JPS61271809A - 磁芯材料 - Google Patents
磁芯材料Info
- Publication number
- JPS61271809A JPS61271809A JP11368385A JP11368385A JPS61271809A JP S61271809 A JPS61271809 A JP S61271809A JP 11368385 A JP11368385 A JP 11368385A JP 11368385 A JP11368385 A JP 11368385A JP S61271809 A JPS61271809 A JP S61271809A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- soft magnetic
- thickness
- several
- annealed
- magnetic core
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/14—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は軟質薄膜状の磁芯材料に関する。
「従来の技術」
従来、過飽和リアクトルなどのインダクタンス素子は、
周知のように巻線と磁気コアからなっている。最近では
インダクタンス素子の高周波化、小型化の要求か強く、
このため高周波損失の少ないフェライトコアや液相急冷
法によるアモルファス薄帯などの磁芯材料の開発が盛ん
である。
周知のように巻線と磁気コアからなっている。最近では
インダクタンス素子の高周波化、小型化の要求か強く、
このため高周波損失の少ないフェライトコアや液相急冷
法によるアモルファス薄帯などの磁芯材料の開発が盛ん
である。
「発明が解決しようとする問題点」
ところで、フェライトコア、は、電気的には絶縁性また
は半導体的な特性を持つため渦電流の発生が少なく、高
周波特性が優れているとされているが、数Ｍｌｌｚ以上
では共鳴損失が発生してしまう。
は半導体的な特性を持つため渦電流の発生が少なく、高
周波特性が優れているとされているが、数Ｍｌｌｚ以上
では共鳴損失が発生してしまう。
また、アモルファス薄帯は製作可能な厚みが約ｌＯ〜１
５μ１以上に限られ、高周波においては損失が急激に増
大してしまうため、高周波領域で作動させる巻線磁芯用
の材料としては最適なものとは言いがたい。
５μ１以上に限られ、高周波においては損失が急激に増
大してしまうため、高周波領域で作動させる巻線磁芯用
の材料としては最適なものとは言いがたい。
この発明は上記事情に鑑みてなされたもので、数ＭＨｚ
以上でも共鳴損失が発生せず、巻線磁芯とするに充分な
薄さであり、高周波においても損失の増大がない軟質薄
膜状の磁芯材料を堤供することを目的とするものである
。
以上でも共鳴損失が発生せず、巻線磁芯とするに充分な
薄さであり、高周波においても損失の増大がない軟質薄
膜状の磁芯材料を堤供することを目的とするものである
。
「問題点を解決するための手段」
薄くとも数μｍの厚みの柔軟絶縁性シートの表面に蒸着
、スパッタ法等の方法により層厚が敢μ層程度の一層ま
たは複数層の軟質磁性薄膜を形成し、この軟質磁性薄膜
にアニーリングによって適度の磁気異方性を付与したも
のである。上記柔軟絶縁性シートとして好適なものとし
てポリイミドフィルムを挙げることができ、軟質磁性薄
膜材料としてはＣｏ、ＺｒｌＭｏ、Ｎｉからなる合金（
通常Ｃｏ８５％以上）や、同組成のアモルファス合金を
利用できる。
、スパッタ法等の方法により層厚が敢μ層程度の一層ま
たは複数層の軟質磁性薄膜を形成し、この軟質磁性薄膜
にアニーリングによって適度の磁気異方性を付与したも
のである。上記柔軟絶縁性シートとして好適なものとし
てポリイミドフィルムを挙げることができ、軟質磁性薄
膜材料としてはＣｏ、ＺｒｌＭｏ、Ｎｉからなる合金（
通常Ｃｏ８５％以上）や、同組成のアモルファス合金を
利用できる。
なお、この軟質磁性薄膜材料は、アニーリングによって
磁気異方性を付与することが必要なので、そのキューリ
ー点Ｔｃがその結晶化温度ＴＸより低いものであること
が必要である。
磁気異方性を付与することが必要なので、そのキューリ
ー点Ｔｃがその結晶化温度ＴＸより低いものであること
が必要である。
「作用 」
上記構成によれば、単独では機械的強度が弱い軟質磁性
薄膜を柔軟絶縁性シートにより補強することができ、し
かも、この柔軟絶縁性シートが絶縁の役目を果たすので
、シートを巻線磁芯として使用することができる。また
、軟質磁性薄模の一層の厚みは数μｍ程度に形成されて
いるので、渦電流の発生を抑えることができ、また、こ
の軟質磁性薄模はアニーリングにより適度の磁気異方性
が付与されているので、共鳴現象を抑制することができ
、巻線磁芯などに最適な磁芯材料を提供することができ
る。
薄膜を柔軟絶縁性シートにより補強することができ、し
かも、この柔軟絶縁性シートが絶縁の役目を果たすので
、シートを巻線磁芯として使用することができる。また
、軟質磁性薄模の一層の厚みは数μｍ程度に形成されて
いるので、渦電流の発生を抑えることができ、また、こ
の軟質磁性薄模はアニーリングにより適度の磁気異方性
が付与されているので、共鳴現象を抑制することができ
、巻線磁芯などに最適な磁芯材料を提供することができ
る。
以下、この発明を実施例に基づいて詳しく説明する。
「実施例」
ポリイミドフィルム（８０ｖａＸ ４５０ｍａ１厚さ２
５μｌ）の表面上にスパッタ法によりアモルファスＣｏ
２’ｒＭ。
５μｌ）の表面上にスパッタ法によりアモルファスＣｏ
２’ｒＭ。
Ｎｉ合金（８０−２−９−９ａｔｏｍ％）をその厚さを
変えて形成した。その厚さは、３．５、ｌＯμｌの３種
類とした。これらをバイレツクスの巻き枠に数回巻き付
けて、これをアニールした。アニーリングは、磁場（強
さａｏｏｏｅ）中で４００℃で焼鈍または無磁場中で４
２０℃で焼鈍したのちに水冷することにより行なった。
変えて形成した。その厚さは、３．５、ｌＯμｌの３種
類とした。これらをバイレツクスの巻き枠に数回巻き付
けて、これをアニールした。アニーリングは、磁場（強
さａｏｏｏｅ）中で４００℃で焼鈍または無磁場中で４
２０℃で焼鈍したのちに水冷することにより行なった。
膜形成時には磁場がかかっているので、膜形成直後の材
料は強い磁気異方性をもっているが、上記のアニーリン
グにより大幅に弱まる（）Ｉｋはｔｏｅ以下）。このア
ニーリング後の異方性の強さは、アニーリングの温度と
時間により変えることができるので、共鳴の起こる周波
数を自由に変えることかできる。
料は強い磁気異方性をもっているが、上記のアニーリン
グにより大幅に弱まる（）Ｉｋはｔｏｅ以下）。このア
ニーリング後の異方性の強さは、アニーリングの温度と
時間により変えることができるので、共鳴の起こる周波
数を自由に変えることかできる。
上記のようにしてアニーリングした磁芯材料と、アニー
リングしない比較界についてヒステリシスの測定を行な
った。得られたヒステリシス曲線を第１図（ａ）（ｂ）
に示した。（ａ）は比較界、（ｂ）が本発明品である。
リングしない比較界についてヒステリシスの測定を行な
った。得られたヒステリシス曲線を第１図（ａ）（ｂ）
に示した。（ａ）は比較界、（ｂ）が本発明品である。
図から明らかなように、本発明品は角型性が格段に向上
している。
している。
また、この実施例では磁芯材料の厚さを３．５．１０μ
ｍと変えたが、それぞれの初透磁率の周波数特性は、第
２図（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すようになった。
ｍと変えたが、それぞれの初透磁率の周波数特性は、第
２図（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すようになった。
図から判るように高周波特性は膜厚が薄くなるほどよく
なっている。
なっている。
「発明の効果」
以上説明したように、この発明は、薄くとも数μｍの厚
みの柔軟絶縁性シートの表面に蒸−着、スパッタ法等の
方法に上り層厚が数μ−程度の一層または複数層の軟質
磁性薄膜を形成し、この軟質磁性ｉｓにアニーリングに
よって適度の磁気異方性を付与したものである。従って
、この発明によれば、単独では機械的強度か弱い軟質磁
性薄膜を柔軟絶縁性シートにより補強することができ、
しかも、この柔軟絶縁性シートが絶縁の役目を果たすこ
とができ、また、軟質磁性薄膜の一層の厚みは数μｍ程
度に形成されているので、渦電流の発生を抑えることが
でき、また、この軟質磁性＃膜はアニーリングにより適
度の磁気異方性が付与されているので、共鳴現象を抑制
することができ、巻磁芯などに最適な磁芯材料を提供す
ることができる。
みの柔軟絶縁性シートの表面に蒸−着、スパッタ法等の
方法に上り層厚が数μ−程度の一層または複数層の軟質
磁性薄膜を形成し、この軟質磁性ｉｓにアニーリングに
よって適度の磁気異方性を付与したものである。従って
、この発明によれば、単独では機械的強度か弱い軟質磁
性薄膜を柔軟絶縁性シートにより補強することができ、
しかも、この柔軟絶縁性シートが絶縁の役目を果たすこ
とができ、また、軟質磁性薄膜の一層の厚みは数μｍ程
度に形成されているので、渦電流の発生を抑えることが
でき、また、この軟質磁性＃膜はアニーリングにより適
度の磁気異方性が付与されているので、共鳴現象を抑制
することができ、巻磁芯などに最適な磁芯材料を提供す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図（ａ）（ｂ）は比較界および本発明品のヒステリ
シス曲線を示すグラフで、（ａ）は比較界、（ｂ）は本
発明品、第２図（ａ）（ｂＸｃ）は本発明品の初透磁率
の周波数特性を示すグラフで、（ａ）は膜厚３μ−のも
の、（ｂ）は膜厚５μｍのもの、（Ｃ）は膜厚ｌＯμ−
のものである。 第１図 にＧ （ｂ） Ｇ 第２図
シス曲線を示すグラフで、（ａ）は比較界、（ｂ）は本
発明品、第２図（ａ）（ｂＸｃ）は本発明品の初透磁率
の周波数特性を示すグラフで、（ａ）は膜厚３μ−のも
の、（ｂ）は膜厚５μｍのもの、（Ｃ）は膜厚ｌＯμ−
のものである。 第１図 にＧ （ｂ） Ｇ 第２図
Claims (1)
- 薄くとも数μｍの厚みの柔軟絶縁性シートの表面にそ
のキューリー点がその結晶化温度よりも低い軟質磁性材
料からなる層厚が数μｍ程度の一層または複数層の軟質
磁性薄膜を形成し、この軟質磁性薄膜を前記キューリー
点と結晶化温度との間の温度でアニーリング処理したこ
とを特徴とする軟質薄膜状の磁芯材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11368385A JPS61271809A (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 | 磁芯材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11368385A JPS61271809A (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 | 磁芯材料 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61271809A true JPS61271809A (ja) | 1986-12-02 |
Family
ID=14618529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11368385A Pending JPS61271809A (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 | 磁芯材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61271809A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6464207A (en) * | 1987-06-08 | 1989-03-10 | Scient Generics Ltd | Magnetic device |
-
1985
- 1985-05-27 JP JP11368385A patent/JPS61271809A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6464207A (en) * | 1987-06-08 | 1989-03-10 | Scient Generics Ltd | Magnetic device |
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