JPS61284978A - Magnetic sensor - Google Patents

Magnetic sensor

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JPS61284978A
JPS61284978A JP60128666A JP12866685A JPS61284978A JP S61284978 A JPS61284978 A JP S61284978A JP 60128666 A JP60128666 A JP 60128666A JP 12866685 A JP12866685 A JP 12866685A JP S61284978 A JPS61284978 A JP S61284978A
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JP
Japan
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holder
chip
magnetic
permanent magnet
powder
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JP60128666A
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Japanese (ja)
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Masumi Nakamichi
眞澄 中道
Tsuneo Matsumura
松村 統夫
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Sharp Corp
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Sharp Corp
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Publication of JPH0334872B2 publication Critical patent/JPH0334872B2/ja
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Abstract

PURPOSE:To provide a function for fixing an MR chip to an MR chip fixing holder and a function for applying a magnetic bias to a chip in the holder by mixing magnetic powder of hard ferrite powder in the holder, molding the mixture and magnetizing it to form the holder as a permanent magnet. CONSTITUTION:A holder 6 is integrally molded with resin together with a lead frame 7. When the holder 6 is molded, the holder is formed of resin sufficiently mixed with magnetic powder such as hard ferrite powder, an MR chip 1 is, for example, placed in the holder, and integrated, and magnetized in a larger magnetic field than the coercive force of the holder 6 to form the holder 6 as a permanent magnet. When this structure is utilized, it is not necessary to mount a permanent magnet 3 in a sensor, and magnetic bias can be applied to the chip 1 by the magnetic field produced by the holder 6. The direction of the magnetic bias can be freely selected by altering the magnetizing direction.

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、強磁性体薄膜の磁気抵抗効果を利用した磁気
センサーに関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Industrial Application Field> The present invention relates to a magnetic sensor that utilizes the magnetoresistive effect of a ferromagnetic thin film.

〈発明の概要〉 本発明は、MRチップの固定用ホルダーを硬質フェライ
ト粉等の磁性粉を混入して成形し、その抗磁力より大き
い磁界中で着磁することによってホルダー自体を永久磁
石化し、これの作り出す磁界によりMRチップに磁気バ
イアスを与えるものである。
<Summary of the Invention> The present invention involves molding a holder for fixing an MR chip by mixing magnetic powder such as hard ferrite powder, and magnetizing the holder in a magnetic field larger than the coercive force of the holder, thereby making the holder itself a permanent magnet. The magnetic field created by this applies a magnetic bias to the MR chip.

〈従来の技術〉 強磁性体磁気抵抗効果型センサーは、周知の如く、該セ
ンサー内部の自発磁化が、外部磁界の作用により回転し
、この時センサー抵抗値が変化する現象を利用している
<Prior Art> As is well known, a ferromagnetic magnetoresistive sensor utilizes the phenomenon that spontaneous magnetization inside the sensor rotates under the action of an external magnetic field, and the sensor resistance value changes at this time.

第2図は従来の磁気抵抗効果型磁気センサーの要部斜視
図である。第2図において、lはMRチップであり、外
部回路との結線用にフレキシブルフィルム基板2が半田
ボンディングまたは溶接等により接続されている。また
、MRチップ1の下面にはMRチップlに磁気バイアス
をかけるための永久磁石3が取付けられている。
FIG. 2 is a perspective view of a main part of a conventional magnetoresistive magnetic sensor. In FIG. 2, 1 is an MR chip, to which a flexible film substrate 2 is connected by solder bonding, welding, etc. for connection to an external circuit. Further, a permanent magnet 3 is attached to the lower surface of the MR chip 1 for applying a magnetic bias to the MR chip l.

第3図は、他の従来例を示す要部斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of main parts showing another conventional example.

これの基本構造は第2図のものと同様であり、第3図に
おいて、1はMRチップであり、外部回路との結線用に
リード線4が接続されている。5はチップ1とリード線
4を半田付けまたは電気溶接等でつないだ後、機械的強
度の向上及び外部からの保護のためにボッティングされ
た樹脂コートである。また、チップIの下面には、前述
と同様、磁気バイアス目的の永久磁石3が取付けられて
いる。
The basic structure of this is the same as that in FIG. 2, and in FIG. 3, 1 is an MR chip, to which a lead wire 4 is connected for connection to an external circuit. Reference numeral 5 denotes a resin coat that is applied after the chip 1 and the lead wires 4 are connected by soldering or electric welding to improve mechanical strength and protect them from the outside. Further, on the lower surface of the chip I, a permanent magnet 3 for the purpose of magnetic bias is attached as described above.

上記した如く、この種のセンサーでは、MRチップlに
磁気バイアスをかけることによって、センサー出力にお
けるヒステリシスまたは不連続性が改善される。したが
って、従来、磁気センサーはMRチップlの下面に、M
Rチップlに磁気バイアスを与えるための永久磁石3を
取付けて一体化した後、これをさらにMRチップ固定用
ホルダー(図示せず)に取付けて用いられていた。
As mentioned above, in this type of sensor, applying a magnetic bias to the MR chip l improves hysteresis or discontinuities in the sensor output. Therefore, conventionally, the magnetic sensor is placed on the bottom surface of the MR chip l.
A permanent magnet 3 for applying a magnetic bias to the R chip l was attached and integrated, and then this was further attached to a holder for fixing the MR chip (not shown) for use.

〈発明が解決しようとする問題点〉 しかし、従来の磁気センサーでは、該センサーに永久磁
石3を取付けて一体化したものをさらにホルダー(図示
せず)で固定して用いる為、センサー組立ての工程が複
雑となりコストアップを招来するという欠点があった。
<Problems to be Solved by the Invention> However, in the conventional magnetic sensor, the permanent magnet 3 is attached to the sensor and integrated, and then fixed with a holder (not shown). The drawback is that it becomes complicated and increases costs.

さらに、永久磁石3を取付けることによりセンサー全体
の厚みが増すので、該センサーをビデオ、テレビ等の装
置へ組み込む場合、取扱いがしにく(、センサーの機械
的強度、及び品質の向上を実施する上で支障をきたす惧
れがあった。
Furthermore, since the thickness of the entire sensor is increased by attaching the permanent magnet 3, it is difficult to handle when incorporating the sensor into devices such as video cameras and televisions. There was a risk that it would cause problems at the top.

く問題点を解決するための手段〉 本発明は上記問題点を解決するために、MRチップ固定
用ホルダーを硬質フェライト粉等の磁性粉を混入して成
形し、これに着磁させてホルダー自体を永久磁石化させ
ることにより、ホルダーにMRチップを固定する機能と
チップに磁気バイアスを与える機能をもたせる構成とし
たものである。
Means for Solving the Problems> In order to solve the above problems, the present invention molds a holder for fixing an MR chip by mixing magnetic powder such as hard ferrite powder, and magnetizes it to form the holder itself. By making the holder a permanent magnet, the holder has a function of fixing the MR chip and a function of applying a magnetic bias to the chip.

く作用〉 本発明は上記構成により、MRチップに永久磁石を取付
けて一体化する必要がなく、MRチップを直接、着磁し
たホルダーに取付けることによって、該ホルダーの作り
出す磁界によりMRチップに磁気バイアスを与えること
ができるという作用を得た。
Effects> With the above configuration, the present invention eliminates the need to attach and integrate a permanent magnet to the MR chip, and by attaching the MR chip directly to a magnetized holder, the magnetic field generated by the holder applies a magnetic bias to the MR chip. We obtained the effect of being able to give .

〈実施例〉 以下、本発明の一実施例に従って詳細に説明を行なう。<Example> Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described in detail.

第1図は本発明に係る磁気センサーの一実施例の斜視図
である。IはMRチップ、6はリードフレーム7ととも
に一体成形し、磁気バイアス機能を付与したホルダー、
5はMRチップlの電極部とリードフレーム7間を結線
した後、この部分にポツティングされた補強用、保護用
樹脂である。
FIG. 1 is a perspective view of an embodiment of a magnetic sensor according to the present invention. I is an MR chip, 6 is a holder that is integrally molded with the lead frame 7 and has a magnetic bias function,
Reference numeral 5 denotes a reinforcing and protective resin that is potted into the electrode portion of the MR chip 1 and the lead frame 7 after the wire is connected between the electrode portion and the lead frame 7.

上記構造を第4図においてさらに詳しく説明する。The above structure will be explained in more detail with reference to FIG.

第4図は理解を容易にするため一部を切欠いて示してい
る。
FIG. 4 is partially cut away to facilitate understanding.

ホルダー6はリードフレーム7とともに樹脂により一体
成形されたものである。これは例えばトランスファモー
ルド方式としてよく知られているー封止すべきリードフ
レームをセットして金型を閉じ、高周波プレヒーターで
予熱した樹脂をポットに投入し、プランジャで加圧、注
入してキャビティに充填、硬化させる成形方式等によっ
て容易に作成し得るものである。すなわち、リードフレ
ーム7のワイヤボンド部7a 、 7a 、・・・・・
・は最初からホルダー6の中に組み込まれて構成される
The holder 6 and the lead frame 7 are integrally molded from resin. This is well known as, for example, the transfer molding method - the lead frame to be sealed is set, the mold is closed, the resin preheated by a high-frequency preheater is poured into a pot, and the resin is pressurized with a plunger and injected into the cavity. It can be easily produced by a molding method that involves filling and curing. That is, the wire bond parts 7a, 7a, . . . of the lead frame 7
- is built into the holder 6 from the beginning.

このホルダー6にMRチップlが接着剤等により貼り付
けられ、チップ電極1a 、 Ia +・・・とり−ド
フレーム7のワイヤボンド部7a、7a、・・・間はワ
イヤー線8により結線される。なお、結線はチップ電極
1a、1a*・・・部とリードフレーム7のワイヤボン
ド部7a、7a、・・・を重ね合わせて半田付けにより
行なってもよい。樹脂5は、この部分の機械的強度の同
上及び保護を目的として、さらにポツティング、硬化さ
れたものである。
The MR chip 1 is attached to this holder 6 with an adhesive or the like, and the wire bond parts 7a, 7a, . . Note that the wire connection may be performed by overlapping the chip electrodes 1a, 1a*, . . . and the wire bonding portions 7a, 7a, . . . of the lead frame 7 and soldering them. The resin 5 is further potted and cured for the purpose of increasing the mechanical strength and protecting this portion.

上記実施例では、ホルダー6の作成時に、上記ホルダー
6を硬質フェトライト粉等の磁性粉を充分混入した樹脂
により成形しておき、例えばこれにMRチップ1を搭載
して一体化した後、該ホルダー6の抗磁力より大きい磁
界中にて着磁することによりホルダ−6自体を永久磁石
化している。
In the above embodiment, when creating the holder 6, the holder 6 is molded from a resin sufficiently mixed with magnetic powder such as hard fetolite powder, and after mounting the MR chip 1 thereon and integrating it, the holder 6 is molded. By magnetizing the holder 6 in a magnetic field larger than the coercive force of the holder 6, the holder 6 itself becomes a permanent magnet.

なお、ホルダーを磁化させる時期は上記に限らず、ホル
ダー6にMRチップ1を取付ける前でも構わない。
Note that the timing to magnetize the holder is not limited to the above, and may be before the MR chip 1 is attached to the holder 6.

従って第1図に示す構造を利用すれば、センサーに永久
磁石3を取付ける必要もなく、ホルダ−6自体の作り出
す磁界によりMRチップ1に磁気バイアスを与えること
が可能である。また、磁気バイアスの方向は着磁方向を
変えることにより自由に選択することができ、さらに磁
性粉のホルダー6への混入量を制御することにより、磁
気バイアスの強度を調整することも可能である。
Therefore, if the structure shown in FIG. 1 is used, it is not necessary to attach the permanent magnet 3 to the sensor, and it is possible to apply a magnetic bias to the MR chip 1 by the magnetic field generated by the holder 6 itself. Furthermore, the direction of the magnetic bias can be freely selected by changing the magnetization direction, and the strength of the magnetic bias can also be adjusted by controlling the amount of magnetic powder mixed into the holder 6. .

第5図は他の実施例を示す分解斜視図である。FIG. 5 is an exploded perspective view showing another embodiment.

図示のようにリードフレームを一体化しないホルダー9
においても、そのホルダー作成時に樹脂に磁性粉を混入
し着磁することによって、ホルダ−9自体に磁気バイア
スの機能を付寄することが可能であり、先の実施例と同
様の効果が得られるものである。
Holder 9 that does not integrate the lead frame as shown
Also, by mixing magnetic powder into the resin and magnetizing it when making the holder, it is possible to impart a magnetic bias function to the holder 9 itself, and the same effect as in the previous embodiment can be obtained. It is something.

尚、本発明に係る磁気センサーを用いれば、MRチップ
1を固定する機能とチッ差磁気バイアスを与える機能を
兼ね備えたホルダー6を使用することlζよって、より
取扱い性が同上し、かつ全体の厚さを薄くできるのでよ
り小さい部分にコンパクトに収納することが可能となり
、装置全体の小型化が図れる。
In addition, if the magnetic sensor according to the present invention is used, it is possible to use a holder 6 that has both the function of fixing the MR chip 1 and the function of applying a differential magnetic bias.Therefore, handling is improved and the overall thickness is reduced. Since it can be made thinner, it can be compactly stored in a smaller area, making it possible to downsize the entire device.

〈発明の効果〉 本発明lこよれば組立てが容易である為歩留りを向上で
き、一方センサ全体の厚さを薄くできるので磁気センサ
ーの装置への組み込みが容易になり、機械的強度及び品
質の向上が図れるものである。
<Effects of the Invention> According to the present invention, it is possible to improve the yield due to easy assembly, and on the other hand, since the overall thickness of the sensor can be reduced, it is easy to incorporate the magnetic sensor into the device, which improves mechanical strength and quality. This is something that can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明に係る磁気センサーの一実施例を示す斜
視図、第2図は従来例を示す要部斜視図、第3図は他の
従来例を示す要部斜視図、第4図は第1図を詳細に示す
1部切欠き斜視図、第5図は本発明の他の実施例を示す
分解斜視図である。 1:MRチップ、5:樹脂、6:ホルダー、7:リード
フレーム。 代理人 弁理士 福 士 愛 彦(他2名)纂 l 区 第2図 第3図 第5図
Fig. 1 is a perspective view showing an embodiment of the magnetic sensor according to the present invention, Fig. 2 is a perspective view of main parts showing a conventional example, Fig. 3 is a perspective view of main parts showing another conventional example, and Fig. 4 1 is a partially cutaway perspective view showing FIG. 1 in detail, and FIG. 5 is an exploded perspective view showing another embodiment of the present invention. 1: MR chip, 5: resin, 6: holder, 7: lead frame. Agent Compiled by patent attorney Aihiko Fukushi (and 2 others) Figure 2 Figure 3 Figure 5

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1、基板表面上で強磁性体薄膜により素子形成したMR
チップを、樹脂により成形したホルダーに取付けてなる
磁気センサーにおいて、前記ホルダーを硬質フェライト
粉等の磁性粉を混入して成形し、その抗磁力より大きい
磁界中で着磁することにより、ホルダー自体を永久磁石
化したことを特徴とする磁気センサー。
1. MR element formed from a ferromagnetic thin film on the substrate surface
In a magnetic sensor in which a chip is attached to a holder molded from resin, the holder itself is molded by mixing magnetic powder such as hard ferrite powder and magnetized in a magnetic field larger than the coercive force of the holder. A magnetic sensor characterized by being made into a permanent magnet.
JP60128666A 1985-06-11 1985-06-11 Magnetic sensor Granted JPS61284978A (en)

Priority Applications (1)

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JP60128666A JPS61284978A (en) 1985-06-11 1985-06-11 Magnetic sensor

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JP60128666A JPS61284978A (en) 1985-06-11 1985-06-11 Magnetic sensor

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JPS61284978A true JPS61284978A (en) 1986-12-15
JPH0334872B2 JPH0334872B2 (en) 1991-05-24

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ID=14990436

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JPH0334872B2 (en) 1991-05-24

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