JPS61275635A - レンズ偏芯測定装置 - Google Patents
レンズ偏芯測定装置Info
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- JPS61275635A JPS61275635A JP11670085A JP11670085A JPS61275635A JP S61275635 A JPS61275635 A JP S61275635A JP 11670085 A JP11670085 A JP 11670085A JP 11670085 A JP11670085 A JP 11670085A JP S61275635 A JPS61275635 A JP S61275635A
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- JP
- Japan
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- lens
- measured
- lens group
- collimator lens
- collimator
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- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レンズ偏芯測定装置に関するものである。
従来、組み上りレンズの各面の偏芯をオートコリメーシ
ョン法により測定するようにしたレンズ偏芯測定装置が
知られている。この種装置においては、コリメータレン
ズにより指標を被測定レンズの各面の球心に投影し、そ
の反射像を再び該コリメータレンズを介して指標上に結
像させ、該コリメータレンズと指標との間に配設された
ビームスプリフタにより該反射像を取出して顕微鏡等に
より観測するように構成され、被測定レンズの各面の球
心に順次指標を投影してその反射像の基準軸からのずれ
量を測定し、これらの測定値から各面の偏芯量を計算す
るようになっている。 ・このような装置によれば、指
標の投影位置を変えるためにはコリメータレンズが移動
されるが、この移動によりコリメータレンズ自体が偏芯
するので、指□標の像位置がずれてしまう、従って、そ
の反射像の位置もずれてしまい、測定誤差を招くことに
なる。
ョン法により測定するようにしたレンズ偏芯測定装置が
知られている。この種装置においては、コリメータレン
ズにより指標を被測定レンズの各面の球心に投影し、そ
の反射像を再び該コリメータレンズを介して指標上に結
像させ、該コリメータレンズと指標との間に配設された
ビームスプリフタにより該反射像を取出して顕微鏡等に
より観測するように構成され、被測定レンズの各面の球
心に順次指標を投影してその反射像の基準軸からのずれ
量を測定し、これらの測定値から各面の偏芯量を計算す
るようになっている。 ・このような装置によれば、指
標の投影位置を変えるためにはコリメータレンズが移動
されるが、この移動によりコリメータレンズ自体が偏芯
するので、指□標の像位置がずれてしまう、従って、そ
の反射像の位置もずれてしまい、測定誤差を招くことに
なる。
また高精度の測定を行なうために、被測定レンズを基準
軸の周りに回転させながら測定する方法があり、この−
例を第３図により説明すれば、１は光源、２は指標、３
はビームスプリフタ、４はコリメータレンズ、５は回転
装置６に装着された被測定レンズ、７は顕微鏡であり、
光源ｌにより照明された指標２がビームスプリンタ３を
透過しコリメータレンズ４により被測定レンズ５の各面
の球心に投影され、その反射像が再びコリメータレンズ
４を介しビームスプリンタ３により反射されて顕微鏡に
より観察される。この場合、コリメータレンズ４の偏芯
によって反射像の回転中心位置がずれるが、被測定レン
ズ５の回転軸に対する偏芯は反射像の回転中心に対する
位置から求められる。尚、コリメータレンズ４としては
単焦点距離レンズ、カメラレンズ等が使用されている。
軸の周りに回転させながら測定する方法があり、この−
例を第３図により説明すれば、１は光源、２は指標、３
はビームスプリフタ、４はコリメータレンズ、５は回転
装置６に装着された被測定レンズ、７は顕微鏡であり、
光源ｌにより照明された指標２がビームスプリンタ３を
透過しコリメータレンズ４により被測定レンズ５の各面
の球心に投影され、その反射像が再びコリメータレンズ
４を介しビームスプリンタ３により反射されて顕微鏡に
より観察される。この場合、コリメータレンズ４の偏芯
によって反射像の回転中心位置がずれるが、被測定レン
ズ５の回転軸に対する偏芯は反射像の回転中心に対する
位置から求められる。尚、コリメータレンズ４としては
単焦点距離レンズ、カメラレンズ等が使用されている。
一般に、被測定レンズの各面の球心に指標像を投影しそ
の反射像の基準軸からのずれ量を測定する場合、反射像
のずれ量は被測定レンズと投影位置との間の距離即ち投
影距離に比例し、また指標像の照度を高く保持するには
コリメータレンズから出射する光束の径を被測定レンズ
の口径より小さくする必要があり、かくしてコリメータ
レンズのＮＡを投影距離に反比例するように変化させる
必要がある。このためには、投影倍率を投影距離に比例
して変化させなければならない。
の反射像の基準軸からのずれ量を測定する場合、反射像
のずれ量は被測定レンズと投影位置との間の距離即ち投
影距離に比例し、また指標像の照度を高く保持するには
コリメータレンズから出射する光束の径を被測定レンズ
の口径より小さくする必要があり、かくしてコリメータ
レンズのＮＡを投影距離に反比例するように変化させる
必要がある。このためには、投影倍率を投影距離に比例
して変化させなければならない。
本発明は、以上の点に鑑み、被測定レンズの各面に対し
て、指標の反射像の回転半径と照度がはり一定であるよ
うにした、レンズ偏芯測定装置を提供することを目的と
している。
て、指標の反射像の回転半径と照度がはり一定であるよ
うにした、レンズ偏芯測定装置を提供することを目的と
している。
〔問題点を解決するための手段及び作用〕この目的は、
被測定レンズの各面の球心に指標像をコリメータレンズ
により順次投影し、該面による指標像の反射像の基準軸
からのずれ量を測定し、該測定値から被測定レンズの各
面の偏芯量を計算するレンズ偏芯測定装置において、投
影倍率が投影位置にほり比例するように構成されたコリ
メータレンズが備えられていることを特徴とする、レン
ズ偏芯測定装置により解決される。
被測定レンズの各面の球心に指標像をコリメータレンズ
により順次投影し、該面による指標像の反射像の基準軸
からのずれ量を測定し、該測定値から被測定レンズの各
面の偏芯量を計算するレンズ偏芯測定装置において、投
影倍率が投影位置にほり比例するように構成されたコリ
メータレンズが備えられていることを特徴とする、レン
ズ偏芯測定装置により解決される。
この構成によれば、コリメータレンズの投影倍率が投影
位置にほり比例するようになっているので、被測定レン
ズの各面に対して指標の反射像の回転半径及び照度がは
り一定に保持される。
位置にほり比例するようになっているので、被測定レン
ズの各面に対して指標の反射像の回転半径及び照度がは
り一定に保持される。
好ましくは、前記コリメータレンズと、負屈折力の第一
レンズ群及び正屈折力の第二レンズ群または負屈折力の
第一レンズ群、正屈折力の第二レンズ群及び負屈折力の
第三レンズ群から構成されていて且つ第一レンズ群及び
第二レンズ群をフローティングすることにより投影位置
を変化せしめるようになっている。この場合、第三レン
ズ群は負方向に投影する場合にのみ使用される。
レンズ群及び正屈折力の第二レンズ群または負屈折力の
第一レンズ群、正屈折力の第二レンズ群及び負屈折力の
第三レンズ群から構成されていて且つ第一レンズ群及び
第二レンズ群をフローティングすることにより投影位置
を変化せしめるようになっている。この場合、第三レン
ズ群は負方向に投影する場合にのみ使用される。
この構成によれば、第一レンズ群及び第二レンズ群によ
り正方向への投影を行ない、該第−レンズ群及び第二レ
ンズ群をフローティングすることにより投影距離と投影
倍率を変化させるようになっており、さらに必要であれ
ば第三レンズ群により正方向への投影距離と投影倍率と
の比例関係を゛保持したまま負方向への投影を行なう、
ここで、第二レンズ群は好ましくは球面収差を抑制する
ために二枚の接合レンズから構成され、また第三レンズ
群は好ましくはその倍率を０から一■倍まで変化するた
めに収差補正を容易にするようにレンズ形成を左右対称
に構成されている。
り正方向への投影を行ない、該第−レンズ群及び第二レ
ンズ群をフローティングすることにより投影距離と投影
倍率を変化させるようになっており、さらに必要であれ
ば第三レンズ群により正方向への投影距離と投影倍率と
の比例関係を゛保持したまま負方向への投影を行なう、
ここで、第二レンズ群は好ましくは球面収差を抑制する
ために二枚の接合レンズから構成され、また第三レンズ
群は好ましくはその倍率を０から一■倍まで変化するた
めに収差補正を容易にするようにレンズ形成を左右対称
に構成されている。
〔実施例〕
以下図面に示した一実施例に基づき本発明を説明すれば
、第１図において、１０はレンズ偏芯測定装置であり、
１１は例えばレーザーダイオードから成る赤外光を発す
る光源、１２はリレーレンズ、１３はシリンドリカルレ
ンズ、１４は回転装置１５により回転せしめられる拡散
板、１６は偏光ビームスプリワタ、１７は四分の一波長
板、１８は負屈折力の第一レンズ群１８ａ、正屈折力の
第二レンズ群１８ｂ及び負屈折力の第三レンズ群１８ｃ
から成るコリメータレンズ、１９は回転装置２０により
回転せしめられるように取付けられた被測定レンズ、２
１は顕微鏡、２２は一次元イメージセンサ、２３はＡ／
Ｄ変換器、２４はイン９−７エース、２５はマイクロコ
ンピュータである。
、第１図において、１０はレンズ偏芯測定装置であり、
１１は例えばレーザーダイオードから成る赤外光を発す
る光源、１２はリレーレンズ、１３はシリンドリカルレ
ンズ、１４は回転装置１５により回転せしめられる拡散
板、１６は偏光ビームスプリワタ、１７は四分の一波長
板、１８は負屈折力の第一レンズ群１８ａ、正屈折力の
第二レンズ群１８ｂ及び負屈折力の第三レンズ群１８ｃ
から成るコリメータレンズ、１９は回転装置２０により
回転せしめられるように取付けられた被測定レンズ、２
１は顕微鏡、２２は一次元イメージセンサ、２３はＡ／
Ｄ変換器、２４はイン９−７エース、２５はマイクロコ
ンピュータである。
本発明実施例は、以上のように構成されているから、光
源１１からの赤外光はリレーレンズ１２及びシリンドリ
カルレンズ１３により拡散板１４上にスリット状のパタ
ーン（指標）を形成する。
源１１からの赤外光はリレーレンズ１２及びシリンドリ
カルレンズ１３により拡散板１４上にスリット状のパタ
ーン（指標）を形成する。
ここで拡散板１４が回転装置１５により回転せ、しめら
れていることにより、ビームスプリッタ１６゜コリメー
タレンズ１８及び被測定レンズ１９からの反射光により
生じ得る干渉縞が測定の妨げにならないようになってい
る。拡散板１４上に形成されたスリットパターンは、コ
リメータレンズ１８により被測定レンズ１９の各面の球
心に順次投影される。該被測定レンズ１９の各面で反射
した光は再びコリメータレンズ１８を介しビームスプリ
ンタ１６で反射された後、拡散板１４と共役な面Ｐに結
像し、さらに顕微鏡２１により一次元イメージセンサ２
．２上に結像する。この場合偏光ビームスブリフタ１６
は、光源であるレーザーダイオードからの直線偏光がす
べて透過し且つ四分の一波長板１７を往復で二回透過し
その偏光面が９０°回転した光束がすべて反射するよう
に配設されており、また赤外光源を使用していることか
ら一般に可視光に対する反射防止膜が施されている被測
定レンズの各面において入射光は十分に反射せしめられ
、かくして光量損失が最小限に抑えられている。スリッ
トパターンの反射像が投影された一次元イメージセンサ
２２は、そのスリットパターンに応じた信号を出力し、
該信号はＡ／Ｄ変換器２３によりＡ／Ｄ変換された後イ
ンターフェース２４を介してマイクロコンビエータ２５
に入力され、前記スリットパターンの位置が計算される
。
れていることにより、ビームスプリッタ１６゜コリメー
タレンズ１８及び被測定レンズ１９からの反射光により
生じ得る干渉縞が測定の妨げにならないようになってい
る。拡散板１４上に形成されたスリットパターンは、コ
リメータレンズ１８により被測定レンズ１９の各面の球
心に順次投影される。該被測定レンズ１９の各面で反射
した光は再びコリメータレンズ１８を介しビームスプリ
ンタ１６で反射された後、拡散板１４と共役な面Ｐに結
像し、さらに顕微鏡２１により一次元イメージセンサ２
．２上に結像する。この場合偏光ビームスブリフタ１６
は、光源であるレーザーダイオードからの直線偏光がす
べて透過し且つ四分の一波長板１７を往復で二回透過し
その偏光面が９０°回転した光束がすべて反射するよう
に配設されており、また赤外光源を使用していることか
ら一般に可視光に対する反射防止膜が施されている被測
定レンズの各面において入射光は十分に反射せしめられ
、かくして光量損失が最小限に抑えられている。スリッ
トパターンの反射像が投影された一次元イメージセンサ
２２は、そのスリットパターンに応じた信号を出力し、
該信号はＡ／Ｄ変換器２３によりＡ／Ｄ変換された後イ
ンターフェース２４を介してマイクロコンビエータ２５
に入力され、前記スリットパターンの位置が計算される
。
被測定レンズ１９はコンピュータ２５の制御により回転
装置２０により回転せしめられるので、三つ以上の回転
位置で上記のようにスリットパターンの位置を測定する
ことによって該スリットパターンの回転が計算される。
装置２０により回転せしめられるので、三つ以上の回転
位置で上記のようにスリットパターンの位置を測定する
ことによって該スリットパターンの回転が計算される。
このようにして被測定レンズ１９の各面に対してスリッ
トパターンの回転を計算することにより、各面の偏芯量
が計算される。即ち、第１図に示したように被測定レン
ズ１９の回転装置２０による回転に伴い一次元イメージ
センサ２２によって観測されるスリットパターンの反射
像の位置は正弦的に変化し、この変化の振幅と位相とか
ら該反射像の回転半径及び初期 −角度が求められる、
即ち回転中心に対する反射像のずれ量が求められる。か
くして、被測定レンズ１９の各面に対して核間を反射面
として上記測定を行なうことにより、得られるスリット
パターンの反射像の回転から各面の偏芯量が計算される
のである。
トパターンの回転を計算することにより、各面の偏芯量
が計算される。即ち、第１図に示したように被測定レン
ズ１９の回転装置２０による回転に伴い一次元イメージ
センサ２２によって観測されるスリットパターンの反射
像の位置は正弦的に変化し、この変化の振幅と位相とか
ら該反射像の回転半径及び初期 −角度が求められる、
即ち回転中心に対する反射像のずれ量が求められる。か
くして、被測定レンズ１９の各面に対して核間を反射面
として上記測定を行なうことにより、得られるスリット
パターンの反射像の回転から各面の偏芯量が計算される
のである。
第２図はコリメータレンズの具体例を示しており（Ａ）
は第三レンズ群を使用せずに正方向の投影を行なう場合
、（Ｂ）は第三レンズ群を使用して負方向の投影を行な
う場合を示している。このコリメータレンズの各数値は
以下の通りである。
は第三レンズ群を使用せずに正方向の投影を行なう場合
、（Ｂ）は第三レンズ群を使用して負方向の投影を行な
う場合を示している。このコリメータレンズの各数値は
以下の通りである。
ｒ ＋−９００，８２００
ｄ＋−５，００００、ｎ＋＝１．７６３０７ 、 シ
＋−２５．７１７、ｘ １９８．１５４０ ｄ、−３４ａ、６ｓ６６ ｒ、窩 ２０６．３２４０ ｄｓ ”１７．００００ 、 ｎｓ −１，５０９７４
、３’ｓ −６４，１５ｒｍ ”−１０５，４０３０ ｄａ ”８．５００Ｇ 、 ｆ１４−１．７６３０７
、 Ｊ／４−２５．７１ｒｓ ＝−１３１，４７８
０ ｄｓ−ｏ、ｓｏｏ。
＋−２５．７１７、ｘ １９８．１５４０ ｄ、−３４ａ、６ｓ６６ ｒ、窩 ２０６．３２４０ ｄｓ ”１７．００００ 、 ｎｓ −１，５０９７４
、３’ｓ −６４，１５ｒｍ ”−１０５，４０３０ ｄａ ”８．５００Ｇ 、 ｆ１４−１．７６３０７
、 Ｊ／４−２５．７１ｒｓ ＝−１３１，４７８
０ ｄｓ−ｏ、ｓｏｏ。
ｒｉ−１０３，７４３０
ｄｉ −１８，００００、ｎｉ ＝１．５０９７４ 、
Ｗｂ −６４，１５ｒ−ｒ−１３３，４７４０ ｄｑ−５，００００、ｎｔ−１，７６３０７、シ、−２
５．７１ｒ、ｘ ３０１．３２７Ｇ ｄ、 −４，１１８１ ｒ、ｘ ４００．２７７０ ｄｑ−５，００００、ｎｑ−１，７６３０７、シ＊−２
５．７１ｒ＋ｏ”” ７９．７７６０ ｄｌ。−１０，００００ ｒ、−−２５１，８５８０ ｄ＋＋”１０．００００ 、ｎ＋＋−１，５０９７４
、シ＋＋−６４．１５ｒｒ＊−９７，５６８０ ｄｌｍ−９，００００、ｎ＋ｔ−１，６７２８０、１’
＋ｔ−３１，０８ｒ、ｓ” ６８０．９４８０ ｄｌ、諧５．００００ ｒＩａ−１２４，９８３０ ｄｔａ−４，００００、ｎ＋４−１．５０９７４ 、
ｙｔ４−６４．１５ｒｔｓ”−１２４，９８３０ ｄｌｍ−５，００００ ｒ＋ｈ−６８０，９４８０ ｄｔａ−９，００００、ｎ＋ｉ−１，６７２８０、Ｉ／
１６−３１．０８ｒ＋、、＝ ９７．５６８０ ｄｌ、−１０，００００、ｎ＋？−１，５０９７４、シ
＋ｙ−６４．１５ｒ＋５−２５１．８５８０ ｄｌｍ−１０，００００ ｒＩａ−−７９，７７６０ ｄｌｍ”５．０００Ｇ 、ｎ＋ｗ−１，７６３０７
、ｌ’ｔ＊＝２５．７１ｒｇ＊−−４００．００００ ただし’Ｉ ＋ ｒ！： ’３・・・・はコリメー
タレンズの各面の曲率半径、ｄｌ 、ｄｚ 、ｄｓ・・
・・は各レンズの肉厚及び空気間隔、”Ｉｎ ２・・
・・各しンズの屈折率、シ１．シ２・・・・は各レンズ
のア７べ数である。ここで第二レンズ群Ｇｔは二枚の接
合レンズから構成されており、第三レンズ群Ｇ。
Ｗｂ −６４，１５ｒ−ｒ−１３３，４７４０ ｄｑ−５，００００、ｎｔ−１，７６３０７、シ、−２
５．７１ｒ、ｘ ３０１．３２７Ｇ ｄ、 −４，１１８１ ｒ、ｘ ４００．２７７０ ｄｑ−５，００００、ｎｑ−１，７６３０７、シ＊−２
５．７１ｒ＋ｏ”” ７９．７７６０ ｄｌ。−１０，００００ ｒ、−−２５１，８５８０ ｄ＋＋”１０．００００ 、ｎ＋＋−１，５０９７４
、シ＋＋−６４．１５ｒｒ＊−９７，５６８０ ｄｌｍ−９，００００、ｎ＋ｔ−１，６７２８０、１’
＋ｔ−３１，０８ｒ、ｓ” ６８０．９４８０ ｄｌ、諧５．００００ ｒＩａ−１２４，９８３０ ｄｔａ−４，００００、ｎ＋４−１．５０９７４ 、
ｙｔ４−６４．１５ｒｔｓ”−１２４，９８３０ ｄｌｍ−５，００００ ｒ＋ｈ−６８０，９４８０ ｄｔａ−９，００００、ｎ＋ｉ−１，６７２８０、Ｉ／
１６−３１．０８ｒ＋、、＝ ９７．５６８０ ｄｌ、−１０，００００、ｎ＋？−１，５０９７４、シ
＋ｙ−６４．１５ｒ＋５−２５１．８５８０ ｄｌｍ−１０，００００ ｒＩａ−−７９，７７６０ ｄｌｍ”５．０００Ｇ 、ｎ＋ｗ−１，７６３０７
、ｌ’ｔ＊＝２５．７１ｒｇ＊−−４００．００００ ただし’Ｉ ＋ ｒ！： ’３・・・・はコリメー
タレンズの各面の曲率半径、ｄｌ 、ｄｚ 、ｄｓ・・
・・は各レンズの肉厚及び空気間隔、”Ｉｎ ２・・
・・各しンズの屈折率、シ１．シ２・・・・は各レンズ
のア７べ数である。ここで第二レンズ群Ｇｔは二枚の接
合レンズから構成されており、第三レンズ群Ｇ。
は左右対称に構成されている。また、正方向の投影位置
及び投影倍率をＳＰ、 β２．負方向の投影位置及び投
影倍率をＳＮ、 βやとしたときＳｒ −−４００
βデ 、５Ｎ−−ｔｏｏ β。
及び投影倍率をＳＰ、 β２．負方向の投影位置及び投
影倍率をＳＮ、 βやとしたときＳｒ −−４００
βデ 、５Ｎ−−ｔｏｏ β。
の関係が満たされている。
さらに第三レンズ群Ｇ３を使用して負方向の投影を行な
う場合には第一レンズ群Ｇ１及び第二レンズ群Ｇ！によ
り第三レンズ群Ｇ、に投影される位置Ｓ、及び倍率β、
は、 Ｓ縛＋１００ により与えられる。従って群間隔Ｄｒ、ＤｔはＤ 、
＋ ６９．９５７ により計算される。
う場合には第一レンズ群Ｇ１及び第二レンズ群Ｇ！によ
り第三レンズ群Ｇ、に投影される位置Ｓ、及び倍率β、
は、 Ｓ縛＋１００ により与えられる。従って群間隔Ｄｒ、ＤｔはＤ 、
＋ ６９．９５７ により計算される。
以上述べたように本発明によれば、レンズ偏芯測定装置
において、投影倍率が投影位置にほり比例するように構
成されたコリメータレンズを備えるようにしたから、被
測定レンズの各面に対して指標の反射像の回転半径及び
照度がはり一定であるので、各面における指標の反射像
が同様に観測され得るので、各面に対する誤差が極めて
少なくなり、簡単に高精度で観測を行なうことのできる
レンズ偏芯測定装置が提供され得る。
において、投影倍率が投影位置にほり比例するように構
成されたコリメータレンズを備えるようにしたから、被
測定レンズの各面に対して指標の反射像の回転半径及び
照度がはり一定であるので、各面における指標の反射像
が同様に観測され得るので、各面に対する誤差が極めて
少なくなり、簡単に高精度で観測を行なうことのできる
レンズ偏芯測定装置が提供され得る。
第１図は本発明によるレンズ偏芯測定装置の一実施例を
示す概略図、第２図はコリメータレンズの（Ａ）正方向
の投影、（Ｂ）負方向の投影を行なう場合を示す図、第
３図は従来のレンズ偏芯測定装置の一例を示す概略図で
ある。 １０・・・・レンズ偏芯測定装置、１１・・・・光源、
１２・・・・リレーレンズ、１３・・・・シリンドリカ
ルレンズ、１４・・・・拡散板、１５．２０・・・・回
転装置、１６・・・・偏光ビームスプリフタ、１７・・
・・四分の一波長板、１８・・・・コリメータレンズ、
１９・・・・被測定レンズ、２１・・・・顕微鏡、２２
・・・・−次元イメージセンサ、２３・・・・Ａ／Ｄ変
換器、２４・・・・インターフェース、２５・、・、マ
イクロコンピュータ
示す概略図、第２図はコリメータレンズの（Ａ）正方向
の投影、（Ｂ）負方向の投影を行なう場合を示す図、第
３図は従来のレンズ偏芯測定装置の一例を示す概略図で
ある。 １０・・・・レンズ偏芯測定装置、１１・・・・光源、
１２・・・・リレーレンズ、１３・・・・シリンドリカ
ルレンズ、１４・・・・拡散板、１５．２０・・・・回
転装置、１６・・・・偏光ビームスプリフタ、１７・・
・・四分の一波長板、１８・・・・コリメータレンズ、
１９・・・・被測定レンズ、２１・・・・顕微鏡、２２
・・・・−次元イメージセンサ、２３・・・・Ａ／Ｄ変
換器、２４・・・・インターフェース、２５・、・、マ
イクロコンピュータ
Claims (3)
- （１）被測定レンズの各面の球心に指標像をコリメータ
レンズにより順次投影し、該面による指標像の反射像の
基準軸からのずれ量を測定し、該測定値から被測定レン
ズの各面の偏芯量を計算するレンズ偏芯測定装置におい
て、 投影倍率が投影位置にほゞ比例するように構成されたコ
リメータレンズが備えられていることを特徴とする、レ
ンズ偏芯測定装置。 - （２）前記コリメータレンズが、負屈折力の第一レンズ
群及び正屈折力の第二レンズ群または負屈折力の第一レ
ンズ群、正屈折力の第二レンズ群及び負屈折力の第三レ
ンズ群から構成されていて且つ第一レンズ群及び第二レ
ンズ群をフローティングすることにより投影位置を変化
せしめるようになっていることを特徴とする、特許請求
の範囲（１）に記載のレンズ偏芯測定装置において使用
されるコリメータレンズ。 - （３）第二レンズが二枚の接合レンズから構成されてお
り、第三レンズ群が左右対称に構成されていることを特
徴とする、特許請求の範囲（２）に記載のコリメータレ
ンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11670085A JPS61275635A (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 | レンズ偏芯測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11670085A JPS61275635A (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 | レンズ偏芯測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61275635A true JPS61275635A (ja) | 1986-12-05 |
Family
ID=14693674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11670085A Pending JPS61275635A (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 | レンズ偏芯測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61275635A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100834727B1 (ko) | 2006-12-29 | 2008-06-05 | 주식회사 휴비츠 | 한 개의 광원과 한 개의 영상센서를 이용한 자동 블로커 |
| US9488902B2 (en) | 2010-08-27 | 2016-11-08 | Seiko Epson Corporation | Illuminator and projector |
-
1985
- 1985-05-31 JP JP11670085A patent/JPS61275635A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100834727B1 (ko) | 2006-12-29 | 2008-06-05 | 주식회사 휴비츠 | 한 개의 광원과 한 개의 영상센서를 이용한 자동 블로커 |
| US9488902B2 (en) | 2010-08-27 | 2016-11-08 | Seiko Epson Corporation | Illuminator and projector |
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