JPS59142706U - 位置の変位計 - Google Patents

位置の変位計

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Publication number
JPS59142706U
JPS59142706U JP3858983U JP3858983U JPS59142706U JP S59142706 U JPS59142706 U JP S59142706U JP 3858983 U JP3858983 U JP 3858983U JP 3858983 U JP3858983 U JP 3858983U JP S59142706 U JPS59142706 U JP S59142706U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
optical fiber
displacement member
propagates
displacement
Prior art date
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Pending
Application number
JP3858983U
Other languages
English (en)
Inventor
松井　輝仁
Original Assignee
三菱電機株式会社
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Filing date
Publication date
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Priority to JP3858983U priority Critical patent/JPS59142706U/ja
Publication of JPS59142706U publication Critical patent/JPS59142706U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の位置の変位計を示す断面図、第２図はこ
の考案の一実施例による位置の変位計を示す構成図であ
る。 図において、６は光半導体発光素子、６ａは第１光、６
ｂは第２光、６Ｃは第３光、７はビームスプリッタ、８
は反射鏡、９は移動方向に透過光を減衰する変位部材、
１０ａは第１検出器でこの場合は光半導体受光素子、１
０ｂは第２光検出器でこの場合は光半導体受光素子、１
１は第１光フアイバ、１２は第２光フアイバ、１３は第
３光フアイバ、１４は縦較器である。なお、図中、同一
符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 移動方向に沿って透過光が減衰する変位部材、第１光フ
    アイバを経由した第１光を第２光と第３光に分割し、第
    ２光を上記変位部材に照射するビームスプリッタ、上記
    変位部材を透過し減衰した第２光を受光して伝搬する第
    ２光フアイバ、ビームスプリッタで分割された第３光を
    直接受光して伝搬する第３光フアイバ、第２、第３光フ
    アイバに伝搬された光の光量を各々検出する第１、第２
    光検出器、及び第１、第２光検出器により検出された光
    量を比較しその値により変位部材の変位を検出する比較
    器を備えた位置の変位計。
JP3858983U 1983-03-15 1983-03-15 位置の変位計 Pending JPS59142706U (ja)

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JP3858983U JPS59142706U (ja) 1983-03-15 1983-03-15 位置の変位計

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JPS59142706U true JPS59142706U (ja) 1984-09-25

Family

ID=30169255

Family Applications (1)

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JP3858983U Pending JPS59142706U (ja) 1983-03-15 1983-03-15 位置の変位計

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5230799A (en) * 1975-09-04 1977-03-08 Sumitomo Chem Co Ltd Method for production of porous carbon

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5230799A (en) * 1975-09-04 1977-03-08 Sumitomo Chem Co Ltd Method for production of porous carbon

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