JPS61293746A - Precision location device - Google Patents
Precision location deviceInfo
- Publication number
- JPS61293746A JPS61293746A JP13220585A JP13220585A JPS61293746A JP S61293746 A JPS61293746 A JP S61293746A JP 13220585 A JP13220585 A JP 13220585A JP 13220585 A JP13220585 A JP 13220585A JP S61293746 A JPS61293746 A JP S61293746A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nut
- feed screw
- slide table
- nut holder
- table plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/38—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
- B23Q5/40—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw
- B23Q5/408—Nut bearings therefor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
- F16H25/24—Elements essential to such mechanisms, e.g. screws, nuts
- F16H2025/2445—Supports or other means for compensating misalignment or offset between screw and nut
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、ＸＹテーブル等に利用される精密位置決め装
置の駆動方法に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention relates to a method for driving a precision positioning device used in an XY table or the like.
従来の技術
従来のこの種の精密位置決め装置は、例えば特開昭５９
−７１８１２号公報に示されているように、第３図のよ
うな構造となっていた。2. Description of the Related Art A conventional precision positioning device of this type is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-open No. 59
As shown in Japanese Patent No. 71812, the structure was as shown in FIG.
すなわち１８は動力源であるモータで、ブラケット１９
に固定されている。２０はモータシャフトで、継手２１
によって送りネジ２２と一端で連結され回転可能となっ
ている。２３．２４は軸受であり、軸受プラケッ）２５
．２６に固定され、前記送りネジ２２を回転可能として
いる。又、前記送りネジ２２のナツト２７はナツト保持
部２８により固定されている。That is, 18 is a motor which is a power source, and bracket 19
Fixed. 20 is the motor shaft, and the joint 21
It is connected to the feed screw 22 at one end and is rotatable. 23. 24 is a bearing, bearing placket) 25
．． 26, making the feed screw 22 rotatable. Further, the nut 27 of the feed screw 22 is fixed by a nut holding portion 28.
前記ナツト保持部２８の送９ネジ２２の下側には、送り
ネジ２２と平行にリニアモーションベアリング２９を固
定していて、ガイドバー３０上を摺動自在の構造として
いる。前記ガイドバー３０の両端は、軸受ブラケッ）２
５．２６に固定されている。第４図は前記ナツト保持部
２８とスライドテーブル３１に固定されたテーブルプレ
ート３２．３３の拡大斜視図であり、スライドテーブル
３１からの圧力気体が前記テーブルプレート３２．３３
へ導入され、更には、テーブルブレー）３２．３３のノ
ズル３４．３５からナツト保持部２８へ噴出され気体軸
受としている。これによって、前記ナツト２７．ナツト
保持部２８．テーブルプレート３２．３３及びスライド
テーブル３１は一体となり、モータ１８からの動力を送
りネジ２２を介して駆動することになる。A linear motion bearing 29 is fixed to the lower side of the feed screw 22 of the nut holding portion 28 in parallel with the feed screw 22, and is configured to be slidable on the guide bar 30. Both ends of the guide bar 30 are provided with bearing brackets (bearing brackets) 2
It is fixed at 5.26. FIG. 4 is an enlarged perspective view of the table plate 32.33 fixed to the nut holding part 28 and the slide table 31, and the pressurized gas from the slide table 31 is transferred to the table plate 32.33.
The gas is further introduced into the nut holding section 28 from the nozzles 34, 35 of the table brake (32, 33) to form a gas bearing. This causes the nut 27. Nut holding part 28. The table plates 32 and 33 and the slide table 31 are integrated and drive power from the motor 18 via the feed screw 22.
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記のような構造では、駆動時に送りネジ
２２の軸受部とネジ部との同軸度の狂いや送りネジ２２
のそりによる振れ回りによってナツト保持部２８のラジ
アル方向の変位、変動が生しることになる。前記ナツト
保持部２８とテーブルプレー）３２．３３とで気体軸受
を構成しても圧力気体を介して、ナツト保持部２８とテ
ーブルプレー）３２．３３とは面接触である為、前記の
ナツト２７のラジアル方向の変位、変動は容易にスライ
ドテーブル３１に作用してテーブル面のヨーイング（横
揺れ）を生じさせる。このことは気体軸受の性質上、ナ
ツト保持部２８が変位してテーブルプレート３２．３３
との間隙１．つまりクリアランスが変われば、このクリ
アランスの変位を元に戻して釣り合いを保とうとするた
めにテーブルブレー）３２．３３が変位、変動しスライ
ドテーブル３１に作用するものである。このことはスラ
イドテーブル３１のスライド方向の送り精度に誤差を生
じ、位置決め精度を低下させる。又、一般に気体軸受は
単位面積あたりの剛性が低いため、スライドテーブルに
用いる場合、大形化してしまいあまり実用的でない等の
問題を有していた。Problems to be Solved by the Invention However, with the above structure, the coaxiality between the bearing part and the threaded part of the feed screw 22 may be out of alignment, and the feed screw 22 may
The swinging caused by the warping causes displacement and fluctuation of the nut holding portion 28 in the radial direction. Even if the nut holder 28 and the table plate 32, 33 form a gas bearing, the nut holder 28 and the table plate 32, 33 are in surface contact through pressure gas, so the nut 27 The displacement and fluctuation in the radial direction easily acts on the slide table 31, causing yawing (sideways shaking) of the table surface. Due to the nature of gas bearings, this means that the nut holder 28 is displaced and the table plate 32, 33
Gap between 1. In other words, if the clearance changes, the table brakes 32 and 33 are displaced and fluctuated to act on the slide table 31 in order to restore the displacement of the clearance to its original state and maintain balance. This causes an error in the feeding accuracy of the slide table 31 in the sliding direction, reducing the positioning accuracy. In addition, since gas bearings generally have low rigidity per unit area, when used in a slide table, they have the problem of being too large and not very practical.
そこで、本発明は上記問題点に鑑み、駆動系からの外力
がスラスト方向以外には伝達されずにテーブルのスライ
ド方向の送り精度を向上させる位置決め装置の駆動方法
を提供するものである。SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above-mentioned problems, the present invention provides a method for driving a positioning device that improves the feeding accuracy of the table in the sliding direction without transmitting external force from the drive system in directions other than the thrust direction.
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明の位置決め装置は、
往復動可能なスライドテーブルと、このスライドテーブ
ルの摺動方向に軸中心を有する送りネジと、この送りネ
ジと螺合可能なす、フトを保ルに設けたテーブルプレー
トと前記ナツト保持部との間に設けられて点接触し、転
動可能に挾持された球と、球をテーブルプレートとナツ
ト保持部とで挾持した位置決め装置である。Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, the positioning device of the present invention includes:
A reciprocating slide table, a feed screw having an axial center in the sliding direction of the slide table, a table plate having a foot and a foot screwable with the feed screw in the retainer, and the nut holding portion. This is a positioning device in which a ball is provided in a table plate and a nut holder, and the ball is held between a table plate and a nut holder.
作 用
本発明は上記構成により、駆動時に送りネジの振れ回り
によりナツトのラジアル方向の変位、変動があっても、
ナツト保持部とテーブルプレートとの間に挾持された球
が転動するだけで、上記の変位、変動はスライドテーブ
ルに伝達されない。Effects The present invention has the above configuration, so that even if the nut is displaced or fluctuated in the radial direction due to whirling of the feed screw during driving,
The ball held between the nut holder and the table plate simply rolls, and the above-mentioned displacements and fluctuations are not transmitted to the slide table.
つまり、テーブル面のピッチング（縦揺れ）およびヨー
イング（横揺れ）がなく、テーブルの位置決め精度向上
にきわめて有利である。In other words, there is no pitching (vertical shaking) or yawing (lateral shaking) of the table surface, which is extremely advantageous in improving table positioning accuracy.
実施例
以下本発明の一実施例について図面を参照しながら説明
する。EXAMPLE An example of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第１図において、１は動力源であるモータで、プラーケ
ラト２に固定されている。３はモータシャフトで、継手
４によって送りネジ５と一端で連結され回転可能となっ
ている。６，７は軸受であり、軸受ブラケット８．９に
固定され、前記送りネジ５を回転可能としている。又、
前記送りネジ５のナツト１ｏは、ナンド保持部１１によ
り固定されている。前記す・ソト保持部１１の送りネジ
６の下側には、送りネジ６と平行にリニアモーシランベ
アリング１２を固定していて、ガイドバー１３上を摺動
自在の構造としている。前記ガイドバー１３の両端は軸
受ブラケット８．９に固定されている。In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a motor as a power source, which is fixed to a plaquette 2. Reference numeral 3 denotes a motor shaft, which is connected at one end to a feed screw 5 by a joint 4 so as to be rotatable. Bearings 6 and 7 are fixed to a bearing bracket 8.9 and allow the feed screw 5 to rotate. or,
The nut 1o of the feed screw 5 is fixed by a NAND holding part 11. A linear Mosilan bearing 12 is fixed to the lower side of the feed screw 6 of the screw holding portion 11 in parallel with the feed screw 6, and is configured to be slidable on a guide bar 13. Both ends of the guide bar 13 are fixed to bearing brackets 8.9.
第２図ａは、第１図のＡ矢視拡大図であシ、第２図すは
、第１図のＢ矢視拡大図である。、１４は琢で、前記ナ
ツト保持部１ｏとテーブルプレート１６とに点接触して
挾持され、挟持面上を自由に転動可能に設置されている
。１６はテーブルプレート１５と相対するナツト保持部
面上に設置された磁石であり、テーブルプレート１６を
吸引固定している。１７はスライドテーブルで、モー、
夕１からの動力をナツト１０を介して伝達され駆動する
。FIG. 2a is an enlarged view in the direction of arrow A in FIG. 1, and FIG. 2a is an enlarged view in direction of arrow B in FIG. , 14 is a steel plate which is held in point contact with the nut holding portion 1o and the table plate 16, and is installed so as to be able to freely roll on the holding surface. A magnet 16 is installed on the surface of the nut holding portion facing the table plate 15, and attracts and fixes the table plate 16. 17 is a slide table, mo.
The power from the nut 1 is transmitted through the nut 10 and driven.
以上のように構成された位置決め装置についてその動作
を説明する。モータ１を駆動させることによって継手４
．軸受６，７および送りネジ５が回転する。これによっ
てナラ）１０ 、ナツト保持部１１およびスライドテー
ブル１７が送り駆動される。この送りの際、ナツト保持
部１１に固定されたリニアモーションベアリング１２が
ガイドバー１３上を摺動する。本発明の構成の駆動方法
であれば、駆動時に送りネジ６が振れ回ってナツト１０
がラジアル方向へ変位、変動しても球１４が転動するだ
けでスライドテーブル１７へは縦揺れ。The operation of the positioning device configured as above will be explained. By driving the motor 1, the joint 4
．． The bearings 6, 7 and the feed screw 5 rotate. As a result, the nut holder 11, nut holder 11, and slide table 17 are driven to be fed. During this feeding, the linear motion bearing 12 fixed to the nut holder 11 slides on the guide bar 13. With the driving method configured according to the present invention, the feed screw 6 swings around during driving and the nut 10
Even if the ball 14 is displaced or fluctuated in the radial direction, the ball 14 simply rolls and the slide table 17 is vertically swayed.
横揺れとなって影響しない。It becomes a lateral shake and has no effect.
発明の効果
以上のように本発明は、ナツト保持部とテーブルプレー
トにより球を転動可能に挾持するため、送りネジの振れ
回りによるナツトのラジアル方向の変位、変動があって
も球が転動するのみで、スライドテーブルには前記の変
位、変動が伝達されず、ピッチング、ヨーイングの影響
を受けないスライドテーブルの駆動ができる。よってス
ライドテーブルの位置決め精度が向上し、その実用的効
果は大なるものがある。Effects of the Invention As described above, in the present invention, since the ball is held in a rolling manner by the nut holding part and the table plate, the ball does not roll even if the nut is displaced or fluctuated in the radial direction due to whirling of the feed screw. By simply doing this, the above-mentioned displacements and fluctuations are not transmitted to the slide table, and the slide table can be driven without being affected by pitching or yawing. Therefore, the positioning accuracy of the slide table is improved, which has a great practical effect.
第１図は本発明の一実施例における精密位置決め装置の
スライドテーブル駆動装置の斜視図、第２図ａは第１図
におけるＡ矢視拡大図、第２図すは第１図におけるＢ矢
視拡大図、第３図は従来のスライドテーブル駆動装置の
斜視図、第４図は同部分拡大斜視図である。
５．２２・・・・・・送りネジ、１０ 、、２７・・・
・・・ナツト、１１．２８・・・・・・す・ソト保持部
、１５，３２．３３・・・・・・テーブルプレート、１
４・・・・・・球、１６・・・・・・磁石、１７．３１
・・・・・・スライドテーブル、３４゜３６・・・・・
・ノズル。
＋７−〜−スライトテ、う。
八
第２図 １４−抹
（０，） 山 １６−磁石第３
図
第４図FIG. 1 is a perspective view of a slide table driving device of a precision positioning device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 a is an enlarged view as viewed from arrow A in FIG. 1, and FIG. An enlarged view, FIG. 3 is a perspective view of a conventional slide table driving device, and FIG. 4 is an enlarged perspective view of the same portion. 5.22...Feed screw, 10,,27...
... Nut, 11.28 ... Soto holding part, 15, 32.33 ... Table plate, 1
4... Ball, 16... Magnet, 17.31
...Slide table, 34°36...
·nozzle. +7-～-Slight Te, ugh. 8 Figure 2 14-Maku(0,) Mountain 16-Magnet No. 3
Figure 4
Claims (3)
テーブルの摺動方向に軸中心を有する送りネジと、この
送りネジと螺合可能なナットを保持したナット保持部と
、前記送りネジの軸方向と平行に設けられ、かつ前記ナ
ット保持部を軸方向に摺動可能に取付けたガイドバーと
、前記スライドテーブルに設けたテーブルプレートと前
記ナット保持部との間に設けられて点接触し、転動可能
に挾持された球とを備えた精密位置決め装置。(1) A reciprocating slide table, a feed screw whose axial center is in the sliding direction of the slide table, a nut holder holding a nut that can be screwed onto the feed screw, and an axial direction of the feed screw A guide bar is provided in parallel with the nut holder and is attached to the nut holder so as to be slidable in the axial direction, and a guide bar is provided between the table plate provided on the slide table and the nut holder, and is in point contact with the nut holder. A precision positioning device comprising a movably clamped ball.
で挾持する手段として、テーブルプレートに相対するナ
ット保持部の面上、あるいは、ナット保持部に相対する
テーブルプレートの面上に磁石を設置した特許請求の範
囲第１項記載の精密位置決め装置。(2) As a means for holding the ball between the table plate and the nut holder, a magnet is installed on the surface of the nut holder facing the table plate, or on the surface of the table plate facing the nut holder. A precision positioning device according to claim 1.
で挾持する手段として、テーブルプレートとナット保持
部の間にバネを設置した特許請求の範囲第１項記載の精
密位置決め装置。(3) The precision positioning device according to claim 1, further comprising a spring installed between the table plate and the nut holder as means for holding the ball between the table plate and the nut holder.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13220585A JPS61293746A (en) | 1985-06-18 | 1985-06-18 | Precision location device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13220585A JPS61293746A (en) | 1985-06-18 | 1985-06-18 | Precision location device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61293746A true JPS61293746A (en) | 1986-12-24 |
Family
ID=15075848
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13220585A Pending JPS61293746A (en) | 1985-06-18 | 1985-06-18 | Precision location device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61293746A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63312563A (en) * | 1987-06-15 | 1988-12-21 | Matsushita Electric Works Ltd | Precision positioning device |
-
1985
- 1985-06-18 JP JP13220585A patent/JPS61293746A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63312563A (en) * | 1987-06-15 | 1988-12-21 | Matsushita Electric Works Ltd | Precision positioning device |
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