JPS61292982A - レ−ザパワ−メ−タ - Google Patents
レ−ザパワ−メ−タInfo
- Publication number
- JPS61292982A JPS61292982A JP13427985A JP13427985A JPS61292982A JP S61292982 A JPS61292982 A JP S61292982A JP 13427985 A JP13427985 A JP 13427985A JP 13427985 A JP13427985 A JP 13427985A JP S61292982 A JPS61292982 A JP S61292982A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integrating sphere
- optical sensor
- intensity
- sensor
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/0014—Monitoring arrangements not otherwise provided for
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、レーザパワーメータに関するものである。
第２図は従来のレーザパワーメータの断面図である。図
において、（１）は積分球、（１ａ）はその内部である
。積分球（１）の内部（１ａ）Ｖｉ球状に形成されてい
るが、内部（１ａ）に導入された光を多重反射させる際
、完全拡散に近ずけろため、その球状の次面を反射率の
高い物質で形成するか、あるいは反射性の塗料等を塗布
する等の処理をしいる。（２）はレーザビーＡ（３）の
導入口、（４）は積分球（１）に設けた取付穴、（５）
ｔｉ取付穴（４）に挿入して固定され九センサホルダ
、（６）Ｖｉセンサホルダ（５）内に収納して保持され
ている光センサである。光センサ（６）Ｖ′ｉし〜ザ光
の強度を検出して電気信号に変換するもので、レーザ光
を受光する部分と熱電対とよりなっている。そして光セ
ンサ（６）はノイズ対策のため、熱伝導性が低く電気絶
縁体で形成されたセンサホルダ（５）内に収納されてい
る。（７）はセンサホルタ（５）に接続したコード接続
用のコネクタでアル。
において、（１）は積分球、（１ａ）はその内部である
。積分球（１）の内部（１ａ）Ｖｉ球状に形成されてい
るが、内部（１ａ）に導入された光を多重反射させる際
、完全拡散に近ずけろため、その球状の次面を反射率の
高い物質で形成するか、あるいは反射性の塗料等を塗布
する等の処理をしいる。（２）はレーザビーＡ（３）の
導入口、（４）は積分球（１）に設けた取付穴、（５）
ｔｉ取付穴（４）に挿入して固定され九センサホルダ
、（６）Ｖｉセンサホルダ（５）内に収納して保持され
ている光センサである。光センサ（６）Ｖ′ｉし〜ザ光
の強度を検出して電気信号に変換するもので、レーザ光
を受光する部分と熱電対とよりなっている。そして光セ
ンサ（６）はノイズ対策のため、熱伝導性が低く電気絶
縁体で形成されたセンサホルダ（５）内に収納されてい
る。（７）はセンサホルタ（５）に接続したコード接続
用のコネクタでアル。
従来ＯＶ−ザバワーメータは上記のように構成され、導
入口（２）より積分球内部（１ａ）に導入され念レーザ
ビーム（３）は、多重反射して、はぼ均一な分布の強度
のレーザ光となり、レーザ光の一部はセンサホルダ（５
）の壁面を１ｉｖ１過して光センサ（６） Ｋ入射され
、レーザ光の強度を電気信号に変換して出力されるので
、レーザビーム（３）の出力を電気信号として取出すこ
とができる。
入口（２）より積分球内部（１ａ）に導入され念レーザ
ビーム（３）は、多重反射して、はぼ均一な分布の強度
のレーザ光となり、レーザ光の一部はセンサホルダ（５
）の壁面を１ｉｖ１過して光センサ（６） Ｋ入射され
、レーザ光の強度を電気信号に変換して出力されるので
、レーザビーム（３）の出力を電気信号として取出すこ
とができる。
そして光センサ（６）がレーザ光の強度を測定する場合
、レーザビーム（３）が積分球（１）に入射されていな
いときの光センサ（６）の出力の状態のときを零点とし
て測定する。したがって、零点は光センナ（６）の熱電
対が検出する積分球自体の熱量および積分球内部（１ａ
）の熱量のエネルギーのレベルを示していることになる
。
、レーザビーム（３）が積分球（１）に入射されていな
いときの光センサ（６）の出力の状態のときを零点とし
て測定する。したがって、零点は光センナ（６）の熱電
対が検出する積分球自体の熱量および積分球内部（１ａ
）の熱量のエネルギーのレベルを示していることになる
。
しかし積分球（１）の温度は、外気温間の変化あるいは
レーザビーム（３）の導入により変化し、積分球（１）
が水冷されている場合は、冷却水の温間変化によっても
変化する。このような積分球（１）の温度上昇があると
、その温度上昇による過渡的熱量が光セン＋ （６）
Ｋ流入するから、流入した熱量を含めたエネルギーレベ
ルが零点となる。また積分球（１）の温度下降により熱
量が流出する場合は、低下したエネルギーレベルが零点
となる。−刀先センサ（６）は熱伝導の低いセンサホル
ダ（５）に収納でれているから、積分球（１）等から過
渡的熱量が発生しても、光センサ（６）の熱電対はリア
ルタイムにその熱量を検出することができず、光センサ
（６）の零点と実際上設定されるべき零点がずれる、い
わゆる零点ドリフトが生じろ。しかも零点ドリフトを生
じてもそれを補償する手段がないため、測定でれたレー
ザビーム（３）の出力は誤差を含んだものとなる。
レーザビーム（３）の導入により変化し、積分球（１）
が水冷されている場合は、冷却水の温間変化によっても
変化する。このような積分球（１）の温度上昇があると
、その温度上昇による過渡的熱量が光セン＋ （６）
Ｋ流入するから、流入した熱量を含めたエネルギーレベ
ルが零点となる。また積分球（１）の温度下降により熱
量が流出する場合は、低下したエネルギーレベルが零点
となる。−刀先センサ（６）は熱伝導の低いセンサホル
ダ（５）に収納でれているから、積分球（１）等から過
渡的熱量が発生しても、光センサ（６）の熱電対はリア
ルタイムにその熱量を検出することができず、光センサ
（６）の零点と実際上設定されるべき零点がずれる、い
わゆる零点ドリフトが生じろ。しかも零点ドリフトを生
じてもそれを補償する手段がないため、測定でれたレー
ザビーム（３）の出力は誤差を含んだものとなる。
上記のような従来のレーザパワーメータでけ、熱伝導の
低い電気絶縁体で形成されたセンサホルタ（５）に光セ
ンサ（６）を収納しているから、積分球（１）の温度変
化に伴う輻射熱等の変化があっても、光センサ（６）は
その変化を検出できず、光センサ出力の零点ドリフトが
起きるという問題があり、また入射レーザビーム（３）
の強度変化があっても、光センサ（６）は熱伝導の低い
センサホルダ（５）の壁面を介してレーザ光を受光する
ので光センサ（６）は正確なレーザ光の強度を検出して
出力できないという問題があった。
低い電気絶縁体で形成されたセンサホルタ（５）に光セ
ンサ（６）を収納しているから、積分球（１）の温度変
化に伴う輻射熱等の変化があっても、光センサ（６）は
その変化を検出できず、光センサ出力の零点ドリフトが
起きるという問題があり、また入射レーザビーム（３）
の強度変化があっても、光センサ（６）は熱伝導の低い
センサホルダ（５）の壁面を介してレーザ光を受光する
ので光センサ（６）は正確なレーザ光の強度を検出して
出力できないという問題があった。
この発明はかかる問題点を解決するためになされたもの
で、外気温叩の変化による積分球の温度変化、あるいは
入射レーザビームの強度変化等があっても、光センサ出
力の零点ドリフトが極めて小さく、かつそれらの変化に
リアルタイムに応答したレーザ光の強度を測定すること
ができるレーザパワーメータを得ることを目的とする。
で、外気温叩の変化による積分球の温度変化、あるいは
入射レーザビームの強度変化等があっても、光センサ出
力の零点ドリフトが極めて小さく、かつそれらの変化に
リアルタイムに応答したレーザ光の強度を測定すること
ができるレーザパワーメータを得ることを目的とする。
この発明に係るレーザパワーメータは、積分球に穴を設
け、その穴に光センサを受光面が積分球の内部に直接対
向するように配置し、かつ光センサを優れた熱伝導を保
つような手段で直接積分球に固定したものである。
け、その穴に光センサを受光面が積分球の内部に直接対
向するように配置し、かつ光センサを優れた熱伝導を保
つような手段で直接積分球に固定したものである。
この発明においては、光センサの受光面が積分球の内部
と直接接しており、かつ光センサは優れた熱伝導を保つ
ような手ｆ２により直接積分殊に固定されているから、
積分球等の温度が変化して輻射熱を放射すると、直ちに
その熱費の変化を修正したレーザ出力の零点を定めるこ
とができ、また測定中ｃｔｚ−ザ光の強度が変化しても
リアルタイム応答することができる。
と直接接しており、かつ光センサは優れた熱伝導を保つ
ような手ｆ２により直接積分殊に固定されているから、
積分球等の温度が変化して輻射熱を放射すると、直ちに
その熱費の変化を修正したレーザ出力の零点を定めるこ
とができ、また測定中ｃｔｚ−ザ光の強度が変化しても
リアルタイム応答することができる。
〔実施例〕
第１図は、この発明の一実施例の断面図である。
図において、αｑは積分球、（１０ａ）はその内部であ
る。球状の内部（１０ａ）異面は導入１れた光を多重反
射させる際、完全拡散に近ずけるため、反射率の高い物
質で形成するか５、ちるいは反射性の塗料等を塗布の処
理をしているのは従来のレーデパワーメータと同°様で
ある。（１０ｂ） ｉｊ：レーザビームの導入口、α溌
は内側に拡大傾斜させたレーザ光の受光用の穴、（６）
は穴へ１に連通し、断面凸形状の光センサα埠の取付は
用の穴である。α→け光センサで穴（６）に挿入し、そ
の先端の受光面を穴α℃の端部にあるいは近傍に位置さ
せて、穴（ハ）にシリコンコンノくランド等の熱伝導の
優れた充填剤を充填することにより、光センサ負１を固
定する。
る。球状の内部（１０ａ）異面は導入１れた光を多重反
射させる際、完全拡散に近ずけるため、反射率の高い物
質で形成するか５、ちるいは反射性の塗料等を塗布の処
理をしているのは従来のレーデパワーメータと同°様で
ある。（１０ｂ） ｉｊ：レーザビームの導入口、α溌
は内側に拡大傾斜させたレーザ光の受光用の穴、（６）
は穴へ１に連通し、断面凸形状の光センサα埠の取付は
用の穴である。α→け光センサで穴（６）に挿入し、そ
の先端の受光面を穴α℃の端部にあるいは近傍に位置さ
せて、穴（ハ）にシリコンコンノくランド等の熱伝導の
優れた充填剤を充填することにより、光センサ負１を固
定する。
なお、光センサ（至）はレーザ光吸収のための薄膜性黒
体と少くとも１つの熱電対接点で構成され、レーザ光に
対する応答速度が１． ＯＩＦ） Ｉａ下のものを使用
する。０４は光センサ（１１ｔ’ｃ接続したコード接続
用のコネクタである。
体と少くとも１つの熱電対接点で構成され、レーザ光に
対する応答速度が１． ＯＩＦ） Ｉａ下のものを使用
する。０４は光センサ（１１ｔ’ｃ接続したコード接続
用のコネクタである。
上記のように構成され几レーザパワーメータにおいて、
導入口（１０ｂ）よりレーザビーム（３） ｅ ｍ分球
Ｃ１（ｌの内部（１０ａ）に導入して多重反射きせ、レ
ーザ光の強腰をほぼ均一な分布にし、光センサ（Ｌｌｖ
ｃ−よりレーザ光の強度検出して電気信号に変換する。
導入口（１０ｂ）よりレーザビーム（３） ｅ ｍ分球
Ｃ１（ｌの内部（１０ａ）に導入して多重反射きせ、レ
ーザ光の強腰をほぼ均一な分布にし、光センサ（Ｌｌｖ
ｃ−よりレーザ光の強度検出して電気信号に変換する。
そ）際センサ（至）の受光面の薄膜性黒体は、穴（ｌ■
を通じて積分球四の内部（１０ａ）に直接に対向してお
り、しかもセンサ（至）と積分球αｑは熱伝導が優れた
充填剤俣］を介して接触しているので、積分球αＱとセ
ンサ（ロ）間の温度差をきわめて小さくおさえることが
でき、このため光センサ（６）の出力の零点ドリフトも
極小におさえられる。その結果センサ（至）のレーザ光
の強度測定誤差も極小となる。
を通じて積分球四の内部（１０ａ）に直接に対向してお
り、しかもセンサ（至）と積分球αｑは熱伝導が優れた
充填剤俣］を介して接触しているので、積分球αＱとセ
ンサ（ロ）間の温度差をきわめて小さくおさえることが
でき、このため光センサ（６）の出力の零点ドリフトも
極小におさえられる。その結果センサ（至）のレーザ光
の強度測定誤差も極小となる。
また、導入されたレーザビーム（３）の強度が変化して
も、反射したレーザ光は直接光センサ０の受光面に入射
されるので、その強度変化をリア、Ａ／タイムに検出で
きる。ざらに光センサ（至）のレーザ光に対する応答連
間が１．０秒以下のものを使用しているので、迅速にレ
ーザビーム（３）の出力が電気信号として得られる。さ
らＫまた光センサα３はレーザ光のエネルギーを熱電対
の接点で感じるが、レーザ光は穴αカが内側に拡大傾斜
しているため、穴←ηに人射し之レーザ光は一ケ所に集
中し、熱電対の接点で容易に検出することができる。な
お、上記実施例では、球形の積分球頭を用いた場合を示
し比が、内部（１０ａ）が球形であれば外面の形状はど
のようなものでもよく、例えば直方体でもよい。
も、反射したレーザ光は直接光センサ０の受光面に入射
されるので、その強度変化をリア、Ａ／タイムに検出で
きる。ざらに光センサ（至）のレーザ光に対する応答連
間が１．０秒以下のものを使用しているので、迅速にレ
ーザビーム（３）の出力が電気信号として得られる。さ
らＫまた光センサα３はレーザ光のエネルギーを熱電対
の接点で感じるが、レーザ光は穴αカが内側に拡大傾斜
しているため、穴←ηに人射し之レーザ光は一ケ所に集
中し、熱電対の接点で容易に検出することができる。な
お、上記実施例では、球形の積分球頭を用いた場合を示
し比が、内部（１０ａ）が球形であれば外面の形状はど
のようなものでもよく、例えば直方体でもよい。
この発明は以上説明したとおり、積分球に穴を設けて、
その穴に光センサを受光面が積分球の内部に直接接する
ように配置し、かつ光センサを優れた熱伝導を保つよう
な手段で直接積分球に固定したので、積分球の温げ変化
等の外乱があっても光センサ出力の零点ドリフトが極小
となり、かつレーザ光強変の測定誤差が極小となって導
入され念レーザビームの出力変化に直ちに応答すること
ができる効果がある。
その穴に光センサを受光面が積分球の内部に直接接する
ように配置し、かつ光センサを優れた熱伝導を保つよう
な手段で直接積分球に固定したので、積分球の温げ変化
等の外乱があっても光センサ出力の零点ドリフトが極小
となり、かつレーザ光強変の測定誤差が極小となって導
入され念レーザビームの出力変化に直ちに応答すること
ができる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例の断面図、第２図は従来の
レーザパワーメータの断面図である。 図において、四は積分球、（１０ａ）は積分球の内部、
（１０ｂ）はレーザビームの導入口、ａ］）、α２は穴
、（至）はセンサ、（ト）は充填材である。 なお各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第２図 第１図
レーザパワーメータの断面図である。 図において、四は積分球、（１０ａ）は積分球の内部、
（１０ｂ）はレーザビームの導入口、ａ］）、α２は穴
、（至）はセンサ、（ト）は充填材である。 なお各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第２図 第１図
Claims (4)
- （１）積分球とレーザ光の強度を検出して電気信号に変
換する光センサとよりなるレーザパワーメータにおいて
、上記積分球に設けた穴に上記光センサの受光面が上記
積分球の内部に対向するように配置し、かつ熱伝導を良
好に保つような手段により上記光センサを直接上記積分
球に固定したことを特徴とするレーザパワーメータ。 - （２）上記固定手段が、上記穴に上記光センサを配設し
、穴と光センサとの間に熱伝導性の高い充填剤を充填し
て固定することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
のレーザパワーメータ。 - （３）上記充填剤がシリコンコンパウンドである特許請
求の範囲第２項記載のレーザパワーメータ。 - （４）上記光センサが薄膜性黒体と少くとも１つの熱電
対接点で構成され、レーザ光に対する応答速度が１．０
秒以下である特許請求の範囲第１項至第３項記載のレー
ザパワーメータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13427985A JPS61292982A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | レ−ザパワ−メ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13427985A JPS61292982A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | レ−ザパワ−メ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61292982A true JPS61292982A (ja) | 1986-12-23 |
Family
ID=15124565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13427985A Pending JPS61292982A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | レ−ザパワ−メ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61292982A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019163069A1 (ja) * | 2018-02-22 | 2019-08-29 | 三菱電機株式会社 | レーザ発振装置 |
-
1985
- 1985-06-21 JP JP13427985A patent/JPS61292982A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019163069A1 (ja) * | 2018-02-22 | 2019-08-29 | 三菱電機株式会社 | レーザ発振装置 |
| CN111771310A (zh) * | 2018-02-22 | 2020-10-13 | 三菱电机株式会社 | 激光振荡装置 |
| US10998692B2 (en) | 2018-02-22 | 2021-05-04 | Mitsubishi Electric Corporation | Laser oscillation device |
| CN111771310B (zh) * | 2018-02-22 | 2021-09-03 | 三菱电机株式会社 | 激光振荡装置 |
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