JPS6127336U - ボツクスライン - Google Patents

ボツクスライン

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Publication number
JPS6127336U
JPS6127336U JP11086984U JP11086984U JPS6127336U JP S6127336 U JPS6127336 U JP S6127336U JP 11086984 U JP11086984 U JP 11086984U JP 11086984 U JP11086984 U JP 11086984U JP S6127336 U JPS6127336 U JP S6127336U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
box line
boxes
box
utility
flexible joint
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11086984U
Other languages
English (en)
Inventor
裕 遠藤
Original Assignee
日本電気株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本電気株式会社 filed Critical 日本電気株式会社
Priority to JP11086984U priority Critical patent/JPS6127336U/ja
Publication of JPS6127336U publication Critical patent/JPS6127336U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案による一実施例を示す図である。 なお図において、１，３，６．７はボックス、・５，８
はジャバラによる可撓性継手、２．４．９は組立装置で
ある。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 特定ガス雰囲気中で半導体素子組立を行なうためのボッ
    クスを接続してなるボックスラインにおいて、隣接する
    ボックス間の接続部に可撓性継手部を用いたことを特徴
    とするボックスライン。
JP11086984U 1984-07-21 1984-07-21 ボツクスライン Pending JPS6127336U (ja)

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JP11086984U JPS6127336U (ja) 1984-07-21 1984-07-21 ボツクスライン

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11086984U JPS6127336U (ja) 1984-07-21 1984-07-21 ボツクスライン

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6127336U true JPS6127336U (ja) 1986-02-18

Family

ID=30669986

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11086984U Pending JPS6127336U (ja) 1984-07-21 1984-07-21 ボツクスライン

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JP (1) JPS6127336U (ja)

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