JPS59160958U - ダイアフラム - Google Patents

ダイアフラム

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Publication number
JPS59160958U
JPS59160958U JP5648783U JP5648783U JPS59160958U JP S59160958 U JPS59160958 U JP S59160958U JP 5648783 U JP5648783 U JP 5648783U JP 5648783 U JP5648783 U JP 5648783U JP S59160958 U JPS59160958 U JP S59160958U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diaphragm
photolithography
recorded
utility
cross
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5648783U
Other languages
English (en)
Inventor
宣夫 宮地
Original Assignee
横河電機株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 横河電機株式会社 filed Critical 横河電機株式会社
Priority to JP5648783U priority Critical patent/JPS59160958U/ja
Publication of JPS59160958U publication Critical patent/JPS59160958U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Diaphragms And Bellows (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の構成説明図、第２図、第３
図は第１図の製６説明図である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 同心円状に凹凸をなす板状のダイアフラムにおいて、フ
    ォトリングラフィにより断面矩形波状に形成されたこと
    を特徴とするダイアフラム。
JP5648783U 1983-04-15 1983-04-15 ダイアフラム Pending JPS59160958U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5648783U JPS59160958U (ja) 1983-04-15 1983-04-15 ダイアフラム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5648783U JPS59160958U (ja) 1983-04-15 1983-04-15 ダイアフラム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59160958U true JPS59160958U (ja) 1984-10-27

Family

ID=30186808

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5648783U Pending JPS59160958U (ja) 1983-04-15 1983-04-15 ダイアフラム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59160958U (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5486051A (en) * 1977-12-19 1979-07-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd Pressure conversion diaphgram
JPS56108877A (en) * 1980-02-01 1981-08-28 Oki Electric Ind Co Ltd Manufacture of fluid spray nozzle

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5486051A (en) * 1977-12-19 1979-07-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd Pressure conversion diaphgram
JPS56108877A (en) * 1980-02-01 1981-08-28 Oki Electric Ind Co Ltd Manufacture of fluid spray nozzle

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