JPS61276644A - 層流式清浄室 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は実質的に層流状態下でろ過空気を作業場へ供給
する装置を有する清浄室に関する。

調整された汚染のない作業場の必要性は精密品の製造や
組立作業をおこなう産業界では十分に確認されており、
数種の清浄室設計がこの目的にすでに開発されている。

現在あるこのような設計において、清浄室は天井全体か
ら吊下され天井全体に亘るフィルタバンクを有する部屋
状の囲壁よりなる。フィルタバンクは長方形の格子に支
えられた多数の高効率フィルタを含み、送風機がこのフ
ィルタバンクと天井との間に形成されたオープンプレナ
ムチャンバ内に空気を圧送する。そうすると空気はフィ
ルタを通って下降し室内を垂直方向に通過する。空気を
再循還させるため送風機に送り返すための適当なグツト
が床に、または床の近くに設けられている。

フィルタを格子にはめ込み密封するため、ネオブレンそ
の他同類の材料のガスケットが設けられるのが普通で、
これがフィルタ粋の前側周面に取付けられ、格子の内側
に曲げられた周辺フランジと接触するようにされている
。欠番こフィルタ枠とその前側のガスグツトを圧縮して
空気がフィルタの周りに漏出するのを防止するため適当
な締付は機構が設けられている。しかし。

このようなガスケット密封材は、ガスケット材料が劣化
することが多く未濾過空気の漏出がガスグツトの両端に
またはガスケットの突合せ継手に発生するので、多くの
使用例では不満足であった。

アランの米国特許１ｇ３４８６３１１号およびタイルコ
ックスの米国特許１！ｇ３９８６８５０号において、垂
直層流式清浄窓用のフィルタバンク構造体が開示されて
いるが、このフィルタバンク構造体は隅コネクタと、こ
れらの隅コネクク間に延びて多数の長方形空間部を形成
する多数のＵ字形みぞ形材とよりなる水平方向に吊下さ
れたフィルタ支持格子よりなる。比較的高コンシステン
シの密封流体はみぞ形材およびコネクタに配置され、高
効率微粒子空気（ＨＥＰＡ）フィルタが格子の各方形空
間部上に支えられるように仕組まれている。各フィルタ
は流体と連続的周辺密封を形成するようにＵ字形みぞ形
材およびコネクタにはめ込まれるようにした周辺スカー
トを含む。商業慣行では、流体は粘度約３００００ｃｐ
を有するシリコン系グリースより構成されてきた。尤も
最高的１５００００ｃＰの粘度を有するシリコン系グリ
ースがこのような用途には提案されている（上記タイル
コックスの特許を参照）。

上記各特許の流体密封構造は先きに用いられたガスケッ
ト密封材に比べて大きな改良を示し。

殆ど完全で劣化しない密封材が通常の作業状態のもとで
達成されるので大成功をおさめている。

しかし、上記のごとき清浄室に関連して古くから問題と
なっていることは室の一区域にしばしばはいり込むちり
粒子が室の離れた各区域に移動して高感度な製品や材料
を汚染するということである。従って１例えば１人間や
また原料がドアからはいって（ると、室の遠い所でちり
の粒子数が増加する。層流状態下では室に流入したちり
粒子は直ぐ下方へ移動し、床または床付近の排気管を通
って除去されると考えられているのが普通であるのでち
り粒子のこうした移動の原因は今まで理解されていなか
った。

本発明によれば、ちり粒子の室中の移動の原因が発見さ
れ、この問題を実質的に軽減するフィルタバンクの新規
な構造が開発された。さらに詳しく述べると１本発明は
、ちり粒子の移動はフィルタ層の支持格子のコネクタや
みぞの下側の僅かな間隔に形成される乱流帯内に起ると
いう発見、またこの乱流がちり粒子を引寄せ同伴し、同
伴された粒子をみぞ形材の長手方向に横に室の遠い所ま
で移動させ、ここで結局は放出されて下方へ移動すると
いう発見とを含む。

本発明はまた支持格子のコネクタおよびみぞ形材の下側
の乱流帯を実質約６こ縮少または除去することによって
粒子の移動問題は著しく軽減されるという別の発見をも
含む。

従って１本発明の目的は室〇一区域に粒子が流入しても
室の遠い区域は影響を受けないように粒子の移動問題を
実質的に軽減する上記形式の清浄室を提供することにあ
る。

本発明の別の目的は構造が簡単で安価な且つ比較的組立
て易いフィルタバンクの支持格子を備えた清浄室を提供
することにある。

上記その他の目的および利点は、上壁、底壁。

および境界をつける側壁を含む囲壁とこの上壁に平行し
その下側に間隔をおいて配置されたフィルタバンクとよ
りなり、このフィルタバンクは多数の長方形空間部を形
成する支持格子と、この支持格子に配置された多数の高
効率空気フィルタとよりなり、これらフィルタの一つは
長方形空間部の各々を覆うようにした清浄室を提供する
ことによってここ番こ記載の本発明の実施例において達
成される。空気が所定の流量でフィルタを通って下方へ
流れるようにフィルタの各々の上側に空気を導入する送
風装置が設けられている。さらに１本発明の好ましき実
施例によれば、支持格子は横断面が全体にＶ字形輪郭を
有する相互連結部材より構成され、Ｖ字形輪郭の角度範
囲は空気流量の特定値を得るためにこの輪郭に沿って実
質的６ζ層流を形成するような且つ支持格子の相互連結
部材の下側の乱流を実質的に除去するような角度範囲で
ある。乱流を実質的に除去することによって、粒子が室
を横に移動しようとする傾向は太き（緩和される。

図示の実施例では、密封材は格子の空間部に配置され、
各フィルタは関連の空間部の断面輪郭に相当する連続的
横断面輪郭を有する周辺フランジまたはスカートを含み
１周辺フランジの前縁部分は相互連結部材の上側部分内
に配置され、密封材内に密封可能に埋設されている。さ
ら番ζ、密封材は好ましくは模型製作用粘土とほぼ同一
のコンシステンシを有する本質的に不揮発性および非硬
化性可成形ゴムプラスチック材料よりなり、フィルタと
支持格子との間に本質的に耐漏出性、非劣化性、非乾性
密封材を提供することが判明した。

本発明の目的および利点のい（つかについて以上に述べ
たが、その他の目的および利点は添付の図面を参考にし
ておこなう以下の説明が進むにつれて明確になろう。

さて図についてさらに詳しく述べると１％１図は本発明
の特徴を実施した清浄室１０を示す。

図示のごとく、清浄室１０は上壁１１．底壁１２゜二つ
の側壁１３．１４および端壁１５（対向端壁は図示せず
〕を含む囲壁よりなる。水平に配置されたフィルタバン
ク１６は上壁１１に平行に且つ隔離された囲壁内に配置
されて両者間に外気供給プレナム１８を形成している。

上げ床２０は底壁１２より上に適当な台座２１に取付け
られて戻り空気プレナム２２を形成し、床２０は空気を
通過させるための多数の有孔パネル２３を含む。戻り空
気プレナム２２は多数のプレフィルタ２５を含む垂直グ
クト２４と連通し、垂直ダクトもまた外気供給プレナム
１８内へ空気を環流させるための空気処理ユニット２６
と連通している。典型的には、空気処理ユニット２６は
多数の送風機２６と加熱または空気調整装置とよりなる
。従って、使用に際しては、空気処理ユニット２６によ
って空気供給プレナム１８に送られた空気はフィルタバ
ンク１６を下向きに通過するので実質的には全ての汚染
物は空気が室内に入る直前に除去される。この空気は次
いで実質的に層流状態で室を垂直下方に通過し、床２０
を抜けて戻り空気プレナム２２に至る。

戻り空気はプレフィルタ２５を通過し、ここで空気流中
の比較的大きい粒子はいずれも除去され、送風機２６を
通って空気供給プレナム１８へ至る。

フィルタバンク１６は上壁１１の面積と実質的に同じ広
がりの面積を持ち、多数の長方形空間部３２を形成する
水平に配置された支持格子３０よりなる。第１図乃至１
９図の実施例において、支持格子３０は多数の平行の横
方向に隔設され側壁１３．１４に平行する縦部材３４と
、室の二つの端壁１５の各々に沿って延び、従って縦部
材３４に直角に延びる細長い端壁部材３５と、これらの
縦部材３４間に横方向に延び端壁部材３５と平行する多
数の比較的短い横部材３６とよりなる。縦部材３４と二
つの端壁部材３５とは清浄室の全長または全幅に沿って
連続していることが好ましい。尤もこれら両部材は以下
に記載のごとく相互連結部材によって端と端とを実寸は
継ぎされた多数の形材により構成することもできる。

部材３４．３５および３６は第７図および１１図に明示
されているように同様な横断面輪郭を有する。特に各部
材はＶ字形装置内に配置された一対の外側壁３８．３９
と、これら外側壁間に水平方向に延びる上側内部板４０
と、この内部板４０と平行しこれより下側に配置の下側
内部板４１とを含む。このように、各部材は全体的に横
断面が逆Ａ字形であると百ってよい。各部材はまた内部
板４０の中間部分から僅かの距離だけ上側へ延び各部材
の長さに沿って長手方向に延びる一体的支柱４２を含む
Ｏこの支柱４２は直立脚４３と、この直立脚４３の上端
に配置された断面が拡大三角形部分またはくさび形部分
４４とを含み、内部板４０の上面とくさび形部分４４と
の間に位置する外側へ向いたみぞ孔４５を支柱４２の両
側に形成している。内部板４１の下側の三角形部分４６
は各部材の長さξこ沿って延び、要すれば、電線溝など
の役割をする中空受入部を形成している。上側内部板４
０の上側の部分は以下に詳述するように密封材４８を入
れるようにした上向きに開いた受入部４７を形成してい
る。さらに、上側内部板４０と下側内部板４１との間の
空間は以下に詳述するごとく内部保持体４９を受入れる
ようになっている。部材３４．３５および３６は適当な
金属またはプラスチックでつくられることが好ましく、
上記の形状に押出し成形することができる。特殊な例と
して、これら部材は押出成形され陽極処理されたアルミ
ニクムで構成することもできる。

縦部材３４は第１２図乃至１４図に明示のとと（相互連
結部材によって実寸は継ぎされるようになっている。こ
の相互連結部材は細長いスナップオン外部保持体５２．
内部保持体４９゜および外被体５３とを含む。スナップ
オン保持体５２は板金で形成され、心合せされた部材３
４の支柱４２のくさび形部分４４に停会的に表金される
よう番ζ形成されている。さらに詳しく述べると、保持
体５２は横断面が全体に長方形の囲壁状輪郭を有し、底
壁は縦方向に分割されて二つの分離された部分５５を形
成しく第８図参照）、この二つに分離された部分は支柱
４２のみぞ孔４５に密にはめ込まれるような形状につ（
られた一体的形成の逆に曲げられたクク５６を含む。組
立てるためには、保持体は心合せされた部材３４の支柱
４２に下方へ押圧されることによってタブ５６はくさび
形部分４４と停会して底壁部分を弾性的に離れさせ支柱
４２を底壁部分内にはめ込ませる。クプ５６はそうする
と例えば第１４図に示すとと（みぞ孔４５内膓こ固定さ
れるので、保持体５２は支柱４２を囲みこれを掴持する
状態に停会する。

内部保持体４９もまた板金材料より形成されていて、そ
の断面は上側内部板４０と下側内部板４１との間の空間
の輪郭とぴったり合う形状につ（られている。部材３４
間に保持体４９の組立てをおこなうためには、保持体４
９の一端を＠１２図に示すごと（部材３４の一方の端部
内へ挿入し次に他方の部材３４をスプライスめ残り部分
に滑べらせてはめる。次の部材を組立て中に保持体４９
が初めの部材内へさらにふかく移動するのを防止するた
めに、保持体４９には側壁に開口５７が設けられており
、これによって技術者はねじ廻しなどの工具を挿入する
ことができるので保持体が初めの部材内へさらに滑入す
るのが防止される。

外被体５３はＶ字形スリーブの形をしていて、対接部材
３４の端部分の基底となって相互連結部を補強するよう
になっている。外被体５３は上縁に沿って内側に曲った
フランジ５８を有し。

心合せ部材Ｓこ外被体５３を下側から押付けてフランジ
が部材の側壁３８．３９の上縁にばちんとはまり込み上
縁の背面で固定するようにすることによりフランジ５８
は外被体の組付けを可能にしている。

相互に連結された縦部材および横部材はＸ字形相互連結
部材を格子の内部に（１ｇ５図）、およ°び側壁に沿っ
てＴ字形相互連結部材（第１５図〕を形成することがわ
かる。また各横部材３６の各端はその両端の中間位置に
おいて関連の縦部材３４と対接していること、二本の横
部材の端は縦部材の両側にＸ字形内側相互連結部におい
て心合せされていることがわかる。縦部材３４と二つの
端壁部材３５とは＠９図および１０図に見られると゛お
り室の四隅の各々において小口留めされたｂ字形相互連
結部材６０によって接合され、縦部材３４の残りの端部
は端壁部材３５の長さの中間部分番こ第１５図に示され
た相互連結部材と同様なＴ字形相互連結部材によって接
合されている。

縦部材と横部材との相互連結部材の各々において、縦部
材の側壁に切欠き部分６１が設けられていて（第５図、
６図および１１図参照〕。

この部分６１は関連の上側内部板４０の平面へ下向きに
延び関連の横部材３６の側壁隣接部分の分離に相当する
距離だけ横に延びている。このように縦部材および横部
材の上側内部板４０は同一広がりを持っている。さらに
、密封材４８は＠４図に示すごとく格子の各空間部分の
周辺に連続的に同一の広がりを持つ内部板上に配置され
ている。

各相互連結部材はさらに横部材３６と関連の縦部材３４
とを相互に連結する保持装置よりなる。第５図および６
図に明示のととくｘ字形相互接続部において、Ｘ字形保
持体５２ａが設けられ、保持体５２ａは先きに述べた保
持体５２の横断面に相当する断面を有し関連部材３４お
よび３６の支柱にスナップ止めされるよう番こ仕組まれ
ている。第１５図に示されるごとくで字形相互連結部に
おいては、保持体５２ｂは１字形輪郭を有し、保持体５
２ｂは上記した方法において二本の部材の支柱４２にナ
ツプ止めされるように仕組まれている。

室の四隅の各々におけるＬ字形相互連結部材６０の各々
は部材３４．３５および３６の横断面形状に一致する二
つの比較的短い部分品６５゜６６よりなり、これらの部
分品は溶接などによって小口留めされ相互に固定連結さ
れている。

各り字形相互連結部材６０は上記した方法で保持体５２
および内部スプライス４９を用いて対接部材３４および
３５に接金される。

第１１図はで字形相互連結部材を補強するため図示の方
法で利用される一対の直角クリップ６７を示す。クリッ
プ６７は部材３４．３６の側壁３８．３９上に滑らせて
かぶせる横断面Ｕ字形輪郭を有し、各クリップの内側脚
は側壁への組付けを容易にするための水平縁６８を含む
。

＠１７図は清浄室の上壁１１から格子を支えるようにし
た支持プラケット６２を示す。さらに詳しくは、多数の
支持プラケット６２の各々は螺設引張棒６３に連結され
、引張棒６３は上壁１１から吊下され、これによって各
支持ブラケット６２の高さが調整できる。各支持ブラケ
ット６２は下縁に沿って延びる三角形の受入部６４を含
み、受入部６４は第１７図に明示の方法で縁部材３４の
支柱４２の（さび形部分４４に滑着され縦部材を上壁か
ら支えるようにできている。支柱４２の一部分を符号４
２ａにおいて示すごとく取除いて受入部６４の支柱４２
への組付けを容易にすることができる。

上記格子を組立てるために、Ｌ字形相互連結部材６０は
これを支持グラグツト６２から吊Ｆげるとか、その地回
等か適当な手段で先ず室の各隅に設置される。次に、縦
部材３４は平行に横方向に間隔を設けた配列番こ設置さ
れ１部材３４はさらに多数の支持ブラケット６２で支え
られる。縦部材３４は典型的には例えば１８フイート程
の相当な長さを有し、清浄室の長さ次第で。

多数の部材は第１２図乃至１４図に示すごとく相互連結
部材ＧＣより端と端とを実寸は継ぎされる。四隅では縦
部材３４の端部は相互連結部材６０の心令せされた端部
に接金される。端壁部材３５は次に室の端壁に沿って取
付けられ、関連の相互連結部材６０の他端に接金される
。

約２フイートの長さを有するのが典型例とする横部材３
６は次に縦部材３４の隣接する６対をなす縦部材３４間
に設置される。第１５図に示すごとく丁字形相互連結部
材は縦部材３４と横部材３６の端部との間に室の側壁の
うち二つの側壁に沿って形成され１組立てられた構造物
は支柱４２内に押入された保持体５２ｂによって維持さ
れる。この点において、各横部材３６の端部は縦部材の
側壁と咬み含うように傾斜していることにもまた留意さ
れたい。縦部材３４の残り端部もまた室の二つの端壁部
材３５に接合されて同様なＴ字形相互連結部材を形成し
ている。

格子の内側隅の各々に形成されたＸ字形相互連結部材は
部材３６を所定位置に配置し、これら部材をその支柱４
２に下向きに挿着される保持体５２ａによって接金する
ことにより形成される。

格子を組立てる最終工程として、密封材４８が相互に接
続された部材の上側内部板４０に配置されるので、密封
材４８は各空間部分３２の周辺に連続的に延びる。さら
に、格子３０の外周面を形成する縦部材３４と端壁部材
３５とは室の側壁に２字字形板８によって封着され、Ｚ
字形板の一方の脚は室の壁に封着され他方の脚は密封材
中に埋設される（第４図および１８図を参照ン。

格子の外周面を形成する縦部材３４と端壁部゛１　　材
３５とに対する変型構造がＮ１９図に符号７０において
示されている。この実施例では、これらの縁部材７０は
変型横断面形状を有し、室の側壁に直接取付けられるよ
うにした垂直側壁７１を含み、これによって上記のごと
き２字型板６８の必要をなくしている。理解されるごと
く、Ｌ字形隅部の相互連結部材は対応輪を持つことにな
ろう。

多数の空気フィルタ７４が次に格子３ｏに配置され、フ
ィルタの各一つが空間部３２の各々を櫨っている。各フ
ィルタ７４は押出金属またはプラスチック材料で組立て
られているのが典型例である長方形枠７５よりなり、枠
７５は中心に配置された空気流開口を形成している（第
４図参照〕。フィルタパック７６は空気流開口内に密封
可能に配置され、じゃ腹式に折りたたまれたｐ過剤のシ
ートよりなり、シートの折目はフィルタ中を通る空気、
流の方向に実質的に平行“している。当業技術において
は公知のごとく。

このｐ過剤のシートはガラス、セラミックまたはセルロ
ーズ７アイパまたはプラスチック、およびポリテトラフ
ルオロエチレン（ＰＴＦＩｉ：）から製作でき、空気流
から極めて高効率にサブミクロン大の粒子を除去するよ
うに設計されている。

この形式のフィルタは産業界では一般に「絶対」または
「ａｐ＝ｐｈ　Ｊ　フィルタと言われている。

図示の実施例では、各フィルタ７４の長方形枠７５は端
と端とを実寸は長方形の配列に、さらに詳しくはアレン
その他による米国特許第４５８４００５号に詳述の方法
で相互に連結された四枚別々の側面パネルよりなる。側
面パネルの各々は外側へ逆に曲ったフランジ７７（第７
図〕を有する対向側縁を含み、これらフランジ７７は隣
接側面パネルの対接端を相互に連結する直角の隅板７３
を受入れるための一対の対向みぞ形材を形成している。

枠７５はまたこの枠の外周面に配置された下方へ垂下す
る一体形成の局面フランジまたはスカート７８を形成し
、スカートは支持格子の部材３４，３５．３６の受入！
［Ｓ４７内に配置されて密封材内に密封可能に埋設され
るように仕組まれている。保護プラスチックの「枡形ル
ーバ」のある格子８０を上記支持格子の部材に取付けて
各空間部を覆うことによって格子８ｏは各フィルタの流
れに沿った面の直Ｆになる。また、枠７５の垂下スカー
ト７８は格子８０と係合状能を維持してスカートが密封
材中に侵入する深さを効果的に制限する一体形成の横向
きショルダ８１を含む。垂下スカート７８はさらに伜７
５の外向きに曲ったフランジ７７から下向きに突出する
ナイフ状縁７９を含６゜〜ナイフ状縁７９はフランジ７
８が密封材に侵入して適当な密封を達成することを保証
する。

多数の照明取付具６２を格子３０の選ばれた空間部３２
に配置することができる。図示の実施例では、各照ＥＩ
Ａ取付具は長方形の金属ハウジング８３を含む。ハウジ
ング８３は四つのけい光灯゛１球８４を備えると共に格
子の相互連結部材の受入体４７内にあって格子の空間部
の周辺の密封材に埋設されるように寸法決めされたＦ向
きに垂下する′Ｆ縁８６を含む。また、ハウジングの上
縁には密封材４８を配置させた周面みぞ形材８７が取付
けられている。フィルタ７４はフィルタ枠の垂下スカー
ト７８を密封材４８に密封可能に埋設させてハクジング
の上側みぞ形材８７に取付けられている。

以上で気付くとと（、部材３４，３５．３６の各々は同
様な全体がＶ字形輪郭の横断面を有し、Ｖ字形輪郭の角
度範囲が予め決められて清浄室中を移動する空気流量の
特定値を得るためこの角度範囲に沿って実質的な層流が
つ（られることが好ましい。この装置によって、ごみや
ちり粒子を同伴してこれを室中を機番こ移動させること
ができる程度の各部材の下側を流れる乱流のほぼ全部が
実質的に除去される。格子の相互連結部材の受入体４７
が空間部３２の各々を囲む連続的長方形の上向き開口の
受入体を形成していることも理解されよう。密封材４８
はこの局面受入体内に上側内部板４０に配置されて。

フィルタの垂下金属スカート７８および照明取付具６２
は両者間に非劣化性高効率密封を形成するように密封材
内に埋設されている。フィルタのスカート上のショルダ
８１はプラスチック格子８０と係合するかまたは部材の
側壁３８゜３９の側縁と係合してスカートの下縁８ａ板
４゜より僅かＩこ上側に保持することによって空気の漏
出する恐れを増大するスカートによる密封材の貫通を防
止するようにできている。

密封材４８は模型製作用粘土とほぼ同じコンシステンシ
を有する本質的に不揮発性非硬化性町成型成ゴム状プラ
スチック材料よりなることが好ましい。さらに詳しく述
べると、密封材は少なくとも約５０００００ｃＰの粘度
と少な（とも約３０００００　ａｍｕの分子量とを有す
る未硬化ジメチルポリシロキサンガムよりなる。

本発明の好ましき実施例において、密封材４８はゼネラ
ルエレクトリック社により製品名５Ｅ−３２で販売され
比重的１．１５．揮発物約３ｆ６以下、塑性的１５０〜
１７０（クィリアムズ）％分子量約３０００００　ａｍ
ｕおよび粘度的６３９０００ａｐを有する配合未硬化ジ
メチルポリシロキサンゴムよりなる。このゴム状材料は
容易に成型可能で模型製作用粘土とほぼ同一のコンシス
テンシを有し、隣接部材の内部板４０間に形成された隙
間に簡単番こは流入乃至漏出しない点で本発明には特に
好都合である。このように、こうした隙間をかしめると
か、あるいはその他の密封は不必要である。若干の例で
は、シリコン系グリースまたはその他の石油状液の薄い
被覆をフィルタスカート上に施すことによって密封材へ
のスカートの抜き差しを容易にすることが望ましいこと
が判明した。

難燃性、耐熱性、引張強度の改良など望ましい特性を与
える種々の填料をゴム樹脂に添加することができる。さ
らにこのような填料が用いられる別の非制限的特定例と
しては１次の組成が密封材を製造するのに適している。

煙霧シリカ　　　　　　　　　　　　　　　　１２部赤
色酸化鉄　　　　　　　　　　　　　　　　　　５部デ
カブロモジフェニルオキシド （グレートレークスケミカル社ＤＩ８３Ｒ）　　　１０
部上記実施例において、煙綽シリカは引張強度を増加す
る作用をし、酸化鉄は耐熱性を増加し、またフェニルオ
キシドは火焔を受けた場合に密封材の自然消化性を要求
するＵＬテスト基準ＵＬ９４Ｖ−Ｏを密封材が満たすこ
とを可能にする難燃剤である。

＠２０図乃至２５図に示す実施例において。

縦部材３４ａ、端壁部材（図示せず〕、および横部材３
６ａは第１図乃至１９図の実施例に比べてやや異なる横
断面輪郭を有する。特に部材３４ａおよび３６ａは上記
のごとく支柱４２を含まずむしは縦部材３４ａが清浄室
の上壁１１から格子を支えるための上側内部板４０ａの
中間部分から上側へ延びる一体形成の支持棒９０を含む
。二つの端壁部材もまた好ましくは一体形成の支持棒を
含み、従って縦部材３４ａと同じである。

格子のＴ字形相互連結部において部材３４ａおよび３６
ａを連結するために、縦部材３４ａの側壁３８ａ、３９
ａの一つを通って上側内部板４０ａと下側内部板４１ａ
との間に形成された空間と連通する細長い開口９１が設
けられている。また、開口９１は側壁の切欠き部分６１
ａと垂直方向に心令せされている。板状保持体９２は各
横部材の端の上側横板と下側横板との間の空間に摺゛動
可能に取付けられているので各保持体９２は関連の横部
材端から外側に延びる。保持体９２はこのように隣接の
縦部材の側壁の開口９１を貫通して縦横部材を相互膠ζ
連結する。

各横部材の上側内部板４０ａは各端部近くに螺設止めね
じ９４を受入れるためのみぞ穴９３を含み、ねじ９４は
保持板のねじ穴にはめ込まれて保持板をその延伸位置に
留められるようにすることが好ましい。

縦部材３４ａの端部は端壁部材の中間部分において（本
実施例では示さず）同様なＴ字形相互連結部材によって
接合されている。このＴ字形相互連結部材は端壁部材の
側壁の開口とこの開口から差込み通せるように縦部材の
端部に摺動可能に取付けられた保持体とを含む。

第２２図乃至２４図に示されるととくＸ字形相互連結部
材において、縦部材３４ａは各側壁に心合せされた開口
９１．９１ａを備え、保持体９２は縦部材のこの二つの
開口を貫通する。

かくして、各保持体９２は横部材の二つを関連の縦部材
に連結する。

＠２０図乃至２５図の実施例の格子を組立てるには、先
ず縦部材３４ａを平行に配列し、縦部材の一体形成の支
持棒９０とクイロッド９５とによって上壁２１から支え
る。二つの端壁部材（これも一体形成の支持棒を含むこ
とが好ましい〕を次に室の二つの端壁に沿って取付ける
。

次に、横部材３６ａは保持体９２を先ず横部材内へ引っ
込み、横部材を二つの縦部材３４ａ間に開口９１．９１
ａと列べて挿入し１次に止めねじ９４で止めて保持体９
２を外側へ動かしその自由端を隣接開口Ｉこ通して前進
させることによって設置される。部材の上側および下側
内部板４０ａ、４１ａ間の垂直空間は保持体９２の厚さ
に非常に近くなり保持体は両者間に密に受入れ、また要
すれば、縦部材の上側内部板４０ａを保持体９２と停会
する止めねじ（図示せず〕番とよってさらに保持するこ
ともできる。

横部材３６ａの保持体９２と反対の端は心合せされた横
部材の保持体により続いて固定される。保持体は縦部材
３４ａを貫通して横部材の上側内部板と下側内部板との
間のみぞ穴に入るだけの長さを有する。ここでもまた、
要すれば。

別の止めねじを用いて保持体を横部材の反対端に固定す
ることもできる。また明らかであろうが、設置する最終
の横部材はその各端に二つの最終的縦部材間の相互連結
ができるように保持体９２を必然的に摺動可能に取付け
る。

縦部材３４ａの端部は端壁部材（図示せず）に接合され
て縦部材および横部材に関して上記したと同様な方法で
Ｔ字形相互連結部材を形成する。また、格子の四隅は横
断面Ｖ字形形のＬ字形外被体を用いて縦部材および端壁
部材の端部間に適当な留め継ぎされた相互連結部材によ
って形成されて、上記の外被体５３の方法において四隅
の構造体を維持する。次に格子は清浄室の側壁に封着さ
れ、受入体番こは密封材４８が充填される。

格子の受入部内に密封材４８を組付けるために、密封材
４８は押出されて細長いストリップ４８ａにされ、これ
が１ｉ２１図に示すごとく平らなコイル状に巻込まれて
取°仮いおよび保管をし易くされる。ストリップ４８ａ
はその一方の側縁に接着された剥離紙９８などを含み、
この紙は隣接コイル間の接触を防止するため５こ隣接コ
イル間に配置ｔされている。さらに、ストリップ４８ａ
は部材のうち上側横板より上側の部分の横断面形状に全
体に一致する横断面形状となるように押出される。スト
リップ４８ａは適当な長さに切断されて、これが各空間
の周辺に上側横板に沿って漸進的に配置される一方、剥
離紙９８は′＠２１図に見られるとおり、ストリップか
ら剥離される。切断された長さ部分の端は対接され、ポ
リシロキサンの密封材の対接端は短時間に相互に自動的
に金体しまたは拡がり、ストリップの残り部分と同じ外
見と特徴とを有する連続した切れ目のない継ぎ目になる
。このように、ストリップの対接端間に形成された継ぎ
目から漏出がおこる恐れは壁けられる。

第２６図乃至２９図の実施例においては、格子は長方形
の空間部のｐ１４部Ｃζ配置された多数の全体がＸ字形
のコネクタ１００よりなり、各コネクタは共通の中心位
置から相互に直角に放射する四つの延長部１０２より構
成されている。

螺設ソケット１０３の形をしたカプリング部材は各コネ
クタの中心位！ｆ−ζ配置されていて、＊設ソケットは
格子を上壁２１から支えるクイロッド１０４の一つと停
会するようになっている。

多数のみぞ形材１０６は各隣接する一対のコネクタ１０
０の６今せされた６対をなす延長部１０２間でそれぞれ
相互ｌζ連結されて格子を完成する。

理解のとおり、格子の各側に沿ったコネクタはＴ字形を
していて、格子の四隅のコネクタは直角の輪郭を存する
。また、フィルタバンク１６の局面番こ配置されたみぞ
形材およびコネクタは適当な装置、例えば第１８図に示
した板６８なでにより隣接の側壁に密封可能に固定され
る。

各コネクタ１００の四つの延長部１０２の各々は相互に
傾斜させて横断面Ｖ字形に配列の二つの側Ｒ１０Ｂ、１
０９とこの側壁間に延びる内部板１１０とよりなり、各
延長部の各々は上向きに開いた受入部を形成する逆Ａ字
形横断面を有する。各延長［１０２はさらに横断面三角
形で、延長部１０２の内部板１１０の下１叫にくる部分
に密嵌された保持体１１２を含む。必要とあれば、保持
体１１２はこの下側部分内に摺動可能に嵌入され、内部
板１１０には＠２１図乃至２５図の実施例について先き
Ｃζ述べたごとくみぞ穴と保持体１１２の摺動を制御す
るための止めねじとが設けられている。

みぞ形材１０６はコネクタの延長部の断面輪郭と対応す
る横断面輪郭を有し、側壁１１４゜１１５および内部板
１１６を含み、みぞ形材１０６は保持体１１２の延長部
分を摺動可能に受入れてその相互連結をおこなう。コネ
クタの内部板１１０の上方とみぞ形材の内部板１１８の
上方とは同一の広がりを持ち、密封材４８はこれら同一
広がりを持つ上面上に配置される。上記ゴム状密封材料
が用いられる場合、こうした密封材料は延長部およびみ
ぞ形材の内部板１１０および１１６より上側部分の横断
面形状に全体的に一致する横断面形状を有するように押
出されることが理解されよう。

以上に記載の各実施例において、コネクタの延長部１０
２の各々とみぞ形材の各々とは対応する全体がＶ字形の
横断面輪郭を有し、このＶ字形輪郭の角度範囲は清浄室
を移動する空気流量の特定値を得るためと叙上の諸理由
で角度範囲に沿って流れる実質的な層流を形成するよう
に予め決められることが好ましい。

第３０図および３１図は本発明の格子のコネクタの別の
実施例を符号１２１５こおいて示す。

この実施例では、各コネクタ］２１はタイロッド１２４
を接合するためのアーム間の中、心位置に螺設スリーブ
を固定させた四つの放射状延長部１２２よりなる。各延
長ｇ１２２はＶ字形関係に配置された二つの側壁より形
成され、一体形状のクプ１２５が側壁の上縁から上方へ
延びている。みぞ形材１２６は咬み沓うＶ字形輪郭を有
し、このみぞ形材をコネクタに組付けるために、みぞ形
材は延長部１２２内に配置され。

タブ１２５はみぞ形材の上縁上に曲げられて組立て体を
維持する。適当な密封材がコネクタおよびみぞ形材に配
置されて上記の方法でフィルタのスカートと密封可能に
停会する。

１ｇ３２図は＠２６図乃至２９図に示したコネクタ１０
０の実施例の変型を示す。この実施例では、コネクタの
中心部分はコネクタとクイロッド１０４に配置されてコ
ネクタの高低を均らし易くするボールンクット形相互連
結部１２８を含む。＠３３図に符号１２９において示さ
れる同様なポールンクット形装誼は第３０図および３１
図に示されたコネクタ１２１の実施例に適当である。

図面および明細書において、本発明の好ましき種々の実
施例を説明した。特定の用語を用いたが、これらは一般
的説明的意味においてのみ用いたもので制限的目的で用
いたものではない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の特徴を実施した清浄室の側断面図、Ｎ
２図は第１図の清浄室に用いられるフィルタバンクの部
分斜視図、第３図はフィルタバンクの支持格子の一部分
を示す部分斜視図。 ！Ｊ４図はフィルタバンクの側断面、第５図は格子のＸ
形中間連結部材の一つを示す部分斜視図。 第６図は第５図の中間連結部の展開図、ｌ！７図はフィ
ルタ枠と保護格子の隣接部分と共にフィルタバンクの格
子の部材の一つの横断１ｉｌｉｒ！！Ｊ、第８図は格子
の部材を接合するためのスナップオン保持体の部分斜視
図、Ｗｉ９図は格子の留め断ぎされた隅相互連結部材の
一つを示す展開斜視図、１ｇ１Ｏ図は組立てられた隅連
結部材の斜視図、第１１図はＴ形中間連結部材の部分斜
視図で、特番こ中間部を維持するための縁クリップを示
す部分斜視図、第１２図は格子の各部材を端てられた端
面対端面の相互連結部の斜視図、Ｗｌ１４図は第１３図
の１４−１４線に沿った断面図、第１５図は丁字形相互
連結部材の斜視図。 第１６図はＮ１５図のＴ字形相互連結部材に用いられる
スナップオン保持体の斜視図、第１７図は格子の部材の
一つ詔よび支持ブラケットの部分的展開斜視図、第１８
図は側壁と格子の周辺部材との間の相互連結部の部分的
断面斜視図。 Ｎ１９図は側壁相互連結部の変型実施例を示す１ｇ１８
図同様の図、第２０図は本発明のフィルタバンクの支持
格子の変型実施例の側断面図、′＠２１図は第２０図に
示した格子の部分を示すと共にこれに密封材を組付ける
方法を示す部分的斜視図、第２２図はＮ２０図の格子の
Ｘ字形相互連結部分の一つについての部分的上面断面図
、第２３図は第２２図の相互連結部材の底面図、第２４
図は第２２図に示した相互連結部の展開斜視図、１ｇ２
５図はＮ２２図の２５−２５線に沿った断面斜視図、！
！２６図は本発明のフィルタバンクの支持格子の変型実
施例を形成するコネクタおよび関連のみぞ形材の展開斜
視図、Ｎ２７図は第２６図に示したフィルタバンクのＸ
字形コネクタの一つについての平面図、第２８図は第２
６図に示したコネクタで且つ一つの相互に連結されたみ
ぞ形材を示すコネクタの側面図、第２９図はＮ２６図の
コネクタおよび相互に連結されたみぞ形材を示す部分的
斜視図、第３０図は本発明の支持格子のＸ字形コネクタ
の変形実施例の斜視図、第３１図は相互に連結されたみ
ぞ形材と共に１１３０図のコネクタを示す斜視図、’＠
３２図は１１６２６〜２９図の実施例に示したコネクタ
と同様のコネクタでコネクタを均面化するためにボール
ングット式相互連結とタイロツドとを混合したコネクタ
の別の実施例の部分断面図、１１！３３図は第３０図お
よび３１図に示したコネクタの実施例に用いられたボー
ルソケット式相互連結部材を示す８３２図同様の部分断
面図である。 なお図番こおいて、符号１０は清浄室周壁、　１１は上
壁、１２は底壁、１３〜１５は境界をつける側壁、１５
はフィルタバンク、２６は空気導入装置、３０は支持格
子、３４　、３６　；　３４ａ。 ３６ａ＋１００．１０６；１２１．１２６は相互連絡部
材、３２は長方形空間部、３８．３９は外側壁、４０，
４０ａは内部板、４２は支持柱、４４は断面くさび形上
ｉ部分、４８は密封材、５２．９２は保持体装置、５２
ａは単一部材、６１，６１ａは切欠き部分、６２は支持
ブラケット、７４は空気フィルタ、７８は周辺フランジ
、８１はショルダ装置、９１は心脅せされた開０．１０
０，１２１はＸ字形コネクタ、１０２　、１２２は四つ
の延長部、１０３，１２３はカプリング部材、１０４，
１２４はカプリン部材に係合する装置、１０６．１２６
はみぞ形材、１１０，１１６は内部板、１１２は相互保
持体、１２５は内側に曲った縁、１２８，１２９はポー
ルソケット形装置である。 特許出願人　　　７ラングース・フィルターズ・インコ
ーポレイテッド

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、実質的に層流状態でろ過空気を垂直方向に室中に供
   給する装置を備え、ごみまたはちり粒子が室中を横方向
   に実質的に移動しないことを特徴とし、且つ上壁（１１
   ）、底壁（１２）、および境界をつける側壁（１３〜１
   ５）を含む清浄室囲壁（１０）と、上記上壁に平行し上
   壁の下側に間隔をおいて配置されたフィルタバンク（１
   ６）とよりなり、該フィルタバンクは多数の長方形空間
   部（３２）を形成する多数の相互連結部材（３４、３６
   ：３４ａ、３６ａ；１００、１０６：１２１、１２６）
   より構成された支持格子（３０）と、該支持格子の上記
   相互連結部材に配置され上記長方形空間部をそれぞれ覆
   つている多数の高効率空気フィルタ（７４）と、上記支
   持格子の上記相互連結部材と該フィルタの各々の周辺と
   の間に装置されて両者間に密封を形成する密封材（４８
   ）と、上記フィルタバンクの各フィルタの上側に空気を
   導入し該空気が所定流量で該フィルタを通つて下方へ流
   れるようにした空気導入装置（２６）とよりなる清浄室
   において、上記格子の上記部材の各々は全体が横断面Ｖ
   字形輪郭を有することによつてＶ字形輪郭の角度範囲が
   この範囲に沿つて実質的な層流を形成してごみまたはち
   り粒子を同伴しこれを室中を横方向に移動させ得る程度
   の乱流を上記部材下側で実質的に除去するようにした改
   良。 ２、前記密封材が前記格子の相互連結部材のＶ字形輪郭
   によつて形成された上向きに開口の受入部内に配置され
   、前記フィルタの各々が関連の空間部の輪郭と全体的に
   一致する連続的横断面輪郭を有する周辺フランジ（７８
   ）を含み、該周辺フランジの前側部分が上記格子の相互
   連結部材の上側部分に配置され上記密封材に密封可能に
   埋設された特許請求の範囲第１項に記載の清浄室。 ３、前記フィルタの各々の前記周辺フランジが該フラン
   ジに固定され前記格子の関連部材の側壁の一側壁の上縁
   と効果的に係合して周辺フランジが前記密封材を貫通す
   る深さを制限するようにしたシヨルダ装置（８１）を含
   む特許請求の範囲第３項に記載の清浄室。 ４、実質的に層流状態でろ過空気を垂直方向に室中に供
   給する装置を備え、ごみまたはちり粒子が室中を横方向
   に実質的に移動しないことを特徴とし、且つ上壁（１１
   ）、底壁（１２）、および境界をつける側壁（１３〜１
   ５）を含む清浄室周壁（１０）と、上記上壁に平行し上
   壁の下側に間隔をおいて配置されたフィルタバンク（１
   ６）と、該フィルタバンクの各フィルタの上側に空気を
   導入し該空気が所定流量で該各フィルタを通つて下方へ
   流れるようにした空気導入装置（２６）とよりなり、上
   記においてフィルタバンク（１６）はａ）多数の長方形
   の空間部（３２）を形成する支持格子と、ｂ）該支持格
   子に支えられ該長方形空間部の各々を覆う多数の高率空
   気フィルタ（７４）とよりなり、上記において支持格子
   は上記長方形空間部の内側各隅部に配置された多数の全
   体がＸ字形コネクタ（１００、１２１）でその各辺が相
   互に直角に共通の中心位置から放射状に延びる四つの延
   長部（１０２、１２２）よりなるコネクタと、該中心位
   置に配置されたカプリング部材（１０３、１２３）と、
   各コネクタの該カプリング部材と係合してカプリングを
   上壁から支える装置（１０４、１２４）と、各隣接する
   対をなすコネクタの心合せされた対をなす延長部間にそ
   れぞれ相互連結された多数のみぞ形材（１０６、１２６
   ）とよりなる清浄室において、上記コネクタの延長部の
   各々と上記みぞ形材の各々とは同様な全体がＶ字形輪郭
   の横断面を有し、該Ｖ字形輪郭の角度範囲は予め決めら
   れてこの範囲に沿つて実質的な層流を形成するように、
   さらにごみまたはちり粒子を同伴しこれを室中を横方向
   に移動させ得る程度の乱流をコネクタおよびみぞ形材の
   下側で実質的に除去するようにした改良。 ５、前記コネクタおよびみぞ形材がその上側に密封材（
   ４８）を支え、前記フィルタの各々が関連の空間部の周
   辺の密封材と係合して両者間に密封を形成する特許請求
   の範囲第４項に記載の清浄室。 ６、前記コネクタの延長部の各々および前記みぞ形材の
   各々がその長さに沿つて延びる内部板（１１０、１１６
   ）を含み、各延長部および各みぞ形材が全体に逆Ａ形の
   横断面形状を有し、下側部分の長さに沿つて三角形の中
   空受入部を形成し、上記内部板上には前記密封材を配置
   した特許請求の範囲第５項に記載の清浄室。 ７、各延長部とその関連みぞ形材との間に延びる相互連
   結用保持体（１１２）よりなり、該各保持体が隣接する
   延長部およびみぞ形材のそれぞれの中空受入部内にしつ
   かりと受入れられて両者を相互に連結する特許請求の範
   囲第６項に記載の清浄室。 ８、前記みぞ材の各々の両端部分が隣接コネクタの関連
   延長部上に配置され、各延長部が関連のみぞ材の端部分
   の上縁の上に一部重なり延長部と関連みぞ材とを相互に
   連結する多数の内側に曲つた縁（１２５）を含んでいる
   特許請求の範囲第７項に記載の清浄室。 ９、前記コネクタのカプリング部材と該カプリング部材
   と係合する装置とがコネクタを水平方向に調整させるボ
   ールソケット形装置（１２５、１２９）を含む特許請求
   の範囲第７項に記載の清浄室。 １０、実質的に層流状態でろ過空気を垂直方向に室中に
   供給する装置を備え、上壁（１１）、底壁（１２）およ
   び境界をつける側壁（１３〜１５）を含む清浄室（１０
   ）と、上記上壁に平行し上壁の下側に間隔をおいて配置
   されたフィルタバンク（１６）と、該フィルタバンクの
   各フィルタの上側に空気を導入し該空気が所定流量で該
   各フィルタを通つて下方へ流れるようにした空気導入装
   置（２６）とよりなり、上記においてフィルタバンク（
   １６）はａ）多数の長方形空間部を形成する多数の相互
   に連結された部材（３４、３６、３４ａ、３６ａ）より
   なる支持格子（３０）と、ｂ）上記支持格子の相互連結
   部材に支えられ上記長方形空間部の各々を覆う多数の高
   効率空気フィルタ（７４）と、ｃ）密封材（４８）とよ
   りなり、上記において、支持格子の相互連結部材は多数
   の平行する横方向に隔離された縦部材（３４、３４ａ）
   と該縦部材間に横方向に延びる多数の横部材（３６、３
   ６ａ）を含み、該縦部材および横部材の各々は横断面が
   全体にＶ字形配列に配置された一対の外側壁（３８、３
   ９）と該側壁間に水平方向に延びる内部板（４０、４０
   ａ）とよりなり各部材が横断面逆Ａの全体形をなし上向
   きに開口の受入部を形成し、縦部材と横部材とが関連の
   縦部材とその両端間の中間位置において対接する二つの
   心合せされた横部材の端より構成された格子の内部に多
   数のＸ字形相互連結部を形成し、且つ格子の内部の該Ｘ
   字形相互連結部の各々が関連の内部板の水平面へ下方へ
   且つ関連の横部材の横部材の側壁の隣接部分の分離に一
   致する距離だけ横に延びる縦部材の側壁の各々において
   切欠き部分（６１、６１ａ）を含むので、縦部材および
   横部材の受入部と内部板とが各空間部の周辺に同一の広
   がりを持ち、上記Ｘ字形相互連結部はさらに関連の横部
   材と縦部材を相互に連結する保持装置（５２、９２）よ
   りなり、上記において密封材（４８）は受入部に配置さ
   れ、また上記格子の縦部材および横部材の同一広がりを
   持つ内部板上に配置されることによつて密封体は格子の
   上記部材と上記フイルタの各々の周辺との間に介置され
   て両者間に密封を形成するようにした清浄室。 １１、前記縦部材および横部材がさらに前記内部板の中
   間部から比較的短い距離上方へ且つ該部材の長さの少な
   くとも大部分に沿つて縦方向に延びる支柱（４２）を含
   み、前記Ｘ字形相互連結部の各々における前記保持体装
   置は関連の縦部材および横部材の上記支柱に掴持固定さ
   れた保持体（５２）よりなる特許請求の範囲第１０項に
   記載の清浄室。 １２、前記部材の少なくともいくつかの支柱に固定され
   て格子を前記清浄室の前記上壁の下側に隔離された関係
   に支える多数の上向きに延びる支持ブラケット（６２）
   よりなる特許請求の範囲第１１項に記載の清浄室。 １３、前記支柱が横断面がくさび形の上側部分（４４）
   を含み、前記保持体がＸ字形輪郭を有する単一部材（５
   ２ａ）よりなり、該単一部材は囲まれた輪郭の横断面を
   有し、上記保持体が上記支柱のくさび形部分に下向きに
   押圧されると、拡がつて分離され該保持体が支柱にこれ
   を取囲む関係に容易に組付けられるようにした縦割れ底
   壁を含む特許請求の範囲第１２項に記載の清浄室。 １４、前記Ｘ字形相互連結部の各々が関連の内部の下側
   に縦部材の側壁の各々を貫通する心合せされた開口（９
   １）を含み、前記保持体装置が関連の内部板の下側に横
   部材の端部間に延びる保持体（９２）よりなり、該保持
   体が縦部材の側壁の心合せされた開口を貫通している特
   許請求の範囲第１０項に記載の清浄室。 １５、前記部材の各々は前記側壁間に且つ初めに述べた
   内部板（４０ａ）の下側に水平方向に延びる第２内部板
   （４１ａ）を含み、該二つの内部板（４０ａ、４１ａ）
   は前記保持体を両者間にしつかり受入れるように保持体
   の厚さに非常に近い垂直の分離部を有する特許請求の範
   囲第１４項に記載の清浄室。