JPS6130410B2 - - Google Patents

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JPS6130410B2
JPS6130410B2 JP9325977A JP9325977A JPS6130410B2 JP S6130410 B2 JPS6130410 B2 JP S6130410B2 JP 9325977 A JP9325977 A JP 9325977A JP 9325977 A JP9325977 A JP 9325977A JP S6130410 B2 JPS6130410 B2 JP S6130410B2
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JP
Japan
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semiconductor
strontium titanate
porcelain
oxide
grain boundaries
Prior art date
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Expired
Application number
JP9325977A
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Japanese (ja)
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JPS5427948A (en
Inventor
Harufumi Bandai
Kunitaro Nishimura
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
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  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Inorganic Insulating Materials (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

この発明は高誘電率でその温度特性が平坦であ
り、また耐電圧特性にすぐれ、さらに誘電体損失
も小さく、特に焼成温度が低いとともに焼成時に
おける磁器相互のくつつきが少ないなどの特徴を
有する粒界絶縁型半導体磁器コンデンサに開する
ものである。 従来、チタン酸バリウム系半導体磁器の結晶粒
界に絶縁層を形成することによつて、いままでの
磁器誘電体にくらべて見掛誘電率を大きくした、
いわゆる粒界絶縁型半導体磁器コンデンサが得ら
れることは知られている。 しかしながら、この種のものは大きな見掛誘電
率は得られるもののその温度変化率が大きく、ま
た誘電体損失も大きいという欠点がみられた。 このような欠点を改善したものとして、チタン
酸ストロンチウム系の粒界絶縁型半導磁器コンデ
ンサがある。この半導体磁器コンデンサは、チタ
ン酸ストロンチウムまたはその固溶体に、Y,
Nb,Wなどの半導体化剤を微量添加し、中性ま
たは還元性雰囲気で焼成して半導体磁器を作成
し、そののちCuO,Bi2O3などの金属酸化物ベー
ストを塗布し、これを空気中で熱処理して結晶粒
界に絶縁層を形成したものである。 この半導体磁器コンデンサは高誘導率で誘電体
損失が小さく、また温度に対する見掛誘電率の変
化が小さく、直流バイアス特性にすぐれ、しかも
ひずみが小さいなどの特徴を有している。 しかしながら、一般に素原料に高純度のものを
必要とし、また製造工程が複雑であるなどの点が
らコストが高くなるため、見掛誘電率をさらに大
きくしてやるとともに、耐電圧を高めることによ
つて半導体磁器コンデンサを小形化し、コストダ
ウンを図るように要望されている。 また半導体化剤としてY,Nb,Wなどを用い
た従来のものは高誘電率が得られるにもかかわら
ず、その焼成過程で焼成磁器のうち約30%につい
て磁器相互間でくつつきが生じ、焼成磁器を剥が
さなければならないという面倒な処理が必要であ
り、作業時間を要するためコストアツプの要因に
なつていた。 さらに半導体化剤にY,Nb,Wなどの酸化物
を用いた場合、中性または還元性雰囲気中での焼
成温度は1420〜1460℃とかなり高温になり、耐火
物、発熱体などの劣化が著しかつた。焼成温度を
下げる手段としてはY,Nb,Wなどを金属粉末
で添加するか、Al2O3,SiO2などの鉱化剤を添加
するなどの手段がある。しかしながら前者の手段
は通常の量産工程では効果的なものとは言い難
い。すなわち、量産工程では焼成工程に入る前に
バインダを空気中500〜1000℃で燃焼させる必要
があり、この工程で上記したY,Nb,Wなどの
金属が酸化物となつてしまい、結局焼成温度は高
くなつてしまうことになる。また後者の手段も結
晶粒界にAl2O3,SiO2などが析出し、見掛誘電率
の低下を招くなどこれも有効な手段ではなかつ
た。 この発明は半導体化剤に酸化プラセオジウムを
用いることにより上記したような問題を改善した
ものであるが、チタン酸ストロンチウムに酸化プ
ラセオジウムと酸化銅を含有させて還元性雰囲気
中1430℃で焼成し、そののち大気雰囲気中で1050
℃の温度で熱処理して得られる境界層型磁器誘電
体が存在することは知られている。しかしこのも
のは酸化プラセオジウム単独ではなく酸化銅と一
緒に共存させたものであり、焼成温度も1430℃と
高く、またCu,Biなどからなる金属酸化物で結
晶粒界を絶縁体化していないため見掛誘電率も
36000〜37300とあまり大きな値が得られていな
い。 この発明は上記したような問題をことごとく解
消したもので、その要旨とするところは、 チタン酸ストロンチウムまたはストロンチウム
の一部をカルシウムまたはバリウムで置換したチ
タン酸ストロンチウムが98.6〜99.93重量%、酸
化プラセオジウムが0.07〜1.4重量%からなる半
導体磁器の結晶粒界に、酸化ビスマスと酸化銅が
拡散されて該結晶粒界が絶縁体化されており、前
記半導体磁器の表面に電極が形成されていること
を特徴とするものである。 上記した組成物のうちチタン酸ストロンチウム
については、ストロンチウムの一部をカルシウム
またはバリウムで置換したチタン酸ストロンチウ
ムも含まれる。このように置換したチタン酸スト
ロンチウムについては、昭和50年発行の研究実用
化報告別冊第28号、第221頁、表35にも開示され
ており、この発明においてはストロンチウムを20
モル%までのカルシウム、バリウムで置換しても
よい。カルシウムによる一部置換ではチタン酸ス
トロンチウムで構成された半導体磁器コンデンサ
の特性を損なわずに、破壊電圧を向上させること
ができる。またバリウムによる一部置換ではチタ
ン酸ストロンチウムで構成された半導体磁器の特
性を損なわずに、キユリー点を変化させることに
よつて大きな誘電率を得ることができる。なお、
20モル%までの範囲でカルシウム、バリウムによ
る同時置換も可能である。ここで、置換量を20モ
ル%までとしたのは、20モル%を越えると見掛誘
電率が小さくなるからである。 半導体磁器に含まれる酸化プラセオジウムは絶
縁体である主体成分のチタン酸ストロンチウムま
たはストロンチウムの一部をカルシウムまたはバ
リウムで置換したチタン酸ストロンチウムの半導
体化を促進するものである。この酸化プラセオジ
ウムについては原料として酸化物、塩化物、金属
などを用いてもよく、要は焼成して得られた半導
体磁器に酸化プラセオジウムとして存在させるこ
とができればよい。酸化プラセオジウムを含有す
るチタン酸ストロンチウムまたはカルシウムまた
はバリウムで置換したチタン酸ストロンチウムか
らなる半導体磁器は中性または還元雰囲気中で焼
成されることにより大容量が得られる大きさの粒
径を有することになる。 なお、半導体磁器中にSiO2,GeO2,ZnO,
CuO,TiO2を微量含有されることにより特性を
さらに改善することができる。 半導体磁器のの結晶粒界を絶縁体化するものと
しては、酸化ビスマスと酸化銅の混合物が用いら
れる。これら半導体磁器の結晶粒界を絶縁体化さ
せるものは半導体磁器の表面に付与され、空気中
1000〜1300℃で熱処理することにより半導体磁器
内部に拡散し、結晶粒界に絶縁層として存在す
る。また半導体磁器に付与する量は相当広い範囲
にわたつて特性が一定になるが、その適当量の範
囲を外れると誘電体損失が悪くなるなど特性に悪
影響を与える。また付与量は各金属またはその化
合物によつて異なる。さらに付与する方法として
は、塗布、浸漬、吹き付け、蒸着など任意の手段
を採りうる。 この発明において半導体磁器の組成を限定した
理由は、酸化プラセオジウムが0.07重量%未満に
なると見掛誘電率が小さくなるとともに誘電体損
失が悪くなる。また酸化プラセオジウムが1.4重
量%を越えると見掛誘電率が小さくなる。したが
つてチタン酸ストロンチウムまたはカルシウムま
たはバリウムで置換したチタン酸ストロンチウム
の量も98.6〜99.93重量%の範囲に限定される。 以下この発明を実施例に従つて詳細に説明す
る。 実施例 第1表に示す組成比率の半導体磁器が得られる
ように、まずSrTiO3,CaTiO3,BaTiO3などの
主体原料、Pr2O3を用意し、それらの原料を配合
して湿式ボールミルで10時間粉砕したのち、バイ
ンダとして酢酸ビニル系樹脂を10重量%加え、約
50メツシユに造粒し、油圧プレスで直径10.0mm、
肉厚0.5mmの円板に成型した。 次に成型円板を大気中1150℃で2時間仮焼して
バインダを熱焼させ、そののち水素10容量%、窒
素90容量%からなる還元雰囲気中にて1340〜1370
℃で2時間焼成して、直径8mm、肉厚0.4mmのチ
タン酸ストロンチウム系半導体磁器を得た。 この半導体磁器の表面に酸化ビスマス45重量
%、酸化銅5重量%およびワニス50重量%からな
るペーストを塗布した。塗布量は約10mgrであつ
た。ペーストを塗布した半導体磁器を空気中1150
℃で1時間熱処理を行つた。この処理により半導
体磁器の結晶粒界が絶縁体化される。 さらに銀ペーストを半導体磁器の両平面に塗布
し、800℃で30分間焼付けして電極を形成して半
導体磁器コンデンサを作成した。 このようにして得られた半導体磁器コンデンサ
について、見掛誘電率、誘電体損失(tanδ)と
その標準偏差値(σ)、絶縁低抗(IR)および破
壊電圧(BDV)を測定し、その結果を第1表に
合わせて示した。 なお、見掛誘電率、誘電体損失は+25℃、1K
Hz−0.3Vの条件で測定した値である。また表中
※印を付したものはこの発明範囲外のものであ
り、それ以外はすべてこの発明範囲内のものであ
る。
This invention has features such as high dielectric constant, flat temperature characteristics, excellent withstand voltage characteristics, low dielectric loss, particularly low firing temperature, and less sticking of porcelain pieces to each other during firing. This opens the door to grain boundary insulated semiconductor ceramic capacitors. Conventionally, by forming an insulating layer at the grain boundaries of barium titanate-based semiconductor porcelain, we have increased the apparent permittivity compared to conventional porcelain dielectrics.
It is known that so-called grain boundary insulated semiconductor ceramic capacitors can be obtained. However, although this type of material can obtain a large apparent dielectric constant, it has the drawbacks of a large temperature change rate and a large dielectric loss. A grain boundary insulated semiconducting capacitor based on strontium titanate has been developed to overcome these drawbacks. This semiconductor ceramic capacitor contains strontium titanate or its solid solution, Y,
Semiconductor porcelain is created by adding a small amount of a semiconducting agent such as Nb or W and firing in a neutral or reducing atmosphere.Then, a metal oxide base such as CuO or Bi 2 O 3 is applied, and this is heated in air. An insulating layer is formed at the grain boundaries by heat treatment inside the crystal. This semiconductor ceramic capacitor has features such as high dielectric constant, low dielectric loss, small change in apparent dielectric constant with respect to temperature, excellent DC bias characteristics, and low distortion. However, in general, high-purity raw materials are required, and the manufacturing process is complicated, resulting in high costs. There is a desire to reduce the size and cost of ceramic capacitors. In addition, although conventional products using Y, Nb, W, etc. as semiconducting agents can obtain a high dielectric constant, about 30% of the fired porcelains cause sticking between the porcelains during the firing process. This requires a troublesome process in which the fired porcelain must be peeled off, which takes time and is a factor in increasing costs. Furthermore, when oxides such as Y, Nb, and W are used as semiconducting agents, the firing temperature in a neutral or reducing atmosphere is as high as 1,420 to 1,460°C, which can cause deterioration of refractories, heating elements, etc. It was significant. Means for lowering the firing temperature include adding metal powders such as Y, Nb, and W, or adding mineralizers such as Al 2 O 3 and SiO 2 . However, the former method cannot be said to be effective in normal mass production processes. In other words, in the mass production process, it is necessary to burn the binder in air at 500 to 1000℃ before starting the firing process, and in this process, the metals such as Y, Nb, and W mentioned above turn into oxides, and the firing temperature eventually changes. will end up being expensive. The latter method was also not an effective method because Al 2 O 3 , SiO 2 , etc. were precipitated at the grain boundaries, resulting in a decrease in the apparent dielectric constant. This invention improves the above-mentioned problems by using praseodymium oxide as a semiconducting agent, but strontium titanate contains praseodymium oxide and copper oxide and is fired at 1430°C in a reducing atmosphere. 1050 later in the atmosphere
It is known that boundary layer type porcelain dielectrics exist which can be obtained by heat treatment at temperatures of .degree. However, this product does not contain praseodymium oxide alone, but coexists with copper oxide, and the firing temperature is as high as 1430℃, and the crystal grain boundaries are not made into insulators by metal oxides such as Cu and Bi. Also the apparent permittivity
36000-37300, which is not a very large value. This invention has solved all of the above-mentioned problems, and its gist is that strontium titanate or strontium titanate with a part of strontium replaced with calcium or barium is 98.6 to 99.93% by weight, and praseodymium oxide is 98.6-99.93% by weight. Bismuth oxide and copper oxide are diffused into the grain boundaries of the semiconductor porcelain consisting of 0.07 to 1.4% by weight to make the grain boundaries an insulator, and electrodes are formed on the surface of the semiconductor porcelain. This is a characteristic feature. Among the compositions described above, strontium titanate includes strontium titanate in which a portion of strontium is replaced with calcium or barium. Strontium titanate substituted in this way is also disclosed in Research and Practical Report Special Issue No. 28, page 221, Table 35, published in 1975, and in this invention, strontium is replaced with 20
Up to mol% of calcium, barium may be substituted. Partial substitution with calcium can improve the breakdown voltage without impairing the characteristics of semiconductor ceramic capacitors made of strontium titanate. In addition, partial substitution with barium makes it possible to obtain a large dielectric constant by changing the Curie point without impairing the characteristics of semiconductor ceramics made of strontium titanate. In addition,
Simultaneous substitution with calcium and barium is also possible within a range of up to 20 mol%. Here, the reason why the amount of substitution is up to 20 mol % is because if it exceeds 20 mol %, the apparent dielectric constant becomes small. Praseodymium oxide contained in semiconductor porcelain promotes the conversion of strontium titanate, which is the main component of the insulator, or strontium titanate, in which a portion of the strontium is replaced with calcium or barium, into a semiconductor. For this praseodymium oxide, oxides, chlorides, metals, etc. may be used as raw materials, and the point is that it can be present as praseodymium oxide in the semiconductor porcelain obtained by firing. Semiconductor porcelain made of strontium titanate containing praseodymium oxide or strontium titanate substituted with calcium or barium has a particle size large enough to obtain a large capacity when fired in a neutral or reducing atmosphere. . In addition, SiO 2 , GeO 2 , ZnO,
The properties can be further improved by containing small amounts of CuO and TiO 2 . A mixture of bismuth oxide and copper oxide is used to make the grain boundaries of semiconductor porcelain into an insulator. These substances that make the grain boundaries of semiconductor ceramics into insulators are added to the surface of semiconductor ceramics and are exposed to air.
When heat treated at 1000 to 1300°C, it diffuses into the semiconductor porcelain and exists as an insulating layer at grain boundaries. Further, although the amount applied to semiconductor ceramics makes the characteristics constant over a fairly wide range, if the amount is outside the appropriate range, the characteristics will be adversely affected, such as dielectric loss worsening. Further, the amount applied varies depending on each metal or its compound. Furthermore, any method such as coating, dipping, spraying, vapor deposition, etc. can be used as a method of application. The reason why the composition of the semiconductor ceramic is limited in this invention is that when praseodymium oxide is less than 0.07% by weight, the apparent dielectric constant becomes small and the dielectric loss becomes bad. Moreover, when praseodymium oxide exceeds 1.4% by weight, the apparent dielectric constant becomes small. Therefore, the amount of strontium titanate or strontium titanate substituted with calcium or barium is also limited to a range of 98.6 to 99.93% by weight. The present invention will be described in detail below with reference to Examples. Example In order to obtain semiconductor porcelain having the composition ratio shown in Table 1, first, main raw materials such as SrTiO 3 , CaTiO 3 , BaTiO 3 and Pr 2 O 3 were prepared, and these raw materials were blended and milled in a wet ball mill. After pulverizing for 10 hours, 10% by weight of vinyl acetate resin was added as a binder, and the
Granulated into 50 mesh pieces, 10.0mm in diameter using a hydraulic press.
It was molded into a disc with a wall thickness of 0.5 mm. Next, the molded disk was calcined in the air at 1150℃ for 2 hours to heat the binder, and then heated to 1340 to 1370℃ in a reducing atmosphere consisting of 10% by volume hydrogen and 90% by volume nitrogen.
C. for 2 hours to obtain strontium titanate semiconductor porcelain having a diameter of 8 mm and a wall thickness of 0.4 mm. A paste consisting of 45% by weight of bismuth oxide, 5% by weight of copper oxide and 50% by weight of varnish was applied to the surface of this semiconductor porcelain. The amount applied was approximately 10 mgr. Semiconductor porcelain coated with paste is exposed to air at 1150°C.
Heat treatment was performed at ℃ for 1 hour. This treatment converts the grain boundaries of the semiconductor ceramic into an insulator. Furthermore, silver paste was applied to both surfaces of the semiconductor porcelain and baked at 800°C for 30 minutes to form electrodes and create a semiconductor porcelain capacitor. The apparent dielectric constant, dielectric loss (tanδ) and its standard deviation (σ), insulation resistance (IR), and breakdown voltage (BDV) of the semiconductor ceramic capacitor obtained in this way were measured, and the results were are shown in Table 1. In addition, the apparent permittivity and dielectric loss are +25℃, 1K
This is a value measured under the condition of Hz - 0.3V. Also, those marked with * in the table are outside the scope of this invention, and all others are within the scope of this invention.

【表】 参考例 上記した実施例と同様にして第2表に示す組成
比率の半導体磁器を作成し、さらに結晶粒界を絶
縁体化して半導体磁器コンデンサを作成した。 このようにして得られた半導体磁器コンデンサ
の諸特性を上記した実施例と同様にして測定し、
第2表に合わせて示した。
[Table] Reference Example Semiconductor ceramics having the composition ratios shown in Table 2 were prepared in the same manner as in the above-mentioned Examples, and the crystal grain boundaries were made into insulators to prepare semiconductor ceramic capacitors. Various characteristics of the semiconductor ceramic capacitor obtained in this way were measured in the same manner as in the above example,
It is also shown in Table 2.

【表】 第1表と第2表を比較して明らかなように、こ
の発明のように半導体化剤として酸化プラセオジ
ウムを含有させて得られた粒界絶縁型半導体磁器
コンデンサは見掛誘電率が従来のものと同程度の
ものではBDVが1.5倍になつており、またBDVが
同程度のものでは見掛誘電率が1.5倍になつてい
るなど、特性を向上させることができるとともに
小形化が図かれるなどの効果を有している。 また実施例中の発明範囲内のもの、参考例およ
びチタン酸ストロンチウムに酸化プラセオジウム
と酸化銅を同時に含有させた従来例について、そ
れぞれ温度変化に対する見掛誘電率の変化率(−
35℃〜+85℃)を測定したところ第1図のような
結果であつた。 図中のA領域はこの発明範囲内のものを示し、
B領域は参考例と従来例のものを示す。図からこ
の発明範囲内のものは+10%〜−8%であるのに
対し、参考例と従来例のものは+23〜−20%の範
囲にあり、この発明範囲内のものは温度特性にす
ぐれていることがわかる。 なお、第1図中、A領域には第1表で示した各
試料のうち、試料番号2,3および6のものの見
掛誘電率の温度変化率を示した。またB領域には
第2表で示した参考例1,2および3および従来
例について見掛誘電率の温度変化率を示した。 また従来のものは磁器相互間で反応を起こして
くつつき現象を示し、その割合は平均して30%に
も達していたが、この発明によれば平均4%と非
常に小なくなり、磁器が剥がす作業がほとんど不
要となり、作業性がきわめて向上するという効果
を有する。 さらに半導体化剤として酸化プラセオジウムを
含有させて得られた粒界絶縁型半導体磁器コンデ
ンサは誘電体損失のバラツキが小さく、品質の安
定したものが量産工程で大量に得られ、しかも焼
成温度も低くできるなど工業利用上大きな価値を
有する。
[Table] As is clear from a comparison of Tables 1 and 2, the grain boundary insulated semiconductor ceramic capacitor obtained by containing praseodymium oxide as a semiconducting agent as in the present invention has an apparent permittivity of The BDV is 1.5 times higher than the conventional one, and the apparent permittivity is 1.5 times higher when the BDV is the same, so it is possible to improve the characteristics and reduce the size. It has the effect of making you look like someone. Furthermore, for those within the scope of the invention in the examples, reference examples, and conventional examples in which strontium titanate contains praseodymium oxide and copper oxide at the same time, the rate of change in apparent permittivity with respect to temperature change (-
35°C to +85°C), the results were as shown in Figure 1. Area A in the figure indicates what is within the scope of this invention,
Area B shows a reference example and a conventional example. From the figure, the values within the range of this invention are +10% to -8%, while those of the reference and conventional examples are in the range of +23 to -20%, and those within the range of this invention have excellent temperature characteristics. It can be seen that In FIG. 1, area A shows the temperature change rate of the apparent permittivity of sample numbers 2, 3, and 6 among the samples shown in Table 1. In addition, in region B, the temperature change rate of the apparent dielectric constant is shown for Reference Examples 1, 2, and 3 shown in Table 2, and the conventional example. In addition, with conventional products, the porcelain caused a reaction between each other and exhibited a pecking phenomenon, and the rate reached 30% on average, but with this invention, the rate has been reduced to an extremely small 4% on average, and the porcelain peels off. This has the effect that almost no work is required and workability is greatly improved. Furthermore, grain boundary insulated semiconductor ceramic capacitors obtained by containing praseodymium oxide as a semiconducting agent have small variations in dielectric loss, can be produced in large quantities with stable quality in the mass production process, and can be fired at low temperatures. It has great value in industrial applications.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は温度変化に対する見掛誘電率の変化率
を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing the rate of change in the apparent dielectric constant with respect to temperature change.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 チタン酸ストロンチウムまたはストロンチウ
ムの一部をカルシウムまたはバリウムで置換した
チタン酸ストロンチウムが98.6〜99.93重量%、
酸化プラセオジウムが0.07〜1.4重量%からなる
半導体磁器の結晶粒界に、酸化ビスマスと酸化銅
が拡散されて該結晶粒界が絶縁体化されており、
前記半導体磁器の表面に電極が形成されているこ
とを特徴とする粒界絶縁型半導体磁器コンデン
サ。
1 Strontium titanate or strontium titanate with a part of strontium replaced with calcium or barium is 98.6 to 99.93% by weight,
Bismuth oxide and copper oxide are diffused into the grain boundaries of semiconductor porcelain containing 0.07 to 1.4% by weight of praseodymium oxide, and the grain boundaries are made into an insulator.
A grain boundary insulated semiconductor ceramic capacitor, characterized in that an electrode is formed on the surface of the semiconductor ceramic.
JP9325977A 1977-08-04 1977-08-04 Grainninsulator type semiconductor ceramic capacitor Granted JPS5427948A (en)

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JPS5427948A JPS5427948A (en) 1979-03-02
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