JPS61286082A - レ−ザ加工装置 - Google Patents
レ−ザ加工装置Info
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- JPS61286082A JPS61286082A JP60127076A JP12707685A JPS61286082A JP S61286082 A JPS61286082 A JP S61286082A JP 60127076 A JP60127076 A JP 60127076A JP 12707685 A JP12707685 A JP 12707685A JP S61286082 A JPS61286082 A JP S61286082A
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- distance
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- head
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はレーザ加工装置蕃二関し、特に加工ヘッドの
位置決めが精度良くかつ簡単(−できるレーザ加工装置
に関するものである。
位置決めが精度良くかつ簡単(−できるレーザ加工装置
に関するものである。
第5図は従来のレーザ加工装置−の概要を示す説明図、
第6図は第5図に示す装置により試し加工を行なってい
る状態を示す説明図である。
第6図は第5図に示す装置により試し加工を行なってい
る状態を示す説明図である。
第5図Bよび第6図3−オいて、(1)は加工用レーザ
を出力する炭酸ガス(以下CO1と記す)レーザ発振器
、(2)はCO,レーザ光、(3)はペンドミラー、(
4)は加工レンズ、(5)は加工ヘッド、(6)はモニ
タ用のヘリクム・ネオン(以下HeNeと記す)レーザ
発振器、(7)は可動ミラー、(8)はHeNe I
/−ザ光、(9)は被加工物、(9a)は試し加工点、
αqは溶接線である。
を出力する炭酸ガス(以下CO1と記す)レーザ発振器
、(2)はCO,レーザ光、(3)はペンドミラー、(
4)は加工レンズ、(5)は加工ヘッド、(6)はモニ
タ用のヘリクム・ネオン(以下HeNeと記す)レーザ
発振器、(7)は可動ミラー、(8)はHeNe I
/−ザ光、(9)は被加工物、(9a)は試し加工点、
αqは溶接線である。
従来、レーザ加工装置ではCO,レーザ光は目C;見え
ないため、CO!レーザの光軸と一致する様(二目視出
来るHeNe レーザ光を重畳させ、このHeNeレ
ーぜ光のスポットを被加工物の加工開始点C:合わせて
加工を行なっていた。
ないため、CO!レーザの光軸と一致する様(二目視出
来るHeNe レーザ光を重畳させ、このHeNeレ
ーぜ光のスポットを被加工物の加工開始点C:合わせて
加工を行なっていた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記のような従来のレーザ加工装置では、CO!レーザ
の光軸とHeNe レーザの光軸とが完全に一致しな
いこと及びHeNe レーザ光の被加工物上でのスポ
ット径がCO,レーザのスポット径I:比して大きいこ
となどの理由により、例えば0.5〜1m位の誤差のあ
らい位置決めはHeNe レーザビームを使って行な
えるが、精度の良い位置決めはできなかった。そこで、
数置試し加工(9a)e行ないながら、CO,レーザ光
軸な加工開始点12合わせるという操作が必要であった
。すなわち、精度良く位置決めを行なうためC:はその
操作がはん雑であるという問題点があった。
の光軸とHeNe レーザの光軸とが完全に一致しな
いこと及びHeNe レーザ光の被加工物上でのスポ
ット径がCO,レーザのスポット径I:比して大きいこ
となどの理由により、例えば0.5〜1m位の誤差のあ
らい位置決めはHeNe レーザビームを使って行な
えるが、精度の良い位置決めはできなかった。そこで、
数置試し加工(9a)e行ないながら、CO,レーザ光
軸な加工開始点12合わせるという操作が必要であった
。すなわち、精度良く位置決めを行なうためC:はその
操作がはん雑であるという問題点があった。
この発明はかかる問題点を解決するためI:なされたも
ので、HeNe レーザを用いることなく、加工用レ
ーザの1回だけの試し加工点をイメージセンサで観測す
ることにより精度よく位置決めできるレーザ加工装置を
得ることを目的とする。
ので、HeNe レーザを用いることなく、加工用レ
ーザの1回だけの試し加工点をイメージセンサで観測す
ることにより精度よく位置決めできるレーザ加工装置を
得ることを目的とする。
また、この発明の別の発明は、上記目的に加えて、ワー
クC;凹凸があっても位置決めの機能がそこなわれない
レーザ加工装置を得ることを目的とする。
クC;凹凸があっても位置決めの機能がそこなわれない
レーザ加工装置を得ることを目的とする。
この発明に係るレーザ加工装置は、加工ヘッドと平行(
:イメージセンサを取付け、このイメージセンサでとら
えた画像を表示する画像表示装置を設け、予めレーザビ
ームを照射した試し加工点を、イメージセンサ響:より
観測することにより、イメージセンサと加工ヘッドの光
軸との距離を検出して記憶させ、加工開始点をイメージ
センサで観測した後、記憶された距離だけ加工ヘッドを
相対的(二修正移動させて位置決めを行なうものである
。
:イメージセンサを取付け、このイメージセンサでとら
えた画像を表示する画像表示装置を設け、予めレーザビ
ームを照射した試し加工点を、イメージセンサ響:より
観測することにより、イメージセンサと加工ヘッドの光
軸との距離を検出して記憶させ、加工開始点をイメージ
センサで観測した後、記憶された距離だけ加工ヘッドを
相対的(二修正移動させて位置決めを行なうものである
。
また、この発明の別の発明C:かかるレーザ加工装置は
、上記のものC二おいて、加工ヘッドと被加工物との間
隔を検出する焦点出し装置と、この焦点出し装置を二よ
って設定された位置より一定距離上記加工ヘッドを後退
させる定距離後退装置を設けたものである。
、上記のものC二おいて、加工ヘッドと被加工物との間
隔を検出する焦点出し装置と、この焦点出し装置を二よ
って設定された位置より一定距離上記加工ヘッドを後退
させる定距離後退装置を設けたものである。
この発明(二Sいては、加工用レーザビームの一回だけ
の試し加工点をイメージセンサで観測して、加工ヘッド
の光軸とイメージセンサとの距離を検出して記憶し、加
工開始点をイメージセンサで観測して、予め記憶した距
離だけ加工ヘッドを相対的(二修正移動させるから、簡
単な操作で精度よく位置決めできる。
の試し加工点をイメージセンサで観測して、加工ヘッド
の光軸とイメージセンサとの距離を検出して記憶し、加
工開始点をイメージセンサで観測して、予め記憶した距
離だけ加工ヘッドを相対的(二修正移動させるから、簡
単な操作で精度よく位置決めできる。
また、この発明の別の発明にどいては、定距離後退装置
−二より加工ヘッドを一定距離後退させて試し加工点と
加工開始点を観測するから、ワーブ−に凹凸があっても
支障なく位置決めができる。
−二より加工ヘッドを一定距離後退させて試し加工点と
加工開始点を観測するから、ワーブ−に凹凸があっても
支障なく位置決めができる。
第1図はこの発明の一実施例を示す正面図、第2図はこ
の発明の一実施例cgける加工ヘッド及びイメージセン
サの詳細を示す正面図、第6図はモニタテレビの画面を
示す正面図、第4図はこの発明の一実施例の動作を示す
流れ図である。
の発明の一実施例cgける加工ヘッド及びイメージセン
サの詳細を示す正面図、第6図はモニタテレビの画面を
示す正面図、第4図はこの発明の一実施例の動作を示す
流れ図である。
第1図及び第2図ζ:8いて、第5図及び第6図と同一
符号の部分は同一部分を示すので、説明は省略する。ぐ
めは加工装置の基台、凶は基台Q1)に支持されている
XY駆動テーブルで、ワーク(9)を載置して移動させ
るテーブルである。幹は基台な1)に固定された支持枠
で、支持枠(イ)には加工ヘッド(5)の上下駆動装置
(ハ)が固定されて8す、またペンドミラー(3)も固
定されており、レーザ光(2)はペンドミラー(3)で
光路が曲げられて加工ヘッド(5)へ入射する。加工ヘ
ッド(5)(二はイメージセンサ(ハ)が平行1:固定
されて16す、さら1:焦点出し装置翰が取付けられて
いる。□はテレビカメラで、支持枠w +’−固定され
ており、イメージ七ンfelJとはファイバスコープ翰
弓;より接続されている。翰はモニタテレビ、(イ)は
カメラコントローラ、0力はレーザ加工装置の動作の制
御を行なう数値制御装置を含む制御盤である。
符号の部分は同一部分を示すので、説明は省略する。ぐ
めは加工装置の基台、凶は基台Q1)に支持されている
XY駆動テーブルで、ワーク(9)を載置して移動させ
るテーブルである。幹は基台な1)に固定された支持枠
で、支持枠(イ)には加工ヘッド(5)の上下駆動装置
(ハ)が固定されて8す、またペンドミラー(3)も固
定されており、レーザ光(2)はペンドミラー(3)で
光路が曲げられて加工ヘッド(5)へ入射する。加工ヘ
ッド(5)(二はイメージセンサ(ハ)が平行1:固定
されて16す、さら1:焦点出し装置翰が取付けられて
いる。□はテレビカメラで、支持枠w +’−固定され
ており、イメージ七ンfelJとはファイバスコープ翰
弓;より接続されている。翰はモニタテレビ、(イ)は
カメラコントローラ、0力はレーザ加工装置の動作の制
御を行なう数値制御装置を含む制御盤である。
イメージセンサ(ハ)は、加工ヘッド(5)(−固定さ
れた支持腕(25a、Lと、この支持腕(25a)を二
固定されたカバー(25b)と(二よって支持さ′れて
、加工ヘッド(5)と平行に配置されているファイバス
コープ部(25c )と対物レンズ(25d )とから
なっている。焦点出し装置(イ)はワークと接触する接
触子(26a)と接触子(26a)の移動距離を検出す
る差動トランスなどの直線距離検出器(26b)とから
なり、支持具(26c)により加工ヘッド(5) C固
定されている。そして、この焦点出し装置翰の信号1:
よりワークと加工ヘッド(5)との間隔を規定の間隔C
二保つよう(二制御される。な3、焦点出し装置翰はワ
ークが平坦で凹凸がない場合は必ずしも設ける必要はな
く、加工ヘッド(5)のワーク(二対する間隔を予め設
定して加工を行なえばよい。
れた支持腕(25a、Lと、この支持腕(25a)を二
固定されたカバー(25b)と(二よって支持さ′れて
、加工ヘッド(5)と平行に配置されているファイバス
コープ部(25c )と対物レンズ(25d )とから
なっている。焦点出し装置(イ)はワークと接触する接
触子(26a)と接触子(26a)の移動距離を検出す
る差動トランスなどの直線距離検出器(26b)とから
なり、支持具(26c)により加工ヘッド(5) C固
定されている。そして、この焦点出し装置翰の信号1:
よりワークと加工ヘッド(5)との間隔を規定の間隔C
二保つよう(二制御される。な3、焦点出し装置翰はワ
ークが平坦で凹凸がない場合は必ずしも設ける必要はな
く、加工ヘッド(5)のワーク(二対する間隔を予め設
定して加工を行なえばよい。
また、イメージセンサ(ホ)はワークが平坦で凹凸がな
いもののときは、加工ヘッド(5)が上記設定位置にあ
るとき対物レンズ(25d )の焦点が合うように取付
けておく。な8、ワーク畷:凹凸がある場合I:ついて
は後述する。
いもののときは、加工ヘッド(5)が上記設定位置にあ
るとき対物レンズ(25d )の焦点が合うように取付
けておく。な8、ワーク畷:凹凸がある場合I:ついて
は後述する。
モニタテレビ四のブラウン管には互い(:直交する線(
29a)とそのクロスポイント(29b)が描かれてい
る。
29a)とそのクロスポイント(29b)が描かれてい
る。
次6二、第4図(:示す流れ図を用いて動作を説明する
。
。
先づ、ワーク(9)121回だけレーザビーム(2)を
照射して試し加工点(9b)を作る。次CX Y駆動テ
ープ/I/(2)を移動させて、イメージセンサ翰で試
し加工点(9b)を観測し、モニタテレビ四のクロスポ
イン)(29b)と一致させて、テーブル(2)を止め
る。このとき、テーブルが移動した距離t(X方向及び
Y方向の移動距離でなく直線距離)はイメージセンサ(
ハ)と加工ヘッド(5)の光軸との距離を示してHす、
これでイメージセンサ(イ)と加工ヘッド(5)の光軸
間距離(変位量)が測定される(ステップ41)。
照射して試し加工点(9b)を作る。次CX Y駆動テ
ープ/I/(2)を移動させて、イメージセンサ翰で試
し加工点(9b)を観測し、モニタテレビ四のクロスポ
イン)(29b)と一致させて、テーブル(2)を止め
る。このとき、テーブルが移動した距離t(X方向及び
Y方向の移動距離でなく直線距離)はイメージセンサ(
ハ)と加工ヘッド(5)の光軸との距離を示してHす、
これでイメージセンサ(イ)と加工ヘッド(5)の光軸
間距離(変位量)が測定される(ステップ41)。
次(二、この距Htを数値制御装置(以下、NC装置と
記す)に記憶させる(ステップ42)。次に、イメージ
センサ(ハ)で加工開始点(10a)を確認する。つま
り、モニタテレビ四のクロスポイント(29b)と加工
開始点(10a)を一致させる(ステップ46及び44
) 次(二、加工装置をスタートさせる(ステップ45)。
記す)に記憶させる(ステップ42)。次に、イメージ
センサ(ハ)で加工開始点(10a)を確認する。つま
り、モニタテレビ四のクロスポイント(29b)と加工
開始点(10a)を一致させる(ステップ46及び44
) 次(二、加工装置をスタートさせる(ステップ45)。
NC装置は記憶された距@ Z C従って、テーブル翰
を修正移動させ、加工開始点(10a)C加工ヘッド(
5)を位置決めする(ステップ46)。
を修正移動させ、加工開始点(10a)C加工ヘッド(
5)を位置決めする(ステップ46)。
以後は加ニブログラム(−従って加工ヘッド(5)が相
対的に移動し、加工が行なわれる。
対的に移動し、加工が行なわれる。
なお、上記実施例ではクロスポイン) (29b)はイ
メージセンサ側に設けてもよい。また、試し加工点(9
b)をワーク(9)!=作る事が不都合な場合は、別の
鉄板などを用いて距atを測定して記憶させ、次にワー
クの加工開始点を確認して、加工装置をスタートさせれ
ばよい。
メージセンサ側に設けてもよい。また、試し加工点(9
b)をワーク(9)!=作る事が不都合な場合は、別の
鉄板などを用いて距atを測定して記憶させ、次にワー
クの加工開始点を確認して、加工装置をスタートさせれ
ばよい。
次舊:、他の実施例(二ついて説明する。
ワーク(二凹凸がある場合、例えば、ワークを組立治具
で押えているような場合、加工ヘッド(5)が凸部6;
当って試し加工点観測、加工開始点確認、位置決め動作
などl二支障を来たしたり、加工ヘッド(5)を損傷し
たりすることがある。そこで、この実施例は、焦点出し
装置(二よって設定された位置より一定距離加工〜ツド
を後退させる定距離後退装置を設けたものである。この
実施例は、特に試し加工点(9b)をワーク以外のもの
に作って距離tを記憶させてから、イメージセンサ(イ
)でワークの加工開始点(10a)を確認する場合、加
工〜ラド(5)が組立治具など(−当たるのをさけるこ
とができる。また、ワークに試し加工点(9b)を作っ
て位置決めする場合は、試し加工点(10a)を作るた
め5二は、当然組立治具をさけて加工ヘッド(5)を規
定間隔まで下げることl二なるが、試し加工点(9b)
の観測の際加工ヘッド(5)が組立治−具など(二当た
るのをさけることができる。
で押えているような場合、加工ヘッド(5)が凸部6;
当って試し加工点観測、加工開始点確認、位置決め動作
などl二支障を来たしたり、加工ヘッド(5)を損傷し
たりすることがある。そこで、この実施例は、焦点出し
装置(二よって設定された位置より一定距離加工〜ツド
を後退させる定距離後退装置を設けたものである。この
実施例は、特に試し加工点(9b)をワーク以外のもの
に作って距離tを記憶させてから、イメージセンサ(イ
)でワークの加工開始点(10a)を確認する場合、加
工〜ラド(5)が組立治具など(−当たるのをさけるこ
とができる。また、ワークに試し加工点(9b)を作っ
て位置決めする場合は、試し加工点(10a)を作るた
め5二は、当然組立治具をさけて加工ヘッド(5)を規
定間隔まで下げることl二なるが、試し加工点(9b)
の観測の際加工ヘッド(5)が組立治−具など(二当た
るのをさけることができる。
上記他の実施例では、試し加工点(9b)を作った後、
定距離後退装置(:より加工ヘッドを後退させてからテ
ーブル(至)を移動させて試し加工点(9b)を観測す
る。次(=先の実施例と同様署ニして距離tを記憶させ
た後、加工ヘッド(5)を後退させたままイメージセン
f(ハ)でワーク(9)の加工開始点(10a)を確認
する。次(二、加工装置をスタートさせると、先の実施
例と同様(二、距離tを修正して位置決めすると共に焦
点出し装置■C:よって加工ヘッド(5)とワークとの
間隔が制御されて加工ヘッド(5)が規定の間隔迄下り
、しかる後加工が行なわれる。なお、イメージセンサ翰
は、加工ヘッド(5)が後退した位置で焦点があうよう
(:取付けてgく。定距離後退装置は予め後退距離を設
定してプログラムしてgき、例えば制御盤C二はスイッ
チを設けておき、このスイッチを操作して後退の指示を
与えると、上下駆動装置(ハ)が制御盤(:よって制御
されて駆動し、加工ヘッドが後退するものである。
定距離後退装置(:より加工ヘッドを後退させてからテ
ーブル(至)を移動させて試し加工点(9b)を観測す
る。次(=先の実施例と同様署ニして距離tを記憶させ
た後、加工ヘッド(5)を後退させたままイメージセン
f(ハ)でワーク(9)の加工開始点(10a)を確認
する。次(二、加工装置をスタートさせると、先の実施
例と同様(二、距離tを修正して位置決めすると共に焦
点出し装置■C:よって加工ヘッド(5)とワークとの
間隔が制御されて加工ヘッド(5)が規定の間隔迄下り
、しかる後加工が行なわれる。なお、イメージセンサ翰
は、加工ヘッド(5)が後退した位置で焦点があうよう
(:取付けてgく。定距離後退装置は予め後退距離を設
定してプログラムしてgき、例えば制御盤C二はスイッ
チを設けておき、このスイッチを操作して後退の指示を
与えると、上下駆動装置(ハ)が制御盤(:よって制御
されて駆動し、加工ヘッドが後退するものである。
上記二つの実施例では、イメージセンサ■でとらえた画
像をテレビカメラ(財)を介してモニタテレビ翰に写し
出しているが、イメージセンサ(ハ)でとらえた画像を
拡大鏡などの光学装置だけを使って直接表示しても同様
に実施できる。
像をテレビカメラ(財)を介してモニタテレビ翰に写し
出しているが、イメージセンサ(ハ)でとらえた画像を
拡大鏡などの光学装置だけを使って直接表示しても同様
に実施できる。
この発明は以上説明した通り、加工ヘッドと平行にイメ
ージセンサを取付け、このイメージセンサでとらえた画
像を表示する画像表示装置を設け、予めレーザビームを
照射した試し加工点を、イメージセンサ(=より観測す
ることC:より、イメージセンサと加工ヘッドの光軸と
の距離を検出して記憶させ、加工開始点をイメージセン
サで観測した後、記憶された距離だけ加工ヘッドを相対
的C:修正移動させて位置決めを行なうものであるから
、簡単な操作で精度よく位置決めできる。
ージセンサを取付け、このイメージセンサでとらえた画
像を表示する画像表示装置を設け、予めレーザビームを
照射した試し加工点を、イメージセンサ(=より観測す
ることC:より、イメージセンサと加工ヘッドの光軸と
の距離を検出して記憶させ、加工開始点をイメージセン
サで観測した後、記憶された距離だけ加工ヘッドを相対
的C:修正移動させて位置決めを行なうものであるから
、簡単な操作で精度よく位置決めできる。
また、この発明の別の発明は、上記の発明に8いて、加
工ヘッドと被加工物との間隔を検出する焦点出し装置と
、この焦点出し装置1ユよって設定された位置より一定
距離上記加工ヘッドを後退させる定距離後退装置を設け
たものであるから、ワ−り凹凸があっても支障なく位置
決めができる。
工ヘッドと被加工物との間隔を検出する焦点出し装置と
、この焦点出し装置1ユよって設定された位置より一定
距離上記加工ヘッドを後退させる定距離後退装置を設け
たものであるから、ワ−り凹凸があっても支障なく位置
決めができる。
第1図はこの発明の一実施例を示す正面図、第2図はこ
の発明の一実施例c:8ける加工ヘッド及びイメージセ
ンサの詳細を示す正面図、第6図はモニタテレビの画面
を示す正面図、第4図はこの発明の一実施例の動作を示
す流れ図、第5図は従来のレーザ加工装置の概要を示す
説明図、第6図は第5図に示す装置により試し加工を行
なっている状態を示す説明図である。 図C二おいて、(1)はレーザ発振器、(2)はco霊
レーザ光、(5)は加工ヘッド、(イ)はXY駆動テー
ブル、(ハ)はヘッド上下駆動装置、(イ)はイメージ
センサ、翰は焦点出し装置、(支)はテレビカメラ、(
財)はファイバスコープ、翰はモニタテレビ、0])は
制御盤である。 な3、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 2 :CO2レーサ゛尤 27; デレ
ヒ゛刀メフ5、加工ヘラば 28゛
ファイバスコープ。 22:X’V’、”を上動テーフつし
29ニーf: タテは24・ ヘッド上下、雌型1咬
置 31木++ 狗や 1L25、イメー
ジ′亡ンサ 第2図 第3図 第5図
の発明の一実施例c:8ける加工ヘッド及びイメージセ
ンサの詳細を示す正面図、第6図はモニタテレビの画面
を示す正面図、第4図はこの発明の一実施例の動作を示
す流れ図、第5図は従来のレーザ加工装置の概要を示す
説明図、第6図は第5図に示す装置により試し加工を行
なっている状態を示す説明図である。 図C二おいて、(1)はレーザ発振器、(2)はco霊
レーザ光、(5)は加工ヘッド、(イ)はXY駆動テー
ブル、(ハ)はヘッド上下駆動装置、(イ)はイメージ
センサ、翰は焦点出し装置、(支)はテレビカメラ、(
財)はファイバスコープ、翰はモニタテレビ、0])は
制御盤である。 な3、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 2 :CO2レーサ゛尤 27; デレ
ヒ゛刀メフ5、加工ヘラば 28゛
ファイバスコープ。 22:X’V’、”を上動テーフつし
29ニーf: タテは24・ ヘッド上下、雌型1咬
置 31木++ 狗や 1L25、イメー
ジ′亡ンサ 第2図 第3図 第5図
Claims (2)
- (1)レーザ光源から出力されたレーザ光を加工ヘッド
により集光照射して被加工物を加工するレーザ加工装置
において、上記加工ヘッドと平行に取付けたイメージセ
ンサと、このイメージセンサでとらえた画像を表示する
画像表示装置とを備え、予めレーザビームを照射した試
し加工点を上記イメージセンサにより観測することによ
り、上記イメージセンサと上記加工ヘッドの光軸との距
離を検出して記憶させ、加工開始点を上記イメージセン
サで観測した後、上記記憶された距離だけ上記加工ヘッ
ドを相対的に修正移動させて位置決めを行なうことを特
徴としたレーザ加工装置。 - (2)レーザ光源から出力されたレーザ光を加工ヘッド
により集光照射して被加工物を加工するレーザ加工装置
において、上記加工ヘッドと平行に取付けたイメージセ
ンサと、このイメージセンサでとらえた画像を表示する
画像表示装置と、上記加工ヘッドと被加工物との間隔を
検出する焦点出し装置と、この焦点出し装置によつて設
定された位置より一定距離上記加工ヘッドを後退させる
定距離後退装置とを備え、予めレーザビームを照射した
試し加工点を、上記定距離後退装置により上記加工ヘッ
ドを後退させてから上記イメージセンサにより観測する
ことにより、上記イメージセンサと上記加工ヘッドの光
軸との距離を検出して記憶させ、加工開始点を上記イメ
ージセンサで観測した後、上記記憶された距離だけ上記
加工ヘッドを相対的に修正移動させて位置決めを行なう
ことを特徴としたレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60127076A JPS61286082A (ja) | 1985-06-13 | 1985-06-13 | レ−ザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60127076A JPS61286082A (ja) | 1985-06-13 | 1985-06-13 | レ−ザ加工装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61286082A true JPS61286082A (ja) | 1986-12-16 |
Family
ID=14950981
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60127076A Pending JPS61286082A (ja) | 1985-06-13 | 1985-06-13 | レ−ザ加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61286082A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63106592U (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-09 | ||
JPH02200386A (ja) * | 1989-01-31 | 1990-08-08 | Amada Co Ltd | 折曲げ・溶接複合加工装置 |
-
1985
- 1985-06-13 JP JP60127076A patent/JPS61286082A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS63106592U (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-09 | ||
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