JPS61291785A - クライオポンプの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、超高真空装置や核融合装置などに使用される
クライオポンプの製造方法に係り、特に極低温に冷却さ
れた吸着材により気体を吸着排気するようにしたクライ
オポンプの製造方法に関する。

〔発明の技術的背慎とその問題点〕

第３２図は従来のクライオポンプを示した概略図であり
、液体ヘリウムなどの冷媒液で極低温に冷却される冷却
部１に、銀と錫との合金からなる低融点金属板２がボル
トなどで密着して固着されている。この低融点金属板２
の表面には、吸着材として作用する小片状の活性炭３が
低融点金Ｉｆｌ１２との親和力により接着されている。

この活性炭３と低融点金ＩＩ２とは、気体吸着パネル４
を構成する。輻射シールド５は、極低温冷却部１と気体
吸着パネル４とを取り囲み、室温部からの輻射熱を低減
するために液体窒素などで冷却される。気体吸着パネル
４の前方に配置されたシェブロン形バッフル６は輻射率
がほぼ１となるように黒化処理され、輻射シールド５の
内部に排気すべき気体を導くように作用する。以上の構
成より成るクライオ吸着ポンプは′、真空容器７内に収
納され、この真空容器７には、補助真空ポンプ８が接続
されている。この補助真空ポンプとしては、ターボ分子
ポンプや油回転ポンプなどの機械式ポンプが使用されて
いる。

予め補助真空ポンプ８により真空断熱のために真空容器
７内を高真空状態とした後、極低温冷却部１に液体ヘリ
ウム等の冷媒液を供給して冷却部１と気体吸着パネル４
とを極低温に冷却し、被排気ガス分子を吸着材即ち活性
炭３を吸着し排気する。

被排気ガス分子を充分に吸着排気したクライオ吸着ポン
プの再生は次のように行なわれる。排気対象物の運転停
止時に、冷媒液の供給を断ち、気体吸着パネル４の温度
を上昇させ、吸着されたガス分子をパネル４から離脱さ
せて、これを補助真空ポンプにより外部へ排気する。

このような従来のクライオ吸着ポンプにおける気体吸着
パネル４自体は第３３図（ａ）と（ｂ）に拡大して示さ
れるように、ボルト９によって極低温冷却部１に強固に
取り付けられているが、活性炭３は低融点金属板２に主
としてその表面での互の親和力によって接合固着されて
いるだけである。この親和力は比較的弱いため活性炭３
は気体吸着パネル４の製造過程において低融点金属板２
から剥離し易すいばかりでなく、クライオ吸着ポンプの
運転中にも、パネル４が冷媒液の供給による冷却とポン
プ再生時の加熱との繰り返しを受けるので、剥離し易い
。この活性炭の剥離は、当然ポンプの吸着排気能力の低
下を招く。さらに、真空容器７内で剥離した活性炭は補
助真空ポンプ８などの真空構成部品内に侵入し、これら
の機器の故障を誘発する恐れもある。

また活性炭３は、特定のメツシュの大きさに選別されて
いるが形状は特に整形されておらず不整形であり、かつ
低融点金属板２上に適当に散布されているだけであるの
で、第３３図（ａ）に示されるように、低融点金属板に
付着した各活性炭３は、その露出面積や相互の間隔など
が不揃いであり、活性炭の分布状態としては必ずしも最
適とはいえなかった。

また低融点金属板２の極低温冷却部１へ取り付ける側の
面は十分に整形されていないので極低温冷却部１との実
質的接触面積が減少し、気体吸着パネル４に対する十分
な冷却効果が得られないという欠点があった。

そこでこのような欠点を解決したクライオポンプを製造
する方法として、第３４図乃至第３６図に示す製造方法
が考えられる。

第３４図において、型枠１０には低融点金属板１１が載
置され、この金属板１１には活性炭３が散在されている
。これらの活性炭３の上におもり板１２が１ａＮされる
。この状態で全体を加熱して低融点金属板１１を溶融す
ると、第３５図に示されるように活性炭３はおもり板１
２により溶融金属板１１内に入り込む。その後、冷却す
ると各活性炭３は一部が金属板１１に入り込んだ状態で
固着され、また型枠１０は、低融点金ａｉｉと溶着し易
すい材質で構成されているので金属板１１に溶着される
。その後、おもり板１２．を取り除くことにより１．第
３６図に示されたように型枠１０と低融点金Ｂ１１とか
ら成る気体吸着パネル１３が作られる。この気体吸着パ
ネル１３の底面１０ａは第３２図の冷却部１に固着され
る。

このようにして製造されたクライオポンプは活性炭３が
低融点金属板１１内に比較的強固に埋設固着されるとと
もに型枠１０によって極低温冷却部１に取り付けられる
ので、十分に密着させることができる。

しかしながらこの製造方法では、第３４図及び第３６図
に示されたように低融点金属板１１上に載置される多数
の活性炭３の形状や寸法、又は載置状態をすべて等しく
することは実質上不可能であるので、おもり板１２で活
性炭３を押圧しても溶融状態の金属板１１への浸入Ｍは
、活性炭３毎に異なり、かなりの僅の活性炭が依然とし
て剥離し易ずいといった欠点がある。さらに低融点金属
１１は、溶融状態では流動するので、低融点金属板１１
を溶融すると活性炭３の分布パターンが変化してしまい
、所望の分布パターンを得ることが困難であるといった
欠点もある。

（発明の目的） そこで本発明の目的は、吸着材を所望の分布状態で低融
点金属に強固に固着できるクライオポンプの製造方法を
提供することにある。

〔発明の概要〕

この目的を達成するために、本願の第１の発明は、多数
の凹部が穿設された底部と、この底部の周囲から突出し
た枠部とを有する吸着材保持部材の上記凹部に、一部が
この凹部から突出する大きさの吸着材を挿入して上記底
部に上記吸着材を散在分布させる散在分布工程と、上記
吸着材の散在分布した上記底部に溶融状態の低融点金属
を載置する載置工程と、上記低融点金属に整形板の接触
した上記溶融状態の低融点金属の面を整形する整形工程
と、この整形後に上記整形板を取り除く取除工程と、上
記溶融状態の低融点金属を冷却して上記吸着材の突出部
を上記低融点金属内に埋設固着させる冷却工程と、上記
冷却された低融点金属を上記吸着材保持部材から分離す
る分離工程と、上記整形板が取り除かれ、かつ上記吸着
材保持部材から分離された上記低融点金属を極低温に冷
却される冷却部に上記整形された面において密着固定す
る固定工程とを具備し、上記吸着材保持部材と上記整形
板が上記低融点金属と溶着しにくい材質によって構成さ
れていることを特徴とするものであり、第２の発明は多
数の凹部が穿設された底部とこの底部の周囲から突出し
た枠部とを有する吸着材保持部材の上記凹部に一部がこ
の凹部から突出する大きさの吸着材を挿入して上記底部
に上記吸着材を散在分布させる散在分布工程と、上記吸
着材の散在分布した上記底部に溶融状態の低融点金属を
載置する載置工程と、上記溶融状態の低融点金属の上に
、この金属と溶着し易すい材質の取付基板を載置する基
板載置工程と、上記溶融状態の低融点金属を冷却して上
記吸着材の突出部を上記低融点金属内に埋設固着すると
ともに、上記取付基板を上記低融点金属に溶着固定する
冷却工程と、上記冷却された低融点金属から上記吸着材
保持部材を分離する工程と、極低温に冷却される冷却部
に上記取付基板を密着固定する工程を具備し、上記吸着
材保持部材を上記金属とは溶着しにくい材質で構成した
ことを特徴とするものである。

〔発明の実施例〕

以下に本発明によるクライオポンプの製造方法の一実施
例を第３２図乃至第３６図と同一部分に同符号を付して
示した第１図乃至第３図を参照して説明する。

第１図において、型枠１４は正方形の底板１４ａとこの
底板１４ａの周囲から突出した枠部１４ｂとから構成さ
れている。この枠部１４ｂは、上方に向って外方へわず
かに傾斜している。この型枠１４内には、第２図（ａ）
、（ｂ）に示されるような正方形の吸着材保持板１５が
載置されている。この吸着材保持板１５の外形状は、型
枠１４に密着するように定めらでいる。また吸着材保持
板１５には多数の円形状貫通孔１６が所定の分布パター
ンで穿設されている。この貫通孔１６には第３図（ａ）
、　　（ｔ））および第１図に示されるように活性炭１
７が挿入されている。これらの活性炭１７はいずれもほ
ぼ同一の円柱状に造粒整形されており、この円柱状活性
炭１７の高さと吸着材保持板１５の厚さく貫通孔１６の
深さ）とは前者の方が所定量だけ大きく定められている
ので、円柱状活性炭１７は、貫通孔１６から上記所定量
だけ突出している。また貫通孔１６の孔径は活性炭１７
の直径よりもわずかに大きく定められている。

再び第１図において板状の低融点金属１８は型枠１４に
対応して正方形に整形されており、整形板１９はその下
面が滑らかな平面に加工されている。低融点金ｆ１１８
の材質としては、例えば銀３．５％を含有する錫が好適
であり、また型枠１４と吸着材保持板１５と整形板１９
は低融点金属１８と溶着しにくい材質であることが必要
で、例えばステンレス鋼が好適である。

次に、本発明によるタライオボンブ製造法の工程を説明
する。

第３図（ａ）、（ｂ）に示されるように、型枠１４に載
置された吸着材保持板１５の貫通孔１６に円柱状活性炭
１７を挿入して、保持板１５に活性炭１７を散在分布さ
せる。この活性炭１７が散在分布した保持板１５に第１
図に示されるように板状低融点金属１８を載置し、この
上にさらに整形板１９を載置する。この後に、全体を低
融点金ＷＡ１８の融点（約２３０°）以上に加熱し、低
融点金属１８を溶融する。溶融された低融点金属は、周
囲を型枠１４の枠部１４ｂによって囲まれているので、
第４図に示されるように隣接する活性炭１７の間隙に浸
潤するが、その流動性はあまり良くないので、貫通孔１
６と活性炭１７と微小な間隙にはｆｉｉｌｌしない。ま
た、この溶融状態のとき、低融点金Ｉ［１８は、整形板
１９と密着しているので、涜らかな平面に整形される。

充分に浸潤した低融点金属１８は、型枠１４と吸着材保
持板１５と整形板１９とで形成４される空間によって形
状が決定される。この状態で全体を冷却して、低融点金
属１８を固化する、活性炭１７は、吸着材保持板１５か
ら突出していた突出部が、低融点金属１８の内部に入り
込んだ状態で、低融点金ｎ１８に固着される。この後に
、活性炭１７の固着した低融点金Ｒ１８を整形板１９と
型枠１４と吸着材保持板１５とから分離して第５図に示
された気体吸着パネル２０を作る。なお、この低融点金
属１８と型枠１４との分離は、型枠１４の枠部１４ｂが
傾斜しているので容易に行うことができる。また低融点
金属１８に埋設固着された活性炭１７の露出部分の高さ
ｔは、はぼ吸着材保持板１５の貫通孔１６の深さに等し
いので、各活性炭１７は低融点金ｊｉ１８からの露出ｍ
１即ち突出量ｔが等しくなる。さらに活性炭１７は低融
点金属１８の溶融中も吸着材保持板１５の貫通孔１６に
よって保持されているので、低融点金属１８に固着され
た活性炭１７の分布は、吸着材保持板１５の貫通孔１６
の分布と同一である。

この吸着パネル２０は、第６図（ａ）と（ｂ）に示され
るように冷媒液によって極低温に冷却される冷却部１に
ボルト２１によって固着される。

このときパネル２０は冷却部１に接触する面が予め整形
板、１９によって整形されているので冷却部１に密着固
定される。

なお、低融点金属１８に上記ボルト２１用の貫通孔を穿
孔するには、第７図に示されるように吸着材保持板１５
にボルトダミー用孔２２を穿孔し、ここにボルト２１よ
り大径のボルトダミー２３を嵌入する。低融点金ｊｌ１
８にも予めこのボルトダミー２３が貫通する貫通孔を穿
孔しておき、同様に整形板１９にも貫通孔２４を穿孔し
ておく。このボルトダミー２３は、上記低融点金属１８
を冷却したとき低融点金属１８に固着されるが、この金
属１８と溶着しにくい材質で構成され、かつテーパーが
付けられて°いるので、容易に低融点金属１８から取り
外すことができる。これにより、ボルト２１用の貫通孔
が低融点金属１８に形成される。

第６図のように、冷却部１に密着固定された気体吸着パ
ネル２ｏは、冷却部１が冷媒液に極低温に冷却されると
活性炭１７も直ちに極低温に冷却され、排気ガス分子を
吸着排気する。

第８図と第９図はそれぞれ活性炭形状を変えた例を示し
たもので、第８図の活性炭２５は低融点金属１８に埋設
された部分の径がそこから露出した部分の径より大きい
円錐台形状となっている。

また第９図の活性炭２６は、低融産金ｇ４１８への埋設
部の径が露出部分の径よりも大きく、かつ埋設部分に段
差を形成したものである。このような構成によって活性
炭２５．２６と低融点金属１８との固着力が一層増大す
る。

第１０図は、気体吸着パネル２０の低融点金属１８を三
角形にした例を示したものである。

第１１図（ａ）、（ｂ）は円柱状活性炭１７を横にして
、吸着材保持板１５の溝状切欠き２７内に収容した例を
示している。この場合も、切欠き２７の深さは活性炭１
７の一部が吸着材保持板１５から突出するように定めら
れている。その他は、第１図と同一である。活性炭１７
を横位置で埋設固着した低融点金属１８は第１２図に示
されたように冷却部１に密着固定される。

以上の実施例では、活性炭を保持するのに型枠１４と吸
着材保持板１５との組合せを使用したが、次に吸着材保
持板を省略した例を示す。

第１３図において、型枠２８は、底板２８ａと枠部２８
ｂとから構成され、この底板２８ａには、一定の深さの
有底孔２９が多数穿設されている。

枠部２８ｂには内壁にスペーサとして働く段差３０が形
成されている。活性炭１７が、有底孔２９に挿入され、
整形板１９が低融点金属１８の溶融時にスペーサ段差３
０に保持される点を除いて、第１図乃至第７図と同一で
ある。もちろん、この実施例では有底孔２９の深さが、
第５図の活性炭１７の突出ｆｉｔを決定し、また有底孔
２９の分布状態が低融点金属に固着される活性炭の分布
状態を決定する。

第１４図は、活性炭１７として、造粒整形されていない
ものを用いると共に、枠部２８ｂの内壁にテーパー３１
を付けて低融点金属１８を冷却後に型枠２８から分離し
易いよう、にした例であり、その他は第１３図と同一で
ある。

第１５図は、低融点金属１８に予め吸着材保持板１５の
貫通孔１６に対向する孔３２を穿孔した例を示したもの
で、低融産金１１１８を吸着材保持板１５に載置すると
、上記孔３２は貫通孔１６に対向するので、貫通孔１６
から突出した活性炭１７の突出部が孔３２に進入する。

したがって低融点金属１８の加熱前でも、低融点金属１
８は吸着材保持板１５と接触するので、低融産金ｌ１１
１８は加熱溶融されたとき確実に隣接活性炭１７の間隙
に浸潤する。

以上の実施例では、固形の低融産金１１８は吸着材保持
板に載置された後に、加熱溶融されたが、この代りに、
予め溶融した低融点金属を、活性炭を保持した吸着材保
持板上に流し込むようにしてもよい。

また、整形板１９は、その作用が溶融状態の低融点金属
１８の上面を冷却部１の取付面に応じて整形することで
あるので、この整形板１９の低融産金ｊ１１８からの取
り外しは、上記実施例ように溶融状態の低融点金属の冷
却後でもよくまたは上記整形後であれば、この冷却前に
行うようにしてもよい。

次に、第２実施例を第１６図乃至第２０図（ａ）（１）
）に基づき説明する。

第１６図において、型枠１４と吸着材保持板１５と活性
炭１７と低融点金属１８は第１図のものと同一であり、
この低融産金３１１８には、この低融点金属との親和力
が強く溶着し易すい取付基板３３が載置される。この基
板３３の材質としては銅が好適である。取付基板３３の
上面は、冷却部　　　゛との接合のために整形されてい
る。この第１６図の状態で全体を加熱し、低融点金属１
８を溶融すると、低融点金属１８は第１７図に示された
ように、隣接する活性炭１７の間隙に浸潤し、活性炭１
７の一部を内部に捕捉する。その後、冷却すると活性炭
１７は低融点金属１に埋設され、かつ取付基板３３は低
融点金属１８に溶着し一体化する。

この一体化した低融点金属１８と取付基板３３とを型枠
１４と吸着材保持板１５とから分離すると、第１８図に
示される気体吸着パネル３４が作成される。

この気体吸着パネル３４のボルト取付孔の穿孔は、第７
図の場合と同様に第１９図に示されたようにボルトダミ
ー２３と吸着材保持板１５の孔２２と取付基板３３の貫
通孔３５などによって行われる。この気体吸着パネル３
４は、第２０（ａ）、（ｂ）に示されたように取付基板
３３の上面を冷却部１に密着させて、ボルト２１によっ
て冷却部１に固定される。

このように本実施例では、気体吸着パネル３４は取付基
板３３によって冷却部１に取り付けられるので、充分そ
れに密着接合でき、冷却部１に対して熱抵抗を小さくで
きる。したがって冷却効果が増大し排気速度、および吸
着容量を向上することができる。さらに金属としては比
較的軟らかい低融点金属１８を充分な強度の取付基板３
３と一体化するので、低融点金属１８の変形による活性
炭１７の剥離を防止することもできる。

第２１図乃至ｆｉ２４図（ａ）、（ｂ）は、第２実施例
の変形例を示したもので、第２１図に示されるように低
融点金属１８には周縁付近の２箇所に貫通孔３６が予め
穿孔されており、取付基板３３には、これらの貫通孔に
挿入される突起３７が突設されている。低融・産金Ｊｉ
ｉ１８が加熱溶融されると、第２２図に示されるように
低融点金属１８と突起３７とは接触し溶着される。この
突起３７により基板３３と低融産金ＷＡ１８との結合力
が大幅に増大する。なお、突起３７は先端に向って径が
大きくなるようなテーパーが着いているので、上記結合
力は一層強くなる。

第２５図、第２６図、第２７図、第２８図、第２９図（
ａ）、（ｂ）、第３０図および第３１図は、それぞれ第
１３図、第８図、第９図、第１０図、第１１図（ａ）、
（ｂ）、第１４図および第１５図と同様の変形例を示し
たものである。

もちろん、この第２実施例も第１実施例と同様に、溶融
した低融点金属を活性炭を保持した吸着材保持板上に流
し込むようにしてもよい。

また、第１および第２実施例とも吸着材とじて活性炭を
用いたが、これに限らず他の材質を用いてもよい。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように、本願の第１および第２
発明によれば、吸着材は吸着材保持部材の凹部に保持さ
れた状態で低融点金属に固着し、かつ凹部から突出した
部分が低融点金属内に埋設されるため、吸着材を低融点
金属に強固に固着でき、吸着材の剥離を防止でき、クラ
イオポンプの耐久性を向上できるとともに、冷却部から
吸着材への熱伝導が良好となり、吸着材を効率的に冷却
することができる。低融点金属に固着した吸着材の突出
量は上記凹部の深さによって制御でき、また、この吸着
材の分布パターンも凹部の分布パターンによって決定で
きるので、排気速度や吸着容量を、安定課できる。また
吸着材保持部材は繰り帰し使用可能であるので、クライ
オポンプの製造コストを低減できる。

さらに第１発明によると、低融点金属の冷却部への取付
面は整形板によって整形されているので、気体吸着パネ
ルを冷却部に密着して固定でき、熱伝達を向上できる。

また、第２発明によると、気体吸着パネルの冷却部への
取付は、低融点金属に溶着された取付基板によって行わ
れるので、冷却部に密着して固定でき熱伝達を向上でき
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるクライオポンプの製造法の第１実
施例ついての主要工程を示した縦断面図、第２図（ａ）
と（ｂ）はそれぞれ第１実施例に係る吸着材保持板を示
した縦断面図とそのｍｂ−ｎｂ線矢視の平面図、第３図
（ａ）と（ｂ）は第１実施例の吸着材保持部材が吸着材
を保持した状態を示した縦断面図とそのｍｂ−ｍｂｓ＊
矢視の平面図、第４図は第１実施例の低融点金属を溶融
させた状態を示した縦断面図、第５図は第１実施例の気
体吸着パネルを示した縦断面図、第６図は第１実施例の
気体吸着パネルを極低温冷却部に固定した状態を示した
平面図とそのｒＶｂ−ＩＶｂ線矢視の断面図、第７図は
第１実施例のボルト孔の穿設を示す縦断面図、第８図と
第９因は、それぞれ第１実施例の変形例を示した縦断面
図、第１０図は第１実施例の別の変形例を示した平面図
、第１１図（ａ）、（ｂ）と第１２図は第１実施例の他
の変形例を示した縦断面図と平面図と縦断面図、第１３
図と第１４図と第１５図はそれぞれ第１実施例の別の変
形例を示した縦断面図、第１６図は本発明によるクライ
オポンプの製造法の第２実施例に関する主要工程を示し
た縦断面図、第１７図、第２実施例の低融点金属を溶融
させた状態を示した縦断面図、第１８図は第２実施例の
気体吸着パネルを示した縦断面図、第１９図は第２実施
例のボルト孔の穿孔を示す縦断面図、第２０図（ａ）と
（ｂ）は第２実施例の気体＠着パネルを極低温冷却部に
固定した状態を示した平面図と縦断面図、第２１図と第
２２図と第２３図は第１実施例の変形例を示す縦断面図
、第２４図（ａ）と（ｂ）は上記第２実施例の変形例を
示した平面図と縦断面図、第２５図と第２６図と第２７
図は第２実施例のそれぞれ別の変形例を示した縦断面図
、第２８図は第２実施例の他の変形例を示した平面図、
第２９図（ａ）と（ｂ）は第２実施例を示した縦断面図
と平面図、第３０図と第３１図は第２実施例のそれぞれ
別の変形例を示した縦断面図、第３２図は従来のクライ
オポンプを示した縦断面図、第３３図（ａ）、（ｂ）は
第３２図の気体吸着パネルを示した平面図と縦断面図、
第３４図と第３５図と第３６図は、従来のクライオポン
プの製造法から考え得るタライオボンブ製造法を示した
縦断面図である。 １４・・・型枠、１４ｂ・・・枠部、１５・・・吸着材
保持板、１６・・・貫通孔（凹部）、１７・・・活性炭
（吸着材）　、１’８・・・低融点金属、１９・・・整
形板、２５゜２６・・・活性炭、２７・・・切欠き、２
８・・・型枠、２９・・・有底孔（凹部）、３３・・・
取付基板。 出願人代理人　　猪　　股　　　　清 Ｉ！１２　　ψ　　対 （ａ） （ｂ） 第３図 第５図 ト　　　　　− −〜 第７図 第８図　　　第９図 フ 第１０図 （ｂ） 第１１図 第１２図 第１３図 第１５図 第１７図 第１９　　図 第２１図 第２２　図 第２３図 −に　仁　ψ 駅 ￥２５図 第２６図　　　　　　第２７図 第２８図 （ａ） 第２９　図 第３１図 も３２図 （ｂ） 弔３３１１￥ｌ ζ−１−ノ ロ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、多数の凹部が穿設された底部と、この底部の周囲か
   ら突出した枠部とを有する吸着材保持部材の上記凹部に
   、一部がこの凹部から突出する大きさの吸着材を挿入し
   て上記底部に上記吸着材を散在分布させる散在分布工程
   と、上記吸着材の散在分布した上記底部に溶融状態の低
   融点金属を載置する載置工程と、上記低融点金属に整形
   板の接触した上記溶融状態の低融点金属の面を整形する
   整形工程と、この整形後に上記整形板を取り除く取除工
   程と、上記溶融状態の低融点金属を冷却して上記吸着材
   の突出部を上記低融点金属内に埋設固着させる冷却工程
   と、上記冷却された低融点金属を上記吸着材保持部材か
   ら分離する分離工程と、上記整形板が取り除かれ、かつ
   上記吸着材保持部材から分離された上記低融点金属を極
   低温に冷却される冷却部に上記整形された面において密
   着固定する固定工程とを具備し、上記吸着材保持部材と
   上記整形板が上記低融点金属と溶着しにくい材質によつ
   て構成されていることを特徴とするクライオポンプの製
   造方法。 ２、上記凹部のそれぞれは、形状および寸法がほぼ同一
   であり、かつ上記吸着材も形状および寸法がほぼ同一で
   あることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のク
   ライオポンプの製造方法。 ３、上記吸着材は上記凹部に挿入された挿入部分の径が
   、上記凹部から突出した突出部分の径よりも小さい形状
   であることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
   クライオポンプの製造方法。 ４、上記取除工程は上記冷却工程の後に行われることを
   特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のクライオポン
   プの製造方法。 ５、上記載置工程は、低温状態の上記低融点金属を上記
   吸着材保持部材の底部に載置した後に、上記低温低融点
   金属を加熱溶融することを特徴とする特許請求の範囲第
   １項に記載のクライオポンプの製造方法。 ６、上記低温状態の低融点金属は上記載置されたとき、
   上記凹部に対向する位置に、凹部が穿設されていること
   を特徴とする特許請求の範囲第５項に記載のクライオポ
   ンプの製造方法。 ７、上記載置工程は溶融状態の低融点金属を上記吸着材
   の散在分布した底部に流し込み、この底部に載置させる
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のクライ
   オポンプの製造方法。 ８、上記吸着材保持部材は、底板とこの底板から突出し
   た上記枠部とを有する型枠と、上記底板に載置され、上
   記凹部として貫通孔が穿孔された吸着材保持板とから構
   成されることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載
   のクライオポンプの製造方法。 ９、上記吸着材保持部材は、上記凹部として有底孔が穿
   設された底板と、この底板から突出した上記枠部とを有
   することを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のク
   ライオポンプの製造方法。 １０、多数の凹部が穿設された底部と、この底部の周囲
   から突出した枠部とを有する吸着材保持部材の上記凹部
   に、一部がこの凹部から突出する大きさの吸着材を挿入
   して上記底部に上記吸着材を散在分布させる散在分布工
   程と、上記吸着材の散在分布した上記底部に溶融状態の
   低融点金属を載置する載置工程と、上記溶融状態の低融
   点金属の上に、この金属と溶着し易すい材質の取付基板
   を載置する基板載置工程と、上記溶融状態の低融点金属
   を冷却して上記吸着材の突出部を上記低融点金属内に埋
   設固着するとともに、上記取付基板を上記低融点金属に
   溶着固定する冷却工程と、上記冷却された低融点金属か
   ら上記吸着材保持部材を分離する工程と、極低温に冷却
   される冷却部に上記取付基板を密着固定する工程を具備
   し、上記吸着材保持部材を上記金属とは溶着しにくい材
   質で構成したことを特徴とするクライオポンプの製造方
   法。 １１、上記凹部のそれぞれは、形状および寸法がほぼ同
   一であり、かつ上記吸着材も形状および寸法がほぼ同一
   であることを特徴とする特許請求の範囲第１０項に記載
   のクライオポンプの製造方法。 １２、上記吸着材は上記凹部に挿入された挿入部分の径
   が、上記凹部から突出した突出部分の径よりも小さい形
   状であることを特徴とする特許請求の範囲第１０項に記
   載のクライオポンプの製造方法。 １３、上記載置工程は、低温状態の上記低融点金属を上
   記吸着材保持部材の底部に載置した後に、上記低温低融
   点金属を加熱溶融することを特徴とする特許請求の範囲
   第１０項に記載のクライオポンプの製造方法。 １４、上記低温状態の低融点金属は上記載置されたとき
   、上記凹部に対向する位置に、凹部が穿設されているこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１３項に記載のクライ
   オポンプの製造方法。 １５、上記低温状態の低融点金属は、上記取付基板が載
   置される面に孔を有し、上記取付基板は上記低温状態の
   低融点金属に載置された際にその孔に挿入される突起が
   突設されていることを特徴とする特許請求の範囲第１３
   項に記載のクライオポンプの製造方法。 １６、上記載置工程は溶融状態の低融点金属を上記吸着
   材の散在分布した底部に流し込み、この底部に載置させ
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１０項に記載のク
   ライオポンプの製造方法。 １７、上記吸着材保持部材は、底板とこの底板から突出
   した上記枠部とを有する型枠と、上記底板に載置され、
   上記凹部として貫通孔が穿孔された吸着材保持板とから
   構成されることを特徴とする特許請求の範囲第１０項に
   記載のクライオポンプの製造方法。 １８、上記吸着材保持部材は、上記凹部として有底孔が
   穿設された底板と、この底板から突出した上記枠部とを
   有することを特徴とする特許請求の範囲第１０項に記載
   のクライオポンプの製造方法。