JP2004129394A - Feed apparatus using linear motor - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、工作機械や産業機械に使用されるリニアモータを用いた送り装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、工作機械や産業機械の高速化に伴い、リニアモータを採用した送り装置が多く用いられるようになってきた。現在主流となっているブラシレスサーボモータでボールネジを回転させ、ボールネジに取り付けられたテーブルが一軸方向に移動するタイプの送り装置においては、70m/min程度の送り速度が一般的であったのに対して、リニアモータを採用した送り装置では、400m/min以上の高速送りを実現している。
【0003】
一方、リニアモータを用いた送り装置は、ボールネジを使用するタイプの送り装置に比べて、ボールネジの回転方向のたわみや、ブラシレスサーボモータとボールネジを接続するカップリングのたわみのような、いわゆるたわみ系が無く、テーブルをダイレクトに駆動するため、ボールネジを使用するタイプの送り装置に比べて位置決め精度が優れているといった特徴がある。
【0004】
一般的なリニアモータを用いた送り装置は、固定されたベッドにガイド機構を介して一軸方向に移動可能となるようにテーブルが配置され、ベッドとテーブルには、それぞれリニアモータの固定子と可動子とが、所定のギャップを設けて固定されている。このように配置されたリニアモータにおいて、固定子または可動子に巻回された巻線に電流を印加することにより、リニアモータに推力を発生させ、テーブルを移動可能としている。
【0005】
図4は、従来技術によるリニアモータを用いた送り装置を示す図である。図4(a)は送り装置をテーブルスライド方向から見た図であり、図4(b)は送り装置をテーブルスライド方向に垂直な側面方向から見た図である。また、図5は、図4で示したリニアモータを用いた送り装置をテーブルスライド方向に切断した断面図である。
【0006】
図4、図5を参照して、従来技術によるリニアモータの送り装置の構成および動作について説明する。
【0007】
図4、図5において、固定されたベッド40に、転がりガイド42を介して矢印44の方向に移動可能となるようにテーブル46が配置され、ベッド40とテーブル46には、それぞれリニアモータの可動子49と、固定子50が所定のギャップを設けて固定されている。リニアモータの固定子50には、永久磁石52がテーブル46のスライド方向に所定の間隔を持って複数個配置されている。また、可動子49の内部には巻線54が巻回されている。固定子50に配置された永久磁石52により界磁磁束56が発生し、巻線54に電流を印加することにより、フレミングの左手の法則に対応した推力F=磁束密度B×電流I×巻線長Lが発生し、テーブル46が駆動される。
【0008】
【特許文献1】
特開平8−192326号公報
【特許文献2】
特開2000−14120号公報
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来技術では、以下のような課題があった。
【0009】
従来技術において、リニアモータの可動子49と固定子50間には、一般的に推力の3倍以上の強力な磁気吸引力が発生する。したがって、特に精密な位置決めを必要とされる工作機械の送り装置においては、磁気吸引力により、テーブル46や転がりガイド42が変形するという問題があった。これに対して、磁気吸引力による変位を小さくするために、テーブル46や転がりガイド42の剛性を上げなければならず、テーブル46の重量増加による加速性能の悪化や、コスト増加の要因となっていた。
【0010】
上記課題を解決するための技術として、特開平8−192326や、特開2000−14120において、リニアモータの磁気吸引力によるテーブルの変形を防ぐ構造を提案している。
【0011】
図6は、特開平8−192326に示された送り装置を示した図である。明細書には、「この構成によれば、リニアモータの磁気垂直力によって1次側部材7と2次側部材9との間に吸引力が発生すると、ブラケット25の水平片部31dが片持ち梁であることから、水平片部29dが取付台座部27との接続部を曲げ点として弾性変形する。この弾性変形によってリニアモータとリニアモータによる吸引力が吸収され、吸引力がベッド1d、ベッド5dが吸引力によって変形することが回避される。」と記載されている。
【0012】
一方、図7は、特開2000−14120に示された送り装置を示した図である。明細書には、「コイル30aとマグネット30b間に働くY方向の電磁力F1と、コイル31aとマグネット31b間に働くY方向の電磁力F2はハウジング32の位置により異なる場合があり、ハウジング32のY方向に100kg程度の力が加わることがある。このような場合、ベアリング34bのボールが弾性変形して、ハウジング32は数10μmだけY方向にずれる。本実施例の形態における、ハウジング32は、弾性を備えたジョイント35を介してテーブル3に接続されているので、ハウジング32のみY方向に移動し、テーブル3はY方向に移動しない。」と記載されている。
【0013】
しかしながら、上記特開平8−192326に示されたリニアモータを用いた送り装置では、リニアモータの磁気吸引力によるテーブル5dが変形することを防ぐことはできない。なぜならば、リニアモータの可動子と固定子に相当する1次側部材7と2次側部材9の間には、テーブル5dが移動可能とするためのエアギャップが存在するために、水平片部29が磁気吸引力により弾性変形しても、リニアモータの可動子7と固定子9間に働く磁気吸引力は低下するわけではなく、テーブル5dとベッド1dはその磁気吸引力を受け変形してしまうからである。しかも、水平片部29が弾性変形することで、可動子7と固定子9のエアギャップが減少するため、磁気吸引力はさらに増加し、テーブル5dとベッド1dをより大きく変形させるという問題が発生する。
【0014】
また、特開2000−14120の送り装置においても、上記特開平8−192326の送り装置と同様、弾性を備えたジョイント35が変形しても、コイル30aとマグネット30b間およびコイル31aとマグネット31b間にエアギャップが存在するために、磁気吸引力は低下せず、上記テーブル3の変位を防ぐことはできない。さらに、ジョイント35が変形することにより、コイル30aとマグネット30b間およびコイル31aとマグネット31b間のエアギャップがさらにアンバランスとなり、磁気吸引力が増大し、テーブル3の変位をより悪化させるという問題が発生する。
【0015】
本発明は、上記問題点を解決するもので、リニアモータの磁気吸引力によるテーブルやリニアガイドの変形を低減したリニアモータを用いた送り装置を提供することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る、リニアモータを用いた送り装置は、リニアモータの固定子と、送り方向に延設した第一のガイドと、第二のガイドと、を有するベッドと、前記第一のガイドで支持され、ベッドに対してスライド可能に設置されたテーブルと、前記第二のガイドで支持され、前記固定子に対向配置されたリニアモータの可動子と、前記テーブルをスライド方向に押圧し、前記スライド方向と垂直な方向に滑動可能である押圧部と、を有するテーブル駆動部材と、を備えるものである。
【0017】
また、前記送り装置は、前記テーブル駆動部材の押圧部と、前記テーブルとの間に配置されたボールケージを備えることが好ましい。
【0018】
また、前記送り装置は、前記テーブル駆動部材の押圧部と、前記テーブルとの間に配置されたすべりガイドを備えることが好ましい。
【0019】
また、本発明に係る、リニアモータを用いた送り装置は、リニアモータの固定子と、送り方向に延設した第一のガイドと、第二のガイドと、を有するベッドと、前記第一のガイドで支持され、前記ベッドに対してスライド可能に設置されたテーブルと、前記第二のガイドで支持され、前記固定子に対向配置されたリニアモータの可動子を有するテーブル駆動部材と、前記テーブル駆動部材と前記テーブルを接続する接続部材であって、前記テーブルのスライド方向に剛性が高く、前記スライド方向と垂直な方向に剛性が低い接続部材と、を備えるものである。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施形態について説明する。
【0021】
第1の実施形態.
図1は、第1の実施形態に係るリニアモータを用いた送り装置を示した図である。図1(a)は送り装置をテーブルスライド方向から見た図であり、図1(b)は送り装置をテーブルスライド方向に垂直な側面方向から見た図である。図1を参照しながら、本実施形態について説明する。
【0022】
まず、装置の構成について説明する。装置の基台となるベッド60が、床などに固定して設置される。ベッド60の上面には2筋の水平に延びる凸部61があり、この2筋の凸部61は、共にテーブルスライド方向に延設されている。また、凸部61の上面及び左右両側面には、後述する転がりガイド62の鋼球が転がる通路となる溝が形成されている。
【0023】
また、ベッド60にはリニアモータの固定子50が固定されている。この固定子50は、平板形状であり、平板上面にはテーブルスライド方向に所定間隔おきに磁石52が並べて配置されている。また、平板の両端から、2筋の凸部51が上方に突出して形成されている。これら2筋の凸部51も、テーブルスライド方向に延設されている。これらの凸部51の上面及び左右両側面にも、転がりガイド64の鋼球の通路となる溝が形成されている。なお、固定子50は、ベッド60とは別部品として製作したものをベッド60に取り付け固定してもよく、または、ベッド60と同じ素材で製造し、一体のものとしてもよい。
【0024】
テーブル66は上部が平板であり、その平板の四隅から下方に4本の脚部67が突出した形状となっている。これらの各脚部67の下面には転がりガイド62が固定されており、各転がりガイド62をベッド60の凸部に係合させることで、テーブル66が、ベッド60に対して、凸部が延設された方向(図中に矢印65で示すテーブルスライド方向)にスライド可能となる。また、スライド方向に並べて配置されたテーブル66の脚部67間は溝部70となっており、この溝部70において、脚部67の対向する各面には、ボールケージ72が配置されている。ボールケージ72は、並べて配置された複数の鋼球と、これらの鋼球を保持する保持器とで構成される。鋼球は、保持器に対して回転可能である。なお、脚部67が対向する各面は、テーブルスライド方向に対して垂直な面であり、よって、複数の鋼球は、その垂直な面上に並べて配置される。
【0025】
ベッド60とテーブル66の間には、テーブル駆動部材48が配置されている。テーブル駆動部材48は、リニアモータの可動子49と、テーブルを押す押圧部68と、固定子50の凸部と係合する転がりガイド64と、で構成されている。2つの転がりガイド64は、転がりガイド62と同様に、2筋の凸部51に係合し、テーブル駆動部材48をテーブルスライド方向にスライド移動可能としている。
【0026】
リニアモータの可動子49は、固定子50上に配置された磁石52に対して、所定のギャップを設けて配置されている。可動子49の内部には図5で示した巻線54が巻回されている。固定子50に配置された永久磁石52により界磁磁束が発生し、巻線54に電流を印加することにより、フレミングの左手の法則に対応した推力F=磁束密度B×電流I×巻線長Lが発生し、テーブル66を駆動する駆動原理については、従来のリニアモータと同様である。
【0027】
押圧部68は、可動子49から水平方向に突出した2本の柱状部材である。この2本の押圧部68は、リニアモータの可動子49を挟んで対称となる位置に取付けられている。各押圧部68は、それぞれ2枚のボールケージ72の間に挿入される。なお、押圧部68、溝部70及びボールケージ72は、押圧部68をボールケージ72間に圧入して使用するのがスライド方向のガタを無くすために好ましい。ただし、圧入時のシメシロを大きくしすぎると押圧部68および溝部70に圧痕がつき、ボールケージ72が滑らかに移動できなくなるため、例えば直径5mmのボールでは、シメシロを10〜15μm程度とするように、適正なシメシロを付けて使用することが必要である。
【0028】
次に、本発明におけるリニアモータを用いた送り装置の動作を説明する。リニアモータのテーブル駆動部材48は、テーブル66に直接固定されずに、押圧部68とボールケージ72を介してテーブル66に取付けられている。リニアモータの巻線54に電流を印加してリニアモータが推力を発生すると、この推力は押圧部68からボールケージ72を介してテーブル66に伝わり、テーブル66をスライド方向(矢印64方向)に駆動する。一方、リニアモータに磁気吸引力が発生し、可動子49が固定子50方向に変形した結果、押圧部68がスライド方向と垂直な矢印74で示す方向に変形しても、押圧部68は、ボールケージ72上を滑って矢印74方向にスライドするため、テーブル66には磁気吸引力による変形の影響は及ばない。
【0029】
上述したように本実施形態による構成では、従来技術で示した特開平8−192326や特開2000−14120で示した送り装置とは異なり、テーブル66に対してスライド方向と垂直な方向に滑動可能な押圧部で、テーブルを押して駆動するため、テーブル66に磁気吸引力が伝わらず、テーブル66や転がりガイド62も変形することがない。
【0030】
ただし、ベッド60に関しては、リニアガイドの磁気吸引力を受けることになる。しかしながら、工作機械等のベッドは、高い加速性能を得るため軽量化を行わなければならないテーブルとは異なり、テーブルよりはるかに高い剛性を得る構造を採用することができるため、磁気吸引力による変形は実用状問題のない小さなレベルに抑えることができる。
【0031】
第2の実施形態.
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。第2の実施形態に係る送り装置が、第1の実施形態と異なる点は、ボールケージ72の代わりにすべりガイド76が、テーブル66の溝部70に配置された点である。図2は、このすべりガイド76が配置された溝部70の側面図である。この場合もボールケージ72を使用した場合と同様、押圧部68がすべりガイド76上を滑って、磁気吸引力が発生する矢印74方向にスライドするため、上記実施例と同様の効果が得られる。なお、すべりガイド76の材質については、ホワイトメタルやケルメット等の耐摩耗性に優れ、摩擦係数の小さい金属材料や、フェノール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリ四化エチレン樹脂等、耐摩耗性や潤滑性に優れた合成樹脂を使用することが好ましいが、特に材料を特定するものではなく、耐摩耗性や潤滑性に優れた材料であれば前記材料と同様、本発明に適用することができる。
【0032】
また、押圧部68をスライドさせる機構には、ボールケージ72のような玉ではなく円筒形状のコロを矢印74方向に転がるように配置しても同様の動作が行える。このように、磁気吸引力の影響をテーブル66に与えない機構は上記実施形態で示した機構に限定されるものではない。ただし、押圧部68をガタなくテーブル66に配置できるものが好ましい。また、押圧部68は、リニアモータの発生する推力の大きさによっては、さらに複数個追加して配置しても良い。また、図1において、押圧部68は、リニアモータの可動子49を挟んで対象となる位置に取り付けられているが、これも特に機構を限定されるものではなく、可動子49を挟んで左右非対称に配置しても良い。
【0033】
第3の実施形態.
図3は、本発明の第3の実施形態を示した図であり、ボールケージ72と押圧部68の替わりに、弾性体75を用いた構造である。弾性体75は、図3に示した断面形状でテーブルスライド方向の長さ(図3の奥行き方向の長さ)が長いため、テーブル66のスライド方向に剛性が高く、モータの磁気吸引力、すなわち矢印74の方向に剛性の低い特性を持っている。この弾性体75をリニアモータの可動子49とテーブル66に結合することにより、リニアモータの磁気吸引力による可動子49の矢印74方向の変形は、弾性体75により吸収されテーブル66には伝わらず、テーブル66のスライド方向の推力は、弾性体75を介してテーブル66に伝達される。なお、弾性体75の形状は図3で示した形状に特定するものではなく、テーブル66のスライド方向に剛性が高く、モータの磁気吸引方向に剛性の低い特性の形状であれば、本発明に適用可能である。
【0034】
さらに、本発明では、固定子側に永久磁石を配置し、可動子側に巻線を配置した同期型リニアモータの場合について説明したが、永久磁石と巻線を可動子側に持つリニアモータや、永久磁石を使用しないリラクタンス型等、リニアモータにはさまざまなタイプがあり、磁気吸引力を発生するリニアモータでは、本発明を同様に適用可能である。また、42,62,64で示した転がりガイドは、他にすべりガイドや、転がり+すべり複合のガイドを用いても良い。
【0035】
【発明の効果】
以上のように、本発明によるリニアモータの送り装置では、可動子と固定子間に発生する磁気吸引力がテーブルやガイド機構に影響を与えないように、可動子をテーブルに対してスライド方向にのみ力を伝達するように配置し、リニアモータの磁気吸引力方向にはスライドして力を伝えないように構成にすることで、リニアモータの磁気吸引力によるテーブルやリニアガイドの変形を無くし、テーブルを軽量化することにより加速性能の向上とコスト低減を実現したリニアモータの送り装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態におけるリニアモータの送り装置を示した正面図、側面図である。
【図2】本発明の第2の実施形態を示す図である。
【図3】本発明の第3の実施形態を示す図である。
【図4】従来技術に係るリニアモータの送り装置を示す正面図、側面図である。
【図5】従来技術に係るリニアモータのテーブルスライド方向断面図である。
【図6】特開平8−192326で開示された従来技術に係るリニアモータのテーブル送り装置の断面図である。
【図7】特開2000−14120で開示された従来技術に係るリニアモータのテーブル送り装置の断面図である。
【符号の説明】
40,60 ベッド、42,62,64 転がりガイド、46,66 テーブル、48 テーブル駆動部材、49 可動子、50 固定子、51,61 凸部、52 永久磁石、54 巻線、56 界磁磁束、67 脚部、68 押圧部、70 溝部、72 ボールケージ、75 弾性体、76 すべりガイド。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a feed device using a linear motor used for a machine tool or an industrial machine.
[0002]
[Prior art]
In recent years, with the speeding up of machine tools and industrial machines, feeders employing linear motors have come to be widely used. In a feed device of a type in which a ball screw is rotated by a brushless servomotor which is currently mainstream and a table attached to the ball screw moves in one axis direction, a feed speed of about 70 m / min is generally used. Thus, a feeder employing a linear motor achieves a high-speed feed of 400 m / min or more.
[0003]
On the other hand, a feeder using a linear motor has a so-called deflection system, such as a deflection in the rotation direction of a ball screw and a deflection of a coupling connecting a brushless servomotor and a ball screw, compared to a feeder of a type using a ball screw. Since the table is driven directly without the above, there is a feature that the positioning accuracy is superior to a feeder of a type using a ball screw.
[0004]
In a feeder using a general linear motor, a table is arranged on a fixed bed so as to be movable in one axis direction via a guide mechanism, and the bed and the table have a linear motor stator and a movable The child is fixed with a predetermined gap. In the linear motor arranged as described above, a current is applied to the winding wound on the stator or the mover to generate a thrust in the linear motor and move the table.
[0005]
FIG. 4 is a diagram showing a feeder using a linear motor according to the related art. FIG. 4A is a view of the feeder as viewed from a table slide direction, and FIG. 4B is a view of the feeder as viewed from a side surface perpendicular to the table slide direction. FIG. 5 is a sectional view of the feeder using the linear motor shown in FIG. 4 cut in the table sliding direction.
[0006]
The configuration and operation of a conventional linear motor feeder will be described with reference to FIGS.
[0007]
4 and 5, a table 46 is arranged on a
[0008]
[Patent Document 1]
JP-A-8-192326 [Patent Document 2]
JP 2000-14120 [Problems to be solved by the invention]
However, the prior art described above has the following problems.
[0009]
In the prior art, a strong magnetic attraction force, generally three times or more the thrust, is generated between the
[0010]
As a technique for solving the above-mentioned problem, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 8-192326 and 2000-14120 propose a structure for preventing a table from being deformed by a magnetic attraction force of a linear motor.
[0011]
FIG. 6 is a diagram showing a feeding device disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-192326. According to the specification, "in accordance with this configuration, when a suction force is generated between the primary member 7 and the
[0012]
On the other hand, FIG. 7 is a diagram showing a feeding device disclosed in JP-A-2000-14120. The description states that “The electromagnetic force F1 in the Y direction acting between the
[0013]
However, the feeder using a linear motor disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-192326 cannot prevent the table 5d from being deformed by the magnetic attraction of the linear motor. This is because there is an air gap between the primary member 7 and the
[0014]
Also, in the feeder of JP-A-2000-14120, similarly to the feeder of JP-A-8-192326, even if the
[0015]
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above problems and to provide a feeder using a linear motor in which the deformation of a table or a linear guide due to the magnetic attraction of a linear motor is reduced.
[0016]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, according to the present invention, a feeder using a linear motor has a stator having a linear motor, a first guide extending in a feed direction, and a bed having a second guide. A table supported by the first guide and slidably mounted on the bed; a movable element of a linear motor supported by the second guide and arranged to face the stator; and And a table driving member having a pressing portion that presses the sliding direction and slides in a direction perpendicular to the sliding direction.
[0017]
Further, it is preferable that the feed device includes a ball cage disposed between the pressing portion of the table driving member and the table.
[0018]
Further, it is preferable that the feeding device includes a slide guide disposed between the pressing portion of the table driving member and the table.
[0019]
Further, according to the present invention, a feeder using a linear motor, a stator of the linear motor, a first guide extending in the feed direction, a bed having a second guide, and the first, A table supported by a guide, slidably mounted on the bed, a table driving member supported by the second guide, and having a linear motor mover disposed opposite to the stator; and A connection member for connecting the drive member and the table, the connection member having high rigidity in a slide direction of the table and having low rigidity in a direction perpendicular to the slide direction.
[0020]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0021]
First embodiment.
FIG. 1 is a diagram showing a feeder using a linear motor according to the first embodiment. FIG. 1A is a diagram of the feeding device as viewed from a table sliding direction, and FIG. 1B is a diagram of the feeding device as viewed from a side surface perpendicular to the table sliding direction. This embodiment will be described with reference to FIG.
[0022]
First, the configuration of the device will be described. A
[0023]
A
[0024]
The table 66 has a flat upper part, and has four
[0025]
A
[0026]
The
[0027]
The
[0028]
Next, the operation of the feeder using the linear motor according to the present invention will be described. The
[0029]
As described above, in the configuration according to the present embodiment, unlike the feeding device described in JP-A-8-192326 or JP-A-2000-14120 described in the related art, the sliding device can slide in the direction perpendicular to the sliding direction with respect to the table 66. Since the table is driven by pressing the table with the appropriate pressing portion, the magnetic attraction force is not transmitted to the table 66, and the table 66 and the rolling
[0030]
However, the
[0031]
Second embodiment.
Next, a second embodiment of the present invention will be described. The feeder according to the second embodiment differs from the first embodiment in that a
[0032]
The same operation can be performed by a mechanism for sliding the
[0033]
Third embodiment.
FIG. 3 is a view showing a third embodiment of the present invention, and has a structure using an
[0034]
Furthermore, in the present invention, the case of the synchronous linear motor in which the permanent magnet is arranged on the stator side and the winding is arranged on the mover side has been described, but the linear motor having the permanent magnet and the winding on the mover side has been described. There are various types of linear motors, such as a reluctance type that does not use a permanent magnet, and the present invention can be similarly applied to a linear motor that generates a magnetic attractive force. Further, as the rolling guides indicated by 42, 62, and 64, other sliding guides or a combined rolling and sliding guide may be used.
[0035]
【The invention's effect】
As described above, in the linear motor feeder according to the present invention, the movable element is moved in the sliding direction with respect to the table so that the magnetic attraction generated between the movable element and the stator does not affect the table and the guide mechanism. It is arranged so as to transmit only the force and slides in the direction of the magnetic attraction force of the linear motor so as not to transmit the force, eliminating deformation of the table and linear guide due to the magnetic attraction force of the linear motor, It is possible to provide a linear motor feeder that achieves improved acceleration performance and reduced cost by reducing the weight of the table.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a front view and a side view showing a linear motor feeder according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing a second embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a diagram showing a third embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a front view and a side view showing a linear motor feeder according to the related art.
FIG. 5 is a sectional view of a linear motor according to a conventional technique in a table sliding direction.
FIG. 6 is a cross-sectional view of a linear motor table feeder according to the prior art disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-192326.
FIG. 7 is a cross-sectional view of a linear motor table feed device according to the related art disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-14120.
[Explanation of symbols]
40, 60 beds, 42, 62, 64 rolling guides, 46, 66 tables, 48 table drive members, 49 movers, 50 stators, 51, 61 protrusions, 52 permanent magnets, 54 windings, 56 field magnetic flux, 67 legs, 68 pressing parts, 70 grooves, 72 ball cage, 75 elastic body, 76 sliding guide.
Claims (4)
リニアモータの固定子と、送り方向に延設した第一のガイドと、第二のガイドと、を有するベッドと、
前記第一のガイドで支持され、前記ベッドに対してスライド可能に設置されたテーブルと、
前記第二のガイドで支持され、前記固定子に対向配置されたリニアモータの可動子と、前記テーブルをスライド方向に押圧し、前記スライド方向と垂直な方向に滑動可能である押圧部と、を有するテーブル駆動部材と、
を備えることを特徴とする送り装置。A feeder using a linear motor,
A stator having a linear motor, a first guide extending in the feed direction, and a bed having a second guide,
A table supported by the first guide and slidably mounted on the bed,
A movable element of a linear motor supported by the second guide and arranged to face the stator, and a pressing portion that presses the table in a sliding direction and is slidable in a direction perpendicular to the sliding direction. A table driving member having
A feeding device comprising:
前記テーブル駆動部材の押圧部と、前記テーブルとの間に配置されたボールケージを備えることを特徴とする送り装置。The feed device according to claim 1, wherein
A feeding device comprising: a ball cage disposed between a pressing portion of the table driving member and the table.
前記テーブル駆動部材の押圧部と、前記テーブルとの間に配置されたすべりガイドを備えることを特徴とする送り装置。The feed device according to claim 1, wherein
A feeding device comprising a sliding guide disposed between a pressing portion of the table driving member and the table.
リニアモータの固定子と、送り方向に延設した第一のガイドと、第二のガイドを有するベッドと、
前記第一のガイドで支持され、前記ベッドに対してスライド可能に設置されたテーブルと、
前記第二のガイドで支持され、前記固定子に対向配置されたリニアモータの可動子を有するテーブル駆動部材と、
前記テーブル駆動部材と前記テーブルを接続する接続部材であって、前記テーブルのスライド方向に剛性が高く、前記スライド方向と垂直な方向に剛性が低い接続部材と、
を備えることを特徴とする送り装置。A feeder using a linear motor,
A linear motor stator, a first guide extending in the feed direction, a bed having a second guide,
A table supported by the first guide and slidably mounted on the bed,
A table driving member supported by the second guide and having a linear motor mover disposed opposite to the stator,
A connection member that connects the table drive member and the table, the connection member having high rigidity in a slide direction of the table and low rigidity in a direction perpendicular to the slide direction,
A feeding device comprising:
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