee
富士通株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 富士通株式会社 filed Critical 富士通株式会社
Priority to JP12526984U priority Critical patent/JPS6140633U/ja
Publication of JPS6140633U publication Critical patent/JPS6140633U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】 第１図は本考案の高速波長掃引可能な分光器の一実施例
を示す模式図、第２図は本考案の原理を説明するための
図、第３図は従来の微小ギャップ測定法を説明するため
の図である。 図中、１０は白色光源、１１は入力スリット、１２は反
射鏡、１３は第１の凹面鏡、１４は回折格子、１５は第
２の凹面鏡、１６は回転多面鏡、１７は出力スリット、
１８はハーフミラー、１９は狭帯域通過型干渉フィルタ
、２０は光検出器をそれぞれ示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 少なくとも光源と、入力スリットと、回折格子と、出力
    スリットとを順次配置した分光器において、回折格子と
    出力スリットとの光路途中に回転多面鏡を設けると共に
    、出力スリットから出た光の一部を検出する狭帯域通路
    型フィルタ付光検出器を設けてなり、該光検出器により
    特定波長のときに信号を発生させて自己マーカとするこ
    とを特徴とする高速波長掃引可能な分光器。
JP12526984U 1984-08-20 1984-08-20 高速波長掃引可能な分光器 Pending JPS6140633U (ja)

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