JPS61293741A - Table transferring device - Google Patents

Table transferring device

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JPS61293741A
JPS61293741A JP13400085A JP13400085A JPS61293741A JP S61293741 A JPS61293741 A JP S61293741A JP 13400085 A JP13400085 A JP 13400085A JP 13400085 A JP13400085 A JP 13400085A JP S61293741 A JPS61293741 A JP S61293741A
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movable
linear
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magnetic pole
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/58Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q5/00Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
    • B23Q5/22Feeding members carrying tools or work
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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a long distance motion by interposing a plurality of linear motors between two movable tables and thereby moving one of the tables while the other is in the condition fixed to a bed through the action of a brake. CONSTITUTION:A stationary bed 1 is equipped at both sides flanges protruding upward and extending parallelly in the longitudinal direction, and a track table 3 is fixed to the bed 1 with a fixture alongside the inner side faces of the two flanges. No.1 and 2 movable tables 5, 6 are installed on said track table 3 through a linear bearing in such a way as borne movable freely along the track table 3. Two pairs of linear motors 7, 8 are interposed between the mating faces of No.1 and 2 movable tables 5, 6. A stator 7b and a moving element 8a are arranged on the No.1 table side 5 while a moving element 7a and a stator 8b are arranged on the No.2 table side 6.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明はたとえば工作機械等に使用されるテーブル移送
装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a table transfer device used in, for example, machine tools.

(従来の技術) 従来テーブル移送装置は、固定ベッドに可動テーブルが
摺動自在に取付けられ、この可動テーブルの送り機構は
ボールネジとボールネジを回転させるサーボモータもし
くはステッピングモータ等の回転モータとにより構成さ
れており、ボールネジの回転運動で可動テーブルの直線
運動を制御して高精度に位置決めするのが一般的であっ
た。しかしボールネジのバンクラッシュ等により始動時
、停止時の応答性が悪く、位置決め精度を高精度にでき
ないこと、また高精度にするためにボールネジのピッチ
を小さくすると高速性が劣ること、さらにボールネジと
回転モータを組付ける必要があることから装置が大型化
する等の欠点があった。
(Prior Art) In a conventional table transfer device, a movable table is slidably attached to a fixed bed, and the feeding mechanism of this movable table is composed of a ball screw and a rotating motor such as a servo motor or a stepping motor that rotates the ball screw. It was common practice to control the linear motion of a movable table using the rotational motion of a ball screw for highly accurate positioning. However, due to bank lash of the ball screw, the responsiveness during starting and stopping is poor, making it impossible to achieve high positioning accuracy.Also, if the pitch of the ball screw is reduced to achieve high accuracy, the high speed will be poor, and the relationship between the ball screw and the rotation There were drawbacks such as the need to assemble the motor, which increased the size of the device.

これに対し、リニアモータを使用すると、ボールネジ等
による機械的な駆動伝達機構が必要ないために、応答性
がよく、また高速に駆動し得ること、さらにリニアモー
タの可動子および固定子が可動テーブルと固定ベッドと
の間に組み込むことができ小型化できる等の利点があり
、リニアモータを使用したテーブル移送装置が種々提案
されている。
On the other hand, using a linear motor does not require a mechanical drive transmission mechanism such as a ball screw, so it has good responsiveness and can be driven at high speed. Various table transfer devices using linear motors have been proposed, which have advantages such as being able to be incorporated between a table transfer device and a fixed bed and being miniaturized.

(発明が解決しようとする問題点) しかし斯かる従来例の場合には、通常固定子を固定ベッ
ド側に固定して、その上を可動テーブルが移動するので
可動テーブルの移動し得る範囲は、固定子の長さ分の範
囲内に限られていた。そのために長い距離を移動させる
場合には、長い固定子を製作する必要があった。一方固
定子の固定子歯は鉄板等をエツチングすることにより形
成されるが、固定子を長くすると、それだけエツチング
用の長いバスが必要となり、生産設備の増大を招きコス
トアンプにつながる。さらに固定子自体もその長さに比
例して製作コストが増大するという問題があった。この
ような問題を解決するために、短い長さの固定子を複数
個継ぎ足して長い固定子を形成することも考えられるが
、各固定子の継ぎ目部分を固定子歯のピンチと同一の精
度で継ぎ足すことが困難で、たとえば1mピッチで走行
していても継ぎ目部分で1.5 wbmピッチとオーバ
ーしたり、少なかったりして可動テーブルの走行精度が
悪くなるという問題があった。さらに固定子歯の精度等
によりなお送りピッチ−がばらつくという問題があった
(Problem to be Solved by the Invention) However, in the case of such a conventional example, the stator is usually fixed to the fixed bed side and the movable table moves on it, so the movable range of the movable table is It was limited to the length of the stator. Therefore, when moving a long distance, it was necessary to manufacture a long stator. On the other hand, the stator teeth of the stator are formed by etching a steel plate or the like, but as the stator becomes longer, a longer bus for etching is required, which increases production equipment and increases costs. Furthermore, there is a problem in that the manufacturing cost of the stator itself increases in proportion to its length. In order to solve this problem, it is possible to form a long stator by joining together several short stators, but the joint part of each stator must be formed with the same accuracy as the pinch of the stator teeth. It is difficult to add joints, and for example, even when traveling at a pitch of 1 m, there is a problem that the pitch exceeds or is less than 1.5 wbm at the joint portion, resulting in poor running accuracy of the movable table. Furthermore, there is a problem in that the feed pitch still varies depending on the accuracy of the stator teeth.

本発明は上記の問題点を解決するためになされたもので
、その目的とするところは、固定子の長さに関係なく、
固定子の長さ以上の長い距離でも無限に移動可能でかつ
精密送り可能なテーブル移送装置を提供することにある
The present invention was made to solve the above problems, and its purpose is to
To provide a table transfer device which is infinitely movable even over a long distance longer than the length of a stator and can be precisely fed.

(問題点を解決するための手段) 上記の目的を達成するために、本発明にあっては、固定
ベッド上に第1可動テーブルおよび第2可動テーブルを
上下方向に離隔させて設け、該第1可動テーブルおよび
第2可動テーブルをそれぞれリニアベアリングを介して
同一方向に移動自在に取付け、上記第1可動テーブルお
よび第2可動テーブルには、該第1可動テーブルおよび
第2可動テーブルを上記固定ベッドに対して固定せしめ
るプレ゛−キ手段が取付けられ、上記第1可動テーブル
と第2可動テーブルの間に、該第1可動テーブルおよび
第2可動テーブルのいづれか一方をブレーキ手段により
上記固定ベッドに択一的に固定した状態で他方を移動せ
しめるリニアモータを複数個介在させたものから成って
いる。
(Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, the present invention provides a first movable table and a second movable table spaced apart from each other in the vertical direction on a fixed bed. A first movable table and a second movable table are respectively attached via linear bearings so as to be movable in the same direction, and the first movable table and the second movable table are attached to the fixed bed. A brake means is attached between the first movable table and the second movable table to select one of the first movable table and the second movable table to the fixed bed by the brake means. It consists of a plurality of interposed linear motors that move one motor while the other is fixed.

(実施例) 以下に、本発明を図示の実施例に基づいて説明する0本
発明の第一実施例に係るリニアモータを示す第1図乃至
第6図において、1は固定ベッドで、その両側端には上
方に向って突出して長手方向に互いに平行に延びるフラ
ンジ2.2が形成されており、両フランジ2.2の内側
面に沿って平行に軌道台3.3がボルト等の固着具4に
よって固定ベッドlに固着さ耗ている。軌道台3.3に
はりニアベアリングを介して第1可動テーブル5と第2
可動テーブル6が軌道台3.3に沿って移動自在に支承
されている。第1可動テーブル5と第2可動テーブル6
の対向面間には、2組のリニアモータ7.8(本実施例
にあってはりニアパルスモーク)が介在せしめられてい
る。このリニアモータ7.8のうち一方の第1リニアモ
ータ7の固定子7bと可動子7aの配置は、第1可動チ
ー    □プル5側に固定子7bが第2可動テーブル
6側には可動子7aが配置されており、他方の第2リニ
アモータ8の固定子8bと可動子8aの配置は、第1リ
ニアモータ7とは逆に、第1可動テーブル5側には可動
子8aが、第2可動テーブル6側には固定子8bが配置
されている。第1および第2可動テーブル5.6は、そ
れぞれ4対のリニアベフランジ9.・・・;lO・・・
により軌道台3,3に支承されている。すなわち第2可
動テーブル6を例にとって説明すると、テーブル下面に
取付けた第1リニアモータフの可動子7aの両側に2対
のリニアベアリング9.・・・がボルト等の固着具11
・・・により固着されており、第2リニアモータ8の固
定子8bの両側に2対のリニアベアリング9.・・・が
固着具11・・・により固着されている。さらにこのリ
ニアベアリング9.9の間には、一対のブレーキ手段と
しての電磁ブレーキ12.12が固着され、さらに第2
リニアモータ8の固定子8bの中央部両側にもリニアベ
アリング9.9の間に一対の電磁ブレーキ12.12が
固着されている。
(Example) In the following, the present invention will be explained based on the illustrated embodiment. In Figs. 1 to 6 showing a linear motor according to a first embodiment of the present invention, 1 is a fixed bed, and Flanges 2.2 are formed at the ends to project upward and extend parallel to each other in the longitudinal direction, and a track 3.3 is installed in parallel along the inner surface of both flanges 2.2 to attach fasteners such as bolts. 4, it is stuck to the fixed bed l and is worn out. The first movable table 5 and the second movable table 5 are connected to the track 3.3 via near bearings.
A movable table 6 is movably supported along a track 3.3. First movable table 5 and second movable table 6
Two sets of linear motors 7.8 (near pulse motors in this embodiment) are interposed between the opposing surfaces of the motors. The arrangement of the stator 7b and the movable element 7a of one of the first linear motors 7 and 8 is such that the stator 7b is on the pull 5 side and the movable element is on the second movable table 6 side. 7a is arranged, and the arrangement of the stator 8b and mover 8a of the other second linear motor 8 is opposite to that of the first linear motor 7, and the mover 8a is on the first movable table 5 side, A stator 8b is arranged on the second movable table 6 side. The first and second movable tables 5.6 each have four pairs of linear base flanges 9.6. ... ;lO...
It is supported on the tracks 3, 3 by. That is, taking the second movable table 6 as an example, two pairs of linear bearings 9. ... is a fastener 11 such as a bolt
..., and two pairs of linear bearings 9. are attached to both sides of the stator 8b of the second linear motor 8. ... are fixed by fixing tools 11.... Further, between the linear bearings 9.9, electromagnetic brakes 12.12 as a pair of braking means are fixed, and a second
A pair of electromagnetic brakes 12.12 are also fixed to both sides of the central portion of the stator 8b of the linear motor 8 between the linear bearings 9.9.

第1可動テーブル5についても第2可動テーブル6と同
様の構成で、4対のリニアベアリング10゜・・・と2
対の電磁ブレーキ12.・・・が取付けられている。
The first movable table 5 also has the same configuration as the second movable table 6, and has four pairs of linear bearings of 10° and 2
Pair of electromagnetic brakes 12. ... is installed.

一方軌道台3.3には第1可動テーブル5と第2可動テ
ーブル6に取付けられた各リニアベアリング9.lOが
案内されるボール転走溝3a・・・が上下2ケ所に形成
されており、第1可動テーブル5は下側のボール転走溝
3a・・・に沿ってリニアベアリング10・・・を介し
て移動すると共に、第2可動テーブル6については上側
のボール転走i$13a・・・に沿ってリニアベアリン
グ9・・・を介して移動する。各第1および第2可動テ
ーブル5.6は電磁ブレーキ12.・・・によって固定
ベッド1に対して固定されるが、この電磁ブレーキ12
.・・・は、第7図に示すように制動する際に軌道台3
に押し付けられるブレーキシュー13と、ブレーキシュ
ー13を軌道台3に対して直角方向に進退させるプラン
ジャ14と、プランジャ14を作動させる電磁コイル1
5とから成っており、通電時にプランジャ14が吸引さ
れてブレーキシュー13が軌道台3から離れ、非通電時
にはスプリング16によりブレーキシュー13が軌道台
3に押付けられるようになっている。
On the other hand, each linear bearing 9. attached to the first movable table 5 and the second movable table 6 is mounted on the track base 3.3. Ball rolling grooves 3a... in which lO is guided are formed at two locations, upper and lower, and the first movable table 5 runs linear bearings 10... along the lower ball rolling grooves 3a... At the same time, the second movable table 6 moves along the upper ball rolling i$13a through the linear bearings 9. Each first and second movable table 5.6 has an electromagnetic brake 12. It is fixed to the fixed bed 1 by..., but this electromagnetic brake 12
.. . . is the track base 3 when braking as shown in Fig. 7.
A brake shoe 13 that is pressed against the brake shoe 13, a plunger 14 that moves the brake shoe 13 back and forth in a direction perpendicular to the track base 3, and an electromagnetic coil 1 that operates the plunger 14.
5, when the plunger 14 is energized, the plunger 14 is attracted and the brake shoe 13 is separated from the track 3, and when the power is not energized, the brake shoe 13 is pressed against the track 3 by the spring 16.

各リニアベアリング9.lOは第8図乃至第10図に示
すように、片側に2条のボール転走溝17゜17が設け
られ、かつ内部にボール逃げ孔18゜18が設けられた
ベアリングブロック19と、2条の負荷ボール列を保持
する保持器2oと、ボール転走溝17,17とボール逃
げ孔18.18とを連通ずる一対の側蓋21.21とか
ら構成されている。負荷ボール22.22・・・はボー
ル転走溝17.1?およびボール逃げ孔18.18間を
循環するようになっている。このボール転走溝17゜1
7と負荷ボール22.22・・・との接触角αは略45
度となっているが、45度に限定されるものではなく3
0〜60度の範囲であればよい。また各リニアベアリン
グ9.・・・、10.・・・と軌道台3゜3との隙間は
、たとえば第1図に示すような隙間調整ボルト23.・
・・によって調整される。すなわち隙間調整ボルト23
を締め込むことによってリニアベアリング9.・・・、
10.・・・は軌道台3を介して他方の軌道台3側に押
圧されるとともに、隙間調整ボルト23.・・・の押圧
力の反力が反対側のリニアベアリング9に作用して負荷
ボール22・・・に予圧がかけられる。予圧をかける方
法としては、  他に偏心ピンを用いてもよく、テーパ
ギブ等を用いてもよい。
Each linear bearing9. As shown in FIGS. 8 to 10, 1O has a bearing block 19 which is provided with two ball rolling grooves 17°17 on one side and a ball escape hole 18°18 inside, and The ball retainer 2o holds a row of loaded balls, and a pair of side covers 21.21 communicate the ball rolling grooves 17, 17 with the ball relief holes 18.18. Is the load ball 22.22... the ball rolling groove 17.1? and ball escape holes 18.18. This ball rolling groove 17°1
The contact angle α between 7 and the load ball 22.22... is approximately 45
degree, but it is not limited to 45 degrees, but 3 degrees.
It may be within the range of 0 to 60 degrees. Also, each linear bearing9. ..., 10. . . . and the track base 3°3, for example, with a clearance adjustment bolt 23 as shown in FIG.・
Adjusted by... In other words, the clearance adjustment bolt 23
9. Linear bearing by tightening. ...,
10. . The reaction force of the pressing force of... acts on the linear bearing 9 on the opposite side, and preload is applied to the load balls 22.... As a method for applying preload, an eccentric pin, a taper gib, etc. may also be used.

つぎに第11図には本実施例に使用された第1リニアモ
ータフの要部が示されており、可動子7aは、たとえば
永久磁石24を中心に介在させてその左右に2つの磁気
コア25.26を対向配置して構成されており、一方の
磁気コア25には永久磁石24によりN極に磁化された
第1の磁極27および第2あ磁極28が形成され、他方
の磁気コア26には永久磁石24によりS極に磁化され
た第3の磁極29および第4の磁極30が形成されてい
る。
Next, FIG. 11 shows the main parts of the first linear motor used in this embodiment, in which the mover 7a has, for example, a permanent magnet 24 interposed in the center, and two magnetic cores 25. 26 are arranged opposite to each other, one magnetic core 25 has a first magnetic pole 27 and a second negative magnetic pole 28 magnetized to the north pole by the permanent magnet 24, and the other magnetic core 26 has The permanent magnet 24 forms a third magnetic pole 29 and a fourth magnetic pole 30 that are magnetized to the S pole.

固定子7bには、第11図に示すように長手方向と略直
交する方向に延びる断面コ字形状の固定歯7 b’が長
手方向に略全長にわたって、同一ピッチPで等間隔に設
けられている。各磁極27〜3゜にも固定子7bと同一
のピッチの磁極歯27a〜30aがそれぞれ形成されて
いる。
As shown in FIG. 11, the stator 7b has fixed teeth 7b' having a U-shaped cross section extending in a direction substantially perpendicular to the longitudinal direction, and are provided at equal intervals at the same pitch P over substantially the entire length in the longitudinal direction. There is. Magnetic pole teeth 27a to 30a having the same pitch as the stator 7b are also formed at each of the magnetic poles 27 to 3 degrees, respectively.

N極側の第1の磁極27および第2の磁Pi28には、
第1のコイル31および第2のコイル32が巻かれてお
り、電流が流れた際に互いに逆向きの磁束が発生するよ
うに直列に結線されており、−パルス発生源(図示せず
)に電気的に接続されている。一方S極側の第3の磁極
29および第4の磁極30にも、同様に直列に結線され
た第3のコイル33および第4のコイル34が巻かれて
おり、パルス発生源(図示せず)に接続されている。こ
こで、説明の都合上、例えば第1の磁極27の磁極歯2
7aに対して第2の磁極28の磁極歯28aの位相が〃
ピッチ(AP)だけずれており、また第3の磁極29の
磁極歯29aに対して第4の磁極30の磁極歯30aも
同様に位相が〃ピンチ(VlP )だけずれているもの
とする、さらにN極側の第1の磁8i27および第2の
磁極28の磁極歯27a、28aに対してS極側の第3
の磁極29および第4の磁極30の磁極歯29a、30
aは2ピツチ(AP)だけ位相がずれているものとする
The first magnetic pole 27 and the second magnetic Pi 28 on the N pole side include
A first coil 31 and a second coil 32 are wound and connected in series so that magnetic fluxes in opposite directions are generated when current flows, and are connected to a pulse generation source (not shown). electrically connected. On the other hand, a third magnetic pole 29 and a fourth magnetic pole 30 on the S pole side are also wound with a third coil 33 and a fourth coil 34, which are similarly connected in series. )It is connected to the. Here, for convenience of explanation, for example, the magnetic pole tooth 2 of the first magnetic pole 27
The phase of the magnetic pole tooth 28a of the second magnetic pole 28 with respect to 7a is
It is assumed that the magnetic pole teeth 30a of the fourth magnetic pole 30 are also shifted in phase by a pinch (VlP) with respect to the magnetic pole teeth 29a of the third magnetic pole 29. The third magnetic pole tooth 8i27 on the north pole side and the magnetic pole teeth 27a, 28a of the second magnetic pole 28 on the south pole side
magnetic pole teeth 29a, 30 of the magnetic pole 29 and the fourth magnetic pole 30
It is assumed that a is out of phase by 2 pitches (AP).

ここで本実施例のリニアパルスモータの動作原理につい
て説明する。第12図fal〜ldlは、リニアパルス
モータの動作原理を示す概略図を示しており、第1のコ
イル31と第2のコイル32には端子aから、第3のコ
イル33と第4のコイル34には端子すからパルスが入
力されるようになっている。第12図(a)では、端子
aに第1の磁極27 ゛を励磁する方向に(モード■)
、第12図(blでは端子すに第4の磁極30を励磁す
る方向に(モード■)、第12図(C)では端子aに第
2の磁極28を励磁する方向に(モード■)、第12図
(dlでは端子すに第3の磁極29を励磁する方向に(
モード■)、それぞれパルスが入力された状態を示して
いる。
Here, the operating principle of the linear pulse motor of this embodiment will be explained. 12 fal to ldl are schematic diagrams showing the operating principle of the linear pulse motor, in which the first coil 31 and the second coil 32 are connected to the terminal a, the third coil 33 and the fourth coil A pulse is input to the terminal 34 from the terminal. In Fig. 12(a), terminal a is turned in the direction of exciting the first magnetic pole 27゛ (mode ■).
, FIG. 12 (in BL, the terminal A is in the direction of exciting the fourth magnetic pole 30 (mode ■), in FIG. 12 (C), the terminal a is in the direction of exciting the second magnetic pole 28 (mode ■), Figure 12 (In dl, the terminal is in the direction of exciting the third magnetic pole 29 (
mode (■), each shows a state in which a pulse is input.

ここで第1表にモード■ないし■の場合の各磁極の磁気
力発生状態を示す。
Here, Table 1 shows the magnetic force generation state of each magnetic pole in the case of modes ① to ②.

緑下業も 第   1   表 第1表に示すようにモード■の場合にはN極側の第1の
磁極27の磁力が強力で、第1の磁極27と固定子7b
の固定歯7 b’との間の吸引力により可動子7aは保
持され安定状態にある。一方S極側の第3および第4の
磁極29.30はそれぞれ固定子7bあ固定歯7 b’
に対して2ピツチだけ位相がずれている。モード■では
第1の磁極27のコイル31による磁力はなくなり、代
ってS極側の第4の磁極30の磁力が強力になって、可
動子7aは第4の磁極30が固定子7bの固定歯7 b
’と位相が合致する方向に相対的に移動してAピッチ(
W p)だけ進むことになる。このときN極側の第1お
よび第2の磁極27.28が2ピツチ(!4 P)だけ
位相がずれる。
As shown in Table 1, the magnetic force of the first magnetic pole 27 on the N pole side is strong, and the magnetic force of the first magnetic pole 27 and the stator 7b is strong.
The movable element 7a is held in a stable state by the suction force between it and the fixed teeth 7b'. On the other hand, the third and fourth magnetic poles 29 and 30 on the S pole side are connected to the stator 7b and the fixed tooth 7b', respectively.
The phase is shifted by 2 pitches. In mode (2), the magnetic force of the coil 31 of the first magnetic pole 27 disappears, and instead the magnetic force of the fourth magnetic pole 30 on the S pole side becomes strong, and the movable element 7a Fixed tooth 7 b
A pitch (
It will advance by W p). At this time, the first and second magnetic poles 27 and 28 on the N pole side are out of phase by 2 pitches (!4 P).

さらにモード■ではN極側の第2の磁極28の磁力が強
力になり、第2の磁極28が固定子7bの固定歯7 b
’と位相が合致する方向に可動子7aは相対的に移動し
て×ピッチ(AP)進み、S極側の第3および第4の磁
極29.30はZピッチ(!4P)だけ位相がずれる。
Furthermore, in mode (2), the magnetic force of the second magnetic pole 28 on the N pole side becomes stronger, and the second magnetic pole 28
The movable element 7a moves relatively in the direction in which the phase matches '' and advances by x pitch (AP), and the third and fourth magnetic poles 29.30 on the S pole side are out of phase by Z pitch (!4P). .

モード■ではS極側の第3の磁極29の磁力が強力とな
り、第3の磁極29が固定子7bの固定歯7 b’と位
相が合致する方向に可動子7aは相対的に移動して〃ピ
ッチ(!4 p)進む。さらに再びモード■に戻ってN
極側の第1の磁極27の磁力が強力となって、可動子6
はAピッチ(%P)だけ相対的に進み第12図(alの
状態となる。このようにモード■から■の繰り返しによ
って1パルス当りAピンチ(!4 P)ずつ移動するよ
うになっている。
In mode (2), the magnetic force of the third magnetic pole 29 on the S pole side becomes strong, and the mover 7a moves relatively in the direction where the third magnetic pole 29 matches the fixed tooth 7b' of the stator 7b in phase. 〃Go forward by a pitch (!4 p). Return to mode ■ again and N
The magnetic force of the first magnetic pole 27 on the pole side becomes strong, and the movable element 6
moves relatively by A pitch (%P) and reaches the state shown in Figure 12 (al).In this way, by repeating mode ■ to ■, it moves by A pinch (!4 P) per pulse. .

以上の説明では1相励磁について説明したが、常時2相
の電流を流す2相励磁により駆動してもよく、また1相
と2相に交互に電流を流す1−2相励磁方式をとっても
よい。
In the above explanation, one-phase excitation was explained, but it may be driven by two-phase excitation in which two-phase current is constantly passed, or a 1-2-phase excitation method in which current is passed alternately in one phase and two phases may be used. .

このような構成のリニアモータにおいては、次のように
して駆動される。まず第1可動テーブル5の電磁ブレー
キ12.・・・をオフとして第1可動テーブル5を軌道
台3.3に対して固定し、第2可動テーブル6の電磁ブ
レーキ12.・・・をオンとして第2可動テーブル6を
軌道台3.3に対してフリー状態にして、第1.第2リ
ニアモータ7゜8の各可動子7a、8aにパルスが入力
され、第13図(al、 fbl、 (C1に示すよう
に第2可動テーブル6が所定量前進駆動(図中左方向)
される、この場合は、第1リニアモータ7の可動子7a
は固定子7bに対して前進するが、第2リニアモータ8
については固定子8bを移動させるため、軌道台3に固
定された第1可動テーブル5に取付けられた可動子8a
には固定子8bに対して後退する方向(図中右方向)・
にパルスが入力され、その反作用として固定子8bが移
動される。つぎに第2可動テーブル6が所定量前進して
停止した後、第2可動テーブル6の電磁ブレーキ12を
オフとして、第2可動テーブル6を軌道台3.3に対し
て固定し、第1可動テーブル5の電磁ブレーキ12.・
・・をオンとして第1可動テーブル5を軌道台3,3に
対してフリー状態にする。第1.第2リニアモータ7.
8の各可動子7a、8aに、第1可動テーブル5に対し
゛て第2可動テーブル6が後退(図中右方向)する方向
にパルスを入力する。すると第1可動テーブル5が第1
3図(C1乃至letに示すように前進(図中左方向)
して所定位置で停止する。
The linear motor having such a configuration is driven as follows. First, the electromagnetic brake 12 of the first movable table 5. ... is turned off, the first movable table 5 is fixed to the track base 3.3, and the electromagnetic brake 12.3 of the second movable table 6 is turned off. . . is turned on to make the second movable table 6 free with respect to the track base 3.3, and the first movable table 6 is turned on. A pulse is input to each movable element 7a, 8a of the second linear motor 7°8, and the second movable table 6 is driven forward by a predetermined amount (leftward in the figure) as shown in FIG. 13 (al, fbl, (C1)).
In this case, the mover 7a of the first linear motor 7
moves forward relative to the stator 7b, but the second linear motor 8
In order to move the stator 8b, the movable element 8a is attached to the first movable table 5 fixed to the track base 3.
In the direction of retreating relative to the stator 8b (to the right in the figure),
A pulse is input to , and the stator 8b is moved as a reaction. Next, after the second movable table 6 advances a predetermined amount and stops, the electromagnetic brake 12 of the second movable table 6 is turned off, the second movable table 6 is fixed to the track base 3.3, and the first movable table 6 is fixed to the track base 3.3. Electromagnetic brake of table 5 12.・
. . is turned on to make the first movable table 5 free with respect to the tracks 3, 3. 1st. Second linear motor7.
A pulse is input to each of the movable elements 7a and 8a in the direction in which the second movable table 6 moves backward (to the right in the figure) with respect to the first movable table 5. Then, the first movable table 5
Figure 3 (Forward as shown in C1 to let (left direction in the figure)
and stop at the specified position.

さらに第13図telの状態で再び第1可動テーブル5
の電磁ブレーキ12をオフとして第1可動テーブル5を
軌道台3,3に対して固定して、第2可動テーブル6の
電磁ブレーキ12.・・・をオンとして第2可動テーブ
ル6をフリーとし、上記した動作を繰り返して第2可動
テーブル6および第1可動テーブル5は、交互に歩進(
図中左方向)して、軌道台3,3に沿って無限に移動す
る。
Furthermore, the first movable table 5 is moved again in the state shown in FIG.
The electromagnetic brake 12 of the second movable table 6 is turned off and the first movable table 5 is fixed relative to the tracks 3, 3, and the electromagnetic brake 12 of the second movable table 6 is turned off. . . is turned on, the second movable table 6 is made free, and the above-described operation is repeated, so that the second movable table 6 and the first movable table 5 alternately move forward (
(to the left in the figure), and moves infinitely along the tracks 3, 3.

このようにリニアモータを2連構成としたので、各可動
テーブル5.6の推進力は2倍となる。また各第1.第
2リニアモータ7.8による1パルス当りの送り量にば
らつきが生じた場合、たとえば一方のリニアモータが所
定の送り量よりも進み過ぎて、他方の送り量が遅れた場
合は、送り量の誤差は相殺される。また双方とも所定の
送り量よりも進み過ぎた場合には、各テーブル5,6の
送−り量の誤差は双方のリニアモータ7.8の誤差の中
間に抑えることができ、第1リニアモータ7と第2リニ
アモータ8が相互に補正し合って各テーブル5,6の送
り精度は向上する。
Since the linear motors are configured in two series in this way, the propulsive force of each movable table 5.6 is doubled. Also each 1st. If there is variation in the feed amount per pulse by the second linear motor 7.8, for example if one linear motor advances too much than the predetermined feed amount and the other feed amount lags behind, the feed amount will change. Errors cancel out. In addition, if both of the tables 5 and 6 advance too far beyond the predetermined feed amount, the error in the feed amount of each table 5, 6 can be suppressed to an intermediate value between the errors of both linear motors 7.8, and the first linear motor 7 and the second linear motor 8 mutually correct each other, and the feeding accuracy of each table 5, 6 is improved.

さらに第1リニアモータ7と第2リニアモータ8の固定
子7b、8bと可動子7a、8aの配置を逆にしたので
、第1可動テーブル5と第2可動テーブル6を同一形状
となっており、1つの可動テーブルで第1.第2可動テ
ーブル5.6として共用でき、汎用性が高くなる。
Furthermore, since the stators 7b, 8b and movers 7a, 8a of the first linear motor 7 and second linear motor 8 are arranged in reverse, the first movable table 5 and the second movable table 6 have the same shape. , with one movable table. It can also be used as the second movable table 5.6, increasing versatility.

またリニアベアリング9.・・・、10.・・・を介し
て各第1.第2可動テーブル5.6は移動されるので、
摺動抵抗は小さく、大きい負荷がかかった場合でも摩擦
抵抗の増大は小さく、円滑に摺動される。また本実施例
のリニアベアリング9.・・・。
Also linear bearing 9. ..., 10. Each first . Since the second movable table 5.6 is moved,
Sliding resistance is small, and even when a large load is applied, the increase in frictional resistance is small and the product slides smoothly. Moreover, the linear bearing 9 of this embodiment. ....

lOl・・・を使用することにより、リニアベアリング
9.・・・、10.・・・を使用しない場合に比べて1
0〜100倍の負荷を支えることが可能となる。さらに
リニアベアリング9.・・・、10.・・・の負荷ボー
ル22・・・とボール転走面17・・・との接触角を略
45度としたので、第1.第2可動テーブル5゜6にか
かる上下左右の四方向の荷重を均等に支えることができ
る。さらに予圧をかけることにより高剛性となっている
ので、第1可動テーブル5と第2可動テーブル6のギャ
ップが一定に保持され、安定した走行性能が得られ、走
行時のピッチがばらつくピッチング蛇行するヨーイング
、さらに左右に回動しながら移動するローリング等の不
具合が防止される。
By using lOl..., a linear bearing 9. ..., 10. 1 compared to not using ...
It becomes possible to support 0 to 100 times the load. Furthermore, linear bearing9. ..., 10. The contact angle between the loaded balls 22 and the ball rolling surfaces 17 was approximately 45 degrees. The load applied to the second movable table 5°6 in four directions, up, down, left and right, can be supported equally. Furthermore, since high rigidity is achieved by applying a preload, the gap between the first movable table 5 and the second movable table 6 is maintained constant, stable running performance is obtained, and pitching meandering where the pitch varies during running is avoided. Problems such as yawing and rolling, which involves moving while turning from side to side, are prevented.

つぎに第14図乃至第19図には本発明の第二実施例が
示されており、第一実施例と同一の構成部分については
同一の符号を付して説明すると、本実施例にあっては、
第一実施例と同様にリニアモータ7.8が2連構成とな
っているが、軌道台3.3には2条のボール転走溝17
しか設けられておらず第1可動テーブル5に固着された
リニアベアリング10.・・・と、第2可動テーブル6
に固着されたリニアベアリング9.・・・が同一のボー
ル転走溝17に沿って移動するようになっている。
Next, a second embodiment of the present invention is shown in FIGS. 14 to 19, and the same components as in the first embodiment will be described with the same reference numerals. Well,
Similar to the first embodiment, the linear motor 7.8 has a double configuration, but the track 3.3 has two ball rolling grooves 17.
A linear bearing 10 is only provided and is fixed to the first movable table 5. ...and the second movable table 6
Linear bearing fixed to 9. ... move along the same ball rolling groove 17.

このような構成にすれば第一実施例と異なりテーブルを
共用することができないが、リニアベアリングの厚さ分
だけ装置を薄形に形成することが可能となる。その他の
構成および作用については第一実施例と同一であるので
説明を省略する。
With this configuration, unlike the first embodiment, the table cannot be shared, but the device can be made thinner by the thickness of the linear bearing. The other configurations and functions are the same as those in the first embodiment, so their explanations will be omitted.

以上木簡−1第二実施例にあっては、各リニアモータの
固定子と可動子の配置が逆になっているが、第1可動テ
ーブル側に固定子を2ケ、第2可動テーブル側に可動子
を2ヶ設けた構成、あるいはその逆の構成としたもので
もよい。また2つのリニアモータの例を示したが、3つ
以上取付けてもよい。さらにリニアモータとしてパルス
信号によって駆動するリニアパルスモークを使用したが
、リニア誘導モータ、リニア直流モータ等を用いてもよ
い。
In the second embodiment of Wooden Tablet-1, the arrangement of the stator and mover of each linear motor is reversed, but two stators are placed on the first movable table side and two stators are placed on the second movable table side. A configuration in which two movers are provided, or the opposite configuration may be used. Further, although an example of two linear motors is shown, three or more linear motors may be installed. Further, although a linear pulse motor driven by a pulse signal is used as the linear motor, a linear induction motor, a linear DC motor, etc. may also be used.

(発明の効果) 本発明は以上の構成および作用からなるもので、第1可
動テーブルおよび第2可動テーブルにそれぞれブレーキ
手段を設け、第1可動テーブルおよび第2可動テーブル
の一方を択一的に固定ベッドに固定し、第1可動テーブ
ルおよび第2可動テーブルを交互に移動させるようにし
たので、固定子の長さに関係なく無限に長い距離が移動
可能となる。したがって長い距離を搬送する場合でも、
従来のように長い固定子を製作する必要がなく、装置の
製作が容易になりコスト低減を図ることができる。また
従来のように固定子をつないだ場合に生じる継目のばら
つきによる送り精度の悪化もなく精密な送りができる。
(Effects of the Invention) The present invention has the above-described configuration and operation, and the first movable table and the second movable table are each provided with a brake means, and one of the first movable table and the second movable table is selectively operated. Since the stator is fixed to a fixed bed and the first movable table and the second movable table are moved alternately, it is possible to move an infinitely long distance regardless of the length of the stator. Therefore, even when transporting long distances,
There is no need to manufacture a long stator as in the past, making it easier to manufacture the device and reducing costs. Furthermore, precise feeding is possible without deterioration in feeding accuracy due to variations in joints that occur when stators are connected as in the past.

またリニアベアリングを使用したので、移動時のピッチ
のばらつき(ピッチング)、蛇行(ヨーイング)、右左
に回動する横揺れ(ローリング)等がなく、安定した滑
らかな走行性能が得られる。さらにリニアモータを複数
配置したので数倍の推進力が得られると共に、各リニア
モータ個々の送り量がばらついた場合でも、互いに補正
し合って送り量の誤差は低減され、送り精度を高くする
ことができる等の種々の効果が得られる。
In addition, since linear bearings are used, there is no variation in pitch (pitching), meandering (yawing), or sideways shaking (rolling) when moving, resulting in stable and smooth running performance. Furthermore, by arranging multiple linear motors, several times the propulsive force can be obtained, and even if the feed amount of each linear motor varies, the error in the feed amount is reduced by mutually correcting, and the feed accuracy is increased. Various effects can be obtained, such as the ability to

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の第一実施例に係るテーブル移送装置の
平面図、第2図は第1図の装置の縦断面図、第3図は第
1図の■−■線断面図、第4図は第1図のrV−IV線
断面図、第5図は第1図のV−V線断面図、第6図は本
発明のVl−Vl線断面図、第7図は第1図の装置の電
磁ブレーキの要部縦断面図、第8図は第1図の装置のリ
ニアベアリングの正面図、第9図は第8図の装置の平面
図、第1O図は第9図のX−X、*断面図、第11図は
可動子および固定子の要部拡大断面図、第12図+al
乃至+dlはリニアパルスモークの動作原理を示すリニ
アパルスモータの概略正面図、第13図18)乃至te
lは第1図の装置の動作状態を示す概略正面断面図、第
14図は、本発明の第二実施例に係るテーブル移送装置
の平面図、第15図は第14図の装置の縦断面図、第1
6図は第14図のxvr−xvr線断面図、第17図は
第14図のX■−X■線断面図、第18図は第14図の
X■−X■線断面図、第19図はXIX−XIX線断面
図である。 符  号  の  説  明 1・・・固定ベッド    5・・・第1可動テーブル
6・・・第2可動テーブル 7・・・第1リニアモータ
8・・・第2リニアモータ 9.10・・・リニアベアリング 12・・・電磁ブレーキ(ブレーキ手段)第7図 第8図 第9図 第10図 Q              ″0 第13図 <a> (e) 第16図 手続補正書印発) 昭和61年 9月18日 特許庁長官  黒 1)明 雄 殿 2、発明の名称 テーブル移送装置 3、補正をする者 事件との関係  特許出願人 住 所  東京都世田谷区東玉川2丁目34番8号4、
代理人 〒105 □ 住 所  東京都借区新橘′3−s−2新橋OWK
ビル5階(1)図面(第4図、第5図、第7図)6、補
正の内容 (1)図面(第4図、第5図、第7図)を別紙の通り補
正する。 以  上 第5図 第7図
1 is a plan view of a table transfer device according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the device shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a sectional view taken along the line 4 is a sectional view taken along the line rV-IV of FIG. 1, FIG. 5 is a sectional view taken along the line V-V of FIG. 1, FIG. 6 is a sectional view taken along the line Vl-Vl of the present invention, and FIG. FIG. 8 is a front view of the linear bearing of the device in FIG. 1, FIG. 9 is a plan view of the device in FIG. 8, and FIG. 1O is the X in FIG. 9. -X, *Cross-sectional view, Figure 11 is an enlarged cross-sectional view of the main parts of the mover and stator, Figure 12 +al
18) to +dl are schematic front views of linear pulse motors showing the operating principle of linear pulse smoke;
1 is a schematic front sectional view showing the operating state of the device shown in FIG. 1, FIG. 14 is a plan view of a table transfer device according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 15 is a longitudinal sectional view of the device shown in FIG. 14. Figure, 1st
6 is a sectional view taken along the line xvr-xvr in FIG. 14, FIG. 17 is a sectional view taken along the line X■-X■ in FIG. 14, FIG. 18 is a sectional view taken along the line The figure is a sectional view taken along the line XIX-XIX. Explanation of symbols 1... Fixed bed 5... First movable table 6... Second movable table 7... First linear motor 8... Second linear motor 9. 10... Linear Bearing 12... Electromagnetic brake (braking means) Fig. 7 Fig. 8 Fig. 9 Fig. 10 Fig. 10 Q ″0 Fig. 13 <a> (e) Fig. 16 Procedural amendment stamped) September 18, 1986 Japan Patent Office Commissioner Kuro 1) Mr. Yu Akira 2, Invention title table transfer device 3, Relationship with the amendment person case Patent applicant address 2-34-8-4 Higashi Tamagawa, Setagaya-ku, Tokyo;
Agent 〒105 □ Address Shinbashi OWK, Shintachibana'3-s-2, Rental Ward, Tokyo
5th floor of the building (1) Drawings (Figures 4, 5, and 7) 6. Details of correction (1) The drawings (Figures 4, 5, and 7) will be corrected as shown in the attached sheet. Above Figure 5 Figure 7

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)固定ベッド上に第1可動テーブルおよび第2可動
テーブルを上下方向に離隔させて設け、該第1可動テー
ブルおよび第2可動テーブルをそれぞれリニアベアリン
グを介して同一方向に移動自在に取付け、上記第1可動
テーブルおよび第2可動テーブルには、該第1可動テー
ブルおよび第2可動テーブルを上記固定ベッドに対して
固定せしめるブレーキ手段が取付けられ、上記第1可動
テーブルと第2可動テーブルの間に、該第1可動テーブ
ルおよび第2可動テーブルのいづれか一方をブレーキ手
段により上記固定ベッドに択一的に固定した状態で他方
を移動せしめるリニアモータを複数個介在させたことを
特徴とするテーブル移送装置。
(1) A first movable table and a second movable table are provided vertically apart from each other on a fixed bed, and the first movable table and the second movable table are respectively attached to be movable in the same direction via linear bearings, A brake means is attached to the first movable table and the second movable table for fixing the first movable table and the second movable table to the fixed bed, and a brake means is attached to the first movable table and the second movable table. The table transfer method is characterized in that a plurality of linear motors are interposed to move one of the first movable table and the second movable table while the other is selectively fixed to the fixed bed using a brake means. Device.
(2)前記第1可動テーブルと第2可動テーブルの間に
は該第1および第2可動テーブルの移動方向に並べて2
個のリニアモータが介在され、該リニアモータの一方の
可動子は第1可動テーブル側に配置され、他方のリニア
モータの可動子は第2可動テーブル側に配置されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のテーブル
移送装置。
(2) There are two movable tables arranged between the first movable table and the second movable table in the moving direction of the first and second movable tables.
A patent characterized in that a linear motor is interposed, one movable element of the linear motor is disposed on the first movable table side, and a movable element of the other linear motor is disposed on the second movable table side. A table transfer device according to claim 1.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6418739U (en) * 1987-07-22 1989-01-30
JP2002191163A (en) * 2000-12-21 2002-07-05 Thk Co Ltd Linear motor and drive using this as drive source

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58157535U (en) * 1982-04-15 1983-10-20 鈴木 敏朗 Forward sliding mechanism of 3-stage sliding table
JPS6016335A (en) * 1983-07-04 1985-01-28 Ntn Toyo Bearing Co Ltd Linear slide

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58157535U (en) * 1982-04-15 1983-10-20 鈴木 敏朗 Forward sliding mechanism of 3-stage sliding table
JPS6016335A (en) * 1983-07-04 1985-01-28 Ntn Toyo Bearing Co Ltd Linear slide

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6418739U (en) * 1987-07-22 1989-01-30
JP2002191163A (en) * 2000-12-21 2002-07-05 Thk Co Ltd Linear motor and drive using this as drive source

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